JP4704846B2 - 表面検査方法および同装置 - Google Patents
表面検査方法および同装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4704846B2 JP4704846B2 JP2005226030A JP2005226030A JP4704846B2 JP 4704846 B2 JP4704846 B2 JP 4704846B2 JP 2005226030 A JP2005226030 A JP 2005226030A JP 2005226030 A JP2005226030 A JP 2005226030A JP 4704846 B2 JP4704846 B2 JP 4704846B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect candidate
- defect
- detected
- light
- evaluation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
[1]検査対象領域に照明光を照射し、その反射光をカメラで撮影することにより表面欠陥を検出する表面検査方法であって、
検査対象領域の各部位に対して、照明光の入射角度がそれぞれ異なる光学条件を設定して複数回の撮影を行い、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索し、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価することを特徴とする表面検査方法。
管体の軸方向に沿ったカメラの検出領域に、照明光の入射角度が異なる領域を繰り返して形成し、
管体を軸回りに回転させながら、前記照明光の入射角度が異なる領域の形成位置を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影することにより、管体の外周面の各部に対して、照明光の入射角度が異なる光学条件下で複数回の撮影を行い、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索し、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価することを特徴とする管体の表面検査方法。
前記物品を検査対象物として前項1〜16のいずれかに記載の表面検査方法を行う表面検査工程と、
前記表面検査工程における評価結果が所定の基準を満たすか否かにより物品を判別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別工程と、
を備えたことを特徴とする物品の製造方法。
検査対象領域の各部に対して、照明光の入射角度が異なる領域を形成可能な照明系と、
前記照明系による照明光の入射角度が異なる領域の形成位置を変化させながら、前記カメラにより検査対象領域の各部に対して照明光の入射角度が異なる光学条件下で複数回の撮影を行わせる制御手段と、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索する欠陥候補検出手段と、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価する再評価手段と、
を備えたことを特徴とする表面検査装置。
前記物品を検査対象とする前項19に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置による評価結果が所定の基準を満たすか否かにより物品を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする製造システム。
管体の外周面に照明光を照射する照明と、
管体の軸方向に沿った検出領域における照明光の反射光を撮影するカメラと、
複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成され、照明光を管体の軸方向について断続的に遮ることにより、照明光の入射角度を制限して照明光の入射角度が異なる領域を繰り返し形成するスリット体と、
管体を軸回りに回転させながら、前記スリット体を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影させることにより、管体の外周面の各部に対して、照明光の入射角度が異なる光学条件下で複数回の撮影を行わせる制御手段と、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索する欠陥候補検出手段と、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価する再評価手段と、
を備えたことを特徴とする管体の表面検査装置。
前記管体を検査対象物とする前項21に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置による評価結果が所定の基準を満たすか否かにより物品を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする管体の製造システム。
本発明の第1実施形態について、模式的な説明図を参照しながら説明する。
この図1に示すように、円筒体(管体)90は、たとえば電子写真システムを構成する複写機、プリンタ、FAX装置、これらの複合機等において、感光ドラム、転写ローラ、現像ローラ、その他各部に利用されるものであり、その外周面91が表面検査の検査対象領域とされる。
図2は、本発明の第1実施形態にかかる表面検査装置の正面図である。図3は、同装置の平面図である。図4は、同装置の側面図である。
検査前後の搬送コンベア61,62の間には、円筒体90を検査位置Bに移送する回転移送装置64が配置されている。この回転移送装置64は、円筒体90を支持するチャック部70を複数(ここでは4個)備えている。
図5は、第1実施形態におけるチャック部70の正面図である。図6は、同チャック部70の側面図である。
照明(光源)10は、検査位置Bに搬送されてきた円筒体90の外表面に対して検査のための照明光を照射する。この照明10は、高輝度が得られる蛍光灯等のライン状光源から構成され、円筒体90の長手方向に沿った広がりを有している。この照明10は、図2に示すように、光源支持フレーム13によって、検査位置Bにある円筒体90のほぼ真上に配置され、照射する光を効率的に円筒体90側に向けるため、光源フード12によって下方以外が覆われている。
