JP2000113615A - 磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ディスク装置Info
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- JP2000113615A JP2000113615A JP11216350A JP21635099A JP2000113615A JP 2000113615 A JP2000113615 A JP 2000113615A JP 11216350 A JP11216350 A JP 11216350A JP 21635099 A JP21635099 A JP 21635099A JP 2000113615 A JP2000113615 A JP 2000113615A
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Abstract
なう垂直振動がなく、複雑な組立工程を用いずに形成可
能な位置決め用アクチェエータを提供し、回転ディスク
型情報記憶装置のヘッド位置決め精度を上げ記録密度を
高める。 【解決手段】サスペンション200の上面とサスペンシ
ョンを支持するサスペンション支持部材230の上面と
を架橋するように、未分極領域で分離された2個の分極
領域を持ち、その分極方向や印加される電界方向が厚さ
方向の圧電性平板を積層した板状構造である第2のアク
チュエータ100を固定する。
Description
に係り、特に、情報の書き込みと読み出しを行うヘッド
を情報が記憶される磁気円板上の所定の位置に高精度に
位置決めするための機構・構造に関する。
位置に移動するためのアクチュエータとしては、ボイス
コイルモータが用いられてきた。しかし、この方法で
は、位置決め精度の向上を図るには限界がある。そのた
め、より高精度な位置決め動作を行うための方法とし
て、ボイスコイルモータと磁気ヘッドとの間に、磁気ヘ
ッドの位置を微調整するための第2のアクチェエータを
配置する構成が提案されている。
載された第2のアクチェエータの構造は、磁気ヘッドを
支持する弾性部材の表面に圧電素子を上下に夫々2枚ず
つ4枚貼り付け、圧電素子に電圧を印加することによっ
て素子を伸縮させることによって、磁気ヘッドの位置を
微調整させるものである。
2のアクチェエータには、次に説明する二つの課題があ
る。
2のアクチュエータを変位させたときに、同時に発生す
るアクチュエータ表面に垂直な方向へのもれ変位であ
る。このもれ変位は、弾性部材と圧電性平板とのひずみ
の差によって生じる。もれ変位は、磁気ヘッドと磁気円
板の間隔を変化させてしまうので、磁気ディスク装置に
おける読み出し感度や書き込み感度を変動させてしまっ
たり、最悪の場合、磁気ヘッドと磁気円板の衝突をも引
き起こすことになる。
に4枚の圧電性平板をはりつけるという生産性に関する
課題である。はりつけ作業は、特にミリサイズの微細な
部品の場合生産性が低く、また、高精度にはりつける位
置を規定することは非常に困難である。
決め方向以外へのもれ変位が小さく、かつ、生産性の高
い第2のアクチュエータを提供し、それにより高い記録
密度を安価に実現できる磁気ディスク装置を提供するこ
とを目的とする。
に、本願発明の磁気ディスク装置は、以下の手段を備え
る。
気ヘッドと、情報が記憶される磁気円板と、前記ヘッド
を支持する弾性部材と、前記弾性部材を支持する固定部
材と、前記磁気ヘッドを磁気円板上の所定の位置に移動
させるための粗動用第1のアクチュエータと、前記第1
のアクチュエータと前記磁気ヘッドとの間に配置された
微動用第2のアクチュエータとを有する磁気ディスク装
置において、前記第2のアクチュエータが、上面と下面
に電極を有し内部に2個以上の分極領域を有する一枚ま
たは積層された複数枚の圧電性平板から構成される板状
構造体であり、前記固定部材と前記弾性部材の上面同士
もしくは下面同士を前記板状構造体である第2のアクチ
ュエータの上面もしくは下面を用いて架橋するように配
置される、ようにしたものである。
が、圧電性を有する材料から構成され上面と下面に電極
を有する一枚のまたは積層された複数枚の圧電性平板か
らなる板状構造体であって、前記上面と下面にある電極
のうちの少なくとも一方の面の電極は2個以上に分離さ
れており、前記圧電性平板は、分極されていない領域
と、前記分極されていない領域の一部によって分離され
前記圧電性平板の厚さ方向に分極された2個以上の分極
領域とを内部に有し、前記圧電性平板内の2個以上の分
極領域に、前記圧電性平板の上面と下面にある前記電極
を用いて前記圧電性平板の厚さ方向に電界を印加するこ
とによって、前記圧電性平板が、前記圧電性平板の面内
方向に変位するようにしたものである。
用いて説明する。
ク装置の構造を示す上面図である。
報が記憶される磁気記録円板310と、磁気記録円板3
10を回転させるためのスピンドルモータ300とを備
えている。更に、磁気記録円板310の情報の読み出し
