JP2003036616A - 微小位置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、該ヘッドスライダを備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法、該ヘッドスライダの製造方法及びヘッドジンバルアセンブリの製造方法 - Google Patents
微小位置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、該ヘッドスライダを備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法、該ヘッドスライダの製造方法及びヘッドジンバルアセンブリの製造方法Info
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アクチュエータとヘッドスライダとの接着処
理が容易となり、接着強度、共振周波数及び変位量特性
に劣化が少なくかつそれらのばらつきが少ない、微小位
置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、
このヘッドスライダを備えたＨＧＡ、ヘッドスライダと
アクチュエータとの接着方法、ヘッドスライダの製造方
法及びＨＧＡの製造方法を提供する。 【解決手段】 少なくとも１つのヘッド素子を有してお
り、この少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決めを
行うためのアクチュエータに接着されるヘッドスライダ
が、アクチュエータとの接着部に、接着剤を流し込むた
めの少なくとも１つの凹部を備えている。
理が容易となり、接着強度、共振周波数及び変位量特性
に劣化が少なくかつそれらのばらつきが少ない、微小位
置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、
このヘッドスライダを備えたＨＧＡ、ヘッドスライダと
アクチュエータとの接着方法、ヘッドスライダの製造方
法及びＨＧＡの製造方法を提供する。 【解決手段】 少なくとも１つのヘッド素子を有してお
り、この少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決めを
行うためのアクチュエータに接着されるヘッドスライダ
が、アクチュエータとの接着部に、接着剤を流し込むた
めの少なくとも１つの凹部を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド素
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用ア
クチュエータに接着されるヘッドスライダ、このヘッド
スライダを備えたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧ
Ａ）、このヘッドスライダとアクチュエータとの接着方
法、ヘッドスライダの製造方法及びＨＧＡの製造方法に
関する。
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用ア
クチュエータに接着されるヘッドスライダ、このヘッド
スライダを備えたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧ
Ａ）、このヘッドスライダとアクチュエータとの接着方
法、ヘッドスライダの製造方法及びＨＧＡの製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペ
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
【０００４】磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行う技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行う技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
【０００５】この種のアクチュエータとして、ピギーバ
ック構造のアクチュエータが存在する。このピギーバッ
ク構造のアクチュエータは、サスペンションに固定され
る一方の端部と、磁気ヘッドスライダに固定される他方
の端部と、これら端部を連結するピラー状の変位発生部
とをＰＺＴによる圧電部材でＩ字形状に一体形成してな
るものであり、サスペンション上にアクチュエータと磁
気ヘッドスライダとが階段状に取り付けられる。即ち、
サスペンションと磁気ヘッドスライダとの間にアクチュ
エータが挟まれた積上げ式の構造となっている。
ック構造のアクチュエータが存在する。このピギーバッ
ク構造のアクチュエータは、サスペンションに固定され
る一方の端部と、磁気ヘッドスライダに固定される他方
の端部と、これら端部を連結するピラー状の変位発生部
とをＰＺＴによる圧電部材でＩ字形状に一体形成してな
るものであり、サスペンション上にアクチュエータと磁
気ヘッドスライダとが階段状に取り付けられる。即ち、
サスペンションと磁気ヘッドスライダとの間にアクチュ
エータが挟まれた積上げ式の構造となっている。
【０００６】このようなピギーバック構造のアクチュエ
ータを用いたＨＧＡは、（１）積上げた構造であるた
め、磁気ヘッドスライダ部分のＨＧＡの厚みがアクチュ
エータの分だけ増大する、（２）アクチュエータ全体が
もろい材質のＰＺＴ等の圧電部材で構成されているこ
と、並びにアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダが階
段状に積上げたカンチレバー構造となるため、モーメン
トで衝撃が働き、耐衝撃性が非常に低い、（３）磁気ヘ
ッドスライダの寸法によって、微小位置決め動作時のス
トロークが変わってしまい、十分なストロークを得られ
ないことがある、（４）立体的で複雑な取り付け構造を
有しているため、組み立て時の取り扱いが非常に困難で
あり、従来のＨＧＡ組み立て装置を適用できず、生産性
が非常に悪い、（５）アクチュエータの動きを阻害しな
いために、磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ間、
並びにアクチュエータ及びサスペンション間に間隙を置
いて組み立てる必要があるが、このような間隙を設ける
ことは、耐衝撃性をさらに悪化させるのみならず、組み
立てにあたって間隙を一定としなければならないので、
組み立て精度が低下する。特に、サスペンション、アク
チュエータ及び磁気ヘッドスライダの平行度が正確に保
つことが難しいので、ヘッド特性が悪化する、等の種々
の問題点を有している。
ータを用いたＨＧＡは、（１）積上げた構造であるた
め、磁気ヘッドスライダ部分のＨＧＡの厚みがアクチュ
エータの分だけ増大する、（２）アクチュエータ全体が
もろい材質のＰＺＴ等の圧電部材で構成されているこ
と、並びにアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダが階
段状に積上げたカンチレバー構造となるため、モーメン
トで衝撃が働き、耐衝撃性が非常に低い、（３）磁気ヘ
ッドスライダの寸法によって、微小位置決め動作時のス
トロークが変わってしまい、十分なストロークを得られ
ないことがある、（４）立体的で複雑な取り付け構造を
有しているため、組み立て時の取り扱いが非常に困難で
あり、従来のＨＧＡ組み立て装置を適用できず、生産性
が非常に悪い、（５）アクチュエータの動きを阻害しな
いために、磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ間、
並びにアクチュエータ及びサスペンション間に間隙を置
いて組み立てる必要があるが、このような間隙を設ける
ことは、耐衝撃性をさらに悪化させるのみならず、組み
立てにあたって間隙を一定としなければならないので、
組み立て精度が低下する。特に、サスペンション、アク
チュエータ及び磁気ヘッドスライダの平行度が正確に保
つことが難しいので、ヘッド特性が悪化する、等の種々
の問題点を有している。
【０００７】このような従来技術の問題点を解消するべ
く、本願発明者等は、駆動信号に従って変位可能な１対
の可動アーム部間にヘッドスライダを挟設するように構
成したヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及び
ＨＧＡを既に提案している（特願２０００−２５３９３
０号）。また、同様の構造を有しており、可動アーム部
を含むアクチュエータの主要部を金属板部材で構成した
ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びＨＧＡ
をも既に提案している（特願２０００−３３２２５５
号）。
く、本願発明者等は、駆動信号に従って変位可能な１対
の可動アーム部間にヘッドスライダを挟設するように構
成したヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及び
ＨＧＡを既に提案している（特願２０００−２５３９３
０号）。また、同様の構造を有しており、可動アーム部
を含むアクチュエータの主要部を金属板部材で構成した
ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びＨＧＡ
をも既に提案している（特願２０００−３３２２５５
号）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな可動アーム部間にヘッドスライダを挟みこんで固着
する構造においては、ヘッドスライダをアクチュエータ
に接着するためにその可動アーム部を広げると、可動ア
ーム部の付け根や可動アーム部に設けられている圧電素
子にダメージを与えてしまう。このため、アクチュエー
タの可動アーム部の間隔は、ヘッドスライダの側面間の
間隔（幅）よりも充分大きくして接着剤が両者間に回り
込むように構成することが必要となる。
うな可動アーム部間にヘッドスライダを挟みこんで固着
する構造においては、ヘッドスライダをアクチュエータ
に接着するためにその可動アーム部を広げると、可動ア
ーム部の付け根や可動アーム部に設けられている圧電素
子にダメージを与えてしまう。このため、アクチュエー
タの可動アーム部の間隔は、ヘッドスライダの側面間の
間隔（幅）よりも充分大きくして接着剤が両者間に回り
込むように構成することが必要となる。
【０００９】しかしながら、このように可動アーム部の
間隔をヘッドスライダの幅より広くすると、（Ａ）接着
剤の層が厚くなりすぎて共振特性の劣化及び変位量の減
少が起こる可能性があり、また、接着面間の中央部で接
着剤がくびれてしまうことから接着強度が低下し、かつ
共振周波数の低下及び変位量の減少が起こる可能性があ
る、（Ｂ）粘性の高い接着剤を用いると、可動アーム部
及びヘッドスライダ側面の接着面に接着剤が充分に回り
込まず、充分な接着強度が得られない、（Ｃ）可動アー
ム部とヘッドスライダ側面との間隔が左右等しくなるよ
うに制御することが非常に難しい、（Ｄ）接着剤を塗布
した後にアクチュエータとヘッドスライダとを組み付け
るため、接着剤が接着面からはみだして例えばヘッドス
ライダの浮上面（ＡＢＳ）やアクチュエータの可動アー
ム部等に付着してしまい、このため、使用する接着剤の
量を正確に制御することが難しい、（Ｅ）上述した
（Ａ）〜（Ｄ）に起因して、量産時における接着強度、
共振周波数及び変位量特性等にばらつきが発生する、と
いった種々の問題が発生する。
間隔をヘッドスライダの幅より広くすると、（Ａ）接着
剤の層が厚くなりすぎて共振特性の劣化及び変位量の減
少が起こる可能性があり、また、接着面間の中央部で接
着剤がくびれてしまうことから接着強度が低下し、かつ
共振周波数の低下及び変位量の減少が起こる可能性があ
る、（Ｂ）粘性の高い接着剤を用いると、可動アーム部
及びヘッドスライダ側面の接着面に接着剤が充分に回り
込まず、充分な接着強度が得られない、（Ｃ）可動アー
ム部とヘッドスライダ側面との間隔が左右等しくなるよ
うに制御することが非常に難しい、（Ｄ）接着剤を塗布
した後にアクチュエータとヘッドスライダとを組み付け
るため、接着剤が接着面からはみだして例えばヘッドス
ライダの浮上面（ＡＢＳ）やアクチュエータの可動アー
ム部等に付着してしまい、このため、使用する接着剤の
量を正確に制御することが難しい、（Ｅ）上述した
（Ａ）〜（Ｄ）に起因して、量産時における接着強度、
共振周波数及び変位量特性等にばらつきが発生する、と
いった種々の問題が発生する。
【００１０】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータ
とヘッドスライダとの接着処理が容易となる、微小位置
決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、こ
のヘッドスライダを備えたＨＧＡ、ヘッドスライダとア
クチュエータとの接着方法、ヘッドスライダの製造方法
及びＨＧＡの製造方法を提供することにある。
点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータ
とヘッドスライダとの接着処理が容易となる、微小位置