遮光体20は、光源10から照射される光の一部を遮光して、円筒体90の外周面91に明暗縞を形成することで種々の異なる光学条件を構成する。この遮光体20は照明10とともに照明系として機能している。
カメラ30は、多数の光量検出要素が一次元的に配列されてなるラインセンサ32と、円筒体90の軸方向に延びる所定の検出領域31をラインセンサ32上に結像するレンズ等を備えたラインセンサカメラとして構成されており、検出領域31の各部から入射する光量を検出する。
遮光体20が取り付けられる遮光体支持台25およびカメラ30が取り付けられるカメラ支持台34は、ともにスライドテーブル40上に取り付けられ、検査位置Bの円筒体90の軸方向についてスライド移動動作可能となっている。すなわち、スライドテーブル40は、本体フレームに固定されたスライドテーブル支持台42上をスライドコロ41によってスライド移動動作可能に支持され、スライド駆動モータ43によってスライド駆動されるようになっている。
図8は、第1実施形態にかかる円筒体90の表面検査装置の要部の概略を表した側面図である。図9は、同斜視図である。
図15は、表面欠陥検出の流れの一例を示すフローチャートである。
この実施形態では、予め欠陥候補を探索する際、検出漏れを防止できるように異なる光学条件下で複数回の撮影を行っている。欠陥候補として検出された部位は、欠陥候補として検出された回の光学条件下以外では、欠陥候補条件すら満たさなかったものである。
次に、本発明の第2実施形態について、図面を参照しながら説明する。
(1)上記実施形態では、検査対象領域の各部位を光学条件を変えながら6回検出するようにしたが、複数回であればよい。ただし、種々の欠陥を見逃すことなく検出し、かつ欠陥であるか否かを的確に再評価するためには、検出回数は3回以上であることが好ましい。
20 遮光体(スリット体)
23 透光部
24 遮光部
27 境界領域
28 明領域
29 暗領域
30 カメラ
31 検出領域
80 管理コンピュータ
90 円筒体
Claims (22)
- 検査対象領域に照明光を照射し、その反射光をカメラで撮影することにより表面欠陥を検出する表面検査方法であって、
検査対象領域の各部位に対して、照明光の入射角度がそれぞれ異なる光学条件を設定して複数回の撮影を行い、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索し、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価することを特徴とする表面検査方法。 - 前記再評価には、欠陥候補が検出された回の撮影結果も用いる請求項1に記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、欠陥候補が検出された部位に対する複数回の撮影結果をそれぞれ個別評価し、この個別評価の結果に基づいて行う請求項1または2に記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、欠陥候補が検出された部位に対する複数回の撮影結果の組み合わせに基づいて行う請求項1または2に記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、前記検査対象領域を撮影した撮影画像から、欠陥候補が検出された部位についての複数回の撮影部分を切り出した画像を用いる請求項1〜4のいずれかに記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、欠陥候補が検出された部位に対する複数回の撮影画像を合成して評価する請求項1〜5のいずれかに記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、前記欠陥候補条件と同一種類の指標を用いる請求項1〜6のいずれかに記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、欠陥候補が検出された部位に対する複数回の撮影結果について、前記欠陥候補条件と同一種類の指標を用いて、前記欠陥候補条件より厳しい判定基準でそれぞれ個別評価し、この個別評価の結果に基づいて行う請求項7に記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、前記欠陥候補条件と異なる種類の指標を用いる請求項1〜6のいずれかに記載の表面検査方法。
- 前記再評価は、欠陥候補が検出された部位に対する複数回の撮影画像について、前記欠陥候補条件を満たすか否かの判定時と異なる画像処理を行う請求項1〜9のいずれかに記載の表面検査方法。
- 検査対象領域に照射される照明光を遮光体によって遮ることにより、照明光の入射角度が制限された領域を形成する請求項1〜10のいずれかに記載の表面検査方法。
- 複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成されたスリット体によって、検査対象領域に照射される照明光を断続的に遮ることにより、照明光の入射角度が制限された領域を繰り返し形成する請求項1〜10のいずれかに記載の表面検査方法。
- 管体の外周面に照明光を照射し、その反射光をカメラで撮影することにより表面欠陥を検出する表面検査方法であって、
管体の軸方向に沿ったカメラの検出領域に、照明光の入射角度が異なる領域を繰り返して形成し、
管体を軸回りに回転させながら、前記照明光の入射角度が異なる領域の形成位置を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影することにより、管体の外周面の各部に対して、照明光の入射角度が異なる光学条件下で複数回の撮影を行い、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索し、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価することを特徴とする管体の表面検査方法。 - 複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成されたスリット体によって、管体に照射される照明光を断続的に遮ることにより、照明光の入射角度が制限された領域を繰り返し形成する請求項13のいずれかに記載の表面検査方法。
