JPH01276114A - 光学素子駆動用アクチュエータ - Google Patents
光学素子駆動用アクチュエータInfo
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- JPH01276114A JPH01276114A JP10707088A JP10707088A JPH01276114A JP H01276114 A JPH01276114 A JP H01276114A JP 10707088 A JP10707088 A JP 10707088A JP 10707088 A JP10707088 A JP 10707088A JP H01276114 A JPH01276114 A JP H01276114A
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- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学素子駆動用アクチュエータに関し、更に
詳しくは、ミラー、 ＬＢＤ、 レーザダイオード
などの光学素子の向きを変えるためのアクチエエータと
して有用である。
詳しくは、ミラー、 ＬＢＤ、 レーザダイオード
などの光学素子の向きを変えるためのアクチエエータと
して有用である。
従来のこの種の光学素子駆動用アクチュエータとして例
えば特開昭４８−７４２４．６号公報に開示の装置があ
る。
えば特開昭４８−７４２４．６号公報に開示の装置があ
る。
このアクチュエータ５１は、第９図に示すように、合成
樹脂と強誘電体微粒子の複合材を分極処理したシート６
１．６１と、電極６２．６２．６２とをサンドインチ状
に積層し、その積層した圧電シート６０を、略十字形に
打ち抜き、その交叉部５２をミラー取付部とし、脚部５
３．５３．５３．５３を圧電湾曲部とし、交叉部５２と
脚部５３の連結部５４．５４，５４．５４はくびれ部と
したものである。
樹脂と強誘電体微粒子の複合材を分極処理したシート６
１．６１と、電極６２．６２．６２とをサンドインチ状
に積層し、その積層した圧電シート６０を、略十字形に
打ち抜き、その交叉部５２をミラー取付部とし、脚部５
３．５３．５３．５３を圧電湾曲部とし、交叉部５２と
脚部５３の連結部５４．５４，５４．５４はくびれ部と
したものである。
第１０図に示すように、このアクチュエータ５１の脚部
５３の端部を固定し、交叉部５２にミラーＭを取り付け
、脚部５３．５３の圧電湾曲部に電圧を印加して一方を
上向きに、他方を下向きに湾曲させると、交叉部５２の
傾きが変わり、ミラーＭの向きを変えることが出来る。
５３の端部を固定し、交叉部５２にミラーＭを取り付け
、脚部５３．５３の圧電湾曲部に電圧を印加して一方を
上向きに、他方を下向きに湾曲させると、交叉部５２の
傾きが変わり、ミラーＭの向きを変えることが出来る。
なお、脚部５３．５３．５３．５３の独立を得るために
、電極６２．６２．６２は連結部５４．５４，５４．５
４で分断されている。
、電極６２．６２．６２は連結部５４．５４，５４．５
４で分断されている。
また、上記公報には、第１１図に示すような、連結部５
４をジャバラ構造に形成した変形例が開示されている。
４をジャバラ構造に形成した変形例が開示されている。
従来の光学素子駆動用アクチュエータは、特性の安定性
が十分でなく、また、寿命が短いという問題点があった
。
が十分でなく、また、寿命が短いという問題点があった
。
また、連結部をジャバラ構造にするなどの立体的構造に
するのが、実際には極めて困難であるという問題点があ
った。
するのが、実際には極めて困難であるという問題点があ
った。
従って、本発明の目的とするところは、特性安定性に優
れ、長寿命であり、かつ、立体的構造にすることが容易
な光学素子駆動用アクチュエータを提供することにある
。
れ、長寿命であり、かつ、立体的構造にすることが容易
な光学素子駆動用アクチュエータを提供することにある
。
本発明の光学素子駆動用アクチュエータは、略十字形ま
たは略Ｙ字形の金属薄板の交叉部を光学素子装着部とし
、脚部は圧電基板を貼着して圧電湾曲部とし、交叉部と