決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、こ
のヘッドスライダを備えたＨＧＡ、ヘッドスライダとア
クチュエータとの接着方法、ヘッドスライダの製造方法
及びＨＧＡの製造方法を提供することにある。
【００１１】本発明の他の目的は、接着強度、共振周波
数及び変位量特性に劣化が少なくかつそれらのばらつき
が少ない、微小位置決め用アクチュエータに接着される
ヘッドスライダ、このヘッドスライダを備えたＨＧＡ、
ヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法、ヘッド
スライダの製造方法及びＨＧＡの製造方法を提供するこ
とにある。
数及び変位量特性に劣化が少なくかつそれらのばらつき
が少ない、微小位置決め用アクチュエータに接着される
ヘッドスライダ、このヘッドスライダを備えたＨＧＡ、
ヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法、ヘッド
スライダの製造方法及びＨＧＡの製造方法を提供するこ
とにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも１つのヘッド素子を有しており、この少なくとも１
つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエ
ータに接着されるヘッドスライダであって、アクチュエ
ータとの接着部に、接着剤を流し込むための少なくとも
１つの凹部を備えているヘッドスライダが提供される。
とも１つのヘッド素子を有しており、この少なくとも１
つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエ
ータに接着されるヘッドスライダであって、アクチュエ
ータとの接着部に、接着剤を流し込むための少なくとも
１つの凹部を備えているヘッドスライダが提供される。
【００１３】アクチュエータと接着される部分に、接着
剤を流し込むための少なくとも１つの凹部が設けられて
いるため、接着剤を接着部に確実に挿入することができ
るから、安定したかつ充分な接着強度を得ることができ
る。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしない
ので、その量を正確に制御することができるから、量産
時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にば
らつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスライダを把
持するアクチュエータのアーム部の間隔を大きくとるこ
となく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅
かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層によ
る影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチュ
エータとの接着部における左右の間隔差を最小限とする
ことができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止
することができる。さらにまた、アクチュエータとヘッ
ドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込めば良い
ため、接着処理が非常に容易となる。
剤を流し込むための少なくとも１つの凹部が設けられて
いるため、接着剤を接着部に確実に挿入することができ
るから、安定したかつ充分な接着強度を得ることができ
る。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしない
ので、その量を正確に制御することができるから、量産
時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にば
らつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスライダを把
持するアクチュエータのアーム部の間隔を大きくとるこ
となく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅
かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層によ
る影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチュ
エータとの接着部における左右の間隔差を最小限とする
ことができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止
することができる。さらにまた、アクチュエータとヘッ
ドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込めば良い
ため、接着処理が非常に容易となる。
【００１４】少なくとも１つの凹部が、少なくとも１つ
の溝であることが好ましい。
の溝であることが好ましい。
【００１５】アクチュエータによって挟設支持される２
つの側面を有しており、少なくとも１つの溝が各側面
に、ＡＢＳに沿って形成されていることも好ましい。
つの側面を有しており、少なくとも１つの溝が各側面
に、ＡＢＳに沿って形成されていることも好ましい。
【００１６】少なくとも１つの溝が、各側面のＡＢＳ側
のエッジに設けられた１つの溝であることが好ましい。
溝が、エッジの全長に渡って形成されていることも好ま
しい。
のエッジに設けられた１つの溝であることが好ましい。
溝が、エッジの全長に渡って形成されていることも好ま
しい。
【００１７】少なくとも１つのヘッド素子が少なくとも
１つの薄膜磁気ヘッド素子であることも好ましい。
１つの薄膜磁気ヘッド素子であることも好ましい。
【００１８】本発明によれば、さらに、上述したヘッド
スライダと、少なくとも１つの溝に流し込まれた接着剤
によってこのヘッドスライダと接着されている微小位置
決め用アクチュエータと、このアクチュエータが固着さ
れた支持機構とを備えたＨＧＡが提供される。
スライダと、少なくとも１つの溝に流し込まれた接着剤
によってこのヘッドスライダと接着されている微小位置
決め用アクチュエータと、このアクチュエータが固着さ
れた支持機構とを備えたＨＧＡが提供される。
【００１９】ヘッドスライダのアクチュエータと接着さ
れる部分に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの
溝が設けられているため、接着剤が接着部に確実に挿入
されるので安定したかつ充分な接着強度を得ることがで
きる。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしな
いので、その量を正確に制御することができるから、量
産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等に
ばらつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスライダを
把持するアクチュエータのアーム部の間隔を大きくとる
ことなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより
僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層に
よる影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチ
ュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限とす
ることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防
止することができる。さらにまた、アクチュエータとヘ
ッドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込めば良
いため、接着処理が非常に容易となる。
れる部分に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの
溝が設けられているため、接着剤が接着部に確実に挿入
されるので安定したかつ充分な接着強度を得ることがで
きる。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしな
いので、その量を正確に制御することができるから、量
産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等に
ばらつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスライダを
把持するアクチュエータのアーム部の間隔を大きくとる
ことなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより
僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層に
よる影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチ
ュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限とす
ることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防
止することができる。さらにまた、アクチュエータとヘ
ッドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込めば良
いため、接着処理が非常に容易となる。
【００２０】アクチュエータが１対の可動アーム部を備
えており、ヘッドスライダが１対の可動アーム部によっ
て挟設支持される２つの側面を有していることが好まし
い。
えており、ヘッドスライダが１対の可動アーム部によっ
て挟設支持される２つの側面を有していることが好まし
い。
【００２１】アクチュエータの１対の可動アーム部の間
隔が、ヘッドスライダの２つの側面間の距離にほぼ等し
いか僅かに大きいことも好ましい。
隔が、ヘッドスライダの２つの側面間の距離にほぼ等し
いか僅かに大きいことも好ましい。
【００２２】アクチュエータが基部を備えており、１対
の可動アーム部が基部から突出しており駆動信号に従っ
てＡＢＳに沿って変位するように構成されていることも
好ましい。
の可動アーム部が基部から突出しており駆動信号に従っ
てＡＢＳに沿って変位するように構成されていることも
好ましい。
【００２３】アクチュエータの可動アーム部及び基部
が、弾性を有するセラミック焼結体又は金属板部材で形
成されていることが好ましい。
が、弾性を有するセラミック焼結体又は金属板部材で形
成されていることが好ましい。
【００２４】アクチュエータの可動アーム部が、アーム
部材と、アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素
子とを備えていることも好ましい。
部材と、アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素
子とを備えていることも好ましい。
【００２５】本発明によれば、さらにまた、少なくとも
１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、少なくと
も１つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチ
ュエータとの接着方法であって、ヘッドスライダの側面
をアクチュエータの１対の可動アーム部で挟んだ後、ヘ
ッドスライダの各側面に設けられた少なくとも１つの溝
に接着剤を流し込むことにより、側面と可動アーム部と
を接着するヘッドスライダとアクチュエータとの接着方
法が提供される。
１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、少なくと
も１つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチ
ュエータとの接着方法であって、ヘッドスライダの側面
をアクチュエータの１対の可動アーム部で挟んだ後、ヘ
ッドスライダの各側面に設けられた少なくとも１つの溝
に接着剤を流し込むことにより、側面と可動アーム部と
を接着するヘッドスライダとアクチュエータとの接着方
法が提供される。
【００２６】アクチュエータとヘッドスライダとを組み
付けた後に、ヘッドスライダの側面に設けた少なくとも
１つの溝に接着剤を流し込んでいる。このように接着剤
を後で付与しているため、接着処理が非常に容易とな
る。しかも、接着剤が接着部に確実に挿入されるので安
定したかつ充分な接着強度を得ることができ、接着剤が
その他の部分にはみだしたりしないのでその量を正確に
制御することができるから、量産時における接着強度、
共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止でき
る。また、接着剤を溝に流し込めるため、アクチュエー
タの可動アーム部の間隔を接着剤用に大きくとる必要が
