JPH01282420A - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダInfo
- Publication number
- JPH01282420A JPH01282420A JP63112734A JP11273488A JPH01282420A JP H01282420 A JPH01282420 A JP H01282420A JP 63112734 A JP63112734 A JP 63112734A JP 11273488 A JP11273488 A JP 11273488A JP H01282420 A JPH01282420 A JP H01282420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- light
- signals
- phase
- heads
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 241000668842 Lepidosaphes gloverii Species 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は光学式エンコーダ、特に測長ストロークの長い
光学式エンコーダに関する。
光学式エンコーダに関する。
従来から、高分解能で且つ測長ストロークが長い光学式
エンコーダが強（要望されてきた。
エンコーダが強（要望されてきた。
測長ストロークを拡張する為にはスケールを長尺化すれ
ば良いが、微細な格子パターンを備えた長尺の光学式ス
ケールを作成するのは困難である。
ば良いが、微細な格子パターンを備えた長尺の光学式ス
ケールを作成するのは困難である。
この様な問題を回避して、本件出願人は、高分解で且つ
測長ストロークが長い光学式リニアエンコーダを特開昭
５８−１９１９０６号公報で開示している。この公開公
報が示すリニアエンコーダは、スケールに形成された格
子パターン部の有効長より短い間隔を置いて複数個の読
み取りヘッドを配列して、スケールの移動に伴って各読
み取りヘッドからの信号を選択的に取り出してスケール
を読み取るものである。
測長ストロークが長い光学式リニアエンコーダを特開昭
５８−１９１９０６号公報で開示している。この公開公
報が示すリニアエンコーダは、スケールに形成された格
子パターン部の有効長より短い間隔を置いて複数個の読
み取りヘッドを配列して、スケールの移動に伴って各読
み取りヘッドからの信号を選択的に取り出してスケール
を読み取るものである。
しかしながら、この様に各読み取りヘッドからの信号を
切り換える為には、スケールの位置をモニターするセン
サ等の付加的機構が必要になる為、あまり好ましくない
。
切り換える為には、スケールの位置をモニターするセン
サ等の付加的機構が必要になる為、あまり好ましくない
。
本発明の目的は、上記従来の問題点に鑑み、高分解能で
且つ測長ストロークを長くすることができ、しかも構成
が簡便な光学式エンコーダを提供することにある。
且つ測長ストロークを長くすることができ、しかも構成
が簡便な光学式エンコーダを提供することにある。
上記目的を達成する為に、本発明の光学式エンコーダは
、周期的な格子パターンを形成したスケールと、前記ス
ケールの移動方向に沿って配列され、前記スケールに光
を照射して前記スケールからの光を光電変換することに
より前記スケールを読み取る第１及び第２の読み取り手
段と、該第１及び第２の読み取り手段からの出力信号を
合成（加算）する手段とを有することを特徴とする。
、周期的な格子パターンを形成したスケールと、前記ス
ケールの移動方向に沿って配列され、前記スケールに光
を照射して前記スケールからの光を光電変換することに
より前記スケールを読み取る第１及び第２の読み取り手
段と、該第１及び第２の読み取り手段からの出力信号を
合成（加算）する手段とを有することを特徴とする。
更に、本発明の一形態に係る光学式エンコーダは、上記
特徴に加えて、前記第１及び第２の読み取り手段からの
出力信号の位相差を調整する（零にする）調整機構を有
している。これにより、スケールの位置に依らず常に連
続した周期信号が正確に得ろれる。
特徴に加えて、前記第１及び第２の読み取り手段からの
出力信号の位相差を調整する（零にする）調整機構を有
している。これにより、スケールの位置に依らず常に連
続した周期信号が正確に得ろれる。
又、本発明によれば複数個の読み取り手段間の出力信号
の位相差を零に調整する動作を読み取り手段間の位置調
整によらず、位相信号を形成する例えば偏光素子等の光
学素子の回転取付角度の調整により行うことによって、
容易に各々の各読み取り手段で読みとうた周期信号の位
相差を補正することができる。又、各読み取り手段から
の信号を加算回路で常時加算することによって、光学式
スケールがどの読み取り手段によって検出されていよう
とも、或いは２つのヘッドにまたがって両者から同時に
