JPS6110716A - 光電式エンコ−ダ - Google Patents
光電式エンコ−ダInfo
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- JPS6110716A JPS6110716A JP13149984A JP13149984A JPS6110716A JP S6110716 A JPS6110716 A JP S6110716A JP 13149984 A JP13149984 A JP 13149984A JP 13149984 A JP13149984 A JP 13149984A JP S6110716 A JPS6110716 A JP S6110716A
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- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims abstract description 11
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、光電式のエンコーダ、特に、回折格子を用い
たエンコーダに関する。
たエンコーダに関する。
（発明の背景）
従来の一般的な光電式インクリメンタルエンコーダにお
いては、より精密な測定のために、出力波形を内挿する
ことによってエンコーダのスケールよりも小さな値の測
定を可能としている。しかしながら、従来のエンコーダ
においてはその出力波形が完全な正弦波ではなく、出力
波形の内挿による測定には精度上限界があった。
いては、より精密な測定のために、出力波形を内挿する
ことによってエンコーダのスケールよりも小さな値の測
定を可能としている。しかしながら、従来のエンコーダ
においてはその出力波形が完全な正弦波ではなく、出力
波形の内挿による測定には精度上限界があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、完全な正弦波形が得られる光型式エン
コーダを提供し、より精密な測定を可能とすることにあ
る。
コーダを提供し、より精密な測定を可能とすることにあ
る。
（発明の概要）
本発明による光電式エンコーダは、コヒーレント光源と
、該コヒーレント光源からの光束を収束する照明対物レ
ンズと、該照明対物レンズによる収束光に対して相対的
に移動可能な回折格子板と、該回折格子板による回折光
を集光する集光対物レンズと、該集光対物レンズの射出
瞳の近傍に配置された２分割受光素子とを有し、該２分
割受光素子の分割線が該集光対物レンズの光軸と交わり
前記回折格子の溝方向と平行になるよう配置され、更に
該２分割受光素子からあ各出力信号の差信号と和信号と
を出力する演算手段を有するものである。
、該コヒーレント光源からの光束を収束する照明対物レ
ンズと、該照明対物レンズによる収束光に対して相対的
に移動可能な回折格子板と、該回折格子板による回折光
を集光する集光対物レンズと、該集光対物レンズの射出
瞳の近傍に配置された２分割受光素子とを有し、該２分
割受光素子の分割線が該集光対物レンズの光軸と交わり
前記回折格子の溝方向と平行になるよう配置され、更に
該２分割受光素子からあ各出力信号の差信号と和信号と
を出力する演算手段を有するものである。
このような本発明の構成において、２分割受光素子によ
ってそれぞれに入射するプラス１次及びマイナス１次の
回折光の強度を検出し、演算手段によって両受光素子の
出力信号の差及び和の信号を求めれば、これらの信号が
互いに９，０°だけ位相のずれた完全な正弦波形となる
のである。従って、２分割受光素子による信号の差及び
和信号を用いれば、照明対物レンズによる収束光束と回
折格子板との相対的移動方向を弁別し得ると共に、相対
的移動量を内挿によって極めて精密に測定することが可
能である。
ってそれぞれに入射するプラス１次及びマイナス１次の
回折光の強度を検出し、演算手段によって両受光素子の
出力信号の差及び和の信号を求めれば、これらの信号が
互いに９，０°だけ位相のずれた完全な正弦波形となる
のである。従って、２分割受光素子による信号の差及び
和信号を用いれば、照明対物レンズによる収束光束と回
折格子板との相対的移動方向を弁別し得ると共に、相対
的移動量を内挿によって極めて精密に測定することが可
能である。
（実施例）
以下、本発明を図示した実施例に基づいて説明する。第
１図は回折格子板として反射型位相回折格子を用いた実
施例の概略構成を示す光学構成図である。コヒーレント
光源としてのレーザーダイオード１からの光束は、コリ
メーターレンズ２によって平行光束に変換され、半透過
プリズム３を通過して対物レンズ４により回折格子板５