脚部の連結部および／または脚部の端部は屈曲容易部に
形成したことを構成上の特徴とするものである。
たは略Ｙ字形の金属薄板の交叉部を光学素子装着部とし
、脚部は圧電基板を貼着して圧電湾曲部とし、交叉部と
脚部の連結部および／または脚部の端部は屈曲容易部に
形成したことを構成上の特徴とするものである。
本発明の光学素子駆動用アクチュエータでは、金属薄板
を基本的素材として採用しでいる。このため、特性が安
定し、寿命も区くなる。
を基本的素材として採用しでいる。このため、特性が安
定し、寿命も区くなる。
また、連結部および／または脚部の端部を屈曲容易部に
形成しているので、光学素子の駆動効率が太き（なる。
形成しているので、光学素子の駆動効率が太き（なる。
更に、連結部を立体的構造にするのが容易になる。
以下、図に示す実施例に基づいて本発明を更に詳しく説
明する。ここに第１図は本発明の＝一実施例の光学素子
駆動用アクチュエータの斜視図、第２図は第１図に示す
光学素子駆動用アクチュエータの特性測定状！８説明図
、第３図は第１図に示す光学素子駆動用アクチエエータ
の特性図、第４図は本発明の伯の実施例の光学素子駆動
用アクチュエータの平面図、第５図（ａｔ ｉｂｌ ｆ
ｃｌは屈曲容易部の立体的構造の例示図、第６図は切欠
きを付加した屈曲容易部の例示図、第７図は穿孔を付加
した屈曲容易部の例示図、第８図は脚部の端部を屈曲容
易部に形成した実施例の側面図である。なお、図に示す
実施例により本発明が限定されるものではない。
明する。ここに第１図は本発明の＝一実施例の光学素子
駆動用アクチュエータの斜視図、第２図は第１図に示す
光学素子駆動用アクチュエータの特性測定状！８説明図
、第３図は第１図に示す光学素子駆動用アクチエエータ
の特性図、第４図は本発明の伯の実施例の光学素子駆動
用アクチュエータの平面図、第５図（ａｔ ｉｂｌ ｆ
ｃｌは屈曲容易部の立体的構造の例示図、第６図は切欠
きを付加した屈曲容易部の例示図、第７図は穿孔を付加
した屈曲容易部の例示図、第８図は脚部の端部を屈曲容
易部に形成した実施例の側面図である。なお、図に示す
実施例により本発明が限定されるものではない。
第１図に示す光学素子駆動用アクチュエータｌにおいて
、金属薄板２は、厚さｏ、ｌ鶴のニッケル合金板を略十
字形に打ち抜いたものである。
、金属薄板２は、厚さｏ、ｌ鶴のニッケル合金板を略十
字形に打ち抜いたものである。
その金属薄板２の交叉部３は、脚部４よりも幅が狭くさ
れており、中央にはミラー取付孔５が穿没されている。
れており、中央にはミラー取付孔５が穿没されている。
金属薄板２の脚部４の両面には、厚さ０．２軸の圧電セ
ラミクス基板６，６が貼着されている。そして、それら
圧電セラミクス基板６，６の表面には電極が形成されて
いる。これにより脚部４はバイモルフ構造の圧電湾曲部
となっている。
ラミクス基板６，６が貼着されている。そして、それら
圧電セラミクス基板６，６の表面には電極が形成されて
いる。これにより脚部４はバイモルフ構造の圧電湾曲部
となっている。
交叉部３と脚部４の間の連結部７は、幅が最も狭くされ
ると共に逆■字形に折り曲げられて、−種のバネ構造の
屈曲容易部を形成している。
ると共に逆■字形に折り曲げられて、−種のバネ構造の
屈曲容易部を形成している。
第２図は、上記光学素子駆動用アクチュエータｌの交叉
部３にミラーＭを取り付け、また、圧電セラミクス基へ
６，６の端部を固定すると共に電圧を印加して圧電湾曲
を生じさせ、その時のミラーＭの変向角θを測定する状
態を表している。ただし、光学素子駆動用アクチュエー
タ１は略十字形をしているので、ミラーＭは図の紙面に
平行な方向と紙面に垂直な面内の変向を各々生じる。θ
、は図の紙面に平行な面内での変向角を表し、これに対
して図の紙面に垂直な面内での変向角はθアで表される
。
部３にミラーＭを取り付け、また、圧電セラミクス基へ
６，６の端部を固定すると共に電圧を印加して圧電湾曲
を生じさせ、その時のミラーＭの変向角θを測定する状
態を表している。ただし、光学素子駆動用アクチュエー
タ１は略十字形をしているので、ミラーＭは図の紙面に
平行な方向と紙面に垂直な面内の変向を各々生じる。θ
