KR940002964B1 - 부동 헤드 슬라이더 지지기구 - Google Patents

부동 헤드 슬라이더 지지기구 Download PDF

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KR940002964B1
KR940002964B1 KR1019900007927A KR900007927A KR940002964B1 KR 940002964 B1 KR940002964 B1 KR 940002964B1 KR 1019900007927 A KR1019900007927 A KR 1019900007927A KR 900007927 A KR900007927 A KR 900007927A KR 940002964 B1 KR940002964 B1 KR 940002964B1
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미끼오 도꾸야마
유조 야마구찌
가쯔아끼 기꾸찌
고사꾸 와까쯔끼
쇼지 스즈끼
요시노리 다께우찌
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가부시끼가이샤 히다찌세이사꾸쇼
미다 가쓰시게
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    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
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    • G11B5/488—Disposition of heads
    • G11B5/4886—Disposition of heads relative to rotating disc

Abstract

내용 없음.

Description

부동 헤드 슬라이더 지지기구
제1도는 본 발명의 제1의 실시예를 설명한 단면도.
제2도는 제1도의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 정면도.
제3도는 제1도의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도.
제4도는 제2도의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도.
제5도는 제4도의 V-V선에 따른 단면도.
제6a~d도는 본 발명의 제1의 실시예의 기능을 설명하는 도면.
제7도 및 제8도는 본 발명의 제3의 실시예에 따른 슬라이더와 짐발의 조립방법을 설명하는 도면.
제9도~제11도는 각각 본 발명의 제2의 실시예의 정면도, 측면도 및 상면도.
제12도는 본 발명의 제4의 실시예를 나타낸 부분상면도.
제13도 및 제14도는 각각 제12도의 ⅩⅢ-ⅩⅢ과 ⅩⅣ-ⅩⅣ선에 따른 단면도.
제15도는 본 발명의 제4의 실시예의 변형예의 부분 단면도.
제16도는 본 발명의 제5실시예를 나타낸 정면도.
제17도 및 제18도는 각각 제16도의 ⅩⅦ-ⅩⅦ과 ⅩⅧ-ⅩⅧ선에 따른 단면도.
제19도는 본 발명의 제6의 실시예에 따른 슬라이더의 부동특성을 나타낸 도면.
제20a 및 b도는 각각 본 발명의 제7의 실시예에 다른 슬라이더를 나타낸 평면도.
제21도는 본 발명의 제7의 실시예의 실제의 부동상태를 나타낸 도면.
제22도 및 제23도는 본 발명의 제2의 실시예를 나타낸 단면도.
제24도는 본 발명의 제7의 실시예를 나타낸 단면도.
제25도는 제24도의 XXV-XXV선에 따른 단면도.
제26도는 본 발명의 제8의 실시예를 나타낸 단면도.
제27도는 본 발명의 제8의 실시예를 나타낸 상면도.
제28도는 본 발명의 제8의 실시예를 나타낸 배면도.
제29도는 제27도의 XXIX-XXIX선에 따른 단면도.
제30도는 본 발명의 제9의 실시예를 나타낸 단면도.
제31도는 부압력형 슬라이더를 나타탠 사시도.
제32도는 정압력형 슬라이더를 나타낸 사시도.
제33도는 본 발명의 제10의 실시예를 나타낸 사시도.
제34도는 제33도의 XXXIV-XXXIV선에 따른 단면도.
제35도는 제33도의 XXXV-XXXV선에 다른 단면도.
제36도는 본 발명의 제10의 실시예의 역학적 모델을 나타낸 도면.
제37도는 본 발명의 제10의 실시예에 따른 지지기구와 종래의 지지기구에 따른 슬라이더의 추종특성의 비교를 나타낸 그래프.
제38도 및 제39도는 종래의 부동 헤드 슬라이더 지지기구를 나타낸 도면.
제40도는 종래의 부동 헤드 슬라이더 지지기구의 역학적 모델을 나타낸 도면.