なく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅か
に大きい程度に設定できる。その結果、接着剤の厚い層
による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアク
チュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限と
することができるから、共振特性及び変位特性の劣化を
防止することができる。
付けた後に、ヘッドスライダの側面に設けた少なくとも
１つの溝に接着剤を流し込んでいる。このように接着剤
を後で付与しているため、接着処理が非常に容易とな
る。しかも、接着剤が接着部に確実に挿入されるので安
定したかつ充分な接着強度を得ることができ、接着剤が
その他の部分にはみだしたりしないのでその量を正確に
制御することができるから、量産時における接着強度、
共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止でき
る。また、接着剤を溝に流し込めるため、アクチュエー
タの可動アーム部の間隔を接着剤用に大きくとる必要が
なく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅か
に大きい程度に設定できる。その結果、接着剤の厚い層
による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアク
チュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限と
することができるから、共振特性及び変位特性の劣化を
防止することができる。
【００２７】少なくとも１つの溝が、ヘッドスライダの
ＡＢＳに沿って形成されていることが好ましい。
ＡＢＳに沿って形成されていることが好ましい。
【００２８】少なくとも１つの溝が、ヘッドスライダの
各側面のＡＢＳ側のエッジに設けられた１つの溝である
ことも好ましい。
各側面のＡＢＳ側のエッジに設けられた１つの溝である
ことも好ましい。
【００２９】本発明によれば、各々が少なくとも１つの
ヘッド素子を有するヘッドスライダが複数互いに連接し
て配列されたバーの各ヘッドスライダ間に非貫通溝を形
成し、非貫通溝の中央を非貫通溝の幅より狭い幅を有す
る切断刃によって切断してヘッドスライダを個々に分離
するヘッドスライダの製造方法が提供される。
ヘッド素子を有するヘッドスライダが複数互いに連接し
て配列されたバーの各ヘッドスライダ間に非貫通溝を形
成し、非貫通溝の中央を非貫通溝の幅より狭い幅を有す
る切断刃によって切断してヘッドスライダを個々に分離
するヘッドスライダの製造方法が提供される。
【００３０】バーの状態において、非貫通溝を形成する
のみで接着剤を流し込むための溝が得られるので、製造
工程をさほど変える必要がないから工程が複雑化するこ
とを防止できる。
のみで接着剤を流し込むための溝が得られるので、製造
工程をさほど変える必要がないから工程が複雑化するこ
とを防止できる。
【００３１】非貫通溝をＡＢＳ側に形成することが好ま
しい。
しい。
【００３２】本発明によれば、また、少なくとも１つの
ヘッド素子を有しており、側面に接着剤を流し込むため
の少なくとも１つの溝を備えたヘッドスライダを形成
し、一方、基部及びこの基部から突出しており駆動信号
に従って変位する１対の可動アーム部を備えており、少
なくとも１つのヘッド素子の微小位置決め用のアクチュ
エータを形成し、アクチュエータの１対の可動アーム部
間にヘッドスライダを挟んだ後、少なくとも１つの溝に
接着剤を流し込むことにより、ヘッドスライダの側面と
アクチュエータの可動アーム部とを接着し、アクチュエ
ータの基部を支持機構に固着するＨＧＡの製造方法が提
供される。
ヘッド素子を有しており、側面に接着剤を流し込むため
の少なくとも１つの溝を備えたヘッドスライダを形成
し、一方、基部及びこの基部から突出しており駆動信号
に従って変位する１対の可動アーム部を備えており、少
なくとも１つのヘッド素子の微小位置決め用のアクチュ
エータを形成し、アクチュエータの１対の可動アーム部
間にヘッドスライダを挟んだ後、少なくとも１つの溝に
接着剤を流し込むことにより、ヘッドスライダの側面と
アクチュエータの可動アーム部とを接着し、アクチュエ
ータの基部を支持機構に固着するＨＧＡの製造方法が提
供される。
【００３３】アクチュエータとヘッドスライダとを組み
付けた後に、ヘッドスライダの側面に設けた少なくとも
１つの溝に接着剤を流し込んでいる。このように接着剤
を後で付与しているため、接着処理が非常に容易とな
る。しかも、接着剤が接着部に確実に挿入されるので安
定したかつ充分な接着強度を得ることができ、接着剤が
その他の部分にはみだしたりしないのでその量を正確に
制御することができるから、量産時における接着強度、
共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止でき
る。また、接着剤を溝に流し込めるため、アクチュエー
タの可動アーム部の間隔を接着剤用に大きくとる必要が
なく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅か
に大きい程度に設定できる。その結果、接着剤の厚い層
による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアク
チュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限と
することができるから、共振特性及び変位特性の劣化を
防止することができる。
付けた後に、ヘッドスライダの側面に設けた少なくとも
１つの溝に接着剤を流し込んでいる。このように接着剤
を後で付与しているため、接着処理が非常に容易とな
る。しかも、接着剤が接着部に確実に挿入されるので安
定したかつ充分な接着強度を得ることができ、接着剤が
その他の部分にはみだしたりしないのでその量を正確に
制御することができるから、量産時における接着強度、
共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止でき
る。また、接着剤を溝に流し込めるため、アクチュエー
タの可動アーム部の間隔を接着剤用に大きくとる必要が
なく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅か
に大きい程度に設定できる。その結果、接着剤の厚い層
による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアク
チュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限と
することができるから、共振特性及び変位特性の劣化を
防止することができる。
【００３４】少なくとも１つの溝が、ヘッドスライダの
ＡＢＳに沿って形成されていることが好ましい。
ＡＢＳに沿って形成されていることが好ましい。
【００３５】少なくとも１つの溝が、各側面のＡＢＳ側
のエッジに設けられた１つの溝であることも好ましい。
溝が、エッジの全長に渡って形成されていることも好ま
しい。
のエッジに設けられた１つの溝であることも好ましい。
溝が、エッジの全長に渡って形成されていることも好ま
しい。
【００３６】アクチュエータの１対の可動アーム部の間
隔を、ヘッドスライダの２つの側面間の距離にほぼ等し
いか僅かに大きくすることも好ましい。
隔を、ヘッドスライダの２つの側面間の距離にほぼ等し
いか僅かに大きくすることも好ましい。
【００３７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態とし
て、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視
図であり、図２はＨＧＡ全体を表す斜視図であり、図３
及び図４は本実施形態におけるＨＧＡの先端部を互いに
異なる方向から見た斜視図である。
て、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視
図であり、図２はＨＧＡ全体を表す斜視図であり、図３
及び図４は本実施形態におけるＨＧＡの先端部を互いに
異なる方向から見た斜視図である。
【００３８】図１において、１０は軸１１の回りを回転
する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダを
トラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ
装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置
１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１
４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばボイ
スコイルモータ（ＶＣＭ）からなる主アクチュエータ１
５とから主として構成されている。
する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダを
トラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ
装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置
１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１
４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばボイ
スコイルモータ（ＶＣＭ）からなる主アクチュエータ１
５とから主として構成されている。
【００３９】キャリッジ１４には、軸１３の方向にスタ
ックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられ
ており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固
着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられ
ている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表
面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設
けられている。
ックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられ
ており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固
着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられ
ている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表
面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設
けられている。
【００４０】図２〜図４に示すように、ＨＧＡは、サス
ペンション２０の先端部に、磁気ヘッド素子を有する磁
気ヘッドスライダ２１の側面を挟持している精密位置決
めを行うためのアクチュエータ２２を固着して構成され
る。
ペンション２０の先端部に、磁気ヘッド素子を有する磁
気ヘッドスライダ２１の側面を挟持している精密位置決
めを行うためのアクチュエータ２２を固着して構成され
る。
【００４１】図１に示す主アクチュエータ１５はＨＧＡ
１７を取り付けた駆動アーム１６を変位させてアセンブ
リ全体を動かすために設けられており、アクチュエータ
２２はそのような主アクチュエータ１５では駆動できな
い微細な変位を可能にするために設けられている。
１７を取り付けた駆動アーム１６を変位させてアセンブ
リ全体を動かすために設けられており、アクチュエータ
２２はそのような主アクチュエータ１５では駆動できな
い微細な変位を可能にするために設けられている。
【００４２】サスペンション２０は、図２〜図４に示す
ように、第１及び第２のロードビーム２３及び２４と、
これら第１及び第２のロードビーム２３及び２４を互い
に連結する弾性を有するヒンジ２５と、第２のロードビ
ーム２４及びヒンジ２５上に固着支持された弾性を有す
るフレクシャ２６と、第１のロードビーム２３の取り付
け部２３ａに設けられた円形のベースプレート２７とか
ら主として構成されている。
ように、第１及び第２のロードビーム２３及び２４と、
これら第１及び第２のロードビーム２３及び２４を互い
に連結する弾性を有するヒンジ２５と、第２のロードビ
ーム２４及びヒンジ２５上に固着支持された弾性を有す
るフレクシャ２６と、第１のロードビーム２３の取り付
け部２３ａに設けられた円形のベースプレート２７とか
ら主として構成されている。
【００４３】フレクシャ２６は、第２のロードビーム２
４に設けられたディンプル（図示なし）に押圧される軟
らかい舌部２６ａを一方の端部に有しており、この舌部
２６ａ上には、ポリイミド等による絶縁層２６ｂを介し
てアクチュエータ２２の基部２２ａが固着されている。
