JPS6213603B2 - - Google Patents
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- JPS6213603B2 JPS6213603B2 JP56200596A JP20059681A JPS6213603B2 JP S6213603 B2 JPS6213603 B2 JP S6213603B2 JP 56200596 A JP56200596 A JP 56200596A JP 20059681 A JP20059681 A JP 20059681A JP S6213603 B2 JPS6213603 B2 JP S6213603B2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、１個の読取ヘツドを用いてＸ，Y2
方向の変位を測定することができる光学式スケー
ル読取装置に関する。
方向の変位を測定することができる光学式スケー
ル読取装置に関する。
従来より、光の干渉を利用した光学式スケール
読取装置が知られている。この種の装置は、スケ
ールとしてガラス基板上に反射膜を格子状に蒸着
したものを用いるのが普通である。従来のこの種
の装置は、１次元の変位を測定するものであり、
Ｘ，Y2方向の２次元の変位を測定する場合は、
各方向ごとに独立の光学式スケール読取装置が用
いられていた。
読取装置が知られている。この種の装置は、スケ
ールとしてガラス基板上に反射膜を格子状に蒸着
したものを用いるのが普通である。従来のこの種
の装置は、１次元の変位を測定するものであり、
Ｘ，Y2方向の２次元の変位を測定する場合は、
各方向ごとに独立の光学式スケール読取装置が用
いられていた。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもの
で、Ｘ，Y2方向に回折するように構成した回折
格子よりなるスケールを用いて、１個の読取ヘツ
ドでＸ，Y2方向の変位を測定することができる
簡単な構成の光学式スケール読取装置を実現した
ものである。以下、図面を参照して本発明を詳細
に説明する。
で、Ｘ，Y2方向に回折するように構成した回折
格子よりなるスケールを用いて、１個の読取ヘツ
ドでＸ，Y2方向の変位を測定することができる
簡単な構成の光学式スケール読取装置を実現した
ものである。以下、図面を参照して本発明を詳細
に説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図であ
る。同図において、１は可干渉性光源である。該
光源としては、例えば半導体レーザが用いられ
る。L1は、光源１の出力光を集光する第１のレ
ンズである。２は、該レンズの透過光を受ける偏
光キユーブプリズムである。３は、該キユーブプ
リズムの通過光を受ける1/4波長板である。L2
は、該波長板の透過光を受ける第２のレンズであ
る。４は、Ｘ，Y2方向に格子状をなす回折格子
より構成されるスケールである。このようなスケ
ールはホログラフイー、電子ビーム露光等を用い
て２次元に作製される。
る。同図において、１は可干渉性光源である。該
光源としては、例えば半導体レーザが用いられ
る。L1は、光源１の出力光を集光する第１のレ
ンズである。２は、該レンズの透過光を受ける偏
光キユーブプリズムである。３は、該キユーブプ
リズムの通過光を受ける1/4波長板である。L2
は、該波長板の透過光を受ける第２のレンズであ
る。４は、Ｘ，Y2方向に格子状をなす回折格子
より構成されるスケールである。このようなスケ
ールはホログラフイー、電子ビーム露光等を用い
て２次元に作製される。
スケール４に入射した光は、反射する際にＸ，
Y2方向の多モードの回折光を生じる。この反射
回折光は、再びレンズL2，1/4波長板３を経てキ
ユーブプリズム２に入り、該プリズムで反射され
る。反射した光は、結像部Ａで結像する。ａは、
Ｘ，Ｙ両方向の０次、ｂはＹ方向の＋１次、ｃは
Ｘ方向の＋１次、ｄはＹ方向の−１次、ｅはＸ方
向の−１次それぞれ回折光の結像点である。５
は、結像部Ａに置かれた０次回折除去フイルタで
ある。６は、結像部Ａの後方に生じたＸ，Y2方
向の干渉縞である。
Y2方向の多モードの回折光を生じる。この反射
回折光は、再びレンズL2，1/4波長板３を経てキ
ユーブプリズム２に入り、該プリズムで反射され
る。反射した光は、結像部Ａで結像する。ａは、
Ｘ，Ｙ両方向の０次、ｂはＹ方向の＋１次、ｃは
Ｘ方向の＋１次、ｄはＹ方向の−１次、ｅはＸ方
向の−１次それぞれ回折光の結像点である。５