제41도는 본 발명의 제11의 실시예를 나타낸 단면도.
제42a 및 b도는 각각 본 발명의 제12의 실시예에 따른 언로드 및 로드상태를 나타낸 단면도.
제43도는 본 발명의 제13의 실시예를 나타낸 단면도.
제44도는 본 발명의 제14의 실시예를 나타낸 단면도
제45도는 본 발명의 제15의 실시예를 나타낸 단면도.
제46도는 제45도의 XLVI-XLVI선에 따른 단면도.
제47도는 본 발명의 제16의 실시예를 나타낸 단면도.
제48도는 본 발명의 제17의 실시예를 나타낸 단면도.
제49도는 본 발명의 제18의 실시예를 나타낸 단면도.
제50도는 본 발명의 제19의 실시예를 나타낸 단면도.
제51도는 본 발명의 제20의 실시예를 나타낸 단면도.
제52도는 본 발명의 제21의 실시예를 나타낸 단면도.
제53도는 본 발명의 제22의 실시예를 나타낸 단면도.
제54도는 본 발명의 제23의 실시예를 나타낸 단면도.
제55도는 본 발명의 제24의 실시예를 나타낸 단면도.
제56도는 본 발명의 제25의 실시예를 나타낸 단면도.
제57도는 제56도의 LⅦ-LⅦ선에 다른 단면도.
제58도는 제56도의 LⅧ-LⅧ선에 따른 단면도.
제59도는 본 발명의 제26의 실시예를 나타낸 단면도.
제60도는 본 발명의 제27의 실시예를 나타낸 단면도.
제61도는 본 발명의 제28의 실시예를 나타낸 단면도.
제62a도는 본 발명의 제29의 실시예를 나타낸 단면도.
제62b도는 제62a도에 도시된 오목부의 변화를 나타낸 도면.
제63도 및 제64도는 본 발명의 제30의 실시예의 다른 상태를 나타낸 단면도.
제65도는 본 발명의 제31의 실시예를 나타낸 단면도.
제66도는 본 발명의 제32의 실시예를 나타낸 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 회전축 2 : 자기디스크
3 : 슬라이더 4 : 자기변환부
5 : 짐발스프링(짐발) 6 : 열림부
7 : 지지부재 9 : 유로
10 : 벨로우즈펌프 11 : 볼트
71,72 : 채널부재 711,712,721,722 : 플랜지
본 발명은 부동 헤드 슬라이더 지지기구에 관한 것으로, 특히 자기기록 매체로부터 데이타를 리드/라이트하는 헤드를 지지하기 위한 부동 헤드 슬라이더 지지기구에 관한 것이다. 상술한 종류의 부동 헤드 슬라이더 지지기구는 예를 들면 자기디스크 구동장치에 사용된다.
일반적으로 자기디스크 구동장치용 부동 헤드 슬라이더는 자기디스크의 회전에 의해 발생한 공기류의 역학적 베어링 효과를 이용하여 헤드 슬라이더와 자기디스크 사이에 얇은 공기층이 형성되도록 자기디스크의 표면에서 부동한다. 부동 헤드 슬라이더가 자기디스크를 추종하는 특성을 충분히 확보하고 슬라이더 부동기구의 신뢰성을 향상시키기 위해서 부동 헤드 슬라이더 지지기구는 부동 헤드 슬라이더의 동작을 방해하지 않도록 충분히 낮은 지지강성 및 부동 헤드 슬라이더에 필요한 부하를 인가하는 기능을 갖추어야 한다. 한편, 자기디스크 구동장치는 고속의 액세스 기능, 즉 고속으로 데이타를 리드하고 라이트하는 기능이 요구되고 있다. 또, 장치의 동작이 정지될 때 슬라이더와 자기디스크가 접촉하게 되면, 슬라이더와 자기디스크 사이의 좁은 공간에서 모세관 응집에 의해 수분이 발생하게 된다. 그 결과 흡착사고가 발생하기 쉽다. 흡착사고라 함은 슬라이더와 자기디스크가 서로 흡착하는 것에 의해 슬라이더와 자기디스크가 바람직스럽지 않게 함께 회전하거나 자기디스크의 회전이 불가능하게 되어 버리는 사고이다. 상술한 흡착사고를 방지하기 위해 자기디스크 구동장치가 동작하지 않아도 자기디스크가 접촉하지 않도록 슬라이더를 지지하거나 흡착사고의 가능성을 배제할 수 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구가 요구되고 있다.