このフレクシャ２６は、この舌部２６ａでアクチュエー
タ２２を介して磁気ヘッドスライダ２１を柔軟に支える
ような弾性を持っている。フレクシャ２６は、本実施形
態では、厚さ約２０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵ
Ｓ３０４ＴＡ）によって構成されている。なお、フレク
シャ２６と第２のロードビーム２４及びヒンジ２５との
固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によって
なされている。
４に設けられたディンプル（図示なし）に押圧される軟
らかい舌部２６ａを一方の端部に有しており、この舌部
２６ａ上には、ポリイミド等による絶縁層２６ｂを介し
てアクチュエータ２２の基部２２ａが固着されている。
このフレクシャ２６は、この舌部２６ａでアクチュエー
タ２２を介して磁気ヘッドスライダ２１を柔軟に支える
ような弾性を持っている。フレクシャ２６は、本実施形
態では、厚さ約２０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵ
Ｓ３０４ＴＡ）によって構成されている。なお、フレク
シャ２６と第２のロードビーム２４及びヒンジ２５との
固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によって
なされている。
【００４４】ヒンジ２５は、第２のロードビーム２４に
アクチュエータ２２を介してスライダ２１を磁気ディス
ク方向に押えつける力を与えるための弾性を有してい
る。このヒンジ２５は、本実施形態では、厚さ約４０μ
ｍのステンレス鋼板によって構成されている。
アクチュエータ２２を介してスライダ２１を磁気ディス
ク方向に押えつける力を与えるための弾性を有してい
る。このヒンジ２５は、本実施形態では、厚さ約４０μ
ｍのステンレス鋼板によって構成されている。
【００４５】第１のロードビーム２３は、本実施形態で
は、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されてお
り、ヒンジ２５をその全面に渡って支持している。ただ
し、ロードビーム２３とヒンジ２５との固着は、複数の
溶接点によるピンポイント固着によってなされている。
また、第２のロードビーム２４も、本実施形態では、約
１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒン
ジ２５にその端部において固着されている。ただし、ロ
ードビーム２４とヒンジ２５との固着も、複数の溶接点
によるピンポイント固着によってなされている。なお、
この第２のロードビーム２４の先端には、非動作時にＨ
ＧＡを磁気ディスク表面から離しておくためのリフトタ
ブ２４ａが設けられている。
は、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されてお
り、ヒンジ２５をその全面に渡って支持している。ただ
し、ロードビーム２３とヒンジ２５との固着は、複数の
溶接点によるピンポイント固着によってなされている。
また、第２のロードビーム２４も、本実施形態では、約
１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒン
ジ２５にその端部において固着されている。ただし、ロ
ードビーム２４とヒンジ２５との固着も、複数の溶接点
によるピンポイント固着によってなされている。なお、
この第２のロードビーム２４の先端には、非動作時にＨ
ＧＡを磁気ディスク表面から離しておくためのリフトタ
ブ２４ａが設けられている。
【００４６】ベースプレート２７は、本実施形態では、
約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されてお
り、第１のロードビーム２３の基部の取り付け部２３ａ
に溶接によって固着されている。このベースプレート２
７が駆動アーム１６（図１）に取り付けられる。
約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されてお
り、第１のロードビーム２３の基部の取り付け部２３ａ
に溶接によって固着されている。このベースプレート２
７が駆動アーム１６（図１）に取り付けられる。
【００４７】フレクシャ２６上には、積層薄膜パターン
による複数のリード導体を含む可撓性の配線部材２８が
形成又は載置されている。配線部材２８は、フレクシブ
ルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔ Ｃｉ
ｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基
板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成さ
れている。この配線部材２８は、例えば、厚さ約５μｍ
のポリイミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、
パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体
層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による
第２の絶縁性材料層をこの順序でフレクシャ２６側から
順次積層することによって形成される。ただし、磁気ヘ
ッド素子、アクチュエータ及び外部回路と接続するため
の接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成さ
れており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。
による複数のリード導体を含む可撓性の配線部材２８が
形成又は載置されている。配線部材２８は、フレクシブ
ルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔ Ｃｉ
ｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基
板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成さ
れている。この配線部材２８は、例えば、厚さ約５μｍ
のポリイミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、
パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体
層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による
第２の絶縁性材料層をこの順序でフレクシャ２６側から
順次積層することによって形成される。ただし、磁気ヘ
ッド素子、アクチュエータ及び外部回路と接続するため
の接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成さ
れており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。
【００４８】本実施形態においてこの配線部材２８は、
磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本の
リード導体を含む第１の配線部材２８ａと、アクチュエ
ータ２２に接続される片側１本、両側で計２本のリード
導体を含む第２の配線部材２８ｂとから構成されてい
る。
磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本の
リード導体を含む第１の配線部材２８ａと、アクチュエ
ータ２２に接続される片側１本、両側で計２本のリード
導体を含む第２の配線部材２８ｂとから構成されてい
る。
【００４９】第１の配線部材２８ａのリード導体の一端
は、フレクシャ２６の先端部において、このフレクシャ
２６から切り離されており自由運動できる分離部２６ｃ
上に設けられた磁気ヘッド素子用接続パッド２９に接続
されている。接続パッド２９は、磁気ヘッドスライダ２
１の端子電極２１ａに金ボンディング、ワイヤボンディ
ング又はステッチボンディング等により接続されてい
る。第１の配線部材２８ａのリード導体の他端は外部回
路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続さ
れている。
は、フレクシャ２６の先端部において、このフレクシャ
２６から切り離されており自由運動できる分離部２６ｃ
上に設けられた磁気ヘッド素子用接続パッド２９に接続
されている。接続パッド２９は、磁気ヘッドスライダ２
１の端子電極２１ａに金ボンディング、ワイヤボンディ
ング又はステッチボンディング等により接続されてい
る。第１の配線部材２８ａのリード導体の他端は外部回
路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続さ
れている。
【００５０】第２の配線部材２８ｂのリード導体の一端
は、フレクシャ２６の舌部２６ａの絶縁層２６ｂ上に形
成されたアクチュエータ用接続パッド３１に接続されて
おり、この接続パッド３１はアクチュエータ２２の基部
２２ａに設けられたＡチャネル及びＢチャネル信号端子
電極２２ｂ及び２２ｃにそれぞれ接続されている。第２
の配線部材２８ｂのリード導体の他端は外部回路と接続
するための外部回路用接続パッド３０に接続されてい
る。
は、フレクシャ２６の舌部２６ａの絶縁層２６ｂ上に形
成されたアクチュエータ用接続パッド３１に接続されて
おり、この接続パッド３１はアクチュエータ２２の基部
２２ａに設けられたＡチャネル及びＢチャネル信号端子
電極２２ｂ及び２２ｃにそれぞれ接続されている。第２
の配線部材２８ｂのリード導体の他端は外部回路と接続
するための外部回路用接続パッド３０に接続されてい
る。
【００５１】本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの
構造は、以上述べた構造に限定されるものではないこと
は明らかである。なお、図示されていないが、サスペン
ション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着して
もよい。
構造は、以上述べた構造に限定されるものではないこと
は明らかである。なお、図示されていないが、サスペン
ション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着して
もよい。
【００５２】図５は本実施形態におけるアクチュエータ
の構造を示す平面図であり、図６はこのアクチュエータ
の圧電素子部分の構造を示す断面図であり、図７はこの
アクチュエータの動作を説明するための斜視図である。
の構造を示す平面図であり、図６はこのアクチュエータ
の圧電素子部分の構造を示す断面図であり、図７はこの
アクチュエータの動作を説明するための斜視図である。
【００５３】図５に示すように、アクチュエータ２２
は、その平面形状が略コ字状となっており、サスペンシ
ョンに固着される基部５０（２２ａ）の両端から１対の
可動アーム部５１及び５２が垂直に伸びている。可動ア
ーム部５１及び５２の先端部には、磁気ヘッドスライダ
２１の側面２１ｂ及び２１ｃに固着されるスライダ固着
部５３及び５４がそれぞれ設けられている。スライダ固
着部５３及び５４間の間隔は、挟設すべき磁気ヘッドス
ライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きくなるよ
うに設定されている。アクチュエータ２２の厚さは、ア
クチュエータ実装によりＨＧＡの厚さを増大させないよ
うに、挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さ以下に設定
されている。逆にいえば、アクチュエータ２２の厚さを
挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さまで大きくするこ
とによって、ＨＧＡの厚さを増大させることなくアクチ
ュエータ自体の強度を上げることができる。
は、その平面形状が略コ字状となっており、サスペンシ
ョンに固着される基部５０（２２ａ）の両端から１対の
可動アーム部５１及び５２が垂直に伸びている。可動ア
ーム部５１及び５２の先端部には、磁気ヘッドスライダ
２１の側面２１ｂ及び２１ｃに固着されるスライダ固着
部５３及び５４がそれぞれ設けられている。スライダ固
着部５３及び５４間の間隔は、挟設すべき磁気ヘッドス
ライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きくなるよ
うに設定されている。アクチュエータ２２の厚さは、ア
クチュエータ実装によりＨＧＡの厚さを増大させないよ
うに、挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さ以下に設定
されている。逆にいえば、アクチュエータ２２の厚さを
挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さまで大きくするこ
とによって、ＨＧＡの厚さを増大させることなくアクチ
ュエータ自体の強度を上げることができる。
