JP2004193574A - アクチュエータ及びその製造方法 - Google Patents
アクチュエータ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004193574A JP2004193574A JP2003380181A JP2003380181A JP2004193574A JP 2004193574 A JP2004193574 A JP 2004193574A JP 2003380181 A JP2003380181 A JP 2003380181A JP 2003380181 A JP2003380181 A JP 2003380181A JP 2004193574 A JP2004193574 A JP 2004193574A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- piezoelectric
- electrode
- arm
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
【課題】 リード線の取り付けが容易なアクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るアクチュエータ10においては、不純物の添加によって低抵抗化が図られた一対のシリコンアーム14,14が、ガラス基体12を介して接合されている。そして、各シリコンアーム14の所定の面24bには圧電部20が形成されており、また圧電部20の所定の面20bには薄膜電極22が形成されている。そのため、薄膜電極22に取り付けられるボンディングワイヤ22Aと、シリコンアーム14に取り付けられるボンディングワイヤ18Aとの間に電圧を印加することで、圧電部20が駆動する。このとき、ボンディングワイヤ18Aの取り付け位置はシリコンアーム14上の任意の位置でよいため、ボンディングワイヤ18Aの取り付けが容易な位置及び面を適宜選択して、ボンディングワイヤ18Aの取り付けをおこなうことができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明に係るアクチュエータ10においては、不純物の添加によって低抵抗化が図られた一対のシリコンアーム14,14が、ガラス基体12を介して接合されている。そして、各シリコンアーム14の所定の面24bには圧電部20が形成されており、また圧電部20の所定の面20bには薄膜電極22が形成されている。そのため、薄膜電極22に取り付けられるボンディングワイヤ22Aと、シリコンアーム14に取り付けられるボンディングワイヤ18Aとの間に電圧を印加することで、圧電部20が駆動する。このとき、ボンディングワイヤ18Aの取り付け位置はシリコンアーム14上の任意の位置でよいため、ボンディングワイヤ18Aの取り付けが容易な位置及び面を適宜選択して、ボンディングワイヤ18Aの取り付けをおこなうことができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧電素子を利用したアクチュエータ及びその製造方法に関し、特に磁気記録装置の磁気ヘッドの位置制御に適用されるアクチュエータ及びその製造方法に関するものである。
近年、磁気記録の分野においては、急速な勢いで記録密度の高度化が進んでいる。この記録密度の高度化を図るために、例えばトラックピッチの幅を狭くした場合には、トラック位置に対する磁気ヘッド位置の高い精度で制御する必要性が生じてくる。ところが、VCM(ボイスコイルモータ)による制御だけでは高い精度を実現することは難しい。そのため、VCMによるヘッド位置制御に加えて、アクチュエータによる高精度のヘッド位置制御をおこなう2段型サーボコントロール方式が提案されている。
このようなアクチュエータは、例えば、下記特許文献1や下記特許文献2に開示されている。これらの文献に示されているアクチュエータにおいては、対面する一対の平板状アーム部に、内部電極を有する平板状の積層型圧電素子が取り付けられている。そして、圧電素子における平板部側とは反対側の面には、当該圧電素子に電圧を印加するための一対の電極対が設けられており、この電極対にはワイヤボンディングによりそれぞれリード線が取り付けられる。
しかしながら、前述した従来のアクチュエータには、次のような課題が存在している。すなわち、狭小な圧電素子の端面に2本のリード線を取り付けるには、その取り付けに高い位置精度が要求されるため、リード線の取り付けが困難であった。特に、小型のアクチュエータに適用するために圧電素子の小型化を図った場合には、より高い位置精度が要求されることとなり、リード線の取り付けがより困難なものとなる。
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、リード線の取り付けが容易なアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係るアクチュエータは、絶縁性基体と、その一端部が絶縁性基体の両端面に接合され、且つ、不純物が添加された一対のシリコンアームと、各シリコンアームの、絶縁性基体との接合面の反対面に形成された圧電部と、圧電部の、シリコンアームとの対向面の反対面に形成された第1の電極とを備えることを特徴とする。
このアクチュエータにおいては、不純物の添加によって低抵抗化が図られた一対のシリコンアームが、絶縁性基体を介して接合されている。そして、各シリコンアームの所定の面には圧電部が形成されており、また圧電部の所定の面には第1の電極が形成されている。そのため、第1の電極にリード線対の一方のリード線を取り付けると共に、シリコンアーム上に他方のリード線を取り付け、リード線対間に電圧を印加することで、圧電部が駆動する。このとき、シリコンアーム上に取り付けるリード線の取り付け位置はシリコンアーム上の任意の位置でよいため、リード線の取り付けが容易な位置及び面を適宜選択して、リード線の取り付けをおこなうことができる。そのため、従来技術に係るアクチュエータに比べて、リード線を容易に取り付けることができる。
また、シリコンアームの、圧電部が形成された面と同一面上に形成された第2の電極をさらに備えることが好ましい。この場合、第1の電極と第2の電極とが同一方向を向いているため、それぞれの電極へのリード線の取り付けが容易となる。
また絶縁性基体がガラスで構成されていることが好ましい。この場合、絶縁性基板とシリコンアームとの接合に、比較的低い温度で接合可能な陽極接合技術を利用することができる上、絶縁性基体をエッチングによって容易に成形することができる。
また圧電部は、単層の圧電膜であってもよく、圧電膜と電極膜とが交互に積層された積層構造であってもよい。さらに、圧電膜がPZTで構成されていることが好ましい。
また、第1の電極は複数層構造を有しており、その最上層はAu又はPtで構成されていることが好ましい。この場合、圧電部が、アクチュエータを作製する際に利用されるエッチング液によって浸食される事態を有意に抑制することができる。
本発明に係るアクチュエータの製造方法は、不純物が添加された2枚のシリコン基板それぞれの一方面に、圧電膜パターンを形成する工程と、圧電膜パターン上に電極膜を形成する工程と、圧電膜パターン及び電極膜が形成された2枚のシリコン基板を、圧電膜パターン側を外向きにして絶縁性基板の両側に接合する工程と、2枚のシリコン基板と絶縁性基板とを積層してなる積層基板から、所定形状のブロックを切り出す工程と、ブロックの絶縁性基板の一方側を部分的に除去した後に、該ブロックを所定形状に切断して、シリコンアームを形成する工程とを有することを特徴とする。
このアクチュエータの製造方法においては、不純物の添加によって低抵抗化が図られた2枚のシリコン基板が絶縁性基体を介して接合されている。そして、各シリコン基板には圧電膜パターンが形成されており、また圧電膜パターン上には電極膜が形成されている。従って、この製造方法を用いて作製されたアクチュエータにおいては、上記電極膜に対応する電極にリード線対の一方のリード線を取り付けると共に、シリコンアーム上に他方のリード線を取り付け、リード線対間に電圧を印加することで、圧電部が駆動する。このとき、シリコンアーム上に取り付けるリード線の取り付け位置はシリコンアーム上の任意の位置でよいため、リード線の取り付けが容易な位置及び面を適宜選択して、リード線の取り付けをおこなうことができる。そのため、従来技術に係るアクチュエータの製造方法を用いて作製されるアクチュエータに比べて、リード線を容易に取り付けることができる。
また、シリコン基板上に電極パターンを形成する工程をさらに備えることが好ましい。この場合、圧電膜上に形成された電極と電極パターンの電極とが同一方向を向いているため、それぞれの電極へのリード線の取り付けが容易となる。
また、絶縁性基板がガラスで構成されていることが好ましい。この場合、絶縁性基板とシリコン基板との接合に、比較的低い温度で接合可能な陽極接合技術を利用することができる上、絶縁性基板を容易にエッチング成型することができる。
また、圧電膜パターンがPZTで構成されていることが好ましい。
本発明によれば、リード線の取り付けが容易なアクチュエータ及びその製造方法が提供される。
以下、添付図面を参照して本発明に係るアクチュエータ及びその製造方法を実施するにあたり最良と思われる形態について詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るアクチュエータを示した概略斜視図である。図1に示すように、本発明の第1の実施形態に係るアクチュエータ10は、HDDサーボコントロール用のアクチュエータであり、ヘッドスライダ(以下、「スライダ」と称す。)SLを変位させるものである。スライダSLは、薄膜磁気ヘッドHを備えており、この薄膜磁気ヘッドHはハードディスクから磁気記録情報を読み取ったり、ハードディスクに磁気記録情報を記録したりするものである。スライダSLは略直方体形状をなしており、図1中の上方の面が、ハードディスクに対面するエアベアリング面である。なお、図1のスライダSLは模式的に示したものであり、ハードディスクからの浮上量を調整するためのスライダレール等は省略している。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るアクチュエータを示した概略斜視図である。図1に示すように、本発明の第1の実施形態に係るアクチュエータ10は、HDDサーボコントロール用のアクチュエータであり、ヘッドスライダ(以下、「スライダ」と称す。)SLを変位させるものである。スライダSLは、薄膜磁気ヘッドHを備えており、この薄膜磁気ヘッドHはハードディスクから磁気記録情報を読み取ったり、ハードディスクに磁気記録情報を記録したりするものである。スライダSLは略直方体形状をなしており、図1中の上方の面が、ハードディスクに対面するエアベアリング面である。なお、図1のスライダSLは模式的に示したものであり、ハードディスクからの浮上量を調整するためのスライダレール等は省略している。
アクチュエータ10は、方形板状のガラス基体(絶縁性基体)12と、角柱状の1対のシリコンアーム14,14と、各シリコンアーム14に設けられたアーム駆動部16及び薄膜電極(第2の電極、外部接続用電極)18とを備えている。このアクチュエータ10は、ハードディスク装置のサスペンションアーム30に搭載されている。サスペンションアーム30には、先端にジンバル32が備えられており、ボイスコイルモータによって駆動されるものである。そしてアクチュエータ10は、より詳細には、このジンバル32のタング部32aに接着固定されている。なお、シリコンアーム14を揺動させる必要があることから、アクチュエータ10をジンバル32に固定するための接着剤はガラス基体12部分にのみ塗布される。
シリコンアーム14は、低抵抗化のために不純物がドープされた単結晶シリコンで構成されており、その抵抗率は1Ωcm以下となっている。シリコンアーム14の材料として採用した単結晶シリコンは、ハードディスク装置の使用温度範囲において塑性変形しないため弾性材料として優れており、また高い機械的強度を有し、さらに結晶欠陥が少ないため高精度の位置制御を実現することができる。なお不純物には、リン等のドナー及びアルミニウム又はボロン等のアクセプタのいずれも採用することができる。
2本のシリコンアーム14,14は、互いに平行に延在しており、それぞれの一端部14aが、ガラス基体12の対向する両端面と陽極接合されている。すなわち、ガラス基体12が1対のシリコンアーム14,14を支持する、略U字状の一体的な構造体が形成されている。以下、説明の便宜上、両シリコンアーム14の延在方向及び並列方向をそれぞれX方向及びY方向とし、またX方向及びY方向と直交する方向をZ方向とする。
アーム駆動部16は、各シリコンアーム14の、ガラス基体12との接合面24aの反対面24bに形成されている。このアーム駆動部16は、一方向に延びて方形板状になっており、その長手方向がシリコンアーム14の長手方向(図のX方向)に沿うように取り付けられている。また、薄膜電極18も、各シリコンアーム14の、ガラス基体12との接合面24aの反対面24bに形成されており、略正方形板状となっている。上述したスライダSLは、接着剤によって各シリコンアーム14の内側面(ガラス基体12との接合面)24aに固定されている。
以下、図2を参照しつつ、アーム駆動部16及び薄膜電極18の断面構造について説明する。ここで図2は、図1に示したシリコンアーム14のII−II線断面図である。
図2に示すように、アーム駆動部16は、シリコンアーム14の面24bの一部領域に形成されており、圧電部20と薄膜電極(第1の電極)22とで構成されている。この圧電部20は、PZT(ジルコン酸鉛とチタン酸鉛の混合物)で構成された単層の圧電膜である。薄膜電極22は、圧電部20のシリコンアーム14との接合面(対向面)20aの反対面20b上に積層されている。この薄膜電極22は3層構造を有しており、圧電部20に近い方から、Cr層22a、Ni層22b、Au層22cの順に積層されている。
一方、薄膜電極18は、上述したアーム駆動部16が形成された領域と重ならないように、シリコンアーム14の一端部14a側の面24b上に形成されている。この薄膜電極18も、薄膜電極22と同様に、3層構造(シリコンアーム14に近い方から順に、Cr層18a、Ni層18b、Au層18c)を有している。
アクチュエータ10においては、電力供給用のボンディングワイヤ対(リード線対)18A,22Aを、シリコンアーム14上の薄膜電極18及び圧電部20上の薄膜電極22のそれぞれに接続すると、低抵抗化されたシリコンアーム14を通じて、アーム駆動部16の圧電部20に厚さ方向(図1及び図2のY方向)の電圧が印加される。このように圧電部20に電圧が印加されると、アーム駆動部16の圧電部20がその分極方向に応じて伸長又は縮小し、圧電部20のシリコンアーム14の他端部14b側において挟持されるスライダSLがY方向に沿って変位する。
つまり、このアクチュエータ10は、スライダSLの位置を制御することができ、ボイスコイルモータ及びサスペンションアームの協働では実現できないレベルのスライダSLの微小変動をおこなうことができる。また、方形板状のアーム駆動部16は、その長手方向が、シリコンアーム14の長手方向に沿うように取り付けられているため、アーム駆動部16の変位をシリコンアーム14に効果的に伝達することができ、シリコンアーム14を高い精度で制御することができる。
以上で詳細に説明したように、アクチュエータ10においては、不純物のドープによる低抵抗化が図られたシリコンアーム14が、圧電部20に電圧を印加する際の導通路として利用される。なお、シリコンアーム対14,14は、絶縁性を有するガラス基体を介して接合されているため、もう一方のシリコンアーム14の通電状態とは無関係に各シリコンアーム14の通電をおこなうことができる。
そして、圧電部20の上面20b上には、圧電部20に電圧を印加するボンディングワイヤ対18A,22Aの一方のボンディングワイヤ22Aが取り付けられる薄膜電極22が形成されている。従って、ボンディングワイヤ対18A,22Aの他方のボンディングワイヤ18Aを、シリコンアーム14のどの位置に取り付けても、圧電部20に電圧を印加することができる。すなわち、ボンディングワイヤ18Aの取り付けが容易な位置及び面を適宜選択して、ボンディングワイヤ18Aをシリコンアーム14に取り付けることができる。そのため、従来技術に係るアクチュエータに比べて、ボンディングワイヤ対18A,22Aを容易に取り付けることができる。また、導電性を有するシリコンアーム14を圧電部20の片側に接する配線として利用するため、圧電部20に電力を供給する配線構造の簡素化が図られている。
また上述したように、薄膜電極18を介してシリコンアーム14にボンディングワイヤ18Aを取り付ける際には、その薄膜電極18はアーム駆動部16が形成された面と同一面20a上に形成されている。この場合、薄膜電極18と薄膜電極22とが同一方向(図1及び図2のY方向)を向いているため、ボンディングワイヤ18A,22AをこのY方向に沿う方向から取り付けることにより、ボンディングワイヤ18A,22Aを容易に取り付けることができる。
次に、上述したアクチュエータ10を作製する手順を、図3を参照しつつ説明する。ここで図3は、本発明の第1の実施形態に係るアクチュエータ10を作製する手順を示した模式図である。
まず、アクチュエータ10を作製するにあたり、ガラス基体12となる円板状のガラス基板(絶縁性基板)40を準備し、その表裏面を研磨する(図3(a)参照)。次に、ガラス基板40の研磨した表裏各面に、ガラス基板40と同径円板状の2枚の単結晶シリコン基板42を接合して、積層基板44を形成する(図3(b)参照)。なお、これらのシリコン基板42は不純物ドープによって抵抗率が1Ωcmとなっている。また、ガラス基板40とシリコン基板42との接合は、陽極接合によっておこなう。これにより、比較的低い温度下で、寸法精度よく、ガラス基板40とシリコン基板42とを接合できる。また、陽極接合は信頼性が高く接合界面に何も残らない。一方、接合に接着剤を使った場合には、ガラスエッチングの際に残渣(ざんさ)が生じ、アクチュエータ10の作製フローに新たに除去処理工程を追加する必要が生じてくる。なお、シリコン基板42の、ガラス基板40との接合面42aの反対面42bには、電極膜が積層された圧電膜パターンと電極パターンとが予め形成されている。
以下、シリコン基板上に圧電膜パターン及び電極パターンを形成する手順について、図4を参照しつつ説明する。ここで図4は、1個のアクチュエータに対応する領域のシリコン基板上に、圧電膜パターン及び電極パターンを形成する手順を示した断面模式図である。
まず、不純物がドープされたシリコン基板42を準備し(図4(a)参照)、その一方面42bに、犠牲層となるSiO2又はPSG(燐ドープガラス)膜のマスク層46を形成する(図4(b)参照)。その後、図4(c)に示すように、上述した圧電部20が形成される領域に対応する部分のマスク層46を、HFあるいはバッファード(Buffered)HFでエッチングして除去する。そして、図4(d)に示すように、PZTからなる圧電膜48を成膜する。この成膜には、ゾルゲル法、イオンビームスパッタ、RFマグネトロンスパッタ、DCマグネトロンスパッタ、MOCVD、PLD、水熱合成法、電気泳動等を利用することができる。圧電膜48はマスク層46上にも形成されるが、図4(e)のようにマスク層46のリフトオフによって、シリコン基板42の面42bに直接成膜された圧電膜(圧電膜パターン)49のみが残る。なお、シリコン基板42上に圧電膜48を成膜する前に、適宜、良好な結晶性を有する圧電膜48を得るために、シリコン基板42表面に<100>配向したPt膜を形成してもよい。
そして、図4(f)に示したように、上述した薄膜電極18の形成される領域と薄膜電極22が形成される領域との間の領域に、圧電膜48よりも高いリフトオフレジスト層50を形成(パターニング)する。その後、図4(g)に示したように、Cr層52、Ni層54、Au層56をスパッタ等の薄膜形成技術で順次成膜し、3層構造の電極膜58を形成する。そして最後に、リフトオフレジスト層50をリフトオフ除去することにより、シリコン基板42上に積層された、薄膜電極18となる電極膜(電極パターン)58Aと、圧電膜パターン49上に積層された、薄膜電極22となる電極膜58Bとが形成される(図4(h)参照)。
図3(b)に示した2枚のシリコン基板42には、シリコンアーム14となる区画毎に、上述した電極膜58Bが積層された圧電膜パターン49及び電極パターン58Aがそれぞれ形成されており、これらのパターンは格子状に配置されている。そして、圧電膜パターン49及び電極パターン58Aが形成された面42bを外向きにして、2枚のシリコン基板42がガラス基板40の両側に接合されて、円形平板状の積層基板44が形成されている。
そこで、図3(c)に示すように、積層基板44からシリコンアームが多数並列(平行)に連なった状態のブロック60を切り出す。このブロック60はガラスブロック62の両側がシリコンブロック64である。そして、ブロック60に対して図3(d)のように片側のガラスブロック側面をマスキングした状態でHFあるいはバッファード(Buffered)HFでガラスブロック62の部分をエッチングし、長さが短くなったガラスブロック62の両側に長いシリコンブロック64(シリコンアームが並列に多数連なったもの)が残った形状とする。
その後、図3(e)に示すように、エッチングしたブロック60を、その長手方向に垂直な面で等間隔に切断することで、上述したアクチュエータ10が得られる。このように複数基板の張り合わせ技術及び薄膜形成技術を用いて作製されたアクチュエータ10は、容易に小型化をはかることが可能であり、さらなるスライダSLの小型化に対応可能である。
なお、ガラス基板40はエッチングによる成形が容易であるため、アクチュエータ10のガラス基体12を容易に成形することができる。また、ガラス基板40のエッチング時間を調整することにより、シリコンアームの長さを容易に調整することが可能である。
さらに、電極膜58の最上層がAu層であるため、ガラス基板40のエッチング成形の際に、Au層がレジスト層の役割を果たす。そのため、別途、エッチング用のレジストを形成することなく、薄膜電極18、薄膜電極22及び圧電部20がエッチング液で浸食される事態を有意に抑制することができる。なお、この電極膜58の最上層はPt層であってもよく、この場合にもAu層と同様の効果を得ることができる。
ガラス基板40をシリコン基板42で挟んだ積層基板から、アクチュエータ10が多数並列に連なった状態のブロック60(シリコンブロック64/ガラスブロック62/シリコンブロック64)に切り出し、そのブロックの状態でガラス基体12に対応するガラスブロック62をエッチングするため、ガラス基体12の成形が効率よくおこなわれ、コストの低減が図られる。
ブロック60の切り出しや、ブロック60の切断には、ダイサー、スライサー、ワイヤーソー、レーザー等を利用することができる。
シリコンアーム14を駆動する圧電部20が圧電膜であり、上述したようにシリコンアーム14となるシリコン基板42上に従来の薄膜形成技術を用いて直接成膜することができるため、圧電素子の貼り付け等の作業が不要になると共に、アクチュエータの量産性が向上する。このような圧電膜は犠牲層のリフトオフによってパターン形成することができる。
また、アクチュエータ10を作製する過程で、シリコンブロック64/ガラスブロック62/シリコンブロック64のサンドイッチ構造のブロック60が得られる。そして、このシリコンブロック64(すなわち、シリコン基板42)の厚みを変えて、シリコンアーム14の剛性が変えることで、所望の変位量を有するアクチュエータを作製することができる。
(第2の実施形態)
上述した第1の実施形態では、本発明の単層の圧電膜を有するアーム駆動部16を示したが、アーム駆動部16は圧電膜と内部電極膜とが交互に積層された積層構造を有するものであってもよい。このような積層構造を有するアーム駆動部は、公知の薄膜積層技術を利用した種々の手法により作製することができる。そこで、このような積層構造を有するアーム駆動部を形成する手順の一例を、図5を参照しつつ説明する。ここで図5は、異なる態様のアーム駆動部を形成する手順の一例を示した概略断面図である。
上述した第1の実施形態では、本発明の単層の圧電膜を有するアーム駆動部16を示したが、アーム駆動部16は圧電膜と内部電極膜とが交互に積層された積層構造を有するものであってもよい。このような積層構造を有するアーム駆動部は、公知の薄膜積層技術を利用した種々の手法により作製することができる。そこで、このような積層構造を有するアーム駆動部を形成する手順の一例を、図5を参照しつつ説明する。ここで図5は、異なる態様のアーム駆動部を形成する手順の一例を示した概略断面図である。
まず、上述したアーム駆動部16を形成する手順(図4参照)と同様の手順により、不純物がドープされたシリコン基板42の一方面42bに、PZTからなる矩形状の圧電膜パターン49Aを成膜する(図5(a)参照)。そして、この圧電膜パターン49Aの上面領域のうち、このパターン49Aの長手方向に対向する端部の一方の端部領域49aを除く領域に、蒸着又はスパッタリング等により電極膜70を形成する(図5(b)参照)。次に、圧電膜パターン49Aの長手方向に対向する端部の他方の端部領域に形成された電極膜70が露出するように、圧電膜パターン49Aと結晶方位がそろえられた圧電膜パターン49Bを、圧電膜パターン49A及び電極膜70の上面領域に成膜する(図5(c)参照)。すなわち、圧電膜パターン49Aの長手方向に対向する端部の一方の端部領域49aにおいては、圧電膜パターン49A上に結晶性が維持されるように圧電膜パターン49Bが積層される。
さらに、露出した電極膜70を覆わないように、また圧電膜パターン49Bの一部領域49bが露出するように、圧電膜パターン49B上に電極膜72を形成する(図5(d)参照)。この電極膜72は、電極膜70が露出した側の反対側の圧電膜パターン49A,49Bの側面にも形成され、この電極膜72とシリコン基板42とが電気的に接続される。そして、電極膜72の上面及び露出した圧電膜パターン49Bを覆うように、圧電膜パターン49A及び圧電膜パターン49Bと結晶方位がそろえられた圧電膜パターン49Cを成膜する(図5(e)参照)。すなわち、圧電膜パターン49B上に結晶性が維持されるように圧電膜パターン49Cが積層される。最後に、圧電膜パターン49C及び露出した電極膜70を覆うように電極膜74を積層する(図5(f)参照)。以上のようにして形成されたアーム駆動部となるべき積層構造体は、最上面の電極膜74が第1の実施形態に係る薄膜電極22と実質的に同じ薄膜電極となり、3層の圧電膜パターン49A,49B,49C及びその間に介在する2層の電極膜70,72が第1の実施形態に係る圧電部20と実質的に同じ圧電部となる。
このような積層構造を有するシリコン基板42を用いて、上述したアクチュエータ10の作製手順と同様の手順により、積層構造を有するアーム駆動部を備えるアクチュエータを形成する。形成されたアクチュエータは、圧電部が積層構造を有するため、シリコンアーム14の変位量を変位量を、第1の実施形態に係るアクチュエータ10よりも増大することができる。
(第3の実施形態) 上述した第1及び第2の実施形態では、積層技術を用いて作製したアーム駆動部16を有するアクチュエータを示したが、別途用意したアーム駆動部を利用してアクチュエータを作製してもよい。つまり、図6に示すように、圧電材料で構成された圧電板(圧電部)76Aの両面を、1対の電極板76B,76Cで挟んだ角柱状の圧電素子76をアーム駆動部として用いてもよい。ここで、図6は圧電素子を用いる態様のアクチュエータを示した概略斜視図である。
以下、このアクチュエータ10Aを作製する手順について説明する。まず上述した第1の実施形態で示したアクチュエータ10の作製手順と略同じ手順で、シリコンアーム14、ガラス基体12及び薄膜電極18のみで構成される構造体78を作製する。そして、各圧電素子76の一方の電極板76Bと、各シリコンアーム14のガラス基体12との接合面24aの反対面24bとが対面するように、また、シリコンアーム14の長手方向と圧電素子76との長手方向をそろうように、圧電素子76をシリコンアーム14に接着固定する。この接着には、エポキシ系、シリコーン系、アクリル系等の導電性接着剤の他、シリコンアーム14と電極板76Bとの電気的な接続が確保されるように部分的に塗布するのであれば絶縁性接着剤も利用することができる。
以上で説明したアクチュエータ10Aにおいては、不純物のドープによる低抵抗化が図られたシリコンアーム14が、圧電板76Aに電圧を印加する際の導通路として利用される。そして、圧電板76Aの、シリコンアーム14との対向面76aの反対面76bには、圧電板76Aに電圧を印加するボンディングワイヤ対18A,22Aの一方のボンディングワイヤ22Aが取り付けられる電極板(第1の電極、上述した薄膜電極22に対応)76Cが形成されている。従って、ボンディングワイヤ対18A,22Aの他方のボンディングワイヤ18Aを、シリコンアーム14のどの位置に取り付けても、圧電板76Aに電圧を印加することができる。すなわち、ボンディングワイヤ18Aの取り付けが容易な位置及び面を適宜選択して、ボンディングワイヤ18Aをシリコンアーム14に取り付けることができる。そのため、従来技術に係るアクチュエータに比べて、ボンディングワイヤ対18A,22Aを容易に取り付けることができる。
(第4の実施形態)
また、シリコンアーム14に取り付ける圧電素子は、第3の実施形態において示した圧電板が1層である圧電素子76に限らず、図7に示したような複数の圧電層及び内部電極とが積層された積層型の圧電素子80であってもよい。ここで図7は、図6とは異なる態様の圧電素子を用いたアクチュエータを示した概略斜視図である。すなわち、第4の実施形態に係るアクチュエータ10Bは、L字状断面を有する1対の外部電極板82A,82Bで積層圧電体(圧電部)84が挟まれた圧電素子80を、アーム駆動部として利用するものである。積層圧電体84は、交互に積層された圧電層86と内部電極88a,88bとで構成されている。そして、積層圧電体84の一方の端面には各内部電極88aの端部が露出しており、これらは外部電極82Bに接続されている。一方、積層圧電体84の他方の端面には各内部電極88bの端部が露出しており、これらは外部電極板82Aに接続されている。
また、シリコンアーム14に取り付ける圧電素子は、第3の実施形態において示した圧電板が1層である圧電素子76に限らず、図7に示したような複数の圧電層及び内部電極とが積層された積層型の圧電素子80であってもよい。ここで図7は、図6とは異なる態様の圧電素子を用いたアクチュエータを示した概略斜視図である。すなわち、第4の実施形態に係るアクチュエータ10Bは、L字状断面を有する1対の外部電極板82A,82Bで積層圧電体(圧電部)84が挟まれた圧電素子80を、アーム駆動部として利用するものである。積層圧電体84は、交互に積層された圧電層86と内部電極88a,88bとで構成されている。そして、積層圧電体84の一方の端面には各内部電極88aの端部が露出しており、これらは外部電極82Bに接続されている。一方、積層圧電体84の他方の端面には各内部電極88bの端部が露出しており、これらは外部電極板82Aに接続されている。
圧電素子80は、一方の外部電極板82Bが各シリコンアーム14のガラス基体12との接合面24aの反対面24bと対面するように、シリコンアーム14の長手方向と圧電素子76との長手方向をそろえてシリコンアーム14に接着固定される。このとき、他方の外部電極板82A(第1の電極)はシリコンアーム14と接触しておらず、隙間が設けられている。
以上で説明したアクチュエータ10Bにおいては、第3の実施形態に係るアクチュエータ10Aと同様、ボンディングワイヤ18Aの取り付けが容易な位置及び面を適宜選択して、ボンディングワイヤ18Aをシリコンアーム14に取り付けることができる。そのため、従来技術に係るアクチュエータに比べて、ボンディングワイヤ対18A,22Aを容易に取り付けることができる。その上、圧電素子80が積層型であるため、圧電素子76を有するアクチュエータ10Aに比べて、シリコンアーム14の変位量を大きくすることができる。なお、圧電素子としては、単板型や積層型以外に、バイモルフ型のものを利用することも可能である。
10,10A,10B…アクチュエータ、12…ガラス基体、14…シリコンアーム、14a,14b…端部、18c,22c,56…Au層、18…薄膜電極、18A,22A…リード線、20…圧電部、22…薄膜電極、24a…反対面、24b…接合面、40…ガラス基板、42…シリコン基板、44…積層基板、60…ブロック、76A…圧電板、76B,76C…電極板、84…積層圧電体、82A,82B…外部電極板。
Claims (11)
- 絶縁性基体と、
その一端部が前記絶縁性基体の両端面に接合され、且つ、不純物が添加された一対のシリコンアームと、
前記各シリコンアームの、前記絶縁性基体との接合面の反対面に形成された圧電部と、
前記圧電部の、前記シリコンアームとの対向面の反対面に形成された第1の電極とを備える、アクチュエータ。 - 前記シリコンアームの、前記圧電部が形成された面と同一面上に形成された第2の電極をさらに備える、請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記絶縁性基体がガラスで構成されている、請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
- 前記圧電部が単層の圧電膜である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記圧電部が、圧電膜と電極膜とが交互に積層された積層構造を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記圧電膜がPZTで構成されている、請求項4又は5に記載のアクチュエータ。
- 前記第1の電極は複数層構造を有しており、その最上層はAu又はPtで構成されている、請求項1〜6のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 不純物が添加された2枚のシリコン基板それぞれの一方面に、圧電膜パターンを形成する工程と、
前記圧電膜パターン上に電極膜を形成する工程と、
前記圧電膜パターン及び前記電極膜が形成された2枚の前記シリコン基板を、前記圧電膜パターン側を外向きにして絶縁性基板の両側に接合する工程と、
前記2枚のシリコン基板と前記絶縁性基板とを積層してなる積層基板から、所定形状のブロックを切り出す工程と、
前記ブロックの前記絶縁性基板の一方側を部分的に除去した後に、該ブロックを所定形状に切断して、シリコンアームを形成する工程とを有する、アクチュエータの製造方法。 - 前記シリコン基板上に電極パターンを形成する工程をさらに備える、請求項8に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記絶縁性基板がガラスで構成されている、請求項8又は9に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記圧電膜パターンがPZTで構成されている、請求項8〜10のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003380181A JP2004193574A (ja) | 2002-11-28 | 2003-11-10 | アクチュエータ及びその製造方法 |
TW92133167A TW200423445A (en) | 2002-11-28 | 2003-11-26 | Actuator and method of making the same |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002346476 | 2002-11-28 | ||
JP2003380181A JP2004193574A (ja) | 2002-11-28 | 2003-11-10 | アクチュエータ及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004193574A true JP2004193574A (ja) | 2004-07-08 |
Family
ID=32774874
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003380181A Pending JP2004193574A (ja) | 2002-11-28 | 2003-11-10 | アクチュエータ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004193574A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007144992A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-06-14 | Fujifilm Corp | 凹凸構造体とその製造方法、圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置 |
JP2012159494A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Honeywell Internatl Inc | ピエゾ電気駆動部を備えるmems振動ビーム加速度計 |
JP2015225931A (ja) * | 2014-05-27 | 2015-12-14 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド、インクジェットプリンタ、偏向ミラー、加速度センサー、hddヘッド用微調整装置、電気−機械変換素子の製造方法 |
WO2017057446A1 (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板、積層基板、および積層体 |
CN111464070A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-07-28 | 哈尔滨工业大学 | 一种直线超声电机定子及其电激励方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09243656A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ及びその製造方法 |
JPH09265738A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Hitachi Ltd | ヘッド支持機構及び情報記録装置 |
JP2001309673A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクチュエータと情報記録再生装置およびアクチュエータの製造方法 |
JP2001320103A (ja) * | 1999-10-01 | 2001-11-16 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイス及びその製造方法 |
JP2002026412A (ja) * | 1999-10-01 | 2002-01-25 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイス及びその製造方法 |
JP2002237626A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-08-23 | Canon Inc | 膜の転写方法 |
-
2003
- 2003-11-10 JP JP2003380181A patent/JP2004193574A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09243656A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ及びその製造方法 |
JPH09265738A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Hitachi Ltd | ヘッド支持機構及び情報記録装置 |
JP2001320103A (ja) * | 1999-10-01 | 2001-11-16 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイス及びその製造方法 |
JP2002026412A (ja) * | 1999-10-01 | 2002-01-25 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイス及びその製造方法 |
JP2001309673A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクチュエータと情報記録再生装置およびアクチュエータの製造方法 |