종래의 부동 헤드 슬라이더 지지기구는 예를 들면 일본국 특허 공고공보 소화58-22827호에 개시된 바와 같이, 한쪽끝이 지지된 로딩암과 짐발 스프링을 거쳐서 이 로딩암의 다른쪽 끝에 고정된 슬라이더를 구비하여 탄성력이 인가되는 로딩암에서 슬라이더로 부하가 인가되게 하였다. 그러나, 이 종래의 부동 헤드 슬라이더 지지기구는 로딩암의 관성이나 고유 주파수의 영향에 의해 자기디스크의 표면을 추종하는 슬라이더의 특성이 나빠진다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하고 상술한 요구를 충족시키기 위한 부동 헤드 슬라이더 지지기구가 일본국 특허 공개공보 소화 62-99967호에 개시되어 있다. 이 공보에 의하면, 슬라이더는 지지부재에 고정된 점탄성 막위에 탑재되어 있다. 로딩 또는 언로딩을 위해 필요한 부하나 변위는 지지부재의 점탄성막의 배면에 의해 규정된 공간내의 공기압력을 조정하는 것에 의해 슬라이더에 부여된다.
그러나, 점탄성막을 갖는 상술한 형태의 헤드 슬라이더 지지기구는 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.
1) 액세스시에 슬라이더상에 부여되는 가속력의 작용점이 슬라이더의 중심과 일치하지 않으므로, 가속력에 의해 슬라이더에 모멘트(회전력)가 작용하여 슬라이더가 흔들리거나 진동하게 된다. 따라서, 자기디스크의 소정의 반경위치에 라이트된 데이타를 리드하는 동작시에 문제가 발생한다. 그 결과 자기디스크 구동장치의 신뢰성이 현저하게 저하된다. 즉, 고속으로 데이타를 액세스하기 위해 큰 가속력이 슬라이더에 인가되면, 상술한 중심점과 작용점이 불일치하여 슬라이더에 진동이 쉽게 발생한다는 문제점이 있다.
2) 점탄성막이 시간에 따라 변화하고 저하하면, 이에 따라 점탄성막에서 먼지가 발생하기 쉽다는 문제점이 있다. 즉 점탄성막은 시간에 따라서 저하하고, 슬라이더가 탑재된 표면과 반대면 사이의 압력차에 의한 점탄성막의 확대, 축소에 의해 점탄성막에서 먼지가 발생한다는 문제점이 있다. 슬라이더에 먼지가 접착되면, 슬라이더와 자기디스크 사이의 작은 갭이 감소되어 자기디스크상에 라이트되어 있는 데이타에 손상을 줄 염려가 있다.
3) 슬라이더에 부하를 인가하도록 반대면에 압력이 가해지므로, 점탄성막은 지지부재에 기밀하게 고정되어야 한다. 일반적으로, 자기디스크 구동장치는 5년∼10년정도 가동시킬 수 있는 것이 요구된다. 그러나, 점탄성막을 10년동안 지지부재에 기밀하게 고정시킬 수 있는 구조로 제작한다는 것은 매우 어렵다. 또한, 공기 누설 검사 등이 필요하므로, 생산성 및 가동성이 저하한다.