上に集光される。回折格子板５には、第１図中にて紙面
に垂直方向の溝からなる反射型の位相回折格子が形成さ
れている。回折格子板５で反射された光束は再び対物レ
ンズ４に入射して平行光束に変換され、半透過プリズム
３で反射されて、半透過プリズム３の射出面側に配置さ
れた２分割受光素子６に入射する。２分割受光素子６の
位置は対物レンズ４の射出側瞳Ｆの近傍に配置されるこ
とが望ましいが、対物レンズ４からの光束がほぼ平行光
束であるため上記の位置でも実用上の問題は無い。
１図は回折格子板として反射型位相回折格子を用いた実
施例の概略構成を示す光学構成図である。コヒーレント
光源としてのレーザーダイオード１からの光束は、コリ
メーターレンズ２によって平行光束に変換され、半透過
プリズム３を通過して対物レンズ４により回折格子板５
上に集光される。回折格子板５には、第１図中にて紙面
に垂直方向の溝からなる反射型の位相回折格子が形成さ
れている。回折格子板５で反射された光束は再び対物レ
ンズ４に入射して平行光束に変換され、半透過プリズム
３で反射されて、半透過プリズム３の射出面側に配置さ
れた２分割受光素子６に入射する。２分割受光素子６の
位置は対物レンズ４の射出側瞳Ｆの近傍に配置されるこ
とが望ましいが、対物レンズ４からの光束がほぼ平行光
束であるため上記の位置でも実用上の問題は無い。
２分割受光素子６は、第２図の平面図に示す如く、半円
形状の２個の受光素子６ａ、 ６ｂからなり、その分割
線６ｃは対物レンズ４の光軸４ａと交差し且つ回折格子
板５の溝方向に平行に配置されている。２分割受光素子
６ａ、６ｂからの出力はそれぞれ演算手段１０に入力さ
れ、両受光素子からの出力信号の差を検出する差回路１
１と、和を検出する和回路１２とにより、差信号及び和
信号が求められる。差信号及び和信号は方向弁別回路１
３及び内挿回路１４に入力され、方向弁別回路１３によ
り回折格子板５の相対的移動方向が判別され、内挿回路
１４により回折格子板５の移動量が内挿により精密に検
出される。
形状の２個の受光素子６ａ、 ６ｂからなり、その分割
線６ｃは対物レンズ４の光軸４ａと交差し且つ回折格子
板５の溝方向に平行に配置されている。２分割受光素子
６ａ、６ｂからの出力はそれぞれ演算手段１０に入力さ
れ、両受光素子からの出力信号の差を検出する差回路１
１と、和を検出する和回路１２とにより、差信号及び和
信号が求められる。差信号及び和信号は方向弁別回路１
３及び内挿回路１４に入力され、方向弁別回路１３によ
り回折格子板５の相対的移動方向が判別され、内挿回路
１４により回折格子板５の移動量が内挿により精密に検
出される。
さて、回折格子板５の反射型位相格子が、第３図の断面
図に示す如く、ピッチＰ１一つの山に相当する部分の幅
をＷ、溝の深さをｄとすると、受光素子ら上に現れる回
折パターンは、第４図の如くなる。即ち、対物レンズ４
の開口数をＮＡとすると、受光素子６上の面内で、半径
ＮＡの直接反射光Ｄ０が対物レンズ４の光軸４ａを中心
として到達する。
図に示す如く、ピッチＰ１一つの山に相当する部分の幅
をＷ、溝の深さをｄとすると、受光素子ら上に現れる回
折パターンは、第４図の如くなる。即ち、対物レンズ４
の開口数をＮＡとすると、受光素子６上の面内で、半径
ＮＡの直接反射光Ｄ０が対物レンズ４の光軸４ａを中心
として到達する。
この直接反射光Ｄ０が対物レンズ４の瞳に相当する。
そして、この両側に同じく半径ＮＡのプラス１次及びマ
イナス１次の回折光０４１１０−１が到達し、さらにそ
の両側には同じく半径ＮＡのプラス２次及びマイナス２
次の回折光［１＋ ｚ ＋ロー、が達する。ここで、直
接光Ｄ０と±ｍ次の回折光り、、、Ｄ−いとの距離は、
光線の波長をλとして、それぞれ ｍλ／Ｐ と表される。尚、２分割受光素子６は第４図に点線で示
す如く、半径ＮＡの直接反射光Ｄ０の領域、即ち対物レ
ンズ４の瞳に対応する大きさを有し、その分割線６ｃは
回折パターンの広がる方向と直交する如く配置されてい
る。
イナス１次の回折光０４１１０−１が到達し、さらにそ
の両側には同じく半径ＮＡのプラス２次及びマイナス２
次の回折光［１＋ ｚ ＋ロー、が達する。ここで、直
接光Ｄ０と±ｍ次の回折光り、、、Ｄ−いとの距離は、
光線の波長をλとして、それぞれ ｍλ／Ｐ と表される。尚、２分割受光素子６は第４図に点線で示
す如く、半径ＮＡの直接反射光Ｄ０の領域、即ち対物レ
ンズ４の瞳に対応する大きさを有し、その分割線６ｃは
回折パターンの広がる方向と直交する如く配置されてい
る。
いま、回折格子板５が対物レンズ４による集光光束に対
してＸだけ移動したとすると、このときの受光素子６上
、即ち対物レンズ４の瞳位置における回折パターンの強
度変化を求めてみる。まず、第４図に示した直接光（０
次光）Ｄｏにおける振幅ＵＡは、Ｘに関係無く、 と与えられる。次ぎに、＋１次及び−１次の回折光り、
、、Ｄ−、における振幅ＩＪｍ、ＩＪｃは、各々、Ｐ
λ π Ｐ π Ｐ と与えられる。
してＸだけ移動したとすると、このときの受光素子６上
、即ち対物レンズ４の瞳位置における回折パターンの強
度変化を求めてみる。まず、第４図に示した直接光（０
次光）Ｄｏにおける振幅ＵＡは、Ｘに関係無く、 と与えられる。次ぎに、＋１次及び−１次の回折光り、
、、Ｄ−、における振幅ＩＪｍ、ＩＪｃは、各々、Ｐ
λ π Ｐ π Ｐ と与えられる。
ここで、直接光（０次光）Ｄｏと＋１次の回折光Ｄ□及
び−１次の回折光Ｄ−＋との重複部分の振幅は、それぞ
れ、Ｕ６ ＋Ｕ１ 、Ｕａ ”Ｕｃで与えられる。
び−１次の回折光Ｄ−＋との重複部分の振幅は、それぞ
れ、Ｕ６ ＋Ｕ１ 、Ｕａ ”Ｕｃで与えられる。
一般に、強度は振幅の絶対値の２乗で与えられるから、
第４図に示した如き回折光の受光素子６上における全光
強度Ｉ、は、直接光Ｄ０の領域面積をａい２分割受光素
子上における＋１次の回折光り、Ｉ及び−１次の回折光
Ｄ−１の領域面積（第４図中クロスハンチングで示され
る領域の面積）を共に８２とすると、 Ｉｔ ＝ａ、 ｌ ＵＡ ｌ” ＋ａｚｌ ｔＪ、
＋ｌＪ、 １ｚ＋ａｔｌ ＵＡ＋Ｕｃ １２ （
４）と表される。ここで、ＩＵＡＩ”は回折格子板の移
動量Ｘに依存しないので、この項を定数Ｃとおける。よ
って、 Ｉｔ ＝Ｃ＋ａｚｌ ｔＪＡ十ｕ、 ｌ”十ａ、 ｌ
Ｕａ ”Ｕｃ ｌ ２（５）となる。
第４図に示した如き回折光の受光素子６上における全光
強度Ｉ、は、直接光Ｄ０の領域面積をａい２分割受光素
子上における＋１次の回折光り、Ｉ及び−１次の回折光
Ｄ−１の領域面積（第４図中クロスハンチングで示され
る領域の面積）を共に８２とすると、 Ｉｔ ＝ａ、 ｌ ＵＡ ｌ” ＋ａｚｌ ｔＪ、
＋ｌＪ、 １ｚ＋ａｔｌ ＵＡ＋Ｕｃ １２ （
４）と表される。ここで、ＩＵＡＩ”は回折格子板の移
動量Ｘに依存しないので、この項を定数Ｃとおける。よ
って、 Ｉｔ ＝Ｃ＋ａｚｌ ｔＪＡ十ｕ、 ｌ”十ａ、 ｌ
Ｕａ ”Ｕｃ ｌ ２（５）となる。
また、２分割受光素子の一方６ａ及び他方６ｂのそれぞ
れにおける光強度の差１．は、 １ｓ ＝ｌＵａ ＋０ｍ ｌ”−ＩＵＡ ＋Ｕｃｉ”
（６）と与えられる。
れにおける光強度の差１．は、 １ｓ ＝ｌＵａ ＋０ｍ ｌ”−ＩＵＡ ＋Ｕｃｉ”
（６）と与えられる。
これら（５）式及び（６）式に、上記（１） （２）
（３）式を代入すると、２分割受光素子６ａ及び６ｂの
各々における光強度の和、即ち全光強度■１はＩ ｔ
−Ｃ’ ＣＤ ＋ Ａ ｃｏｓ（２ｙｒｘ／Ｐ））
（７）と表される。但し、Ｃ′は定数、ＤはＸに
依存しない言わば直流成分を表す定数であり、Ａは、Ｗ Ｘ（−−１＞ である。
（３）式を代入すると、２分割受光素子６ａ及び６ｂの
各々における光強度の和、即ち全光強度■１はＩ ｔ
−Ｃ’ ＣＤ ＋ Ａ ｃｏｓ（２ｙｒｘ／Ｐ））
（７）と表される。但し、Ｃ′は定数、ＤはＸに
依存しない言わば直流成分を表す定数であり、Ａは、Ｗ Ｘ（−−１＞ である。
また、２分割受光素子６ａ及び６ｂのそれぞれにおける
光強度の差Ｉ、は π Ｐ λ２πＸ Ｘ５ｉｎ（） （８） となる。
光強度の差Ｉ、は π Ｐ λ２πＸ Ｘ５ｉｎ（） （８） となる。
（７）弐及び（８）式かられかる様に、２分割受光素子
６ａ、６ｂの和出力と差出力は、回折格子板５の移動量
Ｘの変化に対して、互いに９０°だけ位相の異なる完全
な正弦波形となることが明らがである。
６ａ、６ｂの和出力と差出力は、回折格子板５の移動量
Ｘの変化に対して、互いに９０°だけ位相の異なる完全
な正弦波形となることが明らがである。
従って、２分割受光素子の和出力と差出力との信号を用
いれば、回折格子板と対物レンズによる集光光束との相
対的移動方向の弁別が可能であると共に、完全な正弦波
形であるために出力波形の分割が無限にでき内挿による
極めて精密な測定を行うことが可能である。
いれば、回折格子板と対物レンズによる集光光束との相
対的移動方向の弁別が可能であると共に、完全な正弦波
形であるために出力波形の分割が無限にでき内挿による
極めて精密な測定を行うことが可能である。
但し、本発明においては、２分割受光素子６ａ６ｂ上に
＋１次の回折光がそれぞれ重複すること無く到達し、し
かも±２次以上の回折光が２分割受光素子上に入射しな
いことが必要である。このために、対物レンズ４の開口
数をＮＡ、位相型回折格子のピンチをＰ、コヒーレント
光源からの波長をλとするとき、 λ λ の条件を満たすことが望ましい。この条件の範囲内であ
れば、２分割受光素子上には０次回折光と＋１次の回折
光のみが入射し、上述の関係が厳密に成り立つ。
＋１次の回折光がそれぞれ重複すること無く到達し、し
かも±２次以上の回折光が２分割受光素子上に入射しな
いことが必要である。このために、対物レンズ４の開口
数をＮＡ、位相型回折格子のピンチをＰ、コヒーレント
光源からの波長をλとするとき、 λ λ の条件を満たすことが望ましい。この条件の範囲内であ
れば、２分割受光素子上には０次回折光と＋１次の回折
光のみが入射し、上述の関係が厳密に成り立つ。
また、２分割受光素子の差出力を表した（８）式かられ
かる通り、回折格子の溝の深さｄがｄ＝ｎ！／４
（ｎ＝ｏ、１，２．−） （１０）となると差信号の
出力が常にゼロとなってしまうので、この値の近辺は避
けるべきである。
かる通り、回折格子の溝の深さｄがｄ＝ｎ！／４
（ｎ＝ｏ、１，２．−） （１０）となると差信号の
出力が常にゼロとなってしまうので、この値の近辺は避
けるべきである。
以上のごとき実施例においては、コリメーターレンズ２
と対物レンズ４が、照明対物レンズの機能を有し、対物
レンズ４は集光対物レンズとしての機能をも同時に兼ね
ており、照明光と検出光とを分離するために半透過プリ
ズム３を用いたが、これは回折格子板５が反射型である
ためである。
と対物レンズ４が、照明対物レンズの機能を有し、対物
レンズ４は集光対物レンズとしての機能をも同時に兼ね
ており、照明光と検出光とを分離するために半透過プリ
ズム３を用いたが、これは回折格子板５が反射型である
ためである。
回折格子板を透過型とする場合には、照明対物レンズと
別に集光対物レンズを設ける必要があり、この場合には
半透過プリズムは特に設ける必要がない。尚、２分割受
光素子は集光対物レンズの射出瞳の位置に配置されるこ
とが最も望ましいが、厳密に瞳位置に一致させる必要は
無い。例えば、第１図に示したごとく、対物レンズ４か
ら２分割受光素子へ向かう光束が平行光束である場合に
は、２分割受光素子は対物レンズ４の瞳位置Ｆからかな
り離れていても実用上は十分である。
別に集光対物レンズを設ける必要があり、この場合には
半透過プリズムは特に設ける必要がない。尚、２分割受
光素子は集光対物レンズの射出瞳の位置に配置されるこ
とが最も望ましいが、厳密に瞳位置に一致させる必要は
無い。例えば、第１図に示したごとく、対物レンズ４か
ら２分割受光素子へ向かう光束が平行光束である場合に
は、２分割受光素子は対物レンズ４の瞳位置Ｆからかな
り離れていても実用上は十分である。
（発明の効果）
以上の如く、本発明によれば２分割受光素子による出力
の差及び和の信号から完全な正弦波形が得られるため、
内挿による測定を極めて正確に行うことができ、しかも
比較的簡単な構成の光電式エンコーダが達成される。
の差及び和の信号から完全な正弦波形が得られるため、
内挿による測定を極めて正確に行うことができ、しかも
比較的簡単な構成の光電式エンコーダが達成される。
第１図は本発明による実施例の概略構成を示す光学構成
図、第２図は２分割受光素子の平面図、第３図は回折格
子板の断面図、第４図は２分割受光素子の受光面上にお
ける回折パターンの様子を示す平面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １・・・コヒーレント光源 ４・・・対物レンズ ５・・・回折格子板 Ｆ・・・対物レンズの射出瞳 ６．６ａ、６ｂ・・・２分割受光素子 ６ｃ・・・２分割受光素子の分割線 １０・・・演算手段 第３図 第４図
図、第２図は２分割受光素子の平面図、第３図は回折格
子板の断面図、第４図は２分割受光素子の受光面上にお
ける回折パターンの様子を示す平面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １・・・コヒーレント光源 ４・・・対物レンズ ５・・・回折格子板 Ｆ・・・対物レンズの射出瞳 ６．６ａ、６ｂ・・・２分割受光素子 ６ｃ・・・２分割受光素子の分割線 １０・・・演算手段 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、コヒーレント光源と、該コヒーレント光源からの光
束を収束する照明対物レンズと、該照明対物レンズによ
る収束光に対して相対的に移動可能な回折格子板と、該
回折格子板による回折光を集光する集光対物レンズと、
該集光対物レンズの射出瞳の近傍に配置された２分割受
光素子とを有し、該２分割受光素子の分割線が該集光対
物レンズの光軸と交わり前記回折格子の溝方向と平行に
なるよう配置され、更に該２分割受光素子からの各出力
信号の差信号と和信号とを出力する演算手段を有するこ
とを特徴とする光電式エンコーダ。 ２、特許請求の範囲第１項記載の光電式エンコーダにお
いて、該回折格子板の回折格子は位相型回折格子であり
、該集光対物レンズの開口数をＮＡ、該位相型回折格子
のピッチをＰ、該位相型回折格子の溝の深さをｄ、前記
コヒーレント光源からの波長をλとするとき、 λ／（２Ｐ）＜ＮＡ＜λ／Ｐ ｄ≠ｎλ／４（ｎ＝０、１、２、・・・） の条件を満たすことを特徴とする光電式エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13149984A JPS6110716A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 光電式エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13149984A JPS6110716A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 光電式エンコ−ダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110716A true JPS6110716A (ja) | 1986-01-18 |
Family
ID=15059436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13149984A Pending JPS6110716A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 光電式エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6110716A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01282420A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-14 | Canon Inc | 光学式エンコーダ |
| US5369271A (en) * | 1992-03-13 | 1994-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotation detector using dual position interference light |
| US5483059A (en) * | 1992-09-30 | 1996-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Signal processing method using comparator level adjustment in a displacement measuring device |
| US5559602A (en) * | 1992-03-13 | 1996-09-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotation measuring apparatus and displacement measuring apparatus |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP13149984A patent/JPS6110716A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01282420A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-14 | Canon Inc | 光学式エンコーダ |
| US5369271A (en) * | 1992-03-13 | 1994-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotation detector using dual position interference light |
| US5559602A (en) * | 1992-03-13 | 1996-09-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotation measuring apparatus and displacement measuring apparatus |
| US5483059A (en) * | 1992-09-30 | 1996-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Signal processing method using comparator level adjustment in a displacement measuring device |
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