JPH04313286A - セラミックアクチュエータ - Google Patents
セラミックアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH04313286A JPH04313286A JP3079166A JP7916691A JPH04313286A JP H04313286 A JPH04313286 A JP H04313286A JP 3079166 A JP3079166 A JP 3079166A JP 7916691 A JP7916691 A JP 7916691A JP H04313286 A JPH04313286 A JP H04313286A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bimorphs
- piezoelectric
- sets
- grooves
- ceramic actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011949 advanced processing technology Methods 0.000 description 1
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- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電バイモルフのたわ
みによる変位を利用した精密な位置決めを要求されるセ
ラミックアクチュエータに関するものである。
みによる変位を利用した精密な位置決めを要求されるセ
ラミックアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のセラミックアクチュエー
タとして、例えば特開昭５４−２６号公報に示されてい
るような磁気ヘッド装置があり、図２に示すような構成
であった。
タとして、例えば特開昭５４−２６号公報に示されてい
るような磁気ヘッド装置があり、図２に示すような構成
であった。
【０００３】図２において、１ａ，１ｂは圧電バイモル
フ板であり、それぞれの表面に電極２ａ，２ｂと、２ｃ
，２ｄと、２ｅ，２ｆと、２ｇ，２ｈが被着形成された
各々２枚の薄板状圧電素子３ａ，３ｂおよび３ｃ，３ｄ
を例えば矢印Ｐにて示すように互いの分極方向が逆とな
るように、シム板４ａ，４ｂを介して貼合わせてなるも
のである。そして、この２組の圧電バイモルフ１ａ，１
ｂをスペーサ５を介して支持部６ａ，６ｂにより挟持し
て互いに平行に配設した片持ち梁構造とし、さらに前記
２組の圧電バイモルフ１ａ，１ｂのそれぞれの先端部７
ａ，７ｂには、それぞれ可撓性を有する平板状連結部材
８ａ，８ｂが突出固定して各圧電バイモルフ１ａ，１ｂ
と連結されると共に、これらの平板状連結部材８ａ，８
ｂの先端には連結体９が連結固定されている。
フ板であり、それぞれの表面に電極２ａ，２ｂと、２ｃ
，２ｄと、２ｅ，２ｆと、２ｇ，２ｈが被着形成された
各々２枚の薄板状圧電素子３ａ，３ｂおよび３ｃ，３ｄ
を例えば矢印Ｐにて示すように互いの分極方向が逆とな
るように、シム板４ａ，４ｂを介して貼合わせてなるも
のである。そして、この２組の圧電バイモルフ１ａ，１
ｂをスペーサ５を介して支持部６ａ，６ｂにより挟持し
て互いに平行に配設した片持ち梁構造とし、さらに前記
２組の圧電バイモルフ１ａ，１ｂのそれぞれの先端部７
ａ，７ｂには、それぞれ可撓性を有する平板状連結部材
８ａ，８ｂが突出固定して各圧電バイモルフ１ａ，１ｂ
と連結されると共に、これらの平板状連結部材８ａ，８
ｂの先端には連結体９が連結固定されている。
【０００４】以上のように構成されたセラミックアクチ
ュエータについて、以下その動作について説明する。 今、圧電バイモルフ１ａ，１ｂの外側の両電極２ａ，２
ｄ間および２ｅ，２ｈ間に電圧を印加すると、この２枚
の圧電バイモルフ１ａ，１ｂは図２の仮想線にて示すよ
うに湾曲に変位すると共に、連結体９は可撓性を有する
平板状連結部材８ａ，８ｂがたわむことにより、図中矢
印Ｄ方向に平行移動するものである。
ュエータについて、以下その動作について説明する。 今、圧電バイモルフ１ａ，１ｂの外側の両電極２ａ，２
ｄ間および２ｅ，２ｈ間に電圧を印加すると、この２枚
の圧電バイモルフ１ａ，１ｂは図２の仮想線にて示すよ
うに湾曲に変位すると共に、連結体９は可撓性を有する
平板状連結部材８ａ，８ｂがたわむことにより、図中矢
印Ｄ方向に平行移動するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の構成
では、連結体を製作するに当たり、圧電バイモルフの先
端部に固定する２枚の可撓性を有する平板状連結部材間
隔を、スペーサの厚さと圧電バイモルフの厚さによって
決まる寸法に精度よく合わせる必要があり、また平板状
連結部材に可撓性を持たせるために非常に薄く加工しな
ければならないなど、高度な加工技術を必要とする問題
があった。
では、連結体を製作するに当たり、圧電バイモルフの先
端部に固定する２枚の可撓性を有する平板状連結部材間
隔を、スペーサの厚さと圧電バイモルフの厚さによって
決まる寸法に精度よく合わせる必要があり、また平板状
連結部材に可撓性を持たせるために非常に薄く加工しな
ければならないなど、高度な加工技術を必要とする問題
があった。
【０００６】本発明はこのような課題を解決するもので
、変位量を損なわずに連結体を平行移動できるシンプル