4) 슬라이더에 부하가 인가될 때 점탄성막이 자기디스크를 향해 돌출하므로, 자기디스크의 표면에서 유로를 좁게한다. 따라서, 여러개의 슬라이더가 자기디스크의 동일 표면에서 대향하도록 배치된 구조에 있어서, 자기디스크와 슬라이더 사이에 형성된 유로는 좁게 된다. 그 결과, 자기디스크의 회전에 따라 발생된 난류가 자기디스크의 플러터(flutter)를 증가시킨다. 그러므로, 자기디스크의 표면을 추종하는 슬라이더의 특성이 저하하여 데이타 리드신호의 품질이 저하된다.
5) 점탄성막 자체가 자기디스크의 회전에 의해 발생된 공기류에 의해 흔들리므로, 슬라이더의 위치 결정 정밀도가 저하된다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해소하고, 고속으로 액세스할 때 슬라이더가 진동하지 않고 먼지가 발생하지 않으며, 또한 자기기록 매체의 회전에 의한 난류가 제한되고 로딩 및 언로딩 동작이 용이하게 실행되며 필요한 부하의 인가가 용이하게 실행되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 구조가 간단하고 자기기록 매체로의 슬라이더의 추종특성이 양호한 부동 헤드 슬라이더 지지기구를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 여러개의 슬라이더를 지지할 수 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구를 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의하면 자기기록 매체의 표면에서 소정의 거리만큼 떨어져서 배치된 강체, 강체를 거쳐서 자기기록 매체의 표면까지 연장한 공기의 유로, 공기의 유로를 거쳐서 자기기록매체의 표면을 향하여 흐르는 공기의 유로 또는 표면에서 흐른 공기의 유로를 발생시키는 수단, 자기기록매체상에 기록된 데이타를 재생 또는 자기기록 매체상에 데이타를 기록하는 리드/라이트헤드, 공기의 유로에 배치되어 리드/라이트 헤드를 지지하는 헤드 슬라이더, 자기기록 매체의 표면에 직교하는 방향으로 헤드 슬라이더가 강체에 상대적으로 이동이 가능하게 헤드 슬라이더를 지지하는 수단과 헤드 슬라이더와 자기기록매체 사이에서 상대적인 운동을 발생시키는 수단을 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구를 마련하는 것이다.
본 발명의 상기 및 그밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부도면으로 명확하게 될 것이다.
이하 본 발명의 구성에 대해서 실시예와 함께 설명한다.
자기디스크 구동장치에 적용한 본 발명의 제1의 실시예를 제1도~제6d도에 따라 설명한다. 부동 헤드 슬라이더 지지기구는 회전축(1)에 고정된 여러개의 자기디스크내의 인접하는 2매의 자기디스크(2) 사이에 배치된다. 부동 헤드 슬라이더 지지기구는 슬라이더(3)이 각각 2매의 자기디스크(2)에 대향하도록 자기 디스크(2)의 반경방향내에 배치된 여러개의 부압력형 헤드 슬라이더(3)를 갖는다. 자기 변환부(픽업부)(4)는 각각의 슬라이더(3) 위에 탑재된다. 각각의 슬라이더(3)은 탄성 금속판재의 짐발스프링 (5)(이하, 단순히 "짐발(gimbal)"이라 한다)에 의해 지지된다. 짐발(5)의 지지강성은 슬라이더(3)의 운동을 제한하지 않도록 충분히 낮게 되어 있다. 짐발(5)는 만족스러운 지지강성을 갖는 지지부재 (7)에 고정되어 있다. 지지부재(7)은 U자형의 단면형상을 갖는 2개의 채널 부재(71) 및 (72)가 그 양끝의 플랜지 (711), (721), (712), (722)에 의해 서로 체결되어 연결되도록 구성되어 있다. 지지부재(7)은 내부가 공동으로 된 각기둥 형상으로 배열된다. 상술한 결합은 볼트(11)등에 의해 이루어진다. 유로(9)의 한쪽 끝부분은 지지부재(7)의 내부와 통하게 되어 있다. 벨로우즈펌프(10) 등의 압력 조정 수단은 유로(9)의 다른쪽 끝부분에 접속되어 있다. 지지부재(7)내의 압력은 벨로우즈펌프(1 0)에 의해 조정된다. 상술한 압력 조정 수단은 압력펌프와 진공펌프의 결합으로 구성하여도 된다.
