JPH01277320A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01277320A JPH01277320A JP10637388A JP10637388A JPH01277320A JP H01277320 A JPH01277320 A JP H01277320A JP 10637388 A JP10637388 A JP 10637388A JP 10637388 A JP10637388 A JP 10637388A JP H01277320 A JPH01277320 A JP H01277320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- medium
- iron carbide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 46
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910001567 cementite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 2
- KSOKAHYVTMZFBJ-UHFFFAOYSA-N iron;methane Chemical compound C.[Fe].[Fe].[Fe] KSOKAHYVTMZFBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 6
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 abstract 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001337 iron nitride Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- QMQXDJATSGGYDR-UHFFFAOYSA-N methylidyneiron Chemical compound [C].[Fe] QMQXDJATSGGYDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気記録媒体に関するもので、特に磁気記録層
が薄膜であるようなカード状、テープ状あるいはディス
ク状の磁気記録媒体に関する。
が薄膜であるようなカード状、テープ状あるいはディス
ク状の磁気記録媒体に関する。
従来の技術
近年に限らず磁気記録媒体の発展とは即ち記録密度の向
上、信頼性の向上及び低価格化である。
上、信頼性の向上及び低価格化である。
まず磁性層の形態については、記録密度の点で薄膜型媒
体の方が塗布型媒体より有利であるとされている。従っ
て薄膜型媒体での塗布型媒体と同程度かそれ以上の耐久
性と低価格の実現が、強く望まれている０次に強磁性素
材については、金属系素材は一般的に磁気特性の面で酸
化物系素材より優れているが、大気中では徐々に酸化さ
れて劣化してゆ（欠点を持つ、しかるに化学的に安定で
ある窒化鉄や炭化鉄は金属系素材と同程度の磁気特性を
持つとされており、しかも金属系素材よりも安価である
。そこで近年、窒化鉄や炭化鉄で薄膜型の記録媒体を実
現しようとする試みがなされている。〔例えば、「化学
と工業」 第３８巻第７号 ５２７〜５３０ページ 又
は ジャパニーズ ジャーナル オブ アプライド フ
ィジックス 第２６ｔｉ 第１号 Ｌ２８〜Ｌ３１ペ
ージ（Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐ
ｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｖｏｌ、２６Ｎｏ、１
ｐｐ１２８−１３１）等〕 発明が解決しようとする課題 上記のように化学的に安定な化合物系磁性材を用いて、
薄膜型磁気記録媒体を作製すれば、安定で磁気特性の良
い磁気記録媒体が作製できるが、ガラスやアルミニウム
基板の上に直接成膜したのでは、高密度記録の際に重要
になる角形比の良い膜が得られないという問題点を有し
ていた。
体の方が塗布型媒体より有利であるとされている。従っ
て薄膜型媒体での塗布型媒体と同程度かそれ以上の耐久
性と低価格の実現が、強く望まれている０次に強磁性素
材については、金属系素材は一般的に磁気特性の面で酸
化物系素材より優れているが、大気中では徐々に酸化さ
れて劣化してゆ（欠点を持つ、しかるに化学的に安定で
ある窒化鉄や炭化鉄は金属系素材と同程度の磁気特性を
持つとされており、しかも金属系素材よりも安価である
。そこで近年、窒化鉄や炭化鉄で薄膜型の記録媒体を実
現しようとする試みがなされている。〔例えば、「化学
と工業」 第３８巻第７号 ５２７〜５３０ページ 又
は ジャパニーズ ジャーナル オブ アプライド フ
ィジックス 第２６ｔｉ 第１号 Ｌ２８〜Ｌ３１ペ
ージ（Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐ
ｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｖｏｌ、２６Ｎｏ、１
ｐｐ１２８−１３１）等〕 発明が解決しようとする課題 上記のように化学的に安定な化合物系磁性材を用いて、
薄膜型磁気記録媒体を作製すれば、安定で磁気特性の良
い磁気記録媒体が作製できるが、ガラスやアルミニウム
基板の上に直接成膜したのでは、高密度記録の際に重要
になる角形比の良い膜が得られないという問題点を有し
ていた。
本発明は上記問題点に鑑み、より良い角形比を備えた磁
気記録媒体を提供するものである。
気記録媒体を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体は、
強磁性素材として複数の化合物系磁性材を用いた薄膜型
媒体に、下地層を設けるという構成を備えたものである
。
強磁性素材として複数の化合物系磁性材を用いた薄膜型
媒体に、下地層を設けるという構成を備えたものである
。
作用
本発明は上記した構成によって、磁性層中の磁性体の磁
化容易方向を特定の向きに揃えて、媒体の角形化〔飽和
磁束に対する残留磁束の比〕を向上させ、媒体の記録密
度を高めることとなる。
化容易方向を特定の向きに揃えて、媒体の角形化〔飽和
磁束に対する残留磁束の比〕を向上させ、媒体の記録密
度を高めることとなる。
実施例
以下、本発明の第１の実施例の磁気記録媒体について表
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第１表は本発明の第１の実施例における磁気記録媒体の
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
第１表
従来例は、磁場を有した高周波プラズマ気相成長装置を
用いて、ガラス基板上に炭化鉄（Ｆｅａ Ｃ）と炭化鉄
（Ｆｅ５Ｃ，）の混合物薄膜を作製したもの０本実施例
は、高周波スパッタ装置を用いて予め１０００人程度０
クロム薄膜を従来例とおなしガラス基板上に形成した基
板を使用したこと以外、従来例と同一の条件で作製した
ものである。
用いて、ガラス基板上に炭化鉄（Ｆｅａ Ｃ）と炭化鉄
（Ｆｅ５Ｃ，）の混合物薄膜を作製したもの０本実施例
は、高周波スパッタ装置を用いて予め１０００人程度０
クロム薄膜を従来例とおなしガラス基板上に形成した基
板を使用したこと以外、従来例と同一の条件で作製した
ものである。
以下、本発明の第２の実施例の磁気記録媒体について表
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第２表
第２表は本発明の第２の実施例における磁気記録媒体の
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
従来例は、磁場を有した高周波プラズマ気相成長装置を
用いて、ガラス基板上に５００人程０の炭化鉄（Ｆｅ、
Ｃ）と５０人程度の純鉄を、交互に１０層積層させたも
の０本実施例は、高周波スパッタ装置を用いて予め１０
００人程度０クタン薄膜を、従来例とおなしガラス板上
に形成した基板を使用したこと以外、従来例と同一の条
件で作製したものである。
用いて、ガラス基板上に５００人程０の炭化鉄（Ｆｅ、
Ｃ）と５０人程度の純鉄を、交互に１０層積層させたも
の０本実施例は、高周波スパッタ装置を用いて予め１０
００人程度０クタン薄膜を、従来例とおなしガラス板上
に形成した基板を使用したこと以外、従来例と同一の条
件で作製したものである。
以下、本発明の第３の実施例の磁気記録媒体について表
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第３表
第３表は本発明の第３の実施例における磁気記録媒体の
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
従来例は、磁場を有した高周波プラズマ気相成長装置を
用いて、ガラス基板上に炭化鉄（ＦｅａＣ）と炭化鉄（
Ｆｅ５ ｃ２）と、窒化鉄（Ｆｅ４Ｎ）との混合物薄膜
を作製したもの０本実施例は高周波スパッタ装置を用い
て予め１０００人程度０クングステン薄膜を、従来例と
おなしガラス板上に形成した基板を使用したこと以外、
従来例と同一の条件で作製したものである。
用いて、ガラス基板上に炭化鉄（ＦｅａＣ）と炭化鉄（
Ｆｅ５ ｃ２）と、窒化鉄（Ｆｅ４Ｎ）との混合物薄膜
を作製したもの０本実施例は高周波スパッタ装置を用い
て予め１０００人程度０クングステン薄膜を、従来例と
おなしガラス板上に形成した基板を使用したこと以外、
従来例と同一の条件で作製したものである。
以下、本発明の第４の実施例の磁気記録媒体について表
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第４表は本発明の第４の実施例における磁気記録媒体の
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
磁気特性を、従来の下地層を有していない磁気記録媒体
のそれと比較したものである。
従来例は、磁場を有した高周波プラズマ気相成長装置を
用いて、ガラス基板上に炭化鉄（ＦｅａＣ）と炭化鉄（
Ｆｅ５ ｃ２）の混合物薄膜を作製したもの０本実施例
は、高周波スパッタ装置を用いて、予め１０００人程度
０ニッケル・クロム薄膜を、従来例とおなしガラス板上
に形成した基板を使用したこと以外、従来例と同一の条
件で作製したものである。
用いて、ガラス基板上に炭化鉄（ＦｅａＣ）と炭化鉄（
Ｆｅ５ ｃ２）の混合物薄膜を作製したもの０本実施例
は、高周波スパッタ装置を用いて、予め１０００人程度
０ニッケル・クロム薄膜を、従来例とおなしガラス板上
に形成した基板を使用したこと以外、従来例と同一の条
件で作製したものである。
（以 下 余 白）
第４表
以上のように本実施例によれば、強磁性素材として複数
の化合物系磁性を用いた薄膜型媒体に下地層を設けるこ
とにより、磁性薄膜の角形比を向上させることができる
。
の化合物系磁性を用いた薄膜型媒体に下地層を設けるこ
とにより、磁性薄膜の角形比を向上させることができる
。
なお、以上の実施例において磁性薄膜の制作プロセスは
、磁場を有した高周波プラズマ気相成長法を用いたが、
製作プロセスは他の化学的気相成長法でもよく、またス
パッタ法等の物理的気相成長法でもよいし、メツキ法等
を用いてもよい。
、磁場を有した高周波プラズマ気相成長法を用いたが、
製作プロセスは他の化学的気相成長法でもよく、またス
パッタ法等の物理的気相成長法でもよいし、メツキ法等
を用いてもよい。
また、下地層の厚さは総て１０００人程度０ニたが、５
００人あるいは５０００人程度０下地層によっても、は
ぼ同程度の効果かえられた。
００人あるいは５０００人程度０下地層によっても、は
ぼ同程度の効果かえられた。
発明の効果
以上のように本発明は、強磁性素材として複数の化合物
系磁性材を用いた薄膜型媒体に、下地層を設けることに
より、媒体の角形比〔飽和磁束に対する残留磁束の比〕
を向上させ、高密度記録に適した磁気記録媒体を提供す
ることができる。
系磁性材を用いた薄膜型媒体に、下地層を設けることに
より、媒体の角形比〔飽和磁束に対する残留磁束の比〕
を向上させ、高密度記録に適した磁気記録媒体を提供す
ることができる。
Claims (2)
- （１）強磁性素材として複数の化合物系磁性材を用いた
薄膜型媒体に、下地層を設けたことを特徴とする磁気記
録媒体。 - （２）強磁性素材が、炭化鉄〔Ｆｅ＿３Ｃ〕と炭化鉄〔
Ｆｅ＿５Ｃ＿２〕の混合物であり、下地層がクロム、チ
タン、タングステン、ニッケル・クロムのいずれかであ
ることを特徴とする請求項（１）記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10637388A JPH01277320A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10637388A JPH01277320A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01277320A true JPH01277320A (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=14431919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10637388A Pending JPH01277320A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01277320A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256717A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6361411A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6460814A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Nec Corp | Magnetic memory body |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP10637388A patent/JPH01277320A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6361411A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6460814A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Nec Corp | Magnetic memory body |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256717A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0304927B1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
| KR100644177B1 (ko) | 수직 자기 기록 매체 | |
| JPH01277320A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0323972B2 (ja) | ||
| JPH10214719A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH04221418A (ja) | 磁気記録体 | |
| JPS62128019A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS59228705A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH023102A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH0256724B2 (ja) | ||
| JPS62291719A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0322647B2 (ja) | ||
| JPH09147357A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH02154323A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH10261520A (ja) | 磁性記録媒体及びその製造方法 | |
| US20070188917A1 (en) | Layered magnetic film and magnetic head | |
| JPS6364623A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6332720A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04134718A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0323969B2 (ja) | ||
| Lodder | Magnetic Properties and Preparation of Thin-Film Magnetic Recording Media | |
| JPS62256217A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05109532A (ja) | 軟磁性薄膜およびその製造方法 | |
| JPS62162223A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JPS6350466A (ja) | スパツタリング装置 |