【００５４】スライダ固着部５３及び５４は、磁気ヘッ
ドスライダ２１方向に突出しており、これによって、こ
の部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着さ
れ、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部５１及び５
２との間の残りの部分が空隙となるようになされてい
る。
ドスライダ２１方向に突出しており、これによって、こ
の部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着さ
れ、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部５１及び５
２との間の残りの部分が空隙となるようになされてい
る。
【００５５】可動アーム部５１及び５２は、それぞれ、
アーム部材５１ａ及び５２ａとこれらアーム部材５１ａ
及び５２ａの側面に形成された圧電素子５１ｂ及び５２
ｂとから構成されている。
アーム部材５１ａ及び５２ａとこれらアーム部材５１ａ
及び５２ａの側面に形成された圧電素子５１ｂ及び５２
ｂとから構成されている。
【００５６】基部５０並びにアーム部材５１ａ及び５２
ａは、弾性を有するセラミック焼結体、例えばＺｒＯ２
で一体的に形成されている。このように、アクチュエー
タの主要部を剛性の高い即ちたわみに対して強いＺｒＯ
２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエ
ータ自体の耐衝撃性が向上する。
ａは、弾性を有するセラミック焼結体、例えばＺｒＯ２
で一体的に形成されている。このように、アクチュエー
タの主要部を剛性の高い即ちたわみに対して強いＺｒＯ
２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエ
ータ自体の耐衝撃性が向上する。
【００５７】圧電素子５１ｂ及び５２ｂの各々は、図６
に示すように、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する
圧電・電歪材料層６０と信号電極層６１とグランド電極
層６２とが交互に積層された多層構造となっている。信
号電極層６１は図３及び図４に示すＡチャネル又はＢチ
ャネル信号端子電極２２ｂ又は２２ｃに接続されてお
り、グランド電極層６２はグランド端子２２ｄ又は２２
ｅに接続されている。
に示すように、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する
圧電・電歪材料層６０と信号電極層６１とグランド電極
層６２とが交互に積層された多層構造となっている。信
号電極層６１は図３及び図４に示すＡチャネル又はＢチ
ャネル信号端子電極２２ｂ又は２２ｃに接続されてお
り、グランド電極層６２はグランド端子２２ｄ又は２２
ｅに接続されている。
【００５８】圧電・電歪材料層６０がＰＺＴ等のいわゆ
る圧電材料から構成されており、通常、変位性能向上の
ための分極処理が施されている。この分極処理による分
極方向は、圧電素子の積層方向である。電極層に電圧を
印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、
両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧
電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）す
る。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電
・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、
その面内方向では伸長（圧電横効果）する。
る圧電材料から構成されており、通常、変位性能向上の
ための分極処理が施されている。この分極処理による分
極方向は、圧電素子の積層方向である。電極層に電圧を
印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、
両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧
電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）す
る。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電
・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、
その面内方向では伸長（圧電横効果）する。
【００５９】圧電素子５１ｂ及び５２ｂに、収縮又は伸
長を生じさせる電圧を印加すると、各圧電素子部分がそ
の都度収縮又は伸長し、これによって可動アーム部５１
及び５２の各々は、図７に示すようにＳ字状に撓みその
先端部が横方向に直線的に揺動する。その結果、磁気ヘ
ッドスライダ２１も同様に横方向に直線的に揺動する。
このように、角揺動ではなく、直線揺動であるため、磁
気ヘッド素子のより精度の高い位置決めが可能となる。
長を生じさせる電圧を印加すると、各圧電素子部分がそ
の都度収縮又は伸長し、これによって可動アーム部５１
及び５２の各々は、図７に示すようにＳ字状に撓みその
先端部が横方向に直線的に揺動する。その結果、磁気ヘ
ッドスライダ２１も同様に横方向に直線的に揺動する。
このように、角揺動ではなく、直線揺動であるため、磁
気ヘッド素子のより精度の高い位置決めが可能となる。
【００６０】両圧電素子に、互いに逆の変位が生じるよ
うな電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の圧電素
子と他方の圧電素子とに、一方が伸長したとき他方が収
縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電
圧を同時に印加してもよい。このときの可動アーム部の
揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。
この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、
電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、こ
の場合、揺動の一方の側では圧電素子を伸長させること
になり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。
このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行
う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれが
ある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電
圧を加えておき、このバイアス電圧に上述の交番電圧を
重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の
向きが分極の向きと逆になることがないようにする。こ
の場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位
置を中央とするものとなる。
うな電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の圧電素
子と他方の圧電素子とに、一方が伸長したとき他方が収
縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電
圧を同時に印加してもよい。このときの可動アーム部の
揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。
この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、
電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、こ
の場合、揺動の一方の側では圧電素子を伸長させること
になり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。
このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行
う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれが
ある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電
圧を加えておき、このバイアス電圧に上述の交番電圧を
重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の
向きが分極の向きと逆になることがないようにする。こ
の場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位
置を中央とするものとなる。
【００６１】なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果ま
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
【００６２】このように、アクチュエータ２２は、可動
アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスライダ２１の側
面を挟み込むように構成しているため、アクチュエータ
２２を設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しない。
このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置
の寸法変更等は不要となる。また、アクチュエータ２２
及び磁気ヘッドスライダ２１の複合体がカンチレバー構
造とはなっていないため、耐衝撃性が大幅に向上する。
しかも、可動アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスラ
イダ２１を挟設する構造としているため、変位を実際に
与える可動アーム部５１及び５２の先端部が磁気ヘッド
スライダ２１の先端まで伸ばせることとなる。このた
め、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った場合にも微
小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供でき
るから必要十分なストロークを得ることができる。
アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスライダ２１の側
面を挟み込むように構成しているため、アクチュエータ
２２を設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しない。
このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置
の寸法変更等は不要となる。また、アクチュエータ２２
及び磁気ヘッドスライダ２１の複合体がカンチレバー構
造とはなっていないため、耐衝撃性が大幅に向上する。
しかも、可動アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスラ
イダ２１を挟設する構造としているため、変位を実際に
与える可動アーム部５１及び５２の先端部が磁気ヘッド
スライダ２１の先端まで伸ばせることとなる。このた
め、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った場合にも微
小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供でき
るから必要十分なストロークを得ることができる。
【００６３】本発明においては、磁気ヘッドスライダ２
１の形状に工夫が施されている。即ち、磁気ヘッドスラ
イダ２１の両側面２１ｂ及び２１ｃに、アクチュエータ
２２との接着時に接着剤を流し込むための少なくとも１
つの凹部が設けられている。以下、この点について詳細
に説明する。
１の形状に工夫が施されている。即ち、磁気ヘッドスラ
イダ２１の両側面２１ｂ及び２１ｃに、アクチュエータ
２２との接着時に接着剤を流し込むための少なくとも１
つの凹部が設けられている。以下、この点について詳細
に説明する。
【００６４】図８及び図９は本実施形態における磁気ヘ
ッドスライダ２１をアクチュエータ２２に接着した状態
を互いに異なる方向から見た斜視図であり、図１０及び
図１１は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２１及
びアクチュエータ２２を互いに異なる方向から見た分解
斜視図であり、図１２は本実施形態における磁気ヘッド
スライダ２１をアクチュエータ２２に接着した状態を磁
気ヘッドスライダ２１の素子形成面側ら見た立面図であ
り、図１３は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２
１及びアクチュエータ２２を磁気ヘッドスライダ２１の
素子形成面側から見た分解立面図である。
ッドスライダ２１をアクチュエータ２２に接着した状態
を互いに異なる方向から見た斜視図であり、図１０及び
図１１は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２１及
びアクチュエータ２２を互いに異なる方向から見た分解
斜視図であり、図１２は本実施形態における磁気ヘッド
スライダ２１をアクチュエータ２２に接着した状態を磁
気ヘッドスライダ２１の素子形成面側ら見た立面図であ
り、図１３は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２
１及びアクチュエータ２２を磁気ヘッドスライダ２１の
素子形成面側から見た分解立面図である。
【００６５】これらの図、図１〜図５及び図７に示すよ
うに、磁気ヘッドスライダ２１は、ＡＢＳ２１ｄ、その
反対側の面２１ｅ、側面２１ｂ及び２１ｃ、前面２１
ｆ、磁気ヘッド素子２１ｇ及び端子電極２１ａが形成さ
れた素子形成面（後面）２１ｈを備えた略直方体形状と
なっており、特に本実施形態では、側面２１ｂ及び２１
ｃのそれぞれのＡＢＳ２１ｄ側のエッジの全長に渡って
形成された溝２１ｉ及び２１ｊを備えている。これら溝
２１ｉ及び２１ｊは、磁気ヘッドスライダ２１をアクチ
ュエータ２２のスライダ固着部５３及び５４に接着する
際に接着剤を流し込むために設けられている。このよう
な溝２１ｉ及び２１ｊを側面２１ｂ及び２１ｃにそれぞ
れ設けることによって、種々の利点が得られる。以下こ
の点について説明する。
うに、磁気ヘッドスライダ２１は、ＡＢＳ２１ｄ、その
反対側の面２１ｅ、側面２１ｂ及び２１ｃ、前面２１
ｆ、磁気ヘッド素子２１ｇ及び端子電極２１ａが形成さ
れた素子形成面（後面）２１ｈを備えた略直方体形状と
なっており、特に本実施形態では、側面２１ｂ及び２１
ｃのそれぞれのＡＢＳ２１ｄ側のエッジの全長に渡って
形成された溝２１ｉ及び２１ｊを備えている。これら溝
２１ｉ及び２１ｊは、磁気ヘッドスライダ２１をアクチ
ュエータ２２のスライダ固着部５３及び５４に接着する
際に接着剤を流し込むために設けられている。このよう
な溝２１ｉ及び２１ｊを側面２１ｂ及び２１ｃにそれぞ
れ設けることによって、種々の利点が得られる。以下こ
の点について説明する。
【００６６】図１４はこのような溝を持たない従来の磁
気ヘッドスライダ２１´とアクチュエータとを接着する
状況を説明する図であり、図１５は本実施形態の磁気ヘ
ッドスライダ２１とアクチュエータ２２とを接着する状
況を説明する図である。
気ヘッドスライダ２１´とアクチュエータとを接着する
状況を説明する図であり、図１５は本実施形態の磁気ヘ
ッドスライダ２１とアクチュエータ２２とを接着する状
況を説明する図である。
【００６７】図１４（Ａ）に示すように、従来技術によ
ると、接着剤を流し込むために、磁気ヘッドスライダ２
１´を把持するアクチュエータのスライダ固着部５３´
及び５４´の間隔をあらかじめ大きくとっておく必要が
ある。このため、磁気ヘッドスライダ２１´の側面とス
ライダ固着部５３´及び５４´との左右の間隔１４０及
び１４１を均等に制御することが非常に難しく、また、
接着剤の層が厚くなりすぎて共振特性の劣化及び変位量
の減少が起こる可能性がある。さらに、同図（Ｂ）に示
すように、接着面間の中央部で接着剤によるくびれ１４
２が生じてしまうことから接着強度が低下し、かつ共振
周波数の低下及び変位量の減少が起こる可能性がある。
さらにまた、粘性の高い接着剤を用いると、可動アーム
部及びヘッドスライダ側面の接着面に接着剤が充分に回
り込まず、充分な接着強度が得られない。また、同図
（Ｂ）に示すように、接着剤を塗布した後にアクチュエ
ータと磁気ヘッドスライダ２１´とを組み付けるため、
接着剤が接着面からはみだして磁気ヘッドスライダのＡ
ＢＳに付着１４３が生じたり、下方の面に付着１４４が
生じてしまう。このため、使用する接着剤の量を正確に
制御することが難しい。さらに、以上のことに起因し
て、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特
性等にばらつきが発生するといった問題が生じる。
ると、接着剤を流し込むために、磁気ヘッドスライダ２
１´を把持するアクチュエータのスライダ固着部５３´
及び５４´の間隔をあらかじめ大きくとっておく必要が
ある。このため、磁気ヘッドスライダ２１´の側面とス
ライダ固着部５３´及び５４´との左右の間隔１４０及
び１４１を均等に制御することが非常に難しく、また、
接着剤の層が厚くなりすぎて共振特性の劣化及び変位量
の減少が起こる可能性がある。さらに、同図（Ｂ）に示
すように、接着面間の中央部で接着剤によるくびれ１４
２が生じてしまうことから接着強度が低下し、かつ共振
周波数の低下及び変位量の減少が起こる可能性がある。
さらにまた、粘性の高い接着剤を用いると、可動アーム
部及びヘッドスライダ側面の接着面に接着剤が充分に回
り込まず、充分な接着強度が得られない。また、同図
（Ｂ）に示すように、接着剤を塗布した後にアクチュエ
ータと磁気ヘッドスライダ２１´とを組み付けるため、
接着剤が接着面からはみだして磁気ヘッドスライダのＡ
ＢＳに付着１４３が生じたり、下方の面に付着１４４が
生じてしまう。このため、使用する接着剤の量を正確に
制御することが難しい。さらに、以上のことに起因し
て、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特
性等にばらつきが発生するといった問題が生じる。
【００６８】これに対して、図１５に示すように、接着
剤１５０及び１５１を流し込むための溝２１ｉ及び２１
ｊを磁気ヘッドスライダ２１の側面２１ｂ及び２１ｃに
それぞれ設けることによって、接着剤が接着個所に確実
に挿入されるので安定したかつ充分な接着強度を得るこ
とができる。また、接着剤がその他の部分にはみだした
りしないので、その量を正確に制御することができるか
ら、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特
性等にばらつき発生を防止できる。さらに、磁気ヘッド
スライダ２１を把持するアクチュエータ２２のスライダ
固着部５３及び５４の間隔を大きくとることなく、磁気
ヘッドスライダ２１の幅にほぼ等しいかこれより僅かに
大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層による影
響が少なくなり、しかも磁気ヘッドスライダ２１とアク
チュエータ２２との接着部における左右の間隔差を最小
限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣
化を防止することができる。さらにまた、アクチュエー
タ２２と磁気ヘッドスライダ２１とを組み付けた後に接
着剤を流し込めば良いため、接着処理が非常に容易とな
る。
剤１５０及び１５１を流し込むための溝２１ｉ及び２１
ｊを磁気ヘッドスライダ２１の側面２１ｂ及び２１ｃに
それぞれ設けることによって、接着剤が接着個所に確実
に挿入されるので安定したかつ充分な接着強度を得るこ
とができる。また、接着剤がその他の部分にはみだした
りしないので、その量を正確に制御することができるか
ら、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特
性等にばらつき発生を防止できる。さらに、磁気ヘッド
スライダ２１を把持するアクチュエータ２２のスライダ
固着部５３及び５４の間隔を大きくとることなく、磁気
ヘッドスライダ２１の幅にほぼ等しいかこれより僅かに
大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層による影
響が少なくなり、しかも磁気ヘッドスライダ２１とアク
チュエータ２２との接着部における左右の間隔差を最小
限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣
化を防止することができる。さらにまた、アクチュエー
タ２２と磁気ヘッドスライダ２１とを組み付けた後に接
着剤を流し込めば良いため、接着処理が非常に容易とな
る。
【００６９】なお、上述した実施形態では、溝２１ｉ及
び２１ｊを磁気ヘッドスライダ２１の側面２１ｂ及び２
１ｃのＡＢＳ２１ｄ側のエッジの全長に渡って形成して
いるが、接着部であるアクチュエータ２２のスライダ固
着部５３及び５４に対応する部分のみに溝を設けても良
いことは明らかである。また、溝に代えて、その他の形
状の凹部を設けても良い。さらに、各側面に設ける溝又
は凹部の数は、複数であっても良い。
び２１ｊを磁気ヘッドスライダ２１の側面２１ｂ及び２
１ｃのＡＢＳ２１ｄ側のエッジの全長に渡って形成して
いるが、接着部であるアクチュエータ２２のスライダ固
着部５３及び５４に対応する部分のみに溝を設けても良
いことは明らかである。また、溝に代えて、その他の形
状の凹部を設けても良い。さらに、各側面に設ける溝又
は凹部の数は、複数であっても良い。
【００７０】図１６は本実施形態における磁気ヘッドス
ライダの製造工程の一部を説明する斜視図である。
ライダの製造工程の一部を説明する斜視図である。
【００７１】まず、薄膜技術によって多数の磁気ヘッド
素子がマトリクス状に形成されたウエハを切断すること
により、複数のバーを得る。各バー１６０は、同図
（Ａ）に示すように、それぞれが磁気ヘッド素子１６１
を有する磁気ヘッドスライダが複数互いに連接して配列
されている。
素子がマトリクス状に形成されたウエハを切断すること
により、複数のバーを得る。各バー１６０は、同図
（Ａ）に示すように、それぞれが磁気ヘッド素子１６１
を有する磁気ヘッドスライダが複数互いに連接して配列
されている。
【００７２】次いで、同図（Ｂ）に示すように、砥石１
６２によってバー１６０のＡＢＳ側から溝加工を行う。
この溝加工は、同図（Ｃ）に示すように、バー１６０を
貫通させることなく途中で止めるように行い、これによ
って、砥石１６２の刃先形状に対応する形状の非貫通溝
１６３を形成する。
６２によってバー１６０のＡＢＳ側から溝加工を行う。
この溝加工は、同図（Ｃ）に示すように、バー１６０を
貫通させることなく途中で止めるように行い、これによ
って、砥石１６２の刃先形状に対応する形状の非貫通溝
１６３を形成する。
【００７３】次いで、同図（Ｄ）に示すように、非貫通
溝１６３の中央をこの非貫通溝の幅より狭い幅を有する
砥石１６４で溝加工することにより、バー１６０を切断
し、同図（Ｅ）及び（Ｆ）に示すように、個々に分離さ
れた磁気ヘッドスライダ１６５を形成する。
溝１６３の中央をこの非貫通溝の幅より狭い幅を有する
砥石１６４で溝加工することにより、バー１６０を切断
し、同図（Ｅ）及び（Ｆ）に示すように、個々に分離さ
れた磁気ヘッドスライダ１６５を形成する。
【００７４】従って、このようにして得られた磁気ヘッ
ドスライダ１６５は、その両側面のＡＢＳ側のエッジの
全長に渡って溝１６６を有することとなる。
ドスライダ１６５は、その両側面のＡＢＳ側のエッジの
全長に渡って溝１６６を有することとなる。
【００７５】このように、本実施形態によれば、バー１
６０の状態において、非貫通溝１６３を形成するのみで
接着剤を流し込むための溝１６６が得られるので、溝形
成のためにバー１６０を治具から張り替える等の工程が
不用となるから、製造工程を現行のものからさほど変え
る必要がなく、工程が複雑化しない。
６０の状態において、非貫通溝１６３を形成するのみで
接着剤を流し込むための溝１６６が得られるので、溝形
成のためにバー１６０を治具から張り替える等の工程が
不用となるから、製造工程を現行のものからさほど変え
る必要がなく、工程が複雑化しない。
【００７６】図１７は、本発明の他の実施形態において
磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を
示す斜視図である。
磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を
示す斜視図である。
【００７７】本実施形態における磁気ヘッドスライダ２
１の構成は、上述した図１の実施形態の場合と全く同様
である。
１の構成は、上述した図１の実施形態の場合と全く同様
である。
【００７８】しかしながら、本実施形態においては、ア
クチュエータ２２´の主要部が、１枚の金属板をコ字状
に切り抜いたものを立体的に折り曲げて形成されてい
る。即ち、コ字状に切り出した個々のアクチュエータ部
材を、図にて上側の面がサスペンションへの固着面とな
る平板状の基部１７０の両側端が略垂直に折り曲げ、そ
の部分から基部１７０に対して略垂直を保った状態で１
対の可動アーム部１７１及び１７２が前方に伸びている
ように形成している。可動アーム部１７１及び１７２
は、磁気ヘッドスライダ２１の側面に平行となるような
平板状に形成されている。
クチュエータ２２´の主要部が、１枚の金属板をコ字状
に切り抜いたものを立体的に折り曲げて形成されてい
る。即ち、コ字状に切り出した個々のアクチュエータ部
材を、図にて上側の面がサスペンションへの固着面とな
る平板状の基部１７０の両側端が略垂直に折り曲げ、そ
の部分から基部１７０に対して略垂直を保った状態で１
対の可動アーム部１７１及び１７２が前方に伸びている