제2도 및 제3도에 도시한 바와 같이, 채널 부지 (71)은 자기디스크(2)의 반경방향내의 선상에 배열된 여러개(이 실시예에서는 4개)의 열림부(6)을 갖고 있다. 각각의 열림부(6)에 있어서, 슬라이더 (3)은 짐발(5)에 의해 지지된다. 짐발(5)와 슬라이더( 3)은 접착제 등에 의해 서로 결합되고, 짐발(5)는 스포트 용접 등에 의해 채널부재(72)에 고정되어 있다.
채널 부재(72)는 유로(9)를 제외하고 채널 부재(71)의 구조와 비슷한 구조로 되어 있다.
지지부재(7)은 자기디스크(2)에 대해서 구동수단(도시하지 않음)에 의해 반경방향으로만 이동할 수 있다.
제4도에 있어서, 자기디스크(2)가 정지하고 있을 때, 슬라이더(3)은 자기디스크(2)에서 떨어져 있다. 슬라이더(3)은 중심면 A-A에 대해서 대칭적으로 배치되어 있다. 슬라이더(3)은 슬라이더(3)과 이동할 수 있는 자기디스크(2) 사이의 부분에서 역학적 압력 베어링에 따른 부압력을 발생할 수 있는 부압력형 슬라이더이면 좋다.
이하, 부압력형 슬라이더와 정압력형 슬라이더를 제31도 및 제32도를 참조하여 설명한다. 도면에 있어서 화살표는 자기디스크(2)의 회전에 의해 생성된 기류의 방향을 나타낸다.
제31도는 부압력형 슬라이더(3)의 사시도이다. 부압력형 슬라이더(3)은 그 양측에 마련된 레일(37)을 갖는다. 레일(37)은 기류 입구축상의 벵크(37')에 의해 서로 접속되어 있다. 따라서, 부압력 발생 포켓(38)이 형성된다. 정압력이 자기디스크(2)의 회전에 따라 레일(37)과 자기디스크(2) 사이에서 발생되어 부압력이 포켓(38)내에서 발생된다. 일단 상승한 상태로 되면, 슬라이더(3)에 별도의 압력을 가하지 않아도 슬라이더(3)은 레일(37)에서 발생된 정압력과 포켓(38)내에서 발생된 부압력이 균형을 이루는 부동상태로 유지된다.
제32도는 정압력형 슬라이더의 사시도로서, 상부는 자기디스크(2)에 대향한다. 레일(37)의 각각의 표면이 자기디스크(2)의 표면에 접근했을 때, 자기디스크(2)의 회전에 의해 생성된 기류에 따라 정압력이 레일(37)과 자기디스크(2) 사이에서 발생한다. 따라서, 슬라이더(3)은 발생된 정압력이 슬라이더(3)에 인가된 부하와 균형을 이루는 위치에서 부동된다. (39)는 압력이 발생하지 않는 블로바이(blowby) 홈이다.
상술한 부압력형 슬라이더는 미국 특허 No. 3855625, 일본국 특허 공개공보 소화58-64670호, 일본국 특허 공개공보 소화57-210479, 일본국 특허 공고공보 소화59-18780로 및 일본국 특허공보 소화63-56625호에 개시되어 있다. 정압력형 슬라이더는 일본국 특허 공고공보 소호57-569호에 개시되어 있다.