な構成の組立易いセラミックアクチュエータを安定に供
給することを目的とするものである。
、変位量を損なわずに連結体を平行移動できるシンプル
な構成の組立易いセラミックアクチュエータを安定に供
給することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のセラミックアクチュエータは、圧電バイモル
フ２組を、各々片持ち梁構造として同一面上に相対して
配すると共に、前記２組の圧電バイモルフのそれぞれの
先端部に隙間を有して嵌合する２つの溝部を設けた連結
体と、前記２組の圧電バイモルフのそれぞれの先端部と
を、前記溝部に充填される可撓性を有した接着剤を用い
て接着保持したものである。
に本発明のセラミックアクチュエータは、圧電バイモル
フ２組を、各々片持ち梁構造として同一面上に相対して
配すると共に、前記２組の圧電バイモルフのそれぞれの
先端部に隙間を有して嵌合する２つの溝部を設けた連結
体と、前記２組の圧電バイモルフのそれぞれの先端部と
を、前記溝部に充填される可撓性を有した接着剤を用い
て接着保持したものである。
【０００８】
【作用】この構成により、スペーサや可撓性を有する平
板状連結部材を必要とせず、溝部と圧電バイモルフの隙
間により寸法誤差を吸収できるため、加工，組立が非常
に容易となるものである。
板状連結部材を必要とせず、溝部と圧電バイモルフの隙
間により寸法誤差を吸収できるため、加工，組立が非常
に容易となるものである。
【０００９】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図１は本発明の一実施例を概略的に
示す側面断面図である。図１において、１１ａ，１１ｂ
は、表面に電極１２ａ，１２ｂと、１２ｃ，１２ｄと、
１２ｅ，１２ｆと、１２ｇ，１２ｈが被着形成された各
々２枚の薄板状圧電素子１３ａ，１３ｂおよび１３ｃ，
１３ｄを例えば矢印Ｐにて示すように互いの分極方向が
逆となるように、シム板１４ａ，１４ｂを介して貼合わ
せてなる圧電バイモルフである。そして、この２組の圧
電バイモルフ１１ａ，１１ｂを支持部１５ａ，１５ｂと
、１５ｃ，１５ｄにより挟持して各々片持ち梁構造とし
て同一面上に相対して配し、さらに前記２組の圧電バイ
モルフ１１ａ，１１ｂのそれぞれの先端部１６ａ，１６
ｂに隙間１７ａ，１７ｂを有して嵌合する２つの溝部１
８ａ，１８ｂを設けた連結体１９と、前記２組の圧電バ
イモルフ１１ａ，１１ｂのそれぞれの先端部１６ａ，１
６ｂとを、前記連結体１９の溝部１８ａ，１８ｂに充填
される可撓性を有した接着剤２０（例えば、シリコーン
系，ウレタン系のもの）を用いて接着保持したものであ
る。
しながら説明する。図１は本発明の一実施例を概略的に
示す側面断面図である。図１において、１１ａ，１１ｂ
は、表面に電極１２ａ，１２ｂと、１２ｃ，１２ｄと、
１２ｅ，１２ｆと、１２ｇ，１２ｈが被着形成された各
々２枚の薄板状圧電素子１３ａ，１３ｂおよび１３ｃ，
１３ｄを例えば矢印Ｐにて示すように互いの分極方向が
逆となるように、シム板１４ａ，１４ｂを介して貼合わ
せてなる圧電バイモルフである。そして、この２組の圧
電バイモルフ１１ａ，１１ｂを支持部１５ａ，１５ｂと
、１５ｃ，１５ｄにより挟持して各々片持ち梁構造とし
て同一面上に相対して配し、さらに前記２組の圧電バイ
モルフ１１ａ，１１ｂのそれぞれの先端部１６ａ，１６
ｂに隙間１７ａ，１７ｂを有して嵌合する２つの溝部１
８ａ，１８ｂを設けた連結体１９と、前記２組の圧電バ
イモルフ１１ａ，１１ｂのそれぞれの先端部１６ａ，１
６ｂとを、前記連結体１９の溝部１８ａ，１８ｂに充填
される可撓性を有した接着剤２０（例えば、シリコーン
系，ウレタン系のもの）を用いて接着保持したものであ
る。
【００１０】以上のように構成されたセラミックアクチ
ュエータについて、以下その動作について説明する。 今、圧電バイモルフ１１ａ，１１ｂの外側の両電極１２
ａ，１２ｄ間および１２ｅ，１２ｈ間に電圧を印加する
と、この２組の圧電バイモルフ１１ａ，１１ｂは図１の
仮想線にて示すように湾曲に変位すると共に、連結体１
９は圧電バイモルフ１１ａ，１１ｂのそれぞれの先端部
１６ａ，１６ｂと連結体１９に設けた溝部１８ａ，１８
ｂとの接着部分が可撓性により折曲することにより、図
中矢印Ｄ方向に平行移動するものである。
ュエータについて、以下その動作について説明する。 今、圧電バイモルフ１１ａ，１１ｂの外側の両電極１２
ａ，１２ｄ間および１２ｅ，１２ｈ間に電圧を印加する
と、この２組の圧電バイモルフ１１ａ，１１ｂは図１の
仮想線にて示すように湾曲に変位すると共に、連結体１
９は圧電バイモルフ１１ａ，１１ｂのそれぞれの先端部
１６ａ，１６ｂと連結体１９に設けた溝部１８ａ，１８
ｂとの接着部分が可撓性により折曲することにより、図
中矢印Ｄ方向に平行移動するものである。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、圧電バイ
モルフのそれぞれの先端部に隙間を有して嵌合する２つ
の溝部を設けた連結体と、前記２組の圧電バイモルフの
それぞれの先端部とを、前記溝部に充填される可撓性を
有した接着剤を用いて接着保持することにより、スペー
サや可撓性を有する平板状連結部材を必要とせず、また
溝部と圧電バイモルフの隙間により寸法誤差を吸収でき
るため、加工，組立が非常に容易で、かつ、変位量を損
なわずに連結体を平行移動できるセラミックアクチュエ
ータを安定に供給することができるといった効果が得ら
れる。
モルフのそれぞれの先端部に隙間を有して嵌合する２つ
の溝部を設けた連結体と、前記２組の圧電バイモルフの
それぞれの先端部とを、前記溝部に充填される可撓性を
有した接着剤を用いて接着保持することにより、スペー
サや可撓性を有する平板状連結部材を必要とせず、また
溝部と圧電バイモルフの隙間により寸法誤差を吸収でき
るため、加工，組立が非常に容易で、かつ、変位量を損
なわずに連結体を平行移動できるセラミックアクチュエ
ータを安定に供給することができるといった効果が得ら
れる。
【図１】本発明の一実施例のセラミックアクチュエータ
を概略的に示す側面断面図
を概略的に示す側面断面図
【図２】従来のセラミックアクチュエータを概略的に示
す側面断面図
す側面断面図
１ａ，１ｂ 圧電バイモルフ
１１ａ，１１ｂ 圧電バイモルフ
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ，１
２ｈ，１２ｇ 電極 １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ 薄板状圧電素子１
４ａ，１４ｂ シム板 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ 支持部１６ａ，１
６ｂ 先端部 １７ａ，１７ｂ 隙間 １８ａ，１８ｂ 溝部 １９ 連結体 ２０ 可撓性を有した接着剤
２ｈ，１２ｇ 電極 １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ 薄板状圧電素子１
４ａ，１４ｂ シム板 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ 支持部１６ａ，１
６ｂ 先端部 １７ａ，１７ｂ 隙間 １８ａ，１８ｂ 溝部 １９ 連結体 ２０ 可撓性を有した接着剤
Claims (1)
- 【請求項１】表面に電極が被着形成された２枚の薄板状
圧電素子をシム板を介して貼合わせてなる圧電バイモル
フ２組を、各々片持ち梁構造として同一面上に相対して
配すると共に、前記２組の圧電バイモルフのそれぞれの
先端部に隙間を有して嵌合する２つの溝部を設けた連結
体と、前記２組の圧電バイモルフのそれぞれの先端部と
を、前記溝部に充填される可撓性を有した接着剤を用い
て接着保持し、前記互いに平行に配設した２組の圧電バ
イモルフがそれぞれ同一方向に曲折するように構成して
なるセラミックアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079166A JPH04313286A (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | セラミックアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079166A JPH04313286A (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | セラミックアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04313286A true JPH04313286A (ja) | 1992-11-05 |
Family
ID=13682386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3079166A Pending JPH04313286A (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | セラミックアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04313286A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006320089A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Brother Ind Ltd | アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、焦点可変装置、光走査装置及び画像表示装置 |
| US8330330B2 (en) | 2009-06-02 | 2012-12-11 | Tdk Corporation | Piezoelectric actuator and method of manufacturing the same |
-
1991
- 1991-04-11 JP JP3079166A patent/JPH04313286A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006320089A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Brother Ind Ltd | アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、焦点可変装置、光走査装置及び画像表示装置 |
| US8330330B2 (en) | 2009-06-02 | 2012-12-11 | Tdk Corporation | Piezoelectric actuator and method of manufacturing the same |
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