JP6797092B2 - 観察装置、画像解析処理制御プログラム - Google Patents
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Description
12 位置決め装置
14 画像処理装置
16 回転テーブル
18 検査台
20 円筒体
16A 回転軸
22 パルスモータ
24 カメラ
26 光源
20A 内周面
28 マイクロコンピュータ
28A CPU
28B RAM
28C ROM
28D 入出力ポート(I/O)
28E バス
30 照明制御部
32 駆動制御部
34 ハードディスク
36 撮像画像領域
38(38A、38B・・・) 暗視野領域
40(40A、40B・・・) 検査領域
(第2の実施の形態)
26R、26G、26B 光源
58 暗視野領域
60A、60B 検査領域
60C、60D 検査領域
Claims (5)
- 検査対象の検査面を照明する照明手段と、
前記検査面を撮像する撮像手段と、
前記検査対象又は前記照明手段の少なくとも一方を移動しながら、前記撮像手段により前記検査面を複数回に分けて撮像すると共に、各回の撮像画像領域の暗視野領域内で固定的に設定された検査領域であって、前記検査対象の検査面の法線の方向と前記照明手段が照射した光が当該検査面に入射する方向とがなす角度である入射角度が異なる複数箇所の検査領域、に位置する同一回の撮影時期の画像をそれぞれ切り出す切り出し手段と、
前記切り出し手段で切り出した、それぞれの前記検査領域の画像を撮像順に連結し、入射角度条件が異なる複数種の検査画像を生成する画像生成手段と、
前記画像生成手段で生成した複数種の検査画像に基づいて検査面の状態を解析する解析手段と、
を有する観察装置。 - 検査対象の検査面を照明する照明手段と、
前記検査面を撮像する撮像手段と、
前記検査対象を弧状に移動しながら、前記撮像手段により前記検査面を複数回に分けて撮像すると共に、各回の撮像画像領域の暗視野領域内で固定的に設定された検査領域であって、前記検査対象の検査面の法線の方向と前記照明手段が照射した光が当該検査面に入射する方向とがなす角度である入射角度が異なる複数箇所の検査領域、に位置する同一回の撮影時期の画像をそれぞれ切り出す切り出し手段と、
前記切り出し手段で切り出した、前記入射角度が同一のそれぞれの前記検査領域の画像を撮像順に連結し、入射角度条件が異なる複数種の検査画像を生成する画像生成手段と、
前記画像生成手段で生成した複数種の検査画像に基づいて検査面の状態を解析する解析手段と、
を有する観察装置。 - 円筒体の外部から内周面に向けて、固定された光軸で照明する照明手段と、
前記照明手段の照明の反射光を用いて、暗視野照明による画像を撮像する撮像手段と、
前記円筒体を軸周りに回転させながら、前記撮像手段により前記内周面を覗き込むように前記内周面の全周を複数回に分けて撮像すると共に、各回の撮像画像領域の暗視野領域内で固定的に設定された検査領域であって、前記内周面の法線の方向と前記照明手段が照射した光が当該内周面に入射する方向とがなす角度である入射角度が異なる複数箇所の検査領域、に位置する同一回の撮影時期の画像をそれぞれ切り出す切り出し手段と、
前記切り出し手段で切り出した、前記入射角度が同一のそれぞれの前記検査領域の画像を撮像順に連結し、入射角度条件が異なる複数種の検査画像を生成する画像生成手段と、
前記画像生成手段で生成した複数種の検査画像に基づいて検査面の状態を解析する解析手段と、
を有する観察装置。 - 前記画像生成手段が、前記検査領域の画像を連結することで、前記円筒体の内周面の全周を検査領域とする、入射角の異なる複数の検査領域を生成することを特徴とする請求項3記載の観察装置。
- コンピュータを、
請求項1〜請求項4の何れか1項記載の観察装置の切り出し手段、画像生成手段、及び解析手段として動作させる、
画像解析処理制御プログラム。
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JP2017193351A JP6797092B2 (ja) | 2017-10-03 | 2017-10-03 | 観察装置、画像解析処理制御プログラム |
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JP2017193351A JP6797092B2 (ja) | 2017-10-03 | 2017-10-03 | 観察装置、画像解析処理制御プログラム |
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JP2019066371A JP2019066371A (ja) | 2019-04-25 |
JP6797092B2 true JP6797092B2 (ja) | 2020-12-09 |
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Family Applications (1)
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2017
- 2017-10-03 JP JP2017193351A patent/JP6797092B2/ja active Active
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