- 前記照明光の入射角度が異なる領域とともに、前記カメラによる検出領域を前記管体の軸方向に移動させることを特徴とする請求項13または14に記載の表面検査方法。
- 前記管体は、感光ドラム用基体であることを特徴とする請求項13〜15のいずれかに記載の表面検査方法。
- 表面精度が求められる物品を成形する工程と、
前記物品を検査対象物として請求項1〜16のいずれかに記載の表面検査方法を行う表面検査工程と、
前記表面検査工程における評価結果が所定の基準を満たすか否かにより物品を判別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別工程と、
を備えたことを特徴とする物品の製造方法。 - 請求項17に記載の物品の製造方法により製造されたことを特徴とする感光ドラム用基体。
- 検査対象領域に照明光を照射し、その反射光をカメラで撮影することにより表面欠陥を検出する表面検査装置であって、
検査対象領域の各部に対して、照明光の入射角度が異なる領域を形成可能な照明系と、
前記照明系による照明光の入射角度が異なる領域の形成位置を変化させながら、前記カメラにより検査対象領域の各部に対して照明光の入射角度が異なる光学条件下で複数回の撮影を行わせる制御手段と、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索する欠陥候補検出手段と、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価する再評価手段と、
を備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 表面精度が求められる物品を成形する成形手段と、
前記物品を検査対象とする請求項19に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置による評価結果が所定の基準を満たすか否かにより物品を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする製造システム。 - 管体の表面欠陥を検出する表面検査装置であって、
管体の外周面に照明光を照射する照明と、
管体の軸方向に沿った検出領域における照明光の反射光を撮影するカメラと、
複数の透光部と遮光部とが交互に繰り返すように形成され、照明光を管体の軸方向について断続的に遮ることにより、照明光の入射角度を制限して照明光の入射角度が異なる領域を繰り返し形成するスリット体と、
管体を軸回りに回転させながら、前記スリット体を管体の軸方向に移動させ、管体が複数回転する間、カメラにより管体の外周面を連続して撮影させることにより、管体の外周面の各部に対して、照明光の入射角度が異なる光学条件下で複数回の撮影を行わせる制御手段と、
前記複数回の撮影結果それぞれに対して所定の欠陥候補条件を満たす欠陥候補を探索する欠陥候補検出手段と、
前記複数回の撮影結果のいずれかから欠陥候補が検出されれば、その欠陥候補が検出された部位に対する他の回の撮影結果を再評価することにより、その欠陥候補が検出された部位を評価する再評価手段と、
を備えたことを特徴とする管体の表面検査装置。 - 表面精度が求められる管体を成形する成形手段と、
前記管体を検査対象物とする請求項21に記載の表面検査装置と、
前記表面検査装置による評価結果が所定の基準を満たすか否かにより物品を分別し、前記所定の基準を満たす場合に当該物品を完成品とする判別手段と、
を備えたことを特徴とする管体の製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005226030A JP4704846B2 (ja) | 2005-08-03 | 2005-08-03 | 表面検査方法および同装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005226030A JP4704846B2 (ja) | 2005-08-03 | 2005-08-03 | 表面検査方法および同装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007040855A JP2007040855A (ja) | 2007-02-15 |
JP4704846B2 true JP4704846B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=37798972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005226030A Expired - Fee Related JP4704846B2 (ja) | 2005-08-03 | 2005-08-03 | 表面検査方法および同装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4704846B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103376070A (zh) * | 2012-04-30 | 2013-10-30 | Sms米尔股份有限公司 | 用于管道的3d探测的装置和方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4241843B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2009-03-18 | 三菱重工業株式会社 | 膜質評価方法およびその装置ならびに薄膜製造システム |
JP2010060500A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Showa Denko Kk | 円筒体の表面検査装置 |
US9752869B2 (en) * | 2011-08-15 | 2017-09-05 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Systems and methods for performing machine vision using diffuse structured light |
KR101455636B1 (ko) * | 2013-03-13 | 2014-10-30 | 한국표준과학연구원 | 유도초음파를 이용한 재료결함 검출방법 |