제5도에 도시된 바와 같이, 제1도에 도시된 슬라이더(3)은 열림부(6)의 주변부(61)이 슬라이더(3)의 바깥면(31)과 배면(32) 사이에 위치하도록 짐발(5)에 의해 열림부(6)에 지지되어 있다. 짐발(5)는 슬라이더(3)의 중심 G가 존재하는 평면상으로 연장하고 있다. 따라서, 지지부재, 즉 슬라이더(3)이 반경방향으로 이동할 때 발생된 가속력 F는 짐발(5)를 거쳐서 슬라이더(3)의 중심 G상에 작용한다. 그러므로, 데이타를 액세스하는 동안 슬라이더(3)의 바람직스럽지 못한 이동이나 진동이 방지된다. 또, 자기디스크(2)의 반경방향내의 데이타가 기록된 소정의 위치로 슬라이더(3)을 정확하고 신속하게 이동시킬 수 있다. 이것에 의해, 자기디스크 구동장치의 중요한 과제중의 하나인 데이타 액세스를 고속으로 실현할 수가 있다. 또한, 4개의 슬라이더(3)이 지지부재 (7)위의 반경방향으로 나란이 배치되므로, 데이타를 액세스시키기 위해 이동해야 할 슬라이더(3)의 필요한 거리는 하나의 슬라이더만 마련한 경우에 비해 1/4로 단축된다. 따라서, 슬라이더 액세스 속도(슬라이더가 반경방향으로 이동하는 속도)가 동일하다면 하나의 슬라이더만 마련한 경우에 비해 액세스시간이 1/4로 단축된다.
다음에 이 실시예에 의한 로딩 및 언로딩기구에 대해 설명한다.
먼저, 슬라이더(3)의 로딩기구에 대해 제6a 및 b도를 참조해서 설명한다.
로딩동작 개시전에 슬라이더(3)은 지지부재(7)에 고정된 짐발(5)에 의해 자기디스크(2)에서 소정의 거리 Hs(수십~수백㎛)만큼 떨어진 위치에 유지되어 있다. 거리 Hs는 자기디스크(2)가 회전할 때, 슬라이더(3)과 자기디스크(2) 사이에서 부압력이 발생하지 않을 정도의 거리이다. 이와 같은 상태에서 제1도에 도시된 벨로우즈펌프(10)에 의해 지지부재(7)내에 형성된 내부 공동(200)의 압력이 증가하면, 일부의 공기는 슬라이더(3)과 짐발(5) 사이의 갭(51)을 거쳐서 자기디스크(2)의 표면을 향하여 유로(211)로서 흐른다. 그러나, 내부공동(270)과 지지부재(7)의 외부(307) 사이, 즉 슬라이더( 3)의 바깥면(31)과 배면(32) 사이에서 압력차 Δp가 발생한다. 슬라이더(3)의 배면(32)의 면적을 S로 하면 슬라이더(3) 상에 다음 식으로 표현되는 로딩력(압력) FL이 작용한다.
FL=Δpㆍs ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ (1)
짐발(5)가 충분히 저감된 지지강성을 가지므로, 짐발(5)는 상술한 로딩력 FL에 의해 변형된다. 따라서, 슬라이더(3)은 회전하는 자기디스크(2)의 표면상으로 근접한 다. 슬라이더(3)이 부압력형 슬라이더이므로, 슬라이더(3)이 회전하는 자기디스크(2)에 근접(마이크로 이하의 거리)할 때, 회전하는 자기디스크(2)와 슬라이더(3) 사이에서 부압력이 발생된다. 발생된 부압력은 자기디스크(2)를 향하여 슬라이더(3)을 가압하는 하중 Ln으로서 작용한다. 상술한 부압력에 의해 하중 Ln이 일단 발생하면, 지지부재(7)의 내부(200)에 인가된 압력이 없어도 부압려(하중) Ln과 정압력 Lp가 서로 균형을 이루는 위치에서 슬라이더(3)이 유지된다. 이로서 로딩동작이 종료된다. 상술한 바와 같이, 슬라이더(3)이 회전하는 자기디스크(2)의 표면위로 로드되고 슬라이더(3)이 하중 Ln을 발생하는 상태가 실현되면, 펌프(10)에 의해 지지부재(7)의 내부(200)에 압력을 가하지 않아도 슬라이더(3)은 자기디스크(2)의 표면에서 소정의 거리 h(일반적으로 서브 마이크로 치수)만큼 떨어진 위치에서 유지된다. 제6b도는 상술한 바와 같은 로드후 슬라이더(3)이 부동한 상태를 도시한 것이다.