信号を得ていようとも、連続した周期信号がスケールの
全ストロークにわたって得られるようになり、長尺の微
細格子パターンを具えたリニアスケールを用いたリニア
エンコーダと同等なエンコーダが実現できる。
の位相差を零に調整する動作を読み取り手段間の位置調
整によらず、位相信号を形成する例えば偏光素子等の光
学素子の回転取付角度の調整により行うことによって、
容易に各々の各読み取り手段で読みとうた周期信号の位
相差を補正することができる。又、各読み取り手段から
の信号を加算回路で常時加算することによって、光学式
スケールがどの読み取り手段によって検出されていよう
とも、或いは２つのヘッドにまたがって両者から同時に
信号を得ていようとも、連続した周期信号がスケールの
全ストロークにわたって得られるようになり、長尺の微
細格子パターンを具えたリニアスケールを用いたリニア
エンコーダと同等なエンコーダが実現できる。
本発明の更なる特徴及び具体的形態は、後述する実施例
に記載されている。
に記載されている。
第１図及び第２図（ａ）〜（ｂ）は本発明に係る光学式
エンコーダの第１の実施例を示し、第２図（ａ）〜（ｂ
）は読み取りヘッドＨ１〜Ｈ３の受光部の拡大斜視図で
ある。同図において、１は半導体レーザ、２はコリメー
タレンズ、３は偏光ビームスプリッタ、４は１／４波長
板、５は回折格子パターンが形成されたリニアスケール
、６は反射光学素子、７は１／４波長板、８は非偏光ビ
ームスプリッタ（プリズム）、９．１０は互いに偏光方
位を４５″ ずらして回転調整される、偏光板等の偏光
素子、１１． １２は受光素子である。本光学式エンコ
ーダはリニアスケール５以外の部材で構成したものを読
み取りヘッドと称して１つの筐体にまとめ、これをＨＩ
Ｊ Ｈ２１Ｈ３の３セツト用意し、これらのヘッド
Ｈ，，Ｈ２゜Ｈ３を（２セット以上の任意の数で可）、
スケール５の格子パターン部の有効長（格子パターンが
形成されている部分の長さからスケール５上の照射光束
のスポット径を引いたもの）以下の間隔で配置する。第
１図に示すように図の左方からスケール５が矢印Ｐの方
向へ移動してい（とき、最初はヘッドＨ３のみから信号
が得られるだけだが、続いてヘッドＨ１＋ Ｈ２両者か
ら信号が出力されるようになり、次にヘッドＨ２からの
出力信号のみになり、次にヘッドＨ２＋ Ｈ３から信号
が出力されるようになり、最後にヘッドＨ３のみから信
号が出力される。ここで、各ヘッドＨ１ｒ Ｈ２＋ Ｈ
３からの信号は、第４図に示す様に加算回路４０で加算
される様になっており、例えばスケール５の移動に伴っ
て、ＨｌとＨ２、又はＨ２とＨ３からの信号が加算され
、測長信号が出力される。
エンコーダの第１の実施例を示し、第２図（ａ）〜（ｂ
）は読み取りヘッドＨ１〜Ｈ３の受光部の拡大斜視図で
ある。同図において、１は半導体レーザ、２はコリメー
タレンズ、３は偏光ビームスプリッタ、４は１／４波長
板、５は回折格子パターンが形成されたリニアスケール
、６は反射光学素子、７は１／４波長板、８は非偏光ビ
ームスプリッタ（プリズム）、９．１０は互いに偏光方
位を４５″ ずらして回転調整される、偏光板等の偏光
素子、１１． １２は受光素子である。本光学式エンコ
ーダはリニアスケール５以外の部材で構成したものを読
み取りヘッドと称して１つの筐体にまとめ、これをＨＩ
Ｊ Ｈ２１Ｈ３の３セツト用意し、これらのヘッド
Ｈ，，Ｈ２゜Ｈ３を（２セット以上の任意の数で可）、
スケール５の格子パターン部の有効長（格子パターンが
形成されている部分の長さからスケール５上の照射光束
のスポット径を引いたもの）以下の間隔で配置する。第
１図に示すように図の左方からスケール５が矢印Ｐの方
向へ移動してい（とき、最初はヘッドＨ３のみから信号
が得られるだけだが、続いてヘッドＨ１＋ Ｈ２両者か
ら信号が出力されるようになり、次にヘッドＨ２からの
出力信号のみになり、次にヘッドＨ２＋ Ｈ３から信号
が出力されるようになり、最後にヘッドＨ３のみから信
号が出力される。ここで、各ヘッドＨ１ｒ Ｈ２＋ Ｈ
３からの信号は、第４図に示す様に加算回路４０で加算
される様になっており、例えばスケール５の移動に伴っ
て、ＨｌとＨ２、又はＨ２とＨ３からの信号が加算され
、測長信号が出力される。
各ヘッドの間の距離をＬ１スケールの有効長をｌとする
と、スケール５の測長ストロークは２Ｌ＋２ｆ！となる
。
と、スケール５の測長ストロークは２Ｌ＋２ｆ！となる
。
一般に、Ｎセットの読み取りヘッドが間隔り毎に配置さ
れれば、測長ストロークは（Ｎ−１）Ｌ＋２１となり、
見かけ上、（Ｎ−１）Ｌ＋２ｆの長尺なスケールを用い
たリニアエンコーダが実現される。
れれば、測長ストロークは（Ｎ−１）Ｌ＋２１となり、
見かけ上、（Ｎ−１）Ｌ＋２ｆの長尺なスケールを用い
たリニアエンコーダが実現される。
各ヘッドＨ８，Ｈ２１Ｈ３のスケール５の読取りの原理
は以下の通りである。半導体レーザｌからのレーザ光束
を偏光ビームスプリッタ３でＰ偏光光とＳ偏光光に分離