、は図の紙面に平行な面内での変向角を表し、これに対
して図の紙面に垂直な面内での変向角はθアで表される
。
第３図は、上記θ８とθｙの沙、す定結果を示している
０図から理解されるように、安定した特性を示し、駆動
効率（変向角θ／印加電圧）も大きい。
０図から理解されるように、安定した特性を示し、駆動
効率（変向角θ／印加電圧）も大きい。
なお、印加電圧は６０Ｈｚの正弦波であり、変向角θは
その正弦波のピークツピーク値に対する値である。
その正弦波のピークツピーク値に対する値である。
次に、第４図に示す光学素子駆動用アクチュエータ１１
は、金属薄［１２を略Ｙ字形にしたものである。１３は
交叉部、１４は脚部、１５はミラー取付孔、１６は圧電
セラミクス基板、■７は連結部である。
は、金属薄［１２を略Ｙ字形にしたものである。１３は
交叉部、１４は脚部、１５はミラー取付孔、１６は圧電
セラミクス基板、■７は連結部である。
次に、第５図ｆａｌ 〜（Ｃ１は、上記連結部７，１７
を屈曲容易部とするための立体的構造の例を示しＣいる
。（ａ）は逆■字形または逆Ｕ字形に折り曲げて一種の
バネ構造としたものである。（ｂ）はジャバラ構造とし
たものである。（Ｃ）は段構造としたものである。
を屈曲容易部とするための立体的構造の例を示しＣいる
。（ａ）は逆■字形または逆Ｕ字形に折り曲げて一種の
バネ構造としたものである。（ｂ）はジャバラ構造とし
たものである。（Ｃ）は段構造としたものである。
上記立体的構造に加えて、第６図に示すように幅を狭く
したり、第７図に示すように穿孔を形成して更に連結部
の屈曲を容易にするのが好ましい。
したり、第７図に示すように穿孔を形成して更に連結部
の屈曲を容易にするのが好ましい。
次に、第８図は、本発明の更に他の実施例の光学素子駆
動用アクチュエータ２１を示すもので、金泥薄板２２を
略十字形または略Ｙ字形に形成し、その交叉部２３にミ
ラーＭを取り付け、その脚部２４に圧電セラミクス基板
２６を貼着している。
動用アクチュエータ２１を示すもので、金泥薄板２２を
略十字形または略Ｙ字形に形成し、その交叉部２３にミ
ラーＭを取り付け、その脚部２４に圧電セラミクス基板
２６を貼着している。
この構成は上述した実施例と同様である。
注意すべき点は、連結部２７には屈曲容易部が形成され
ておらず、脚部２４の端部２８に屈曲容易部が形成され
、その屈曲容易部を介してこの光学素子駆動用アクチュ
エータ２１が固定されていることである。
ておらず、脚部２４の端部２８に屈曲容易部が形成され
、その屈曲容易部を介してこの光学素子駆動用アクチュ
エータ２１が固定されていることである。
この実施例の光学素子駆動用アクチュエータ２１におい
ても、安定した特性が得られ、かつ、大きな駆動効率が
得られる。
ても、安定した特性が得られ、かつ、大きな駆動効率が
得られる。
なお、上記光学素子駆動用アクチュエータ１゜１１．２
１は、金属薄板２，１２．２２と、圧電セラミクス基ｉ
６，１６．２６とを用いているので、長寿命となると共
に、立体的構造としやすくなる。
１は、金属薄板２，１２．２２と、圧電セラミクス基ｉ
６，１６．２６とを用いているので、長寿命となると共
に、立体的構造としやすくなる。
更に他の実施例としては、金属薄板の連結部と脚部の端
部の両方に屈曲容易部を形成したものが挙げられる。
部の両方に屈曲容易部を形成したものが挙げられる。
本発明によれば、略十字形または略Ｙ字形の金泥薄板の
交叉部を光学素子装着部とし、脚部は圧電基板を貼着し
て圧電湾曲部とし、交叉部と脚部の連結部および／また
は脚部の端部は屈曲容易部に形成したことを特徴とする
光学素子駆動用アクチュエータが提供され、これにより
特性を安定化でき、駆動効率を向上でき、更に、長寿命
化を図ることが出来る。また、立体的構造としやすくな
交叉部を光学素子装着部とし、脚部は圧電基板を貼着し
て圧電湾曲部とし、交叉部と脚部の連結部および／また
は脚部の端部は屈曲容易部に形成したことを特徴とする
光学素子駆動用アクチュエータが提供され、これにより
特性を安定化でき、駆動効率を向上でき、更に、長寿命
化を図ることが出来る。また、立体的構造としやすくな