と書き込みを行う電磁変換素子からなる磁気ヘッド(図
示せず)を備え、磁気円板上に一定の間隔で浮上させる
ためのスライダ(図示せず)とを備えている。前記スラ
イダは、磁気円板に対する姿勢を受動的に補正するジン
バル210に設けられている。ジンバル210は、磁気
ヘッド及びスライダを弾性的に支持する弾性部材である
サスペンション200の一端側に接続されている。サス
ペンション200の他端側は、固定部材であるサスペン
ション支持部材230に連接されている。
ヘッドを磁気円板上の所定の位置に移動させ、粗く位置
決めするために、第1のアクチュエータが設けられてい
る。この第1のアクチュエータは、ボイスコイルモータ
250と、ボイスコイルモータを構成する磁石251
と、コイル252と、ボイスコイルモータで磁気ヘッド
を位置決めするときの回転中心となるサスペンション支
持部材回転軸241と、軸受け240とからなる。ま
た、ボイスコイルモータと磁気ヘッドの間には、高精度
に位置決めするために微動用第2のアクチュエータ10
0が設けてある。
ペンション支持部材230から磁気ヘッドまでの磁気ヘ
ッド支持機構全体をさらに詳しく示した上面図である。
図2(b)は図2(a)で示した磁気ヘッド支持機構全
体のA断面を示す断面図である。図2(c)は、参考の
ために、第2のアクチュエータを有していない標準的磁
気ヘッド支持機構全体を示す上面図である。
圧電性平板を積層した板状構造体になっている。本実施
例では、第2のアクチュエータ100の下面を用いて、
サスペンション支持部材230とサスペンション200
の上面同士を架橋するように配置している。第2のアク
チュエータ100の下面とサスペンション200の上面
とは、接着剤層501で固定している。同様に、第2の
アクチュエータ100の下面とサスペンション支持部材
230の上面とは接着剤層502で固定されている。本
実施例において、接着は、エポキシ系の接着剤を用いて
いる。なお、ここでは、サスペンション200に対して
前記したスライダ220が固定されている側を下面、そ
の反対側を上面として定義している。第2のアクチュエ
ータ100の下面には、第2のアクチュエータに電力を
供給するための接続用電極111、112が形成されて
おり、サスペンション支持部材230上面に形成された
引き出し電極261、262とはんだを用いて電気的に
接続される。はんだによる接続は、第2のアクチュエー
タとサスペンション保持アームとの機械的接続にも寄与
している。
ヘッド支持機構では、図2(c)に示すように、サスペ
ンション200はサスペンション支持部材230に直接
接合されている。
クチュエータ100の詳細な構造を示す上面図である。
図3(b)は、図3(a)で示した第2のアクチュエー
タのB断面を示す断面図である。
性を有する材料で形成された板状構造の圧電性平板10
5となっている。圧電性平板105は、上面に2個の電
極118a、118bを下面に2個の電極118c、1
18dを備えている。なお、ここでは、圧電性平板の厚
さ方向で図3(b)の左側を上面側、右側を下面側とす
る。圧電性平板105は、電極118aと118cに挟
まれた領域に分極された領域601を、また電極118
bと118dに挟まれた領域に分極された領域602を
有している。すなわち、一枚の圧電性平板の中に2個の
分極領域を有している。
ータは、上面と下面に電極を備え、内部に2個の分極領
域を有する圧電性平板105からなる板状構造体となっ
ている。
動作について説明する。
圧電性平板内の分極の向きと、本アクチュエータを駆動
するときの電界の状態の一例を示す断面図である。
の向きは、圧電性平板の厚さ方向で、かつ互いに反対向
きである。このような分極状態にある圧電性平板に、図
4に示すように電界を印加する。すなわち、分極領域6
01には、分極の向きと電界の向きが同じ向きになるよ
うに電界を印加し、分極領域602には、分極の向きと
電界の向きが反対向きになるように電界を印加する。
ときの、第2のアクチュエータ100の面内(位置決め
方向)の変位の様子を示す上面図である。図5(b)
は、図5(a)で示した第2のアクチュエータの厚さ方
向(アクチュエータ上面に対し垂直方向)の変位を示す
C断面図である。
きが同じなので、面内方向には縮み厚さ方向には伸びる
ように変位する。一方、分極領域602は、分極の向き
と電界の向きが反対なので、面内方向には伸び厚さ方向
には縮むように変位する。従って、第2のアクチュエー
タに上記した電界を印加することによって、第2のアク
チュエータ100に固定されたサスペンション200
を、サスペンション支持部材230に対し面内に(位置
決め方向に)変位させることができる。印加する電界の
強さと向きを変えることにより、サスペンション200
の先端に固定された磁気ヘッドを高精度に位置決め方向
に微動させることが可能となる。なお、このとき第2の
アクチュエータ100は、図5(b)に示すように、ア
クチュエータの厚さ方向へも変位している。
スペンション200とサスペンション支持部材230の