し、各々の光束を１７４波長板４を介してスケール５の
回折格子パターンに指向する。
は以下の通りである。半導体レーザｌからのレーザ光束
を偏光ビームスプリッタ３でＰ偏光光とＳ偏光光に分離
し、各々の光束を１７４波長板４を介してスケール５の
回折格子パターンに指向する。
そして、次数の異なる回折をさせて回折格子の（即ちス
ケール５の）位置に応じた位相のずれを生ぜしめ、反射
光学素子６を介して再回折した後に再び１／４波長板４
を通過した各光束が偏波面が互いに９０°ずれたまま重
なり合ってまま（いわゆる明暗の干渉現象にはならない
）同時に１／４波長板７を透過する事で１／４波長板に
入射する前の直交２偏波間の位相差で決定される方位に
偏波面を有する直線偏光光に変換して、後に偏光素子９
．１０を介して干渉縞の明暗の周期信号に変換して受光
素子１１、 １２に入射せしめる反射光学素子６の使用
によりＰ偏光光が＋１次の回折を２回行い、Ｓ偏光光が
一１次の回折を２回行うことによって、両偏光光間の位
相のずれはスケール５の格子パターンの１ピッチ当り８
πになり、１／４波長板７を通過したあと生じる直線偏
光の偏波面は２回転する。従って、偏光素子９． １０
を介して得られる干渉光は４周期だけ明暗が変化する。
ケール５の）位置に応じた位相のずれを生ぜしめ、反射
光学素子６を介して再回折した後に再び１／４波長板４
を通過した各光束が偏波面が互いに９０°ずれたまま重
なり合ってまま（いわゆる明暗の干渉現象にはならない
）同時に１／４波長板７を透過する事で１／４波長板に
入射する前の直交２偏波間の位相差で決定される方位に
偏波面を有する直線偏光光に変換して、後に偏光素子９
．１０を介して干渉縞の明暗の周期信号に変換して受光
素子１１、 １２に入射せしめる反射光学素子６の使用
によりＰ偏光光が＋１次の回折を２回行い、Ｓ偏光光が
一１次の回折を２回行うことによって、両偏光光間の位
相のずれはスケール５の格子パターンの１ピッチ当り８
πになり、１／４波長板７を通過したあと生じる直線偏
光の偏波面は２回転する。従って、偏光素子９． １０
を介して得られる干渉光は４周期だけ明暗が変化する。
ここで、本光学式エンコーダは、第２図に示すような各
ヘッドＨ１＋ Ｈ２＋ Ｈ３内の非偏光ビームスプリッ
タプリズム８及び偏光素子９． １０．受光素子１１．
１２を一体化した部分１００を受光ユニット（部）と称
すことにする。この受光ユニットの偏光素子９．ｌＯが
矢印の向きに回転調整が行えるように調整機構が設けて
あり、ヘッドＨＩ ＊ Ｈ２間、ヘッドＨ２＊ Ｈ３間
の互いに対応する受光素子１１゜１２からの出力信号の
位相がそろうように調整して固定する。
ヘッドＨ１＋ Ｈ２＋ Ｈ３内の非偏光ビームスプリッ
タプリズム８及び偏光素子９． １０．受光素子１１．
１２を一体化した部分１００を受光ユニット（部）と称
すことにする。この受光ユニットの偏光素子９．ｌＯが
矢印の向きに回転調整が行えるように調整機構が設けて
あり、ヘッドＨＩ ＊ Ｈ２間、ヘッドＨ２＊ Ｈ３間
の互いに対応する受光素子１１゜１２からの出力信号の
位相がそろうように調整して固定する。
本実施例において受光ユニットに入射する光束は互いに
９０°偏光面がずれた２つの回折光同志を重ね合わせた
後λ／４板７を通過されたことによって直線偏光になっ
ており、その偏光方位はスケール上の格子が１ピツチ移
動する間に２回転をするから偏光素子９，１０を入射光
束を回転軸として回転調整すれば偏光素子を通過した干
渉光が形成する明暗の周期信号の位相を調整できる（つ
まり、受光素子から得られる信号の位相がずれる）。こ
の偏光素子９，１０の回転機構を用いて順次、ヘッドＨ
２からの信号の位相をヘッドＨ１からの信号の位相に合
わせ、ヘッドＨ３からの信号の位相をヘッドＨ２からの
信号の位相に合わせるという調整を重ねていけばよい。
９０°偏光面がずれた２つの回折光同志を重ね合わせた
後λ／４板７を通過されたことによって直線偏光になっ
ており、その偏光方位はスケール上の格子が１ピツチ移
動する間に２回転をするから偏光素子９，１０を入射光
束を回転軸として回転調整すれば偏光素子を通過した干
渉光が形成する明暗の周期信号の位相を調整できる（つ
まり、受光素子から得られる信号の位相がずれる）。こ
の偏光素子９，１０の回転機構を用いて順次、ヘッドＨ
２からの信号の位相をヘッドＨ１からの信号の位相に合
わせ、ヘッドＨ３からの信号の位相をヘッドＨ２からの
信号の位相に合わせるという調整を重ねていけばよい。
〔他の実施例〕
上記実施例では各ヘッドＨ１＋ Ｈ２＋ Ｈ３により検
出される周期信号のヘッド間の位相の調整を各々の偏光
素子９．１０の回転によって行ったが、第３図及び第４
図（ａ）〜（Ｃ）に示すように受光ユニット１００を入
射光束を回転軸として回転調整する機構を設けてもよい
。この場合、受光素子１１． １２間の位相関係は固定
されるので、受光素子ｉｔの出力か１２の出力どちらか
一方に着目して、各ヘッドＨ１，Ｈ２，Ｈ３間の出力信
号の位相合わせを行えばよいので、より簡便な調整がで
きる。
出される周期信号のヘッド間の位相の調整を各々の偏光
素子９．１０の回転によって行ったが、第３図及び第４
図（ａ）〜（Ｃ）に示すように受光ユニット１００を入
射光束を回転軸として回転調整する機構を設けてもよい
。この場合、受光素子１１． １２間の位相関係は固定
されるので、受光素子ｉｔの出力か１２の出力どちらか
一方に着目して、各ヘッドＨ１，Ｈ２，Ｈ３間の出力信
号の位相合わせを行えばよいので、より簡便な調整がで
きる。
尚、実施例に記載されたスケールの読み取りヘッドの構
成は一つの実施例にすぎず、回折格子で１回以上回折し
た回折光を用いて干渉縞を形成することを原理とする構
成であれば良い。
成は一つの実施例にすぎず、回折格子で１回以上回折し
た回折光を用いて干渉縞を形成することを原理とする構
成であれば良い。
例えば、本件出願人による前述の特開昭５８−１９１９
０６号公報に記載されたものや、特開昭５８−１９１９
０６号公報、特開昭６１−１７８６１３号公報、６２−
６１１９号公報、或いはＵＳＰ３，７２６，５９５、及
びＵＳＰ４，６７６．６４５、ＵＳＰ４，６２．９，８
８６に示されるエンコーダの構成を用いることができる
。
０６号公報に記載されたものや、特開昭５８−１９１９
０６号公報、特開昭６１−１７８６１３号公報、６２−
６１１９号公報、或いはＵＳＰ３，７２６，５９５、及
びＵＳＰ４，６７６．６４５、ＵＳＰ４，６２．９，８
８６に示されるエンコーダの構成を用いることができる
。
以上、本発明によれば格子パターンが形成されたスケー
ルの移動方向に沿って配列した第１及び第２の読み取り
手段からの出力信号を合成（加算）することにより、簡
単な構成で、高分解能を有し且つ測長ストロークが長い
光学式エンコーダを提供できるし、更に第１及び第２の
読み取り手段からの出力信号の位相差を調整する調整機
構を具えたことにより、全ストロークに亘り常に正確な
スケールの読み取り動作を行える。
ルの移動方向に沿って配列した第１及び第２の読み取り
手段からの出力信号を合成（加算）することにより、簡
単な構成で、高分解能を有し且つ測長ストロークが長い
光学式エンコーダを提供できるし、更に第１及び第２の
読み取り手段からの出力信号の位相差を調整する調整機
構を具えたことにより、全ストロークに亘り常に正確な
スケールの読み取り動作を行える。
第１図及び第２図（ａ）〜（Ｃ）は本発明に係る光学式
エンコーダの一実施例を示す説明図。 第３図及び第４図（ａ）〜（Ｃ）は本発明に係る光学式
エンコーダの他の実施例を示す説明図。 第５図は本発明に係る光学式エンコーダの部分的ブロッ
ク図。
エンコーダの一実施例を示す説明図。 第３図及び第４図（ａ）〜（Ｃ）は本発明に係る光学式
エンコーダの他の実施例を示す説明図。 第５図は本発明に係る光学式エンコーダの部分的ブロッ
ク図。
Claims (3)
- （１）周期的な格子パターンを形成したスケールと、前
記スケールの移動方向に沿って配列され、前記スケール
に光を照射して前記スケールからの光を光電変換するこ
とにより前記スケールを読み取る第１及び第２の読み取
り手段とを有するエンコーダにおいて、前記第１及び第
２の読み取り手段からの出力信号の位相差を調整する調
整機構を有することを特徴とする光学式エンコーダ。 - （２）周期的な格子パターンを形成したスケールと、前
記スケールの移動方向に沿って配列され、前記スケール
に光を照射して前記スケールからの光を光電変換するこ
とにより前記スケールを読み取る第１及び第２の読み取
り手段と、該第１及び第２の読み取り手段からの出力信
号を合成する手段とを有することを特徴とする光学式エ
ンコーダ。 - （３）前記第１及び第２の読み取り手段からの出力信号
の位相差を調整する調整機構を有することを特徴とする
特許請求の範囲第（２）項記載の光学式エンコーダ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112734A JP2567036B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 光学式エンコーダ |
| US07/346,886 US4998798A (en) | 1988-05-10 | 1989-05-03 | Encoder having long length measuring stroke |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112734A JP2567036B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 光学式エンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01282420A true JPH01282420A (ja) | 1989-11-14 |