は、結像部Ａに置かれた０次回折除去フイルタで
ある。６は、結像部Ａの後方に生じたＸ，Y2方
向の干渉縞である。
７は、干渉縞６をＸ，Ｙ両方向に分離し位相角
の位置決めを行うスリツトである。８は、スリツ
ト７を通過した干渉縞を受ける受光手段である。
該受光手段は、８分割された受光素子で構成され
ている。受光素子としては、例えばフオトダイオ
ードが用いられる。これら受光素子のうち、X1
乃至X4はＸ方向の変位検出用、Y1乃至Y4はＹ方
向の変位検出用にそれぞれ用いられる。そして、
これら受光素子は、互いに90゜ずつ位相のずれた
信号を出力するように配されている。Ｘ方向の場
合を例にとつて説明すると、受光素子X1を基準
にとつて、X2は90゜、X3は180゜、X4は270゜そ
れぞれ位相の違う信号を出力する。このことは、
Ｙ方向の場合についても全く同様である。
の位置決めを行うスリツトである。８は、スリツ
ト７を通過した干渉縞を受ける受光手段である。
該受光手段は、８分割された受光素子で構成され
ている。受光素子としては、例えばフオトダイオ
ードが用いられる。これら受光素子のうち、X1
乃至X4はＸ方向の変位検出用、Y1乃至Y4はＹ方
向の変位検出用にそれぞれ用いられる。そして、
これら受光素子は、互いに90゜ずつ位相のずれた
信号を出力するように配されている。Ｘ方向の場
合を例にとつて説明すると、受光素子X1を基準
にとつて、X2は90゜、X3は180゜、X4は270゜そ
れぞれ位相の違う信号を出力する。このことは、
Ｙ方向の場合についても全く同様である。
U1は、受光素子X1，X3の出力を受ける差動増
幅器、U2はX2，X4の出力を受ける差動増幅器、
U3はY1，Y3の出力を受ける差動増幅器、U4は
Y2，Y4の出力を受ける差動増幅器である。９
は、差動増幅器U1，U2の出力を受け、Ｘ方向の
スケール移動量及び移動方向を示す信号を出力す
る第１の制御回路、１０は、差動増幅器U3，U4
の出力を受け、Ｙ方向のスケール移動量及び移動
方向を示す信号を出力する第２の制御回路であ
る。１１は、制御回路９の出力を受けてスケール
のＸ方向の移動距離及び移動方向を表示する第１
の表示器、１２は、制御回路１０の出力を受けて
スケールのＹ方向の移動距離及び移動方向を第２
の表示器である。このように構成された装置の動
作を説明すれば、以下のとおりである。
幅器、U2はX2，X4の出力を受ける差動増幅器、
U3はY1，Y3の出力を受ける差動増幅器、U4は
Y2，Y4の出力を受ける差動増幅器である。９
は、差動増幅器U1，U2の出力を受け、Ｘ方向の
スケール移動量及び移動方向を示す信号を出力す
る第１の制御回路、１０は、差動増幅器U3，U4
の出力を受け、Ｙ方向のスケール移動量及び移動
方向を示す信号を出力する第２の制御回路であ
る。１１は、制御回路９の出力を受けてスケール
のＸ方向の移動距離及び移動方向を表示する第１
の表示器、１２は、制御回路１０の出力を受けて
スケールのＹ方向の移動距離及び移動方向を第２
の表示器である。このように構成された装置の動
作を説明すれば、以下のとおりである。
光源１から発射された光は、レンズL1で集光
された後キユーブプリズム２に入射する。キユー
ブプリズムに入射した光のうち、該プリズムと偏
光角が一致した成分のみがプリズムを通過する。
光源１として半導体レーザを用いると大部分が直
線偏光となつているため、殆んど全ての光がプリ
ズム２を通過することができる。そして、キユー
ブプリズム２を通過した光は1/4波長板３に入
る。1/4波長板３に入射した光は、該波長板で円
偏光となる。1/4波長板３を通過した光は、レン
ズL2で集光され、スケール４に照射される。ス
ケール４に入射した光は、反射する際Ｘ，Y2方
向に多モードの回折光を生じさせる。
された後キユーブプリズム２に入射する。キユー
ブプリズムに入射した光のうち、該プリズムと偏
光角が一致した成分のみがプリズムを通過する。
光源１として半導体レーザを用いると大部分が直
線偏光となつているため、殆んど全ての光がプリ
ズム２を通過することができる。そして、キユー
ブプリズム２を通過した光は1/4波長板３に入
る。1/4波長板３に入射した光は、該波長板で円
偏光となる。1/4波長板３を通過した光は、レン
ズL2で集光され、スケール４に照射される。ス
ケール４に入射した光は、反射する際Ｘ，Y2方
向に多モードの回折光を生じさせる。
回折した反射光は、再びレンズL2によつて集
光され、1/4波長板３に入る。反射光は、1/4波長
板３で入射直線偏光と90゜偏光角の異なる直線偏