JP2002237626A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-08-23 | Canon Inc | 膜の転写方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007144992A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-06-14 | Fujifilm Corp | 凹凸構造体とその製造方法、圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置 |
JP2012159494A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Honeywell Internatl Inc | ピエゾ電気駆動部を備えるmems振動ビーム加速度計 |
US9759739B2 (en) | 2011-02-02 | 2017-09-12 | Honeywell International Inc. | MEMS vibrating-beam accelerometer with piezoelectric drive |
JP2015225931A (ja) * | 2014-05-27 | 2015-12-14 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド、インクジェットプリンタ、偏向ミラー、加速度センサー、hddヘッド用微調整装置、電気−機械変換素子の製造方法 |
WO2017057446A1 (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板、積層基板、および積層体 |
US11180407B2 (en) | 2015-10-02 | 2021-11-23 | AGC Inc. | Glass substrate, laminated substrate, and laminate |
US11753330B2 (en) | 2015-10-02 | 2023-09-12 | AGC Inc. | Glass substrate, laminated substrate, and laminate |
CN111464070A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-07-28 | 哈尔滨工业大学 | 一种直线超声电机定子及其电激励方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7050271B2 (en) | Actuator having doped silicon arms and method of making the same | |
KR100772071B1 (ko) | 헤드 어셈블리 및 기록 매체 구동 장치 | |
US8189301B2 (en) | Wireless microactuator motor assembly for use in a hard disk drive suspension, and mechanical and electrical connections thereto | |
US6534898B1 (en) | Piezoelectric/electrostrictive device having mutually opposing thin plate section | |
CN107424631B (zh) | 用于盘驱动器悬架的多层剪切模式pzt微致动器及其制造方法 | |
JP2004193574A (ja) | アクチュエータ及びその製造方法 | |
JP2004014951A (ja) | 圧電/電歪デバイスとその製造方法 | |
JP4384642B2 (ja) | 磁気ディスク装置 | |
TW200423445A (en) | Actuator and method of making the same | |
JPH0774410A (ja) | 電歪積層板の製造方法 | |
JPS63129515A (ja) | 浮上型磁気ヘツド | |
JP2000113615A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
JPH0442947Y2 (ja) | ||
JP4220162B2 (ja) | 薄膜圧電体素子とその製造方法およびハードディスクドライブ用薄膜圧電体素子 | |
JP2001085753A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP4358604B2 (ja) | アクチュエータ及びその製造方法 | |
JP2009223965A (ja) | アクチュエータ、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気ディスク装置 | |
JP2004303304A (ja) | アクチュエータ及びその製造方法 | |
JP4001831B2 (ja) | 保持具の製造方法、アクチュエータの製造方法及びスライダユニットの製造方法 | |
JPH06274829A (ja) | コンタクト型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
JPS63275192A (ja) | 積層型圧電アクチュエ−タ及びその製造方法 | |
JP2010129117A (ja) | 磁気ヘッドアセンブリ、サスペンションアーム及び磁気ディスク装置 | |
JP2004288329A (ja) | アクチュエータ、スライダユニット、及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101102 |