다음에 제6c 및 d도를 참조하여 언로딩 동작에 대해서 설명한다. 제6c도에 있어서, 지지부재(7)의 내부(200)내의 압력이 펌프(10)에 의해 저하될 때, 열림부(6)에서 지지부재(7)의 내부(200)으로 약간의 공기유입(200)을 방지하여도 슬라이더(3)의 바깥면(31)과 배면(32) 사이에서 압력차 Δp가 발생한다.
여기에서, 발생된 압력차 Δp는 슬라이더(3)이 자기디스크(2)의 표면에서 떨어지는 방향으로 언로딩력 FU로서 작용한다. 상술한 부압력에 의해 발생된 하중 Ln보다도 큰 언로딩력 Fu, 즉 다음식
｜FUㆍ(=PPㆍS)｜≥｜Ln｜ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥(2)
을 만족시키는 언로딩력 FU를 발생시키면 슬라이더(3)을 디스크(2)에서 떨어지게 할 수가 있다 따라서, 슬라이더(3)은 역학적 압력 공기 베어링의 효과에 의해 회전하는 자기디스크(2)의 표면과 슬라이더(3)의 바깥면(31) 사이에서 부압력과 정압력이 발생하지 않았던 위치로 오게 된다.
상술한 바와 같이, 언로딩 동작이 종료한다. 제6d도는 언로드된 슬라이더(3)과 자기디스크(2) 사이의 위치관계를 도시한 도면이다.
언로딩을 실행하기 위해, 식(2)를 만족하는 압력차 Δp가 펌프(10)에서 발생된다. 자기디스크(2)의 회전수 N과 슬라이더(3)상에 작용하는 하중 Ln은 다음의 비례관계를 유지한다.
Ln∝Nn(n ＞ 0) ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ (3)
따라서, 언로딩은 자기디스크 구동장치의 동작개시시의 회전수보다 자기디스크 (2)의 회전수 N을 낮게 하여 지지부재(7)내의 압력을 낮게 하기 전에 하중 Ln을 감소시켜 압력차 Δp을 작게하여 실행할 수가 있다. 따라서, 펌프(10)을 소형화할 수 있다.
상술한 바와 같이, 자기디스크(2)의 동작이 정지했을 때, 슬라이더(3)은 자기디스크(2)에서 떨어진 언로드 위치로 있게 된다. 따라서. 디스크 흡착사고를 방지할 수 있다. 또한, 자기디스크(2)의 동작이 정지했을 때 슬라이더(3)과 자기디스크(2)가 서로 떨어져 있으므로, 윤활제에 의한 흡착사고의 확률이 감소되어 다량의 윤활제를 자기디스크(2)의 표면에 도포할 수가 있다. 따라서, 자기디스크(2)와 슬라이더(3)이 서로 접촉 하여도 다량의 윤활제가 자기디스크(2)를 보호하므로, 자기디스크(2)상에 라이트된 데이타를 손상으로부터 방지할 수가 있다.