光となる。従つて、キユーブプリズム２に入射し
た光は今度は全て反射しＡ部で結像する。Ａ部に
生じた多モードの回折光のうち、ａ点に生じた
Ｘ，Ｙ両方向の０次回折光はフイルタ５で除去さ
れる。従つて、結像部Ａの後方に生じた干渉縞６
は、Ｘ，Y2方向について±１次回折光同志が干
渉した干渉縞となり、図に示すような碁盤の目の
ような干渉縞となる。
光され、1/4波長板３に入る。反射光は、1/4波長
板３で入射直線偏光と90゜偏光角の異なる直線偏
光となる。従つて、キユーブプリズム２に入射し
た光は今度は全て反射しＡ部で結像する。Ａ部に
生じた多モードの回折光のうち、ａ点に生じた
Ｘ，Ｙ両方向の０次回折光はフイルタ５で除去さ
れる。従つて、結像部Ａの後方に生じた干渉縞６
は、Ｘ，Y2方向について±１次回折光同志が干
渉した干渉縞となり、図に示すような碁盤の目の
ような干渉縞となる。
スリツト７は、位相角の位置決めを行うと共に
干渉縞をＸ，Y2方向ごとにそれぞれ分離する。
分離された干渉縞は、Ｘ，Ｙ両方向ごとに４分割
された受光素子より構成される受光手段８に照射
される。各受光素子X1〜X4、Y1〜Y4は、それぞ
れ光の明暗に応じた電気信号を発生させる。
干渉縞をＸ，Y2方向ごとにそれぞれ分離する。
分離された干渉縞は、Ｘ，Ｙ両方向ごとに４分割
された受光素子より構成される受光手段８に照射
される。各受光素子X1〜X4、Y1〜Y4は、それぞ
れ光の明暗に応じた電気信号を発生させる。
今、光源１から光が照射されている状態で、ス
ケール４を任意の方向に移動させたとする。この
とき、受光素子X1〜X4、Y1〜Y4に入射する光は
周期的な明暗を生じる。各受光素子は、前述した
ようにそれぞれ90゜ずつ位相がずれた位置に配さ
れているので、これら受光素子の出力はそれぞれ
90゜ずつ位相のずれた正弦波となる。これら受光
素子の出力は、それぞれ続く増幅器U1〜U4に入
力する。ここで、各受光素子X1〜X4、Y1〜Y4の
出力をＰX〜ＰX4、ＰY1〜PPY4とする。
ケール４を任意の方向に移動させたとする。この
とき、受光素子X1〜X4、Y1〜Y4に入射する光は
周期的な明暗を生じる。各受光素子は、前述した
ようにそれぞれ90゜ずつ位相がずれた位置に配さ
れているので、これら受光素子の出力はそれぞれ
90゜ずつ位相のずれた正弦波となる。これら受光
素子の出力は、それぞれ続く増幅器U1〜U4に入
力する。ここで、各受光素子X1〜X4、Y1〜Y4の
出力をＰX〜ＰX4、ＰY1〜PPY4とする。
増幅器U1は、受光素子X1の出力ＰX1を負入力
端子に、受光素子X3の出力ＰX3を正入力端子に受
けて、（ＰX3−ＰX1）に応じた信号を出力する。
一方、増幅器U2は、受光素子X2の出力ＰX2を負
入力端子に、受光素子X4の出力ＰX4を正入力端子
に受けて、（ＰX4−ＰX2）に応じた信号を出力す
る。ＰX1とＰX3及びＰX2とＰX4は互いに180゜位相
のずれた関係にあるから、位置信号成分は２倍に
なり、直流成分は０になるので処理しやすくな
る。そして、その出力波形は図に示すようなもの
となる。増幅器U1，U2の出力は、制御回路９に
入力する。
端子に、受光素子X3の出力ＰX3を正入力端子に受
けて、（ＰX3−ＰX1）に応じた信号を出力する。
一方、増幅器U2は、受光素子X2の出力ＰX2を負
入力端子に、受光素子X4の出力ＰX4を正入力端子
に受けて、（ＰX4−ＰX2）に応じた信号を出力す
る。ＰX1とＰX3及びＰX2とＰX4は互いに180゜位相
のずれた関係にあるから、位置信号成分は２倍に
なり、直流成分は０になるので処理しやすくな
る。そして、その出力波形は図に示すようなもの
となる。増幅器U1，U2の出力は、制御回路９に
入力する。
制御回路９は入力信号E1，E2を波形整形して
パルス化する。E1信号は、スケール４のＸ方向
への移動量に対応したものである。従つて、E1
をパルス化してこれをカウントすれば、スケール
４のＸ方向の移動量が求まる。また、E1とE2の
位相差を利用するとスケール４の移動方向を知る
ことができる。制御回路９で演算処理された、Ｘ
方向の移動距離及び移動方向は、表示器１１で表
示される。移動方向の表示の仕方としては、右方
向を＋、左方向を−と表示する。或いは、この逆
でもよい。以上、Ｘ方向についての変位の測定方
法について述べたが、この間の事情はＹ方向につ
いても全く同様であるので、説明を省略する。
パルス化する。E1信号は、スケール４のＸ方向
への移動量に対応したものである。従つて、E1
をパルス化してこれをカウントすれば、スケール