DE102016114190A1 (de) * | 2016-08-01 | 2018-02-01 | Schott Schweiz Ag | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Untersuchung transparenter Körper |
JP6695253B2 (ja) * | 2016-10-07 | 2020-05-20 | 株式会社豊田中央研究所 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
JP6797092B2 (ja) * | 2017-10-03 | 2020-12-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 観察装置、画像解析処理制御プログラム |
CN113820315B (zh) * | 2021-07-09 | 2024-04-19 | 杭州君辰机器人有限公司 | 检测装置 |
CN113820316B (zh) * | 2021-07-09 | 2024-04-19 | 杭州君辰机器人有限公司 | 检测系统 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005003574A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査方法及び表面疵検査装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63175976A (ja) * | 1987-01-16 | 1988-07-20 | Toshiba Corp | 探傷検査装置 |
JPH06118007A (ja) * | 1992-10-08 | 1994-04-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 円筒体の表面欠陥検査方法およびその装置 |
JP3371526B2 (ja) * | 1994-03-31 | 2003-01-27 | 日産自動車株式会社 | 塗装面状態検出装置および塗装面状態検出方法 |
JP3493979B2 (ja) * | 1997-10-20 | 2004-02-03 | 日産自動車株式会社 | 被検査面の欠陥検査方法およびその装置 |
-
2005
- 2005-08-03 JP JP2005226030A patent/JP4704846B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005003574A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査方法及び表面疵検査装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103376070A (zh) * | 2012-04-30 | 2013-10-30 | Sms米尔股份有限公司 | 用于管道的3d探测的装置和方法 |
CN103376070B (zh) * | 2012-04-30 | 2016-11-23 | Sms米尔股份有限公司 | 用于管道的3d探测的装置和方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007040855A (ja) | 2007-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4704846B2 (ja) | 表面検査方法および同装置 | |
JP4694914B2 (ja) | 表面検査方法および同装置 | |
CN110530889A (zh) | 一种适用于工业生产线的光学检测方法 | |
US7099002B2 (en) | Defect detector and method of detecting defect | |
JP4943704B2 (ja) | 円筒体検査装置および同方法 | |
JP6515344B2 (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
CN102667453B (zh) | 罐的凹凸检测装置 | |
US8023720B2 (en) | Method and apparatus for identifying repeated patterns | |
JP4739044B2 (ja) | 外観検査装置 | |
US20180017503A1 (en) | Surface defect inspecting device and method for hot-dip coated steel sheets | |
JP2005208054A (ja) | 表面検査方法および同装置 | |
JP2005257681A (ja) | 表面検査方法および同装置 | |
JP4847717B2 (ja) | 円筒体の表面検査方法および同装置 | |
CN1720742A (zh) | 用于检测诸如轧制/拉制金属条的工件上的表面缺陷的装置和方法 | |
CN115867791A (zh) | 金属带的表面检查装置、表面检查方法及制造方法 | |
KR102000907B1 (ko) | 페라이트 외관 비전 검사방법 | |
JP2012251983A (ja) | ラップフィルム皺検査方法及び装置 | |
JP2007071661A (ja) | 外観検査装置 | |
KR102409084B1 (ko) | 원통체 표면 검사 장치 및 원통체 표면 검사 방법 | |
JP4694915B2 (ja) | 表面検査方法および同装置 | |
JP5123482B2 (ja) | 円筒体検査装置および同装置の設備状態評価方法 | |
JP2018040792A (ja) | 検査システム、検査方法、及びフィルムの製造方法 | |
JP4252381B2 (ja) | 外観検査装置 | |
JP4794383B2 (ja) | ゴムホースの外観検査装置 | |
KR100909944B1 (ko) | 실체 현미경을 이용한 렌즈 검사 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110310 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4704846 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |