JPH01317222A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録装置、たとえば磁気ディスク
装置に用いられる磁気ディスク等の磁気記録媒体に関す
るものである。

従来の技術 現在実用化されている磁気記録媒体は、γ−Ｆｅ！Ｏａ
、Ｃｒ○２．Ｆｅ−Ｃｏ等の磁性体粒子を有機樹脂等か
らなる結合剤と混合する。そして、その混合したものを
基板上に塗布して製造する塗布型媒体が主流である。し
かし、磁気記録媒体の　　、高密度記録化にともなって
、磁気記録媒体は塗布型媒体から金属薄膜媒体に移行し
つつある。金属薄膜媒体は主にめっき、真空蒸着、スパ
ッタ、イオンブレーティング等の手法により作られるＣ
。

−Ｎｉ膜、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ膜等が知られているが、これ
らの金属薄膜媒体は高温・高湿化の劣悪な雰囲気では腐
食し易く、高密度記録にとって重大なエラーを引き起こ
す欠点を有していた。

そこで、近年防食効果の高いＣｒを含んだＣ。

−Ｃｒによって磁性膜を形成する磁気記録媒体が利用さ
れるようになってきた。この磁気記録媒体は、基板上に
Ｃｒで形成された非磁性下地膜を被覆し、この非磁性下
地膜上にＣｒの組成比が１０〜２０ａｔ％であるＣｏ−
Ｃｒ磁性膜を形成するという構成を有している。この構
成の磁気記録媒体は高密度の記録ができる様になるべく
磁気ヘッドのギャップ部と磁性膜を近づけるために保護
膜は形成しない。この様に構成された磁気記録媒体は、
Ｃｏ−Ｃｒ磁性膜の磁化容易軸はＣｏ−Ｃｒ磁性膜の面
内に平行に形成される。しかも磁性膜にＣｒを含有させ
る事により、磁性膜自体に耐食性を持つという特徴を有
する。

次にＣｏ−Ｃｒ磁性膜を形成した磁気ディスクを作成し
てその耐食性を第２図のグラフを用いて説明する。

第２図はｃｏ−Ｃｒ磁性膜のＣｒの組成比と、腐食面積
率の関係を示したグラフである。測定条件は気温が８０
℃、相対湿度が９０％である。腐食面積率とは最初に形
成したＣｏ−Ｃｒ磁性膜の面積の内でどのくらいＣｏ−
Ｃｒ磁性膜が腐食したかを示すものである。すなわちＣ
ｏ−Ｃｒ磁性膜の全面積を８１とし、腐食したＣＯ−Ｃ
ｒ磁性膜の面積を８２とすると腐食面積率ＷはＷ＝３２
／ＳＬの式で表すことができる。第２図に示す様にＣｏ
−Ｃｒ磁性膜の中のＣｒの組成比が約７ａｔ％以上であ
れば腐食面積率は殆と０％に近く、優れた耐食性を示す
。

発明が解決しようとする課題 しかし良好な耐食性を得るためにＣｏ−Ｃｒ磁性膜中の
Ｃｒの組成比を７ａｔ％以上にすると、ＣＯ−Ｃｒ磁性
膜の角形比が低下し、再生出力が減少するという問題点
があった。この関係を第３図に示す。第３図はＣｏ−Ｃ
ｒ磁性膜の中のＣｒの組成比と、角形比の関係を示すグ
ラフである。

第３図に示す様にＣｏ−Ｃｒ磁性膜中のＣｒの組成比が
７ａｔ％ぐらいまでは角形比はぼ一定であるが、７ａｔ
％を越えると角形比は急に低下し始める。これは磁化容
易軸が磁気ヘッドとの対向面に平行にあまりなっていな
いと考えられる。この様な現象は次の様に推測される。

この説明の前にＣｒで形成された非磁性下地膜の上にＣ
ｏ−Ｃｒ磁性膜を形成するとなぜＣｏ−Ｃｒ磁性膜の磁
気ヘッドとの対向面に平行に磁化容易軸が向くかを説明
する。Ｃｒの結晶構造は体心立方格子である。

Ｃｒで形成される非磁性下地膜は基板上にＣｒの（１１
０）面が基板に平行になる様に形成される。

次にこの上にＣｏ−Ｃｒ磁性膜を形成すると、非＝　３
− 磁性下地膜のＣｒの（１１０）面とＣｏ−Ｃｒ磁性膜の
中のＣｏの結晶構造である六方最密格子の（１０１０）
面の格子定数が殆ど同じであるために、Ｃｏ−Ｃｒ磁性
膜に中のＣｏの（１０１０）面が非磁性下地膜のＣｒの
（１１０）面に平行に形成されていく。この時磁化容易
軸はＣｏの（１０１０）面に平行であるので、基板に平
行にすなわち磁気ヘッド七の対向面に平行に磁化容易軸
が形成される。ところてＣｏ−Ｃｒ磁性膜の中のＣｒの
組成比が７ａｔ％未漢の場合にはＣｏ−Ｃｒ磁性膜の中
のＣｒ原子はＣｏ原子とＣｏ原子の間に入り込んでいる
ものが殆どであると考えられる。

この場合（１０１０）面の格子定数はあまり変化してい
ない。しかしＣｏ−Ｃｒ磁性膜の中のＣｒの組成比が７
ａｔ％以上になるとＣ０−Ｃｒ磁性膜の中のＣｒ原子が
Ｃｏ原子と置換しだすと考えられる。するとＣｏの結晶
構造に歪が生してきてＣＯの（１０１０）面の格子定数
が変化して、非磁性下地膜のＣｒの（１１０）面の格子
定数から少しずれてくるので、Ｃｏ−Ｃｒ磁性膜の中の
Ｃ〇の（１０１０）面は非磁性下地膜のＣｒの（１１０
）面に平行に形成され難くなり磁気ヘッドとの対向面に
平行に磁化容易軸が向きにくくなってしまう。よって磁
気記録媒体の角形比が低くなってしまう。

本発明は前記従来の問題点を解決するもので、良好な耐
食性を得るためにＣｏ−Ｃｒ磁性膜のＣｒの組成比を大
きくしても、Ｃｏ−Ｃｒ磁性膜の面内に平行に磁化容易
軸を向きやすくする事ができ、角形比が低くなるのを防
止する事ができる磁気記録媒体を提供する事を目的とし
ている。

課題を解決するための手段 本発明は、基板の上に、Ｃｒでできた非磁性下地膜と、
Ｃｒの組成比が７ａｔ％未漢のｃｏ−Ｃｒか、もしくは
Ｃｏ単体でてきた磁性膜と、Ｃｒの組成比が７ａｔ％以
上３０ａ　ｔ％未満のＣｏ−Ｃｒでてきた磁性膜を順に
形成した。

作　　　用 この構成により、耐食性を保ったまま角形比を高（する
事ができる。

実　　　施　　　例 第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の部分
断面図である。Ａ１合金板表面を研削した後、Ｎ１−Ｐ
をめっきし、鏡面加工を施し基板１を形成する。次に基
板１の上にＣｒて非磁性下地膜２をマグネトロンスパッ
タ法により０．４μｍ形成する。次に非磁性下地膜２上
に磁性膜３を形成する。この時、磁性膜３は二層構造に
なっていて、下層にはＣｒの組成比が７ａｔ％未満であ
るＣｏ−Ｃｒ磁性膜３ａをマグネトロンスパッタ法によ
り０．０１μｍ形成し、上層にはＣｒの組成比が７ａｔ
％以上で３０ａｔ％未満のＣｏ−Ｃｒ磁性膜３ｂをマグ
ネトロンスパッタ法により０．０８μｍ形成する。

以下、Ｃｏ−Ｃｒ磁性膜３ｂのＣｒの組成比を７ａｔ％
以上３０ａ　ｔ％未満にした理由を説明する。第２図の
グラフによるとＣｏ−Ｃｒ磁性膜の中のＣｒの組成比が
７ａｔ％以上であると、腐食面積率がほぼＯである。よ
ってｃｏ−Ｃｒ磁性膜３ｂの中のＣｒの組成比は？ａｔ
％以上であれば良い事になる。又、第４図はＣｏ−Ｃｒ
磁性膜の中のＣｒの組成比とＣｏ−Ｃｒ磁性膜の飽和磁
化の関係を示すグラフである。第４図によるとＣｒの組
成比が３０ａ　ｔ％を超えると飽和磁化がＯになってし
まい、ｃｏ−Ｃｒ磁性膜は磁性体でなくなってしまう。

よってＣｏ−Ｃｒ磁性膜３ｂのＣｒの組成比は３０ａ　
ｔ％未満にしなければならない。

次にＣｏ−Ｃｒ磁性膜３ａのＣｒの組成比をＯａｔ％よ
り太きく７ａｔ％未満にした理由を説明する。第３図に
示す様にＣＯ−Ｃｒ磁性膜のＣｒの組成比を７ａｔ％未
漢にすると角形比は殆ど変わらない。よってＣｏ−Ｃｒ
磁性膜３ａの組成比は７ａｔ％未満にする。

次に従来の磁気記録媒体と本実施例の磁気記録媒体の磁
気特性の比較を行なう。本実施例としてＣｏ−Ｃｒ磁性
膜３ａのＣｒの組成比を５ａｔ％とし、またＣＯ−Ｃｒ
磁性膜３ｂのＣｒの組成比を１４ａｔ％とする。この時
、Ｃｏ−Ｃｒ磁性膜３ａの膜厚を０．０１μｍＸＣｏ−
Ｃｒ磁性膜３ｂの膜厚をＯ０８μｍとする。また本実施
例と比べるために比較例として金属磁性膜をＣｒ組成比
が１４ａｔ％であるＣｏ−Ｃｒ磁性膜を０．０９μｍ形
成した磁気記録媒体を作成した。この実施例と比較例の
磁気記録媒体の磁気特性を測定し、その結果を第１表に
示す。

第　　１　　表 Ｂｓは飽和磁束密度を表している。第１表より、Ｃｏ−
Ｃｒ磁性膜を組成比の異なる二層構造にすることにより
、角形比即ち面内配向性が優れた特性を示した。また、
実施例の磁気記録媒体を用いて温度８０℃、相対湿度９
０％の環境試験を１ケ月間行ったところ、エラーの増加
は見られなかった。この事により本実施例によれば耐食
性を向上させるためＣｒの組成比を高くしても角形比は
あまり低下しない。

以下、本実施例の磁気記録媒体の磁性膜の状態を説明す
る。

Ｃｒで形成された非磁性下地膜２の上にＣｒを含むがあ
まりＣｏの結晶構造が変化していないＣｏ−Ｃｒ磁性膜
３ａを形成し、その上にＣｒを多（含んだＣｏ−Ｃｒ磁
性膜３ｂを形成すると、非磁性下地膜２の中のＣｒの（
１１０）面の格子定数とＣｏ−Ｃｒ磁性膜３ａの中のＣ
ｏの（１０１０）面の格子定数にあまり差がないのでＣ
ｏ−Ｃｒ磁性膜３ａの中のＣＯの（１０１０）面が非磁
性下地膜２の中のＣｒの〈１１０）而に平行に形成され
易い。次にＣｏ−Ｃｒ磁性膜３ａの上にｃｏ−Ｃｒ磁性
膜３ｂを形成すると、Ｃｏ−Ｃｒ磁性膜３ａ及びＣｏ−
Ｃｒ磁性膜３ｂは同し材質なのてＣｏ−Ｃｒ磁性膜３ａ
の中のＣｏの（１０１０）面にＣｏ−Ｃｒ磁１生膜３ｂ
の中のＣｏの（１０１０）面が平行になるように形成さ
れ易いと考えられる。従ってＣｒの組成比が多いＣ０−
Ｃｒ磁性膜にも磁気ヘットとの対向面に平行に磁化容易
軸が形成され易くなる。

以上の様に本実施例では非磁性下地膜２の上にＣｒの組
成比が７ａｔ％以上３０ａ　ｔ％未満のｃｏ−Ｃｒ磁性
膜３ｂをＣｒの組成比が７ａｔ％未満のＣｏ−Ｃｒ磁性
膜３ａを介して形成した事により、Ｃｏ　　Ｃｒ磁性膜
３ｂの磁化容易軸を磁気ヘッドとの対向面に平行にさせ
る事ができる。なお、本実施例の場合Ｃ０−Ｃｒ磁性膜
３ａをＣＯ単体で形成しても同様の効果が得られる。

発明の効果 本発明は、基板の上に、Ｃｒてできた非磁性下地層と、
Ｃｒの組成比が７ａｔ％未満のＣ０−Ｃｒか、もしくは
ＣＯ単体でできた磁性膜と、Ｃｒの組成比が７ａｔ％以
上３０ａ　ｔ％未満のＣｏ−Ｃｒでできた磁性膜を順に
形成した事により、耐食性を保ったまま角形比を高くす
る事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録媒体の部分断面図、第２図は
Ｃｒの組成比と腐食面積率の関係を示すグラフ、第３図
はＣｒの組成比と角形比の関係を示すグラフ、第４図は
Ｃｒの組成比と飽和磁化の関係を示すグラフである。 １　・・・・・・　基板 ２　・・・・・・　非磁性下地膜 ３　・・・・・・　磁性膜 ３ａ、３ｂ−Ｃｏ−Ｃｒ磁性膜 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　はか１名（Ｎ 減　　　　　　　　　　　　派

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板と、前記基板の上に形成され、Ｃｒでできた非磁性
   下地膜と、前記非磁性下地膜の上に形成され、Ｃｒの組
   成比が７ａｔ％未満のＣｏ−Ｃｒか、もしくはＣｏ単体
   でできた第一の磁性膜と、前記第一の磁性膜の上に形成
   され、Ｃｒの組成比が７ａｔ％以上３０ａｔ％未満のＣ
   ｏ−Ｃｒでできた第二の磁性膜を備えた事を特徴とする
   磁気記録媒体。