上面同士を架橋するように配置されているが、この効果
について次に説明する。
6を用いて説明する。
アクチュエータ100がサスペンション200の上面と
サスペンション支持部材230の下面の間に挟まれるよ
うに配置された場合の、磁気ヘッド支持機構全体の断面
図を示す。アクチュエータの固定には接着剤を用いてい
る。図6(b)は、図6(a)の磁気ヘッド支持機構を
同図の左側から見たときの側面図である。
せて、例えば、スライダ220を図6(b)のように右
側に変位させる。すると、図6(b)に示したように第
2のアクチュエータ100の右側は厚さ方向に伸び、左
側は厚さ方向に縮むように変位する。この時、サスペン
ション200は、第2のアクチュエータの上面に、サス
ペンション支持部材230は第2のアクチュエータの下
面にそれぞれ固定されるため、この厚さ方向への変位
が、サスペンション支持部材に対するサスペンションの
上下方向の変位を発生させることになる。例えば、図6
(b)に示した場合では、サスペンション200の右側
が下に傾く。
せ、磁気ヘッドを磁気円板上の所定の位置に位置決めし
たときに、スライダ220と磁気円板310の間隔が変
化してしまう。よって、磁気ヘッドの安定した読み出し
と書き込みを実現することができない。
て説明する。図7(a)は、第2のアクチュエータ10
0がサスペンション200の上面とサスペンション支持
部材230の上面を架橋するように配置された場合の、
磁気ヘッド支持機構全体の断面図を示す。アクチュエー
タの固定には接着剤を用いている。図7(b)は、図7
(a)の磁気ヘッド支持機構を同図の左側から見たとき
の側面図である。
動作させ、例えばスライダ220を図7(b)の右側に
変位させると、図7(b)に示したように第2のアクチ
ュエータ100の右側は厚さ方向に伸び左側は厚さ方向
に縮むように変位する。この時、サスペンション200
とサスペンション支持部材230が、第2のアクチュエ
ータ100の同一面側である下面側に固定されている。
このため、この厚さ方向への変位が、サスペンション支
持部材に対するサスペンションの上下方向の変位を発生
させないことになる。従って、第2のアクチュエータを
動作させ、磁気ヘッドを磁気円板310上の所定の位置
に位置決めしたときにも、スライダ220と磁気円板の
間隔を変化させることがない。よって、磁気ヘッドの安
定した読み出しと書き込みを実現することができる。
エータはは圧電膜が単層で、電極が上面側と下面側に夫
々2対設けた構成としたため、構造が簡単で素子間のバ
ラツキが小さく、大量生産に好適な構成である。
チュエータの部品図である。
は、図8(a)、(b)に示す圧電性を有する材料から
構成される圧電性平板101、102を交互に積層した
板状構造体になっている。圧電性の材料としては、鉛ジ
ルコニアチタンの酸化化合物を用いている。図8(a)
に示す圧電性平板101には、上面に銀パラジウム製の
2個に分離された電極113、114が形成されてい
る。同様に、図8(b)に示す圧電性平板102にも、
上面に銀パラジウム製の2個に分離された電極115、
116が形成されている。なお、図8(a)と図8
(b)とでは、電極の形成される位置が図に示すように
異なっており、それぞれ異なる辺に接するように形成さ
れている。図8(c)は、図8(a)、(b)に示した
圧電性平板を交互に積層してなる本第2のアクチュエー
タの最上面に配置される圧電性平板103を示してい
る。最上層の圧電性平板103は、図8(c)に示すよ
うに、B面とC面で表示した対向する2面に接するよう
に4個の電極1130、1140、1150、1160
が形成されている。
タの断面図を示したものである。
電性平板101を3枚、圧電性平板102を2枚、交互
に積層し、最上層に圧電性平板103を積層した板状構
造体になっている。圧電性平板101の上面には、2個
の電極113と電極114が形成されており、圧電性平
板102上面には、2個の電極115と電極116が形
成されている。これら圧電性平板を交互に積層すること
で、圧電性平板101の下面に配置される圧電性平板1
02の上面の2個の電極115と電極116は、圧電性
平板101の下面の電極として共用される。同様に、圧
電性平板102の下面に配置される圧電性平板101の
上面の2個の電極113と電極114は、圧電性平板1
02の下面の電極として共用される。
は、上面と下面に電極を有する圧電性平板を4枚積層し
た板状構造体であり、圧電性平板の、上面と下面にある
電極は、すべて2個に分離されている構造になる。な
お、本実施例の第2のアクチュエータでは、最上層に圧
電性平板103が、最下層に圧電性平板101が配置さ
れているが、これらは、内部の電極保護や内部の電極の
接続に使われるもので、無くても良い。
チュエータを構成する上面と下面に電極を有する4枚の
圧電性平板の内部の分極状態と、各電極の接続状態を示
す断面図である。図10(b)は、図10(a)の上面
図である。
圧電性平板すべての内部には、上面と下面に存在する電
極には挟まれた領域に、互いに分離した2個の分極領域
600が存在する。例えば、圧電性平板101には、上
面電極113と下面電極115に挟まれれた領域と、上
面電極114と下面電極116に挟まれた領域に、互い
に分離した分極領域が存在する。また、圧電性平板10
2には、上面電極115と下面電極113に挟まれた領
域と、上面電極116と下面電極114に挟まれた領域
に、互いに分離した分極領域が存在する。これらの互い
に分離した分極領域の間には、圧電性平板内の分極され
ていない領域の一部があり、圧電性平板内のこの未分極
領域によって、前記した分極領域が2個に分離されるこ
とになる。これらの分極領域の分極の方向は、すべて圧
電性平板の厚さ方向であり、本実施例の第2のアクチュ
エータでは、同じ圧電性平板内の2個の分極領域は、そ
れぞれ反対の分極の向きを持っている。分極領域が圧電
性平板内の未分極領域の一部によって分離されている様
子を上面からみると、図10(b)に示したようにな
る。
る電極113、114、115、116は、図10に示
したように、電極113は互いに接続され電極113c
に、電極114は互いに接続され電極114cに、電極
115は互いに接続され電極115cに、電極116は
互いに接続され電極116cに、それぞれ統合される。
に実現するための構造を示す、第2実施例の第2のアク
チュエータの側面図である。
面側の側面図を、図11の(b)は、図8(c)で示し
たC面側の側面図をそれぞれ示す。なお、各圧電性平板
上の電極は、図8(a)、図8(b)、図8(c)に示
した通りである。
cによって接続され、最上層の圧電性平板103に形成
された電極1130(図示せず)に接続される。同じく
各層に設けられた電極114は電極114cによって接
続され、最上層の圧電性平板103に形成された電極1
140に接続される。同様に各層に設けられた電極11
5は電極115cによって接続され、最上層の圧電性平
板103に形成された電極1150(図示せず)に接続
される。更に同様に、各層に設けられた電極116は電
極116cによって接続され、最上層の圧電性平板10
3に形成された電極1160に接続される。
タの動作について説明する。
構成する圧電性平板内の分極の向きと、アクチュエータ
を駆動するときの電界の状態の一例を示す断面図であ
る。図12(b)は、上記した駆動を実現するための電
極1130、1140、1150、1160の接続構
造、および、サスペンション支持部材上の引き出し電極
と第2のアクチュエータの電極を接続するための接続用
電極111、112の構造を示す上面図である。
ように4枚の圧電性平板内の2個の分極領域の分極の向
きは、すべて圧電性平板の厚さ方向である。さらに、互
いに反対向きである。このような分極状態にある圧電性
平板に、例えば図12(a)に示すように、圧電性平板
の厚さ方向に電界を印加する。本実施例の場合は、電極
113と電極115に挟まれた分極領域には、分極の向
きと電界の向きが同じ向きになるように電界を印加し、
電極114と電極116に挟まれた分極領域には、分極
の向きと電界の向きが反対向きになるように電界を印加
する。具体的には、電極113cと電極114cを接続
して電源400の高電圧側に、電極115cと電極11
6cを接続して電源400の低電圧側に、接続する。
に示した通りで、本第2のアクチュエータの最上層であ
る圧電性平板103上で、電極113cと接続された電
極1130と、電極114cと接続された電極1140
とを電極111cで接続し、電極115cと接続された
電極1150と、電極116cと接続された電極116
0とを電極112cで接続し、さらに、電極111cを
接続用電極111に、電極112cを接続用電極112
に接続する。接続用電極111、112は、サスペンシ
ョン支持部材230上の引き出し電極261、262に
はんだで接続され、この引き出し電極を通して第2のア
クチュエータに電界が印加される。
ータに上記した電界が印加されたときの面内の変位の状
態を示す上面図である。
を、接続用電極112に電源400の低電圧側を接続す
ると、接続用電極111側は、分極領域の分極の向きと
印加される電界の向きが同じであるため面内には縮み、
接続用電極112側は、分極の向きと印加される電界の
向きが反対向きであるため面内には伸びる。従って、第
2のアクチュエータは、面内には図のように変位し、第
2のアクチュエータに固定されたサスペンションをサス
ペンション支持部材に対し、角度θの変位を発生する。
印加する電界の大きさや向きを変えて、この変位量や変
位方向を制御して、サスペンション200の先端に固定
された磁気ヘッドを、所定の位置決め位置に高精度に微
動させることが可能となる。
ションとサスペンション支持部材の間に、第2のアクチ
ュエータを固定するだけでよいので、生産性の高い磁気
ディスク装置とすることができる。もちろん、第2のア
クチュエータを第1実施例のように配置すれば、信頼性
が高いだけでなく、磁気ヘッドの読み出しや、書き込み
が安定した磁気ディスク装置とすることもできる。ま
た、本実施例では、圧電性平板を積層することで一層当
たりの圧電性平板の厚さを薄くできるので、圧電性平板
に印加される電界の強さ(第2のアクチュエータに印加
される電圧/圧電性平板の厚さ)を大きくすることがで
きる。第2のアクチュエータの変位は上記した電界の強
さに比例するので、低い電圧で大きな変位を得ることが
できる。
クチュエータの構造を示す断面図である。
び各分極領域の分極の向きは第2実施例で説明した第2
のアクチュエータと同じである。本実施例では、電極の
接続方法と電界の印加状態が異なっており、電極115
cと電極114cとがグランドに接続され、電極113
cが+5Vに接続され、電極116cが・5Vに接続さ
れる。印加される電界はすべて圧電性平板の厚さ方向で
あり、電極113、115側は、分極の向きと電界の向
きが同じで、電極114、116側は、分極の向きと電
界の向きが反対である。この場合、図13で示す第2実
施例の第2のアクチュエータと同じような面内変位をす
る。グランドを固定し、電極113cと電極116cに
印加する電界を変化させて、磁気ヘッドを所定の位置に
高精度に微動できる。
回路を簡略化できる。
ディスク装置を構成する第2のアクチュエータの構造を
示す断面図である。
電極が1個の圧電性平板と、上面の電極が1個で下面の
電極が2個の圧電性平板を、交互に積層した構造になっ
ている。接触する面同士の電極は、接触する2個の圧電
性平板で共用される。分極領域は、第2実施例の場合と
同様で、上面の電極と下面の電極に挟まれた領域が分極
領域600となる。上面と下面のうちのいずれか一方
は、必ず2個の電極に分離されているため、圧電性平板
内にある分極領域も2個に分離されている。この構造
は、ちょうど第2の実施例の電極115と116が予め
接続されている構造と考えることができる。圧電性平板
内の2個の分極領域は、第2の実施例の場合と同じよう
に、圧電性平板内の未分極領域の一部で分離された構造
ななる。分極の方向は、圧電性平板の厚さ方向であり、
分極の向きは圧電性平板内の2個の分極領域で同じ向き
である。電極の接続は、図15に示したように、2個に
分離した電極の一方をまとめて電極113cに、もう一
方をまとめて114cとし、1個の電極はすべてまとめ
て115cとしてある。
法の一例を示す断面図である。
113cは+5Vに接続され、電極114cは−5Vに
接続される。電界の方向はすべて圧電性平板の厚さ方向
であり、圧電性平板内の一方の分極領域では分極の向き
と電界の向きが同じで、圧電性平板内のもう一方の分極
領域では分極の向きと電界の向きが反対である。この場
合も、第2のアクチュエータは、図13で示す第2実施
例の第2のアクチュエータと同じような面内変位をす
る。グランドを固定し、電極113cと電極114cに
印加する電界を変化させることにより、サスペンション
200の先端に固定された磁気ヘッドを位置決め方向に
高精度に微動させることが可能となる。
極数を片側だけでも半減できるので、電極形成のプロセ
スが簡単になる。特に、裏面は電極を1枚としたため、
全面に電極を形成すれば良くパターン形成が不要とな
る。
方法の一例を示す断面図である。
113cは+10Vに接続され、電極114cは0Vに
接続される。電界の方向はすべて圧電性平板の厚さ方向
であり、圧電性平板内の分極領域では分極の向きと電界
の向きが常に同じである。この場合も、第2のアクチュ
エータは、図13で示すように、第2実施例の第2のア
クチュエータと同じような面内変位をする。グランドを
固定し、電極113cと電極114cに印加する電界を
変化させることにより、サスペンション200の先端に
固定された磁気ヘッドを位置決め方向に高精度に微動さ
せることが可能となる。
方法に5Vのバイアスをかけたことに相当し、分極領域
の分極の向きと印加される電界の向きが常に同じである
ため、圧電性平板の分極劣化がなく、第2実施例の効果
に加えて、より信頼性の高い磁気ディスク装置とするこ
とができる。
クチュエータの構造を示す断面図である。
構造は、第2実施例と同じであるが、各分極領域の分極
の向きは第2実施例と異なっており、圧電性平板内の2
個の分極領域の分極の向きは同じである。本実施例で
は、電極の接続方法は、第2実施例と同じである。すな
わち電極115は電極115cに、電極114は電極1
14cに、電極115は電極115cに、電極116は
電極116cに、それぞれ統合される。
タの動作を示す断面図である。
電源400の高電圧側に、電極114cと電極115c
は接続され、電源400の低電圧側に、それぞれ接続さ
れる。この場合も、第2のアクチュエータは、図13で
説明した第2実施例の場合と同く面内変位をする。電極
113cと電極114cに印加する電界を変化させるこ
とにより、サスペンション200の先端に固定された磁
気ヘッドを位置決め方向に高精度に微動させることが可
能となる。
じ効果の他に、分極が容易となり、2つの分極領域間の
未分極領域での相互干渉がなく分極が安定し信頼性が高
い。
気ディスク装置を構成する第2のアクチュエータの構造
を示す上面図である。
ュエータの上面図を示しており、分極領域600をはさ
むように圧電性平板に幅dの切り込みが形成されてい
る。従って、第2のアクチュエータとサスペンションと
を接着する領域の幅aや、第2のアクチュエータとサス
ペンション支持部材とを接着する領域の幅bよりも、分
極領域のある部分の幅cの方が短い。
な切り込みが無い第2のアクチュエータの上面図を示し
ている。
験結果を示すグラフである。
2のアクチュエータの面内の変位量θ(図13に表示)
を示している。図20は、第2の実施例で説明したアク
チュエータを実際に試作し、切り込みの長さと面内の変
位量を測定した結果である。駆動電圧は5Vと10Vで
測定を行った。この結果、同じ駆動電圧の場合、切り込
みがあるものの方が変位が大きいことがわかる。
の変位を起こすのに必要な電圧を下げることができると
いう効果がある。ただし、切り込み長さを大きくしすぎ
ると第2のアクチュエータの強度が低下しこわれ易くな
るので、実際の切り込み量は信頼性と併せて最適化する
必要がある。
も、圧電性平板内の2個の分極領域に電界を印加する方
法は、多数考えられる。2個の分極領域に異なる電界を
印加すれば、すべて同様な面内変位を発生させることが
できる。
性平板内の分極領域は2個であったが、3個以上設けても
よい。
のアクチュエータは、サスペンションとサスペンション
支持部材の上面同士を架橋するように配置されるが、下
面同士を架橋するように配置されていてもよい。
のアクチュエータとして圧電性平板である1個の素子を
サスペンションとサスペンション支持部材の上面同士を
架橋するように固定しているが、2個の素子でサスペン
ションとサスペンション支持部材の上面同士と下面同士
を架橋するように固定してもよい。その場合は、1個の
素子はサスペンションとサスペンション支持部材の上面
同士を架橋するように固定され、もう1個の素子は、サ
スペンションとサスペンション支持部材の下面同士を架
橋するように固定される。
ペンションとサスペンション支持部材の間に第2のアク
チュエータを配置しているが、サスペンション支持部材
内に配置してもよいし、サスペンション内に配置しても
よい。
磁気ディスク装置に関するものであるが、複数の磁気デ
ィスク装置をならべた磁気ディスクアレイ装置に用いて
も良いし、磁気ディスク以外の回転記録媒体を用いた記
憶装置、例えば、光ディスク装置、光磁気記録装置など
に用いてももちろん良い。
駆動時にアクチュエータ上面に対し垂直方向の変位がな
いため磁気ヘッドの書き込み/読み出しの信頼性が高
く、かつ生産性の高い磁気ディスク装置を提供すること
ができ、それによって、回転ディスク型情報記憶装置の
記録密度を格段に高くすることができる。
の構造を示す上面図である。
支持機構全体を示す上面図および断面図である。
示す上面図および断面図である。
域を示す断面図である。
示す上面図および断面図である。
ッド支持機構の変位を示す断面図および側面図である。
た磁気ヘッド支持機構の変位を示す断面図および側面図
である。
である。
である。
領域を示す断面図および上面図である。
図である。
構造を示す断面図および上面図である。
を示す上面図である。
を示す断面図である。
を示す断面図である。
の印加方法を示す断面図である。
を示す断面図である。
を示す断面図である。
を示す上面図である。
を示す実験結果である。
用電極、111c、112c、113、113c、11
4、114c、115、115c、116、116c、
1130、1140、1150、1160、118a、
118b、118c、118d…電極、121、122
…接続部、101、102、103、104、105…
圧電性平板、200…サスペンション、210…ジンバ
ル、220…スライダ、230…サスペンション支持部
材、240…軸受け、241…サスペンション支持部材
回転軸、250…ボイスコイルモータ、251…永久磁
石、252…コイル、300…スピンドルモータ、26
1、262…引き出し電極、310…磁気円板、400
…電源、501、502…接着剤層、600、601、
602…分極領域。
Claims (11)
- 【請求項1】情報の書き込みと読み出しを行う磁気ヘッ
ドと、情報が記憶される磁気円板と、前記磁気ヘッドを
支持する弾性部材と、前記弾性部材を支持する固定部材
と、前記磁気ヘッドを磁気円板上の所定の位置に移動さ
せるための第1のアクチュエータと、前記第1のアクチ
ュエータと前記磁気ヘッドとの間に配置された第2のア
クチュエータとを有する磁気ディスク装置において、 前記第2のアクチュエータは、板状の構造体で構成さ
れ、前記固定部材と前記弾性部材の両上面もしくは両下
面に前記第2のアクチュエータの一方の面を用いて架橋
したことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項2】情報の書き込みと読み出しを行う磁気ヘッ
ドと、情報が記憶される磁気円板と、前記ヘッドを支持
する弾性部材と、前記弾性部材を支持する固定部材と、
前記磁気ヘッドを磁気円板上の所定の位置に移動させる
ための第1のアクチュエータと、前記第1のアクチュエ
ータと前記磁気ヘッドとの間に配置された第2のアクチ
ュエータとを有する磁気ディスク装置において、 前記第2のアクチュエータは、上面と下面に電極を有す
る圧電性平板からなる板状構造体であり、前記圧電性平
板の、前記上面と下面にある電極のうちの少なくとも一
方の面の電極は2個以上に分離され、前記圧電性平板
は、分極されていない領域と、前記分極されていない領
域の一部によって分離され前記圧電性平板の厚さ方向に
分極された2個以上の分極領域とを内部に有し、前記圧
電性平板内の2個以上の分極領域に、前記圧電性平板の
上面と下面にある前記電極を用いて前記圧電性平板の厚
さ方向に電界を印加することによって、前記圧電性平板
が、前記圧電性平板の面内方向に変位することを特徴と
する磁気ディスク装置。 - 【請求項3】請求項2記載のディスク装置において、 前記第2のアクチュエータが、前記圧電性平板内の2個
以上の分極領域の分極の方向が前記圧電性平板の厚さ方
向であって、かつ向きが反対向きであるものを含むこと
を特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項4】請求項2記載の磁気ディスク装置におい
て、 前記第2のアクチュエータが、前記圧電性平板の一方の
面の電極が1個、もう一方の面の電極が2個以上に分離
され、少なくても2枚以上積層される前記圧電性平板
が、1個の電極が形成されている面同士、もしくは2個
以上の電極が形成されている面同士が接触するように積
層されている、ことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項5】請求項2磁気ディスク装置において、 前記第2のアクチュエータが、少なくても2枚以上積層
される前記圧電性平板の、互いに接触する面にある電極
を、互いに接触する前記圧電性平板で共用するように積
層されていることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項6】請求項2磁気ディスク装置において、 前記第2のアクチュエータが、少なくても2枚以上積層
される前記圧電性平板の、互いに接触する面にある電極
を、互いに接触する前記圧電性平板で共用するように積
層されていることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項7】情報の書き込みと読み出しを行う磁気ヘッ
ドと、情報が記憶される磁気円板と、前記ヘッドを支持
する弾性部材と、前記弾性部材を支持する固定部材と、
前記磁気ヘッドを磁気円板上の所定の位置に移動させる
ための粗動用第1のアクチュエータと、前記第1のアク
チュエータと前記磁気ヘッドとの間に配置された微動用
第2のアクチュエータとを有する磁気ディスク装置にお
いて、 前記第2のアクチュエータは、圧電性を有する材料から
構成され、上面と下面に電極を有する圧電性平板を2枚
以上積層した板状構造体であり、 前記圧電性平板の、前記上面と下面にある電極のうちの
少なくとも一方の面の電極は2個以上に分離されてお
り、前記圧電性平板は、分極されていない領域と、前記
分極されていない領域の一部によって分離され前記圧電
性平板の厚さ方向に分極された2個以上の分極領域とを
内部に有し、前記圧電性平板内の2個以上の分極領域
に、前記圧電性平板の上面と下面にある前記電極を用い
て前記圧電性平板の厚さ方向に電界を印加することによ
って、前記圧電性平板が、前記圧電性平板の面内方向に
変位することを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項8】請求項7記載のディスク装置において、 前記第2のアクチュエータが、前記圧電性平板内の2個
以上の分極領域の分極の方向が前記圧電性平板の厚さ方
向であって、かつ向きが反対向きであるものを含むこと
を特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項9】請求項7記載の磁気ディスク装置におい
て、 前記第2のアクチュエータが、前記圧電性平板の一方の
面の電極が1個、もう一方の面の電極が2個以上に分離
され、少なくても2枚以上積層される前記圧電性平板
が、1個の電極が形成されている面同士、もしくは2個
以上の電極が形成されている面同士が接触するように積
層されている、ことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項10】請求項7磁気ディスク装置において、 前記第2のアクチュエータが、少なくても2枚以上積層
される前記圧電性平板の、互いに接触する面にある電極
を、互いに接触する前記圧電性平板で共用するように積
層されていることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項11】請求項7記載の磁気ディスク装置におい