第１図は本発明の一実施例の光学素子駆動用アクチュエ
ータの斜視図、第２図は第１図に示す光学素子駆動用ア
クチュエータの特性測定状態説明図、第３図は第１図に
示す光学素子駆動用アクチュエータの特性図、第４図は
本発明の他の実施例の光学素子駆動用アクチエエータの
平面図、第５図（ａｔ （ｂｌ ｆｃｌは屈曲容易部の
立体的構造の例示図、第６図は切欠きを付加した屈曲容
易部の例示図、第７図は穿孔を付加した屈曲容易部の例
示図、第８図は脚部の端部を屈曲容易部に形成した実施
例の側面図、第９図は従来の光学素子駆動用アクチュエ
ータの一例の製′ｌＢ段階の斜視図、第１０図は従来の
光学素子駆動用アクチュエータの模式的断面図、第１１
ＦｙＪは従来の光学素子駆動用アクチュエータの他側の
模式的断面図である。 Ｃｆｉ号の説明〕 １．１！、２１・・・光学素子ＢＡ動用アクチュエータ ２．１２．２２・・・金属薄板 ３．１３．２３・・・交叉部 ４．１４．２４・・・脚部 ６．１６．２６・・・圧電セラミクス基板７．１７．２
７・・・連結部 ２８・・・端部 Ｍ・・・ミラー。
ータの斜視図、第２図は第１図に示す光学素子駆動用ア
クチュエータの特性測定状態説明図、第３図は第１図に
示す光学素子駆動用アクチュエータの特性図、第４図は
本発明の他の実施例の光学素子駆動用アクチエエータの
平面図、第５図（ａｔ （ｂｌ ｆｃｌは屈曲容易部の
立体的構造の例示図、第６図は切欠きを付加した屈曲容
易部の例示図、第７図は穿孔を付加した屈曲容易部の例
示図、第８図は脚部の端部を屈曲容易部に形成した実施
例の側面図、第９図は従来の光学素子駆動用アクチュエ
ータの一例の製′ｌＢ段階の斜視図、第１０図は従来の
光学素子駆動用アクチュエータの模式的断面図、第１１
ＦｙＪは従来の光学素子駆動用アクチュエータの他側の
模式的断面図である。 Ｃｆｉ号の説明〕 １．１！、２１・・・光学素子ＢＡ動用アクチュエータ ２．１２．２２・・・金属薄板 ３．１３．２３・・・交叉部 ４．１４．２４・・・脚部 ６．１６．２６・・・圧電セラミクス基板７．１７．２
７・・・連結部 ２８・・・端部 Ｍ・・・ミラー。
Claims (1)
- １、略十字形または略Ｙ字形の金属薄板の交叉部を光学
素子装着部とし、脚部は圧電基板を貼着して圧電湾曲部
とし、交叉部と脚部の連結部および／または脚部の端部
は屈曲容易部に形成したことを特徴とする光学素子駆動
用アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10707088A JPH01276114A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 光学素子駆動用アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10707088A JPH01276114A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 光学素子駆動用アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01276114A true JPH01276114A (ja) | 1989-11-06 |
Family
ID=14449725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10707088A Pending JPH01276114A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 光学素子駆動用アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01276114A (ja) |
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-
1988
- 1988-04-27 JP JP10707088A patent/JPH01276114A/ja active Pending
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