ように形成している。可動アーム部１７１及び１７２
は、磁気ヘッドスライダ２１の側面に平行となるような
平板状に形成されている。
【００７９】可動アーム部１７１及び１７２の先端部
は、内側に（磁気ヘッドスライダ２１の方向に）クラン
ク状に折り曲げられて磁気ヘッドスライダ２１の側面に
固着されるスライダ固着部１７３及び１７４をそれぞれ
形成している。スライダ固着部１７３及び１７４間の間
隔は、挟設すべき磁気ヘッドスライダ２１の幅とほぼ等
しいかこれより僅かに大きくなるように設定されてい
る。このように、スライダ固着部１７３及び１７４が磁
気ヘッドスライダ２１方向に折り曲げられて突出してい
るので、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面
と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部１
７１及び１７２との間の残りの部分に空隙が生じる。
は、内側に（磁気ヘッドスライダ２１の方向に）クラン
ク状に折り曲げられて磁気ヘッドスライダ２１の側面に
固着されるスライダ固着部１７３及び１７４をそれぞれ
形成している。スライダ固着部１７３及び１７４間の間
隔は、挟設すべき磁気ヘッドスライダ２１の幅とほぼ等
しいかこれより僅かに大きくなるように設定されてい
る。このように、スライダ固着部１７３及び１７４が磁
気ヘッドスライダ２１方向に折り曲げられて突出してい
るので、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面
と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部１
７１及び１７２との間の残りの部分に空隙が生じる。
【００８０】可動アーム部１７１及び１７２は、それぞ
れ、アーム部材（１７１ａ）とこれらアーム部材の側面
に形成された圧電素子（１７１ｂ）とから構成されてい
る。
れ、アーム部材（１７１ａ）とこれらアーム部材の側面
に形成された圧電素子（１７１ｂ）とから構成されてい
る。
【００８１】基部１７０並びにアーム部材は、弾性を有
する１枚の金属板、例えばステンレス鋼板、を折り曲げ
て一体的に形成されている。このように、アクチュエー
タの主要部を金属板とすることにより、アクチュエータ
が軽量化されかつアクチュエータ自体の耐衝撃性が大幅
に向上する。金属板としては、ステンレス鋼板等の合金
鋼ばねの他に、炭素鋼ばねや、銅チタン板、リン青銅板
又はベリリウム銅板等の銅合金ばねや、チタン板等、弾
性を有する板ばね部材が用いられる。なお、圧電素子を
印刷及び焼成によって形成する場合には、耐熱性の高い
板部材を用いることが望ましい。
する１枚の金属板、例えばステンレス鋼板、を折り曲げ
て一体的に形成されている。このように、アクチュエー
タの主要部を金属板とすることにより、アクチュエータ
が軽量化されかつアクチュエータ自体の耐衝撃性が大幅
に向上する。金属板としては、ステンレス鋼板等の合金
鋼ばねの他に、炭素鋼ばねや、銅チタン板、リン青銅板
又はベリリウム銅板等の銅合金ばねや、チタン板等、弾
性を有する板ばね部材が用いられる。なお、圧電素子を
印刷及び焼成によって形成する場合には、耐熱性の高い
板部材を用いることが望ましい。
【００８２】このように、本実施形態におけるアクチュ
エータ２２´は、主要部が金属板で形成されているた
め、アクチュエータ全体の軽量化を図ることができ、そ
の結果、機械的振動周波数を高めることができる。ま
た、強度があり軽量である金属板を基材として用いるこ
とにより、特に衝撃に弱い可動アーム部１７１及び１７
２の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。しか
も、強度の高い金属板を用いることから、ＨＧＡへの組
み立て時の取り扱いが非常に容易になる。さらに、金属
板を用いれば、その形状や寸法等で設計上の自由度が向
上するので、充分なストロークを確保することが可能と
なる。また、アクチュエータ形状や寸法等の設計上の自
由度が増すことによって、アクチュエータ２２´の中心
位置に磁気ヘッドスライダ２１の中心及び荷重点（ディ
ンプル位置）を合わせることが可能となり、その結果、
磁気ヘッドスライダ２１の浮上特性が著しく安定化す
る。しかも、高精度に加工できる金属板を用いることに
よって、アクチュエータ２２´自体の寸法精度を大幅に
高めることが可能となる。さらに、可動アーム部１７１
及び１７２間に磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟み込
むように構成しているため、アクチュエータ２２´を設
けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しない。このた
め、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置の寸法
変更等は不要となる。また、アクチュエータ２２´及び
磁気ヘッドスライダ２１の複合体がカンチレバー構造と
はなっていないため、耐衝撃性が大幅に向上する。しか
も、可動アーム部１７１及び１７２間に磁気ヘッドスラ
イダ２１を挟設する構造としているため、変位を実際に
与える可動アーム部１７１及び１７２の先端部が磁気ヘ
ッドスライダ２１の先端まで伸ばせることとなる。この
ため、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った場合にも
微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供で
きるから必要十分なストロークを得ることができる。
エータ２２´は、主要部が金属板で形成されているた
め、アクチュエータ全体の軽量化を図ることができ、そ
の結果、機械的振動周波数を高めることができる。ま
た、強度があり軽量である金属板を基材として用いるこ
とにより、特に衝撃に弱い可動アーム部１７１及び１７
２の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。しか
も、強度の高い金属板を用いることから、ＨＧＡへの組
み立て時の取り扱いが非常に容易になる。さらに、金属
板を用いれば、その形状や寸法等で設計上の自由度が向
上するので、充分なストロークを確保することが可能と
なる。また、アクチュエータ形状や寸法等の設計上の自
由度が増すことによって、アクチュエータ２２´の中心
位置に磁気ヘッドスライダ２１の中心及び荷重点（ディ
ンプル位置）を合わせることが可能となり、その結果、
磁気ヘッドスライダ２１の浮上特性が著しく安定化す
る。しかも、高精度に加工できる金属板を用いることに
よって、アクチュエータ２２´自体の寸法精度を大幅に
高めることが可能となる。さらに、可動アーム部１７１
及び１７２間に磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟み込
むように構成しているため、アクチュエータ２２´を設
けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しない。このた
め、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置の寸法
変更等は不要となる。また、アクチュエータ２２´及び
磁気ヘッドスライダ２１の複合体がカンチレバー構造と
はなっていないため、耐衝撃性が大幅に向上する。しか
も、可動アーム部１７１及び１７２間に磁気ヘッドスラ
イダ２１を挟設する構造としているため、変位を実際に
与える可動アーム部１７１及び１７２の先端部が磁気ヘ
ッドスライダ２１の先端まで伸ばせることとなる。この
ため、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った場合にも
微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供で
きるから必要十分なストロークを得ることができる。
【００８３】磁気ヘッドスライダ２１に接着剤を流し込
むための溝を設けることなど、本実施形態のその他の構
成及び作用効果、さらに変更態様は、図１の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。
むための溝を設けることなど、本実施形態のその他の構
成及び作用効果、さらに変更態様は、図１の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００８４】以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め
用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧ
Ａを用いて本発明を説明したが、本発明は、このような
アクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁
気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子
の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエー
タを備えたＨＧＡにも適用可能である。
用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧ
Ａを用いて本発明を説明したが、本発明は、このような
アクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁
気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子
の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエー
タを備えたＨＧＡにも適用可能である。
【００８５】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【００８６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、ヘッドスライダのアクチュエータと接着される部分
に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの凹部が設
けられているため、接着剤を接着部に確実に挿入するこ
とができるから、安定したかつ充分な接着強度を得るこ
とができる。また、接着剤がその他の部分にはみだした
りしないので、その量を正確に制御することができるか
ら、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特
性等にばらつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスラ
イダを把持するアクチュエータのアーム部の間隔を大き
くとることなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこ
れより僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚
い層による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダと
アクチュエータとの接着部における左右の間隔差を最小
限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣
化を防止することができる。さらにまた、アクチュエー
タとヘッドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込
めば良いため、接着処理が非常に容易となる。
ば、ヘッドスライダのアクチュエータと接着される部分
に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの凹部が設
けられているため、接着剤を接着部に確実に挿入するこ
とができるから、安定したかつ充分な接着強度を得るこ
とができる。また、接着剤がその他の部分にはみだした
りしないので、その量を正確に制御することができるか
ら、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特
性等にばらつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスラ
イダを把持するアクチュエータのアーム部の間隔を大き
くとることなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこ
れより僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚
い層による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダと
アクチュエータとの接着部における左右の間隔差を最小
限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣
化を防止することができる。さらにまた、アクチュエー
タとヘッドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込
めば良いため、接着処理が非常に容易となる。
【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置
の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を表す斜視
図である。
図である。
【図３】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部の斜視
図である。
図である。
【図４】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を図３
とは異なる方向から見た斜視図である。
とは異なる方向から見た斜視図である。
【図５】図１の実施形態におけるアクチュエータの構造
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図６】図５のアクチュエータの圧電素子部分の構造を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図７】図５のアクチュエータの動作を説明するための
斜視図である。
斜視図である。
【図８】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダを
アクチュエータに接着した状態を示す斜視図である。
アクチュエータに接着した状態を示す斜視図である。
【図９】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダを
アクチュエータに接着した状態を図８とは異なる方向か
ら見た斜視図である。
アクチュエータに接着した状態を図８とは異なる方向か
ら見た斜視図である。
【図１０】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダ
をアクチュエータに接着した状態を示す分解斜視図であ
る。
をアクチュエータに接着した状態を示す分解斜視図であ
る。
【図１１】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダ
をアクチュエータに接着した状態を図１０とは異なる方
向から見た分解斜視図である。
をアクチュエータに接着した状態を図１０とは異なる方
向から見た分解斜視図である。
【図１２】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダ
をアクチュエータに接着した状態を磁気ヘッドスライダ
の素子形成面側ら見た立面図である。
をアクチュエータに接着した状態を磁気ヘッドスライダ
の素子形成面側ら見た立面図である。
【図１３】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダ
をアクチュエータに接着した状態を磁気ヘッドスライダ
の素子形成面側ら見た分解立面図である。
をアクチュエータに接着した状態を磁気ヘッドスライダ
の素子形成面側ら見た分解立面図である。
【図１４】接着剤を流し込むための溝を持たない従来の
磁気ヘッドスライダとアクチュエータとを接着する状況
を説明する図である。
磁気ヘッドスライダとアクチュエータとを接着する状況
を説明する図である。
【図１５】図１の実施形態の磁気ヘッドスライダとアク
チュエータとを接着する状況を説明する図である。
チュエータとを接着する状況を説明する図である。
【図１６】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダ
の製造工程の一部を説明する斜視図である。
の製造工程の一部を説明する斜視図である。
【図１７】本発明の他の実施形態において磁気ヘッドス
ライダをアクチュエータに接着した状態を示す斜視図で
ある。
ライダをアクチュエータに接着した状態を示す斜視図で
ある。
１０ 磁気ディスク
１１、１３ 軸
１２ アセンブリキャリッジ装置
１４ キャリッジ
１５ 主アクチュエータ
１６ 駆動アーム
１７ ＨＧＡ
２０ サスペンション
２１、２１´、１６５ 磁気ヘッドスライダ
２１ａ 端子電極
２１ｂ、２１ｃ 側面
２１ｄ ＡＢＳ
２１ｅ 反対側の面
２１ｆ 前面
２１ｇ、１６１ 磁気ヘッド素子
２１ｈ 素子形成面（後面）
２１ｉ、２１ｊ、１６６ 溝
２２、２２´ アクチュエータ
２２ａ、５０、１７０ 基部
２２ｂ、２２ｃ 信号端子電極
２２ｄ、２２ｅ グランド端子電極
２３ 第１のロードビーム
２３ａ 取り付け部
２４ 第２のロードビーム
２４ａ リフトタブ
２５ ヒンジ
２６ フレクシャ
２６ａ 舌部
２６ｂ 絶縁層
２６ｃ 分離部
２７ ベースプレート
２８ 配線部材
２８ａ 第１の配線部材
２８ｂ 第２の配線部材
２９ 磁気ヘッド素子用接続パッド
３０ 外部回路用接続パッド
３１ アクチュエータ用接続パッド
５１、５２、１７１、１７２ 可動アーム部
５１ａ、５２ａ、１７１ａ アーム部材
５１ｂ、５２ｂ、１７１ｂ 圧電素子
５３、５４、５３´、５４´、１７３、１７４ スライ
ダ固着部 ６０ 圧電・電歪材料層 ６１ 信号電極層 ６２ グランド電極層 １４２、１４３、１４４、１５０、１５１ 接着剤 １６０ バー １６２、１６４ 砥石 １６３ 非貫通溝
ダ固着部 ６０ 圧電・電歪材料層 ６１ 信号電極層 ６２ グランド電極層 １４２、１４３、１４４、１５０、１５１ 接着剤 １６０ バー １６２、１６４ 砥石 １６３ 非貫通溝
─────────────────────────────────────────────────────
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Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15
5D059 AA01 BA01 CA01 CA03 DA04
DA19 DA26 EA02 EA08
5D096 NN03 NN07
(54)【発明の名称】 微小位置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、該ヘッドスライダを備えたヘッド
ジンバルアセンブリ、該ヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法、該ヘッドスライダの製
造方法及びヘッドジンバルアセンブリの製造方法
Claims (23)
- 【請求項１】 少なくとも１つのヘッド素子を有してお
り、該少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決めを行
うためのアクチュエータに接着されるヘッドスライダで
あって、前記アクチュエータとの接着部に、接着剤を流
し込むための少なくとも１つの凹部を備えていることを
特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記少なくとも１つの凹部が、少なくと
も１つの溝であることを特徴とする請求項１に記載のヘ
ッドスライダ。 - 【請求項３】 前記アクチュエータによって挟設支持さ
れる２つの側面を有しており、前記少なくとも１つの溝
が該各側面に、浮上面に沿って形成されていることを特
徴とする請求項２に記載のヘッドスライダ。 - 【請求項４】 前記少なくとも１つの溝が、前記各側面
の前記浮上面側のエッジに設けられた１つの溝であるこ
とを特徴とする請求項２又は３に記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項５】 前記溝が、前記エッジの全長に渡って形
成されていることを特徴とする請求項４に記載のヘッド
スライダ。 - 【請求項６】 前記少なくとも１つのヘッド素子が少な
くとも１つの薄膜磁気ヘッド素子であることを特徴とす
る請求項１から５のいずれか１項に記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項７】 請求項２から６のいずれか１項に記載の
ヘッドスライダと、前記少なくとも１つの溝に流し込ま
れた接着剤によって該ヘッドスライダと接着されている
微小位置決め用アクチュエータと、該アクチュエータが
固着された支持機構とを備えたことを特徴とするヘッド
ジンバルアセンブリ。 - 【請求項８】 前記アクチュエータが１対の可動アーム
部を備えており、前記ヘッドスライダが該１対の可動ア
ーム部によって挟設支持される２つの側面を有している
ことを特徴とする請求項７に記載のヘッドジンバルアセ
ンブリ。 - 【請求項９】 前記アクチュエータの前記１対の可動ア
ーム部の間隔が、前記ヘッドスライダの前記２つの側面
間の距離にほぼ等しいか僅かに大きいことを特徴とする
請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１０】 前記アクチュエータが基部を備えてお
り、前記１対の可動アーム部が該基部から突出しており
駆動信号に従って前記ヘッドスライダの前記浮上面に沿
って変位するように構成されていることを特徴とする請
求項８又は９に記載のヘッドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１１】 前記アクチュエータの前記可動アーム
部及び前記基部が、弾性を有するセラミック焼結体で形
成されていることを特徴とする請求項１０に記載のヘッ
ドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１２】 前記アクチュエータの前記可動アーム
部及び前記基部が、金属板部材で形成されていることを
特徴とする請求項１０に記載のヘッドジンバルアセンブ
リ。 - 【請求項１３】 前記アクチュエータの前記可動アーム
部が、アーム部材と、該アーム部材の面上に積層又は接
着された圧電素子とを備えていることを特徴とする請求
項８から１２のいずれか１項に記載のヘッドジンバルア
センブリ。 - 【請求項１４】 少なくとも１つのヘッド素子を有する
ヘッドスライダと、該少なくとも１つのヘッド素子の微
小位置決めを行うためのアクチュエータとの接着方法で
あって、前記ヘッドスライダの側面を前記アクチュエー
タの１対の可動アーム部で挟んだ後、前記ヘッドスライ
ダの前記各側面に設けられた少なくとも１つの溝に接着
剤を流し込むことにより、該側面と前記可動アーム部と
を接着することを特徴とするヘッドスライダとアクチュ
エータとの接着方法。 - 【請求項１５】 前記少なくとも１つの溝が、前記ヘッ
ドスライダの浮上面に沿って形成されていることを特徴
とする請求項１４に記載の方法。 - 【請求項１６】 前記少なくとも１つの溝が、前記各側
面の前記浮上面側のエッジに設けられた１つの溝である
ことを特徴とする請求項１４又は１５に記載の方法。 - 【請求項１７】 各々が少なくとも１つのヘッド素子を
有するヘッドスライダが複数互いに連接して配列された
バーの各ヘッドスライダ間に非貫通溝を形成し、該非貫
通溝の中央を該非貫通溝の幅より狭い幅を有する切断刃
によって切断して前記ヘッドスライダを個々に分離する
ことを特徴とするヘッドスライダの製造方法。 - 【請求項１８】 前記非貫通溝を浮上面側に形成するこ
とを特徴とする請求項１７に記載の製造方法。 - 【請求項１９】 少なくとも１つのヘッド素子を有して
おり側面に接着剤を流し込むための少なくとも１つの溝
を備えたヘッドスライダを形成し、一方、基部及び該基
部から突出しており駆動信号に従って変位する１対の可
動アーム部を備えており前記少なくとも１つのヘッド素
子の微小位置決め用のアクチュエータを形成し、該アク
チュエータの前記１対の可動アーム部間に前記ヘッドス
ライダを挟んだ後、前記少なくとも１つの溝に接着剤を
流し込むことにより、前記ヘッドスライダの前記側面と
前記アクチュエータの前記可動アーム部とを接着し、前
記アクチュエータの前記基部を支持機構に固着すること
を特徴とするヘッドジンバルアセンブリの製造方法。 - 【請求項２０】 前記少なくとも１つの溝が、前記ヘッ
ドスライダの浮上面に沿って形成されていることを特徴
とする請求項１９に記載の製造方法。 - 【請求項２１】 前記少なくとも１つの溝が、前記各側
面の前記浮上面側のエッジに設けられた１つの溝である
ことを特徴とする請求項１８又は１９に記載の製造方
法。 - 【請求項２２】 前記溝が、前記エッジの全長に渡って
形成されていることを特徴とする請求項２１に記載の製
造方法。 - 【請求項２３】 前記アクチュエータの前記１対の可動
アーム部の間隔を、前記ヘッドスライダの前記２つの側
面間の距離にほぼ等しいか僅かに大きくすることを特徴
とする請求項１９から２２のいずれか１項に記載の製造
方法。
Priority Applications (2)
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- 2001-07-09 JP JP2001207988A patent/JP4360053B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2002
- 2002-06-19 US US10/173,851 patent/US7184245B2/en not_active Expired - Fee Related
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