| JP2567036B2 JP2567036B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=14594209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63112734A Expired - Fee Related JP2567036B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 光学式エンコーダ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4998798A (ja) |
| JP (1) | JP2567036B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012233829A (ja) * | 2011-05-06 | 2012-11-29 | Canon Inc | 干渉計測装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2256476B (en) * | 1991-05-30 | 1995-09-27 | Rank Taylor Hobson Ltd | Positional measurement |
| US5283434A (en) * | 1991-12-20 | 1994-02-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement detecting device with integral optics |
| FR2718230B1 (fr) * | 1994-04-05 | 1996-06-21 | Aerospatiale | Ligne à retard pour interféromètre. |
| JP3530573B2 (ja) * | 1994-04-27 | 2004-05-24 | キヤノン株式会社 | 光学式変位センサ |
| USRE39747E1 (en) | 1997-05-02 | 2007-07-31 | Ats Automation Tooling Systems Inc. | Modular conveyor system having multiple moving elements under independent control |
| US7012703B2 (en) * | 2003-08-21 | 2006-03-14 | Ams Controls | Automatic encoder resolution calibration and length measurement system and method |
| JP5709040B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2015-04-30 | 株式会社リコー | 分光画像撮像装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6110716A (ja) * | 1984-06-26 | 1986-01-18 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光電式エンコ−ダ |
| JPS618814U (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-20 | 株式会社リコー | 光学式エンコ−ダ |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3818198A (en) * | 1972-08-31 | 1974-06-18 | Kollmorgen Corp | Automatic direct-reading photometer apparatus and method |
| DE2730715C2 (de) * | 1974-07-26 | 1991-08-29 | Heinz 5121 Ostermiething Rieder | Einrichtung zur Längenmessung |
| IT1057830B (it) * | 1976-04-02 | 1982-03-30 | Dea Spa | Trasduttore di posizione per macchine di misura e macchine utensili |
| JPS5829093A (ja) * | 1981-08-13 | 1983-02-21 | 株式会社トプコン | アブソリユ−トエンコ−ダ |
| JPS58191906A (ja) * | 1982-05-04 | 1983-11-09 | Canon Inc | 基準尺を用いた測長方法 |