４のＸ方向の移動量が求まる。また、E1とE2の
位相差を利用するとスケール４の移動方向を知る
ことができる。制御回路９で演算処理された、Ｘ
方向の移動距離及び移動方向は、表示器１１で表
示される。移動方向の表示の仕方としては、右方
向を＋、左方向を−と表示する。或いは、この逆
でもよい。以上、Ｘ方向についての変位の測定方
法について述べたが、この間の事情はＹ方向につ
いても全く同様であるので、説明を省略する。
第２図は、スリツト７の各種の形状を示す図で
ある。受光手段８の形状に応じて種々のものが用
いられる。第３図は、干渉縞受光手段の変形例を
示す図である。同図において、第１図と同一のも
のは同一の番号を付して示す。第３図ａは、受光
手段として２次元CCDイメージセンサを用いた
ものである。図中、２０は第１図で説明した光
源、キユーブプリズム、レンズ等で構成される光
学系である。２１は、CCDを用いた２次元イメ
ージセンサである。イメージセンサには、Ｘ，Ｙ
各方面ごとに駆動用のクロツクが印加される。イ
メージセンサ２１から取出した出力を処理する手
段については、第１図について説明したと同様で
ある。
ある。受光手段８の形状に応じて種々のものが用
いられる。第３図は、干渉縞受光手段の変形例を
示す図である。同図において、第１図と同一のも
のは同一の番号を付して示す。第３図ａは、受光
手段として２次元CCDイメージセンサを用いた
ものである。図中、２０は第１図で説明した光
源、キユーブプリズム、レンズ等で構成される光
学系である。２１は、CCDを用いた２次元イメ
ージセンサである。イメージセンサには、Ｘ，Ｙ
各方面ごとに駆動用のクロツクが印加される。イ
メージセンサ２１から取出した出力を処理する手
段については、第１図について説明したと同様で
ある。
第３図ｂは、結像部Ａを通過した干渉縞を、ハ
ーフミラーを用いてＸ方向とＹ方向に分離して、
各方面ごとにスリツトと受光手段を設けたもので
ある。図中、３０はハーフミラーである。３１，
３２は各方向ごとに設けられたスリツト、３３，
３４は各方向ごとに設けられた受光手段である。
何れの方向をＸ方向或いはＹ方向とするかは、必
要に応じて決めることができる。なお、以上の説
明では、受光手段として各方向ごとに４分割され
た受光素子を用いた場合を例にとつたが４分割に
限る必要はない。最小２分割のものであれば、目
的を達することができる。
ーフミラーを用いてＸ方向とＹ方向に分離して、
各方面ごとにスリツトと受光手段を設けたもので
ある。図中、３０はハーフミラーである。３１，
３２は各方向ごとに設けられたスリツト、３３，
３４は各方向ごとに設けられた受光手段である。
何れの方向をＸ方向或いはＹ方向とするかは、必
要に応じて決めることができる。なお、以上の説
明では、受光手段として各方向ごとに４分割され
た受光素子を用いた場合を例にとつたが４分割に
限る必要はない。最小２分割のものであれば、目
的を達することができる。
以上詳細に説明したように、本発明によれば
Ｘ，Y2方向に回折するように構成した回折格子
よりなるスケールを用いて、１個の読取ヘツドで
Ｘ，Y2方向の変位を測定することのできる光学
式スケール読取装置を実現することができる。本
発明装置を用いれば、１次元の変位を測定する際
に、移動方向とスケールの方向のずれから生じる
コサイン（COS）エラーを補正することができ
る。
Ｘ，Y2方向に回折するように構成した回折格子
よりなるスケールを用いて、１個の読取ヘツドで
Ｘ，Y2方向の変位を測定することのできる光学
式スケール読取装置を実現することができる。本
発明装置を用いれば、１次元の変位を測定する際
に、移動方向とスケールの方向のずれから生じる
コサイン（COS）エラーを補正することができ
る。
また、スケールが光軸方向に少し動いても像は
ぼけないし、特定の条件を満足すれば、干渉縞の
ピツチも変らない。さらに分解能も優れている。
ぼけないし、特定の条件を満足すれば、干渉縞の
ピツチも変らない。さらに分解能も優れている。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図であ
る。第２図は、スリツトの形状を示す図である。
第３図は、本発明の他の実施例を示す図である。 １……光源、２……偏光キユーブプリズム、３
……1/4波長板、４……スケール、５……フイル
タ、６……干渉縞、７……スリツト、８……受光
手段、９，１０……制御回路、１１，１２……表
示器、２０……光学系、２１……CCDイメージ
センサ、３０…ハーフミラー、３１，３２……ス
リツト、３３，３４……受光手段、L1，L2……
レンズ、U1〜U4……増幅器。
る。第２図は、スリツトの形状を示す図である。
第３図は、本発明の他の実施例を示す図である。 １……光源、２……偏光キユーブプリズム、３
……1/4波長板、４……スケール、５……フイル
タ、６……干渉縞、７……スリツト、８……受光
手段、９，１０……制御回路、１１，１２……表
示器、２０……光学系、２１……CCDイメージ
センサ、３０…ハーフミラー、３１，３２……ス
リツト、３３，３４……受光手段、L1，L2……
レンズ、U1〜U4……増幅器。
Claims (1)
- １ 可干渉性光源を光学系を介して２次元の回折
格子よりなるスケールに照射し、照射した光が反
射または透過する際に生じる多モードの回折光の
うちの特定モードの回折光同志が干渉する際に生
じる干渉縞を１つの受光手段、またはＸ，Ｙ各方
向ごとに設けられた受光手段で受け、これら受光
手段の出力を演算処理して、Ｘ方向及びＹ方向ご
とにスケールの移動距離及び移動量に対応した信
号を出力するようにしたことを特徴とする光学式
スケール読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200596A JPS58100703A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200596A JPS58100703A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58100703A JPS58100703A (ja) | 1983-06-15 |
| JPS6213603B2 true JPS6213603B2 (ja) | 1987-03-27 |
Family
ID=16426979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56200596A Granted JPS58100703A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58100703A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6433613U (ja) * | 1987-08-20 | 1989-03-02 | ||
| JP2562479B2 (ja) * | 1988-04-25 | 1996-12-11 | 株式会社 ミツトヨ | 反射式ｘｙエンコーダ |
| JPH01291194A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | Ｘ−ｙテーブル |
| JPH01291101A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | Ｎ次元エンコーダ |
| US7134343B2 (en) * | 2003-07-25 | 2006-11-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Opto-acoustoelectric device and methods for analyzing mechanical vibration and sound |
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Citations (1)
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| JPS4991260A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-08-31 |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP56200596A patent/JPS58100703A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4991260A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-08-31 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58100703A (ja) | 1983-06-15 |
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