て、 前記第2のアクチュエータが、前記圧電性平板内の2個
以上の分極領域を挟むように、前記圧電性平板に切り込
みが形成されていることを特徴とする磁気ディスク装
置。
Priority Applications (1)
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JP21635099A JP3663321B2 (ja) | 1998-08-05 | 1999-07-30 | 磁気ディスク装置 |
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JP22131298 | 1998-08-05 | ||
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JP3663321B2 JP3663321B2 (ja) | 2005-06-22 |
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ID=26521389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP21635099A Expired - Fee Related JP3663321B2 (ja) | 1998-08-05 | 1999-07-30 | 磁気ディスク装置 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002069338A1 (fr) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Tdk Corporation | Curseur de tete muni d'un positionneur permettant un positionnement precis et procede de fabrication du curseur de tete |
US6956724B2 (en) | 2000-08-24 | 2005-10-18 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly and manufacturing method of head gimbal assembly |
US7035055B2 (en) | 2000-09-12 | 2006-04-25 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic disk apparatus and head-supporting mechanism for the same |
JP2017037875A (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-16 | Tdk株式会社 | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
-
1999
- 1999-07-30 JP JP21635099A patent/JP3663321B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US6956724B2 (en) | 2000-08-24 | 2005-10-18 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly and manufacturing method of head gimbal assembly |
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WO2002069338A1 (fr) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Tdk Corporation | Curseur de tete muni d'un positionneur permettant un positionnement precis et procede de fabrication du curseur de tete |
US7253993B2 (en) | 2001-02-27 | 2007-08-07 | Tdk Corporation | Head slider with precise positioning actuator and manufacturing method of the head slider |
JP2017037875A (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-16 | Tdk株式会社 | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
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