| US4629886A (en) * | 1983-03-23 | 1986-12-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corporation | High resolution digital diffraction grating scale encoder |
| EP0311144B1 (en) * | 1983-11-04 | 1993-07-14 | Sony Magnescale, Inc. | Optical instrument for measuring displacement |
| JPS62132104A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Futaba Corp | 測長装置 |
-
1988
- 1988-05-10 JP JP63112734A patent/JP2567036B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-05-03 US US07/346,886 patent/US4998798A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS618814U (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-20 | 株式会社リコー | 光学式エンコ−ダ |
| JPS6110716A (ja) * | 1984-06-26 | 1986-01-18 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光電式エンコ−ダ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012233829A (ja) * | 2011-05-06 | 2012-11-29 | Canon Inc | 干渉計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2567036B2 (ja) | 1996-12-25 |
| US4998798A (en) | 1991-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2603305B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| US7375820B2 (en) | Interference measuring apparatus for detecting a plurality of stable phase difference signals | |
| US4970388A (en) | Encoder with diffraction grating and multiply diffracted light | |
| JPS6391515A (ja) | 光電測角装置 | |
| US5302821A (en) | Encoder using a birefringent element and a system including the same | |
| JPH03148015A (ja) | 位置測定装置 | |
| JPH01282420A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JPH0231111A (ja) | ロータリーエンコーダ | |
| JP2683117B2 (ja) | エンコーダー | |
| JP2586122B2 (ja) | ロータリーエンコーダ | |
| JP2547826B2 (ja) | マルチモード半導体レーザを使用する干渉計測装置 | |
| JPH046884B2 (ja) | ||
| JP3038860B2 (ja) | エンコーダ | |
| JP4798911B2 (ja) | 回折干渉式リニアスケール | |
| JPH0358043B2 (ja) | ||
| JPH02298804A (ja) | 干渉計測装置 | |
| JPS6213603B2 (ja) | ||
| JP2004170153A (ja) | 変位検出装置 | |
| JP2683098B2 (ja) | エンコーダー | |
| JP2600783B2 (ja) | 光学装置 | |
| JP2774568B2 (ja) | ロータリーエンコーダー | |
| JPH01185415A (ja) | 格子干渉型変位検出装置 | |
| JP2004028776A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JPH01282424A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JP2001012971A (ja) | ロータリーエンコーダー |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |