JPS59180413A - 表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査方法Info
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- JPS59180413A JPS59180413A JP5397883A JP5397883A JPS59180413A JP S59180413 A JPS59180413 A JP S59180413A JP 5397883 A JP5397883 A JP 5397883A JP 5397883 A JP5397883 A JP 5397883A JP S59180413 A JPS59180413 A JP S59180413A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、円柱状の曲面を有する倹査対疎物の異面欠陥
を容易に検出可能とする非接触光与式衣面欠陥検盆方法
に関するものである。
を容易に検出可能とする非接触光与式衣面欠陥検盆方法
に関するものである。
従来、板面欠陥’ｌＷｆ方法としてはスポット光等を横
歪対象面に照射し、その反射光を受光するフライングス
ポット方式やフライングイメージ方式が公知であシ、か
つ実用化されている。また特殊な例としてスポット光の
代シに偏光レーザを用いるとともに、受光側九孕糸に偏
光フィルタを設け、正常曲刃・らの反射光を除去し欠陥
部からの散乱光のみを受光することによる欠陥検出方法
が知られており、前二者は欠陥りによる正反射光の＃４
少、第三の方法は散乱光の有無によシ欠陥部を検出しよ
うとするものである。
歪対象面に照射し、その反射光を受光するフライングス
ポット方式やフライングイメージ方式が公知であシ、か
つ実用化されている。また特殊な例としてスポット光の
代シに偏光レーザを用いるとともに、受光側九孕糸に偏
光フィルタを設け、正常曲刃・らの反射光を除去し欠陥
部からの散乱光のみを受光することによる欠陥検出方法
が知られており、前二者は欠陥りによる正反射光の＃４
少、第三の方法は散乱光の有無によシ欠陥部を検出しよ
うとするものである。
しかし、これらの方法はいずれも欠陥部以外の正富部に
２ける反射光量の変化をなくすか、またはきわめて小さ
く保つことが欠陥検出舵力を同上さぜる上で心安である
。したがって、検旦対縁面が以下に述べるごとく限定さ
れてしまうものであつた。ずなわち、低面粗さ等の微ｉ
間な而の傾きに伴なう反射ｙ色の拡散や散乱は欠陥も・
ミ出を阻害するために憔気ディスク等のごとく非常に平
滑な表面、とくに平面′ｆｆ：＠する対厭物の板面欠陥
検出には遇するが、通常の工作物のごとく１μｍ以上の
衣向徂さを有する対象吻の検量には必ずしも好適ではな
い。また前二看の方法は正反射光を文元１゛るための光
軸の岐容軛囲が狭く、粂件設定が困がとなるものであシ
、また後者の方法によれは１牧乱元を効率的に県光する
ための受光系の栴成が複雑になる欠点全治しており、さ
らに両従来方法ともに・威査対尿面が曲面の場合には欠
陥部の検出が不能になる欠点を有していた。以上のよう
に各従来方法は曲面に対する渋面欠陥検量において検食
対故■からの正反射光を正確に受光するように複雑かつ
高精度の光学系を用いる必要があシ、そこで第１図に示
すような検査対象面からの拡散反射光を受光する光学系
を用いる検量方法が提來されている。
２ける反射光量の変化をなくすか、またはきわめて小さ
く保つことが欠陥検出舵力を同上さぜる上で心安である
。したがって、検旦対縁面が以下に述べるごとく限定さ
れてしまうものであつた。ずなわち、低面粗さ等の微ｉ
間な而の傾きに伴なう反射ｙ色の拡散や散乱は欠陥も・
ミ出を阻害するために憔気ディスク等のごとく非常に平
滑な表面、とくに平面′ｆｆ：＠する対厭物の板面欠陥
検出には遇するが、通常の工作物のごとく１μｍ以上の
衣向徂さを有する対象吻の検量には必ずしも好適ではな
い。また前二看の方法は正反射光を文元１゛るための光
軸の岐容軛囲が狭く、粂件設定が困がとなるものであシ
、また後者の方法によれは１牧乱元を効率的に県光する
ための受光系の栴成が複雑になる欠点全治しており、さ
らに両従来方法ともに・威査対尿面が曲面の場合には欠
陥部の検出が不能になる欠点を有していた。以上のよう
に各従来方法は曲面に対する渋面欠陥検量において検食
対故■からの正反射光を正確に受光するように複雑かつ
高精度の光学系を用いる必要があシ、そこで第１図に示
すような検査対象面からの拡散反射光を受光する光学系
を用いる検量方法が提來されている。
し検量方法は円柱状の形体を有する検査対象物（１）の
曲面（２）を長手方向すなわちＸ軸方向の斜め上方に光
源（３）を配置し光（Ｌｌ）ｅ照射し、その拡散反射光
（Ｌ２）ｆ：倹畳対象物（１）の垂直方向すなわｃ）Ｙ
軸方向に配−したテレビカメラ（４）等の受光糸子によ
シ測定するものである。この場合における受九基子に入
射する光量（Ｉ）は次式に示される。
曲面（２）を長手方向すなわちＸ軸方向の斜め上方に光
源（３）を配置し光（Ｌｌ）ｅ照射し、その拡散反射光
（Ｌ２）ｆ：倹畳対象物（１）の垂直方向すなわｃ）Ｙ
軸方向に配−したテレビカメラ（４）等の受光糸子によ
シ測定するものである。この場合における受九基子に入
射する光量（Ｉ）は次式に示される。
Ｉ ＝ ：ｊｉｎ −Ｒ−ｃｏｓθ−−−・−（１）な
お、Ｉｉｎは・次介対象面を照射する光の強匿、Ｒは照
射光の反射率、θは検査対象面の傾斜角度を谷各示すも
のとする。したがって円柱を均一に照明した場合には（
１）式によシその反射光量（Ｉ）は検査対象面の傾斜角
度θによシ決マシ、その測定結果のグラフは半円状の形
態となる。上記方法を用いて黒色間分子弾性体を検査対
象’ｉ／Ｉとした場合の狡面欠陥の測定例を第２図に示
す。また表面欠陥の円周上の位置の影響は第４図および
第５図に示し、第４図の横軸にＹＺ平面上の欠陥部位と
Ｙ軸のなす角度θを、縦軸に欠陥部位による反射光量の
変化をそれぞれ現わし、第５図は横軸に第４図と同じく
角度θを、縦軸に正常部位の反射光毎に対する欠陥部位
の反射光量変化の比を机わし、両図において黒丸は０．
１５ｍｍの凹部の欠陥部位に、黒い三角は０．１９＋ｎ
＋ｎの凹部の欠陥部位にそれぞれ対応する。また第４図
における鎖線は前記（１）式によシ求められた反射光量
変化の曲線でアシ、正常部位からの反射光量変化を示す
〇 したかつで、上記三図よシ衣面欠陥の位置が年１Ｌ方向
Ｙから離れるにしたがい表面欠陥による反射光量は小さ
くなシ、これは正常部位からの反射ブ０量の減少と同一
１頃向を示すものである。このように正常部位からの反
射光量が変化し、なおか、っ欠陥部位による反射光毎の
太きさも変化する条件下で表面欠陥の検出を高循夏に行
なうには次の方法が考えられる。
お、Ｉｉｎは・次介対象面を照射する光の強匿、Ｒは照
射光の反射率、θは検査対象面の傾斜角度を谷各示すも
のとする。したがって円柱を均一に照明した場合には（
１）式によシその反射光量（Ｉ）は検査対象面の傾斜角
度θによシ決マシ、その測定結果のグラフは半円状の形
態となる。上記方法を用いて黒色間分子弾性体を検査対
象’ｉ／Ｉとした場合の狡面欠陥の測定例を第２図に示
す。また表面欠陥の円周上の位置の影響は第４図および
第５図に示し、第４図の横軸にＹＺ平面上の欠陥部位と
Ｙ軸のなす角度θを、縦軸に欠陥部位による反射光量の
変化をそれぞれ現わし、第５図は横軸に第４図と同じく
角度θを、縦軸に正常部位の反射光毎に対する欠陥部位
の反射光量変化の比を机わし、両図において黒丸は０．
１５ｍｍの凹部の欠陥部位に、黒い三角は０．１９＋ｎ
＋ｎの凹部の欠陥部位にそれぞれ対応する。また第４図
における鎖線は前記（１）式によシ求められた反射光量
変化の曲線でアシ、正常部位からの反射光量変化を示す
〇 したかつで、上記三図よシ衣面欠陥の位置が年１Ｌ方向
Ｙから離れるにしたがい表面欠陥による反射光量は小さ
くなシ、これは正常部位からの反射ブ０量の減少と同一
１頃向を示すものである。このように正常部位からの反
射光量が変化し、なおか、っ欠陥部位による反射光毎の
太きさも変化する条件下で表面欠陥の検出を高循夏に行
なうには次の方法が考えられる。
（１）恢ｉ対ま面を分割して辿ｊ定し、各画素毎に周囲
両系との平均から反射光量１Ｌを肘具して、該計Ａ、値
を基準として設定するしきい値との比較を行なう方法。
両系との平均から反射光量１Ｌを肘具して、該計Ａ、値
を基準として設定するしきい値との比較を行なう方法。
（２）反射光量変化の検量線を作成し、該検電腺を基準
に各点毎にしきい値をあらかじめ設定し測定値と比較す
る方法。
に各点毎にしきい値をあらかじめ設定し測定値と比較す
る方法。
上記の方法（１）の場合には計算量が増大するために、
しきい値設定回路が複雑となシ、また（２）の場合には
検査対象物に対して高い位ｉ決め精瓜が安来される等の
問題点を生ずる。
しきい値設定回路が複雑となシ、また（２）の場合には
検査対象物に対して高い位ｉ決め精瓜が安来される等の
問題点を生ずる。
本発明は上記問題点に錯み、曲面金有する通常の加工物
や成型物、とくに円柱状横歪対象物等の表面欠陥ｆｉ：
答易容易歪する方法を提供することを目的とし、その裟
旨は非接触光学式弐面欠陥検ｌにおいて、曲面を有する
検査対象物に対し、該検査対象物の同−検ｉ対象面上に
照射光を少なくとも異なる二方向から投光し、該照射光
の検企対家面からの拡散反射光の光ＭＷ化によ９派面欠
陥の検出を可能とすることを特徴とするものである。
や成型物、とくに円柱状横歪対象物等の表面欠陥ｆｉ：
答易容易歪する方法を提供することを目的とし、その裟
旨は非接触光学式弐面欠陥検ｌにおいて、曲面を有する
検査対象物に対し、該検査対象物の同−検ｉ対象面上に
照射光を少なくとも異なる二方向から投光し、該照射光
の検企対家面からの拡散反射光の光ＭＷ化によ９派面欠
陥の検出を可能とすることを特徴とするものである。
以下、本発明に係る実施例を図示にもとづき前述する。
第６図は本発明に係る第１の実施例を示すものであシ、
以下の図面において第１図と同一符号は同一部材等を示
すものとする０ 円柱状の検翁二対数物（１）の長手方向すなわちＸ軸方
向の斜め上方に角度をもって２個の光源（３ａ）（３ｂ
）が倹近対象面上の（ＳａＸＳｂ）に光軸を合わせて配
置され、垂直方向Ｙにはテレビカメラ（４）の６どプし
系子が配置されているＯなお、前記光源（３ａ）（３ｂ
）の角度は、第６図（Ａ）に示すようにＸ軸およびＺ軸
を含む水平面に対して（θ１）の角度を、図（Ｂ）にＹ
Ｚ平面上におけるｘＩＩ４ｉＩおよびＹ軸を含む平面に
対して（θ２）の角度を、また図（、Ｃ）にＸＺ平面上
におけるＸ軸およびＹ軸ヲ會む平面に対して（θ３）の
角Ｉｆをもって、それぞれ配置されている。また、光源
（３ａ）（３ｂ）の光軸（Ｌｌ ）を含む照射光の強度
分布は必ずしも均一である必要はなく、たとえば図（Ｂ
）のａＩｉ線＜１）に示されるように通常の光軸周辺部
が強いものでもよい〇 上記構成を有する装置において、光源（３ａ）（３ｂ）
から出射される光線（Ｌｌ）は、検丘対狼曲（２）上の
点（Ｓａ）（Ｓｂ）を中心とする箇所に照射され、その
光Ｎ（Ｌ２）を含む拡散反射光はテレビカメラ等（４）
の受光素子に入射する。この場合のうｃ源（３ａ）の照
射光の反射光ｎ（Ｌａ）は第７図に示すように（Ｓａ）
付近が最も大きい非対称曲林となり、同様に九億（３ｂ
）の照射光の反射光１ｔ（Ｌｂ）も（ｓｂ）付近か大き
い非対象の凹かとなって現われ、両者を加昇した反射光
量（Ｌａｂ）の変化は位置（Ｓａ）から位置（ｓｂ）間
で平坦な血書となって得られる。したがって、広い照射
位置範囲においてその反射光量（Ｉ）はほぼ−足となる
。たたし、政祈には光源（３ａ）（３ｂ）の強度分布に
よシ最適な角度（θ１）（θ２）（θ３）が存在するが
笑し、ミの検量時には検査対象物（１）の位置ずれ、検
盆対尿面の形状便化等が外乱要因として無視できないた
め、あまり政密にしても意味がない０本実施例の板歪方
法と従来方法との比１ｍｌを前記第２図から第５図に示
す。第２図および−も３図は縦軸に反射光量（１）を、
Ｚ軸に短手水平方向すなわち２軸方向の位置を、ｘ軸に
一民手方向すなわちＸ軸方向の位１は全それぞれ現わし
、第２図に従来の均一な照明を用いる検量方法および第
３図に本実施例による二方向の照明を用いる倹丘方法に
よる測定１７１１を谷谷示すものであるＯこの場合両図
の調走結果を比軟することによシ、検査対象物（１）か
らの反射光量（Ｉ）が本実７ＩＬ！１例に係る方法を用
いることによシかなり平坦な特性に改畳されていること
が＋ｌｌかる。また、第４図では本笑施例により検出さ
れる欠陥部位の反射光量は０．１５＋ｎｍの凹部を白丸
で、０．１９ｍｍの四部を白い三角でそれぞれ玩わし、
第３図においては第２図に対応して正常部の反射光量に
対する欠陥部の反射光量の比を示すものである。
以下の図面において第１図と同一符号は同一部材等を示
すものとする０ 円柱状の検翁二対数物（１）の長手方向すなわちＸ軸方
向の斜め上方に角度をもって２個の光源（３ａ）（３ｂ
）が倹近対象面上の（ＳａＸＳｂ）に光軸を合わせて配
置され、垂直方向Ｙにはテレビカメラ（４）の６どプし
系子が配置されているＯなお、前記光源（３ａ）（３ｂ
）の角度は、第６図（Ａ）に示すようにＸ軸およびＺ軸
を含む水平面に対して（θ１）の角度を、図（Ｂ）にＹ
Ｚ平面上におけるｘＩＩ４ｉＩおよびＹ軸を含む平面に
対して（θ２）の角度を、また図（、Ｃ）にＸＺ平面上
におけるＸ軸およびＹ軸ヲ會む平面に対して（θ３）の
角Ｉｆをもって、それぞれ配置されている。また、光源
（３ａ）（３ｂ）の光軸（Ｌｌ ）を含む照射光の強度
分布は必ずしも均一である必要はなく、たとえば図（Ｂ
）のａＩｉ線＜１）に示されるように通常の光軸周辺部
が強いものでもよい〇 上記構成を有する装置において、光源（３ａ）（３ｂ）
から出射される光線（Ｌｌ）は、検丘対狼曲（２）上の
点（Ｓａ）（Ｓｂ）を中心とする箇所に照射され、その
光Ｎ（Ｌ２）を含む拡散反射光はテレビカメラ等（４）
の受光素子に入射する。この場合のうｃ源（３ａ）の照
射光の反射光ｎ（Ｌａ）は第７図に示すように（Ｓａ）
付近が最も大きい非対称曲林となり、同様に九億（３ｂ
）の照射光の反射光１ｔ（Ｌｂ）も（ｓｂ）付近か大き
い非対象の凹かとなって現われ、両者を加昇した反射光
量（Ｌａｂ）の変化は位置（Ｓａ）から位置（ｓｂ）間
で平坦な血書となって得られる。したがって、広い照射
位置範囲においてその反射光量（Ｉ）はほぼ−足となる
。たたし、政祈には光源（３ａ）（３ｂ）の強度分布に
よシ最適な角度（θ１）（θ２）（θ３）が存在するが
笑し、ミの検量時には検査対象物（１）の位置ずれ、検
盆対尿面の形状便化等が外乱要因として無視できないた
め、あまり政密にしても意味がない０本実施例の板歪方
法と従来方法との比１ｍｌを前記第２図から第５図に示
す。第２図および−も３図は縦軸に反射光量（１）を、
Ｚ軸に短手水平方向すなわち２軸方向の位置を、ｘ軸に
一民手方向すなわちＸ軸方向の位１は全それぞれ現わし
、第２図に従来の均一な照明を用いる検量方法および第
３図に本実施例による二方向の照明を用いる倹丘方法に
よる測定１７１１を谷谷示すものであるＯこの場合両図
の調走結果を比軟することによシ、検査対象物（１）か
らの反射光量（Ｉ）が本実７ＩＬ！１例に係る方法を用
いることによシかなり平坦な特性に改畳されていること
が＋ｌｌかる。また、第４図では本笑施例により検出さ
れる欠陥部位の反射光量は０．１５＋ｎｍの凹部を白丸
で、０．１９ｍｍの四部を白い三角でそれぞれ玩わし、
第３図においては第２図に対応して正常部の反射光量に
対する欠陥部の反射光量の比を示すものである。
第２図および第３図の熱で現わされるセ「来の両足結果
との比軟では、状面欠陥の位置によらず欠陥による光量
変化がほぼ一定であシ、検査位置による補正の必要性が
なくなったことが判がる０上ム己結果よシ、従来の均一
照明を用いる方法では検査の可能な範囲角反がＸＹ平面
よ９４５度から５０Ｊｌｊまでであったのが、本方法を
用いることによシフ０度近い範囲まで拡大される。
との比軟では、状面欠陥の位置によらず欠陥による光量
変化がほぼ一定であシ、検査位置による補正の必要性が
なくなったことが判がる０上ム己結果よシ、従来の均一
照明を用いる方法では検査の可能な範囲角反がＸＹ平面
よ９４５度から５０Ｊｌｊまでであったのが、本方法を
用いることによシフ０度近い範囲まで拡大される。
本方法を用いて実除に検査を行なうときは第８図（Ｂ）
に示すように、円柱状ｖｌ査対隊物（１）の長十方回す
なわちＸ軸方向での光量変化のみに注目し、たとえば光
東値分の椋作を行なうことによシ、正常部での多少の反
射光量の違いは除くことが可能である。よって、ｌ１６
−密に反射光＊にフラットにしなくても欠陥部からの信
号の位置による変化が小さいため前年なり定しきい値す
なわち、測定位１はに関係なく一定のしきい値により欠
陥検音が可？尼となり、木矢ｈｌＦ４例による効呆が容
易に適用できる。しさい匝の設定は光菫微分値の分散値
を基に行なう。なお、第６図に示す光源の照射角（θ１
）（θ２）（θ３）はそれぞれ（θ１）は２０度から７
０度、（θ２）と（θ３）はＩＣＩから４５度の範囲が
最適であシ、かつ光源（３ａ）（３ｂ）とも同じ角度に
設定する必要はないＯ 第９図は、本発明に係る第２の実施例を示し、検査対象
物（５）が円形リング状である場合の二方向照明を用い
た表面欠陥検査方法であシ、検査対象物（５）の一部分
について接線方向を第ｌ実施例の長手方向Ｘと同一方向
と考え、光源（３ａＸ３ｂ）の２１面の光源を斜め上方
から（θ１）（θ２）（θ３）の角度で配置する。また
検査対象物（５）の垂直方向すなわちＹ軸方向にライン
カメラ（４）の受光素子を嵌勝方同と直交方向に配置し
、同方向の反射光ｍ（Ｉ）を測定する。また、同時に検
査対象物（５）ヲ矢印Ｔ方向に回転させることで連続的
に全周ＩＩＩｊ上の表面欠陥を検査するものである。
に示すように、円柱状ｖｌ査対隊物（１）の長十方回す
なわちＸ軸方向での光量変化のみに注目し、たとえば光
東値分の椋作を行なうことによシ、正常部での多少の反
射光量の違いは除くことが可能である。よって、ｌ１６
−密に反射光＊にフラットにしなくても欠陥部からの信
号の位置による変化が小さいため前年なり定しきい値す
なわち、測定位１はに関係なく一定のしきい値により欠
陥検音が可？尼となり、木矢ｈｌＦ４例による効呆が容
易に適用できる。しさい匝の設定は光菫微分値の分散値
を基に行なう。なお、第６図に示す光源の照射角（θ１
）（θ２）（θ３）はそれぞれ（θ１）は２０度から７
０度、（θ２）と（θ３）はＩＣＩから４５度の範囲が
最適であシ、かつ光源（３ａ）（３ｂ）とも同じ角度に
設定する必要はないＯ 第９図は、本発明に係る第２の実施例を示し、検査対象
物（５）が円形リング状である場合の二方向照明を用い
た表面欠陥検査方法であシ、検査対象物（５）の一部分
について接線方向を第ｌ実施例の長手方向Ｘと同一方向
と考え、光源（３ａＸ３ｂ）の２１面の光源を斜め上方
から（θ１）（θ２）（θ３）の角度で配置する。また
検査対象物（５）の垂直方向すなわちＹ軸方向にライン
カメラ（４）の受光素子を嵌勝方同と直交方向に配置し
、同方向の反射光ｍ（Ｉ）を測定する。また、同時に検
査対象物（５）ヲ矢印Ｔ方向に回転させることで連続的
に全周ＩＩＩｊ上の表面欠陥を検査するものである。
とくに、本冥施例の場合においても、ｂ・」記紀−の実
施例と同様に二方向から光音照射し、被検立面からの両
拡散反射光を加算することにより曲面全広軛囲にわたシ
検宜可能とし、さらに検丘対娠獅（５）が円形リング状
の倹ｉ対象物であっても、該検量ｑ勿全一定方向に回転
させることによ多連続した反射光１ｌＪｉｌ＝＋が１−
：Ｉられ易くなシ、本発明の方法葡よシ適用し易くする
ものである。
施例と同様に二方向から光音照射し、被検立面からの両
拡散反射光を加算することにより曲面全広軛囲にわたシ
検宜可能とし、さらに検丘対娠獅（５）が円形リング状
の倹ｉ対象物であっても、該検量ｑ勿全一定方向に回転
させることによ多連続した反射光１ｌＪｉｌ＝＋が１−
：Ｉられ易くなシ、本発明の方法葡よシ適用し易くする
ものである。
以上述べたように本発明によれば入面欠陥の検出に１仏
して、ｕｉＪ面を４ｊする通常の刀日工物や成型９勿、
とくに円柱状およびリング状の検査対象物等の表面欠陥
を容易にするもので、照明の不均一等の連続的な変化の
影・ｄを排除し、曲面を広範囲な角度にわたシ倹督する
ことを簡単な横歪方法によって可能とし、表面欠陥の検
出能力の向上を図るとともにあわせて複雅な信号処理回
路を用いず検査を行なうことができ、簀価な検査装置を
提供することができる点で本発明の芙用件はきわめて太
きい〇
して、ｕｉＪ面を４ｊする通常の刀日工物や成型９勿、
とくに円柱状およびリング状の検査対象物等の表面欠陥
を容易にするもので、照明の不均一等の連続的な変化の
影・ｄを排除し、曲面を広範囲な角度にわたシ倹督する
ことを簡単な横歪方法によって可能とし、表面欠陥の検
出能力の向上を図るとともにあわせて複雅な信号処理回
路を用いず検査を行なうことができ、簀価な検査装置を
提供することができる点で本発明の芙用件はきわめて太
きい〇
図面は本発明に係る検査方法を示すもので、第１図は従
来の表面欠陥検出方法を示す図、ｉＦ！２図は従来の検
査方法による光の照射位置と測定反射光量の関係を示す
グラフ、第３図は本発明に係る検査方法による光の照射
位置と測定反射光量の＋＋Ｊ係を示すグラフ、第４図、
第５図は従来および本発明に係る検査方法による反射光
量変化の杏く面欠陥の円周上の位置の差替を示すグラフ
、第６１は本発明に係る第１の実施例を示し、第７図は
実施例による反射光量と光の照射位置のｂｊ係を、第８
図は実施例の検査方向と反射光景の１判保をそれぞれ示
し、第９図（ＡＸＢＸＣ）はむ（食メ１捩物がリング状
態の場合の本先明に係る第２の実施例を示すものである
。 （３Ｘ３ａＸ３ｂ）光源（４）受光系子（Ｌｌ）照射冗
の元軸 （Ｌ２ ） （Ｌａ ） （Ｉ−ｂ ）支冗系子に入射
する反射九血の光細第２図 上句−照８月 第３図 １ 二坊４句！！９月 、°ト 邦６図 ｔｓｂ −）＝ Ｄ １１７図 ｊ１１９図
来の表面欠陥検出方法を示す図、ｉＦ！２図は従来の検
査方法による光の照射位置と測定反射光量の関係を示す
グラフ、第３図は本発明に係る検査方法による光の照射
位置と測定反射光量の＋＋Ｊ係を示すグラフ、第４図、
第５図は従来および本発明に係る検査方法による反射光
量変化の杏く面欠陥の円周上の位置の差替を示すグラフ
、第６１は本発明に係る第１の実施例を示し、第７図は
実施例による反射光量と光の照射位置のｂｊ係を、第８
図は実施例の検査方向と反射光景の１判保をそれぞれ示
し、第９図（ＡＸＢＸＣ）はむ（食メ１捩物がリング状
態の場合の本先明に係る第２の実施例を示すものである
。 （３Ｘ３ａＸ３ｂ）光源（４）受光系子（Ｌｌ）照射冗
の元軸 （Ｌ２ ） （Ｌａ ） （Ｉ−ｂ ）支冗系子に入射
する反射九血の光細第２図 上句−照８月 第３図 １ 二坊４句！！９月 、°ト 邦６図 ｔｓｂ −）＝ Ｄ １１７図 ｊ１１９図
Claims (1)
- 非接触光学式茨面欠陥検歪において、曲面を有する検丘
対尿物に対し、該側歪対象物の同一検査対象面上に照射
光を少なくとも異なる二方向から投光し、該照射光の侠
盆対尿面からの拡Ｕ反射光の光量変化によシ衣面欠陥の
検出を行なうことを特車とする非接雇元学式の入面欠陥
検査方法０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5397883A JPS59180413A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5397883A JPS59180413A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 表面欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59180413A true JPS59180413A (ja) | 1984-10-13 |
Family
ID=12957719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5397883A Pending JPS59180413A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59180413A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6384507U (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-02 | ||
| JPH01318907A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-25 | Daihatsu Motor Co Ltd | カムの検査装置 |
| JP2009250949A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-29 | Canon Inc | 表面検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS545764A (en) * | 1977-06-15 | 1979-01-17 | Showa Electric Wire & Cable Co | Device of detecting deformed condition of filament body |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5397883A patent/JPS59180413A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS545764A (en) * | 1977-06-15 | 1979-01-17 | Showa Electric Wire & Cable Co | Device of detecting deformed condition of filament body |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6384507U (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-02 | ||
| JPH01318907A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-25 | Daihatsu Motor Co Ltd | カムの検査装置 |
| JP2009250949A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-29 | Canon Inc | 表面検査装置 |
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