본 발명의 제2의 실시예를 제22도 및 제23도에 따라 설명한다. 제1의 실시예와의 차이점은 일본국 특허 공고공보 소화57-567호에 기재된 정압력형 슬라이더를 사용하는 것이다. 정압력형 슬라이더는 역학적 압력 공기 베어링의 원리를 사용하여 슬라이더의 바깥면과 회전하는 자기디스크의 표면 사이에서 정압력만 발생하게 배열된 것이 부압력형 슬라이더와 다른 것이다. 이 실시예에 의하면 자기디스크(2)의 동작이 정지했을 때 슬라이더(3)은 자기디스크(2)의 표면과 접촉하도록 짐발(5)에 의해 지지된다. 필터(400)을 거쳐서 연속적으로 압력을 공급할 수 있는 펌프(11)은 다른쪽 끝이 지지부재(7)의 내부와 통하는 유로(9)의 한쪽끝과 통하게 되어 있다. 다음에 제23도를 참조하여 동작을 설명한다. 자기디스크(2)가 회전을 개시하여 소정의 회전수에 도달했을 때, 슬라이더(3)의 바깥면(31)과 자기디스크(2) 사이에서 정압력이 발생한다. 따라서,슬라이더(3)이 자기디스크(2)의 표면에서 떨어지게 하는 힘 Lp가 발생된다. 이 상태에서 연속적으로 압력을 공급하는 펌프(11)은 높은 압력이 필터(400)과 유로(9)을 거쳐서 지지부재(7)의 내부공동부(200)으로 공급되도록 동작한다. 이 결과, 공기가 지지부재(7)에서 부분적으로 배출되어도 슬라이더(3)의 배면(32)와 바깥면(31) 사이에서 압력차 Δp가 발생된다. 슬라이더(3)의 배면(32)의 영역을 S라고 하면 자기디스크(2)의표면을 향하여 슬라이더(3)이 가하는 하중 FL은 다음 식과 같이 된다.
FL=SㆍΔp ...............................................(4)
슬라이더(3)은 상술한 정압력 Lp와 하중 FL이 균형을 유지하는 위치로 디스크 표면에서 이탈된다. 따라서, 슬라이더(3)은 디스크(2)의 회전중, 즉 자기디스크(2)의 동작중에 펌프(11)에서 연속적으로 공급되는 압력에 의해 소정의 거리 L만큼 자기디스크(2)의 표면에서 떨어진 위치로 유지된다. 또한, 식(4)에 나타낸 바와 같이 FL은 Δp은 조정하는 것에 의해 용이하게 변형시킬 수 있으므로, 슬라이더(3)과 자기디스크(2)의 표면 사이의 거리는 압력 펌프(11)의 출력을 조정하는 것에 의해 제어할 수 가 있다. 일본국 특허공고공보 소화57-569호에 기재된 정압력형 슬라이더는 형상적으로 가공이 용이하고 널리 사용되므로, 이 실시예는 저가로 슬라이더를 용이하게 제조할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 각각의 슬라이더(3)에 온풍을 공급하고 자기디스크(2)와 슬라이더(3) 사이의 수분을 기화시킬 목적으로 가열수단을 유로(9)내에 마련하면 흡착사고를 방지할 수가 있다.
제2의 실시예에 의하면 자기디스크(2)의 동작이 정지될때 슬라이더(3)은 자기디스크(2)와 접촉하는 위치에 있고 자기디스크(2)의 동작이 개시될때 상술한 접촉상태를 유지하도록 배열된 언로딩형 슬라이더(3)이 사용된다. 따라서, 가열수단이 마련되어 있지 않으면 동작의 정지동안 슬라이더(3)과 자기디스크(2) 사이의 물방울의 응집에 의해 흡착사고가 발생하게 된다. 이를 방지하기 위해 제2의 실시예를 오토로딩형 슬라이더로 하는 변형 실시예도 가능하다. 이 변형예도 제22도 및 제23도에 도시된 구조와 거의 유사하다. 자기디스크(2)의 동작이 정지했을때, 슬라이더(3)은 자기디스크(2)에서 소정의 거리 (자기디스크(2)가 회전하여도 회전에 의해 발생된 유로가 슬라이더(3)에 정압력을 인가하지 않는 거리)만큼 떨어져서 위치한다. 자기디스크(2)의 회전이 개시된후 펌프(11)에 의해 지지부재(7)의 내부(200)으로 가압된 공기가 주입되어 슬라이더( 3)의 배면과 바깥면 사이에서 압력차가 발생된다. 이와 같이 발생된 압력차는 슬라이더 (3)을 자기디스크(2)에 접근시키며, 자기디스크(2)의 회전에 의해 생성된 유로에 의해 발생한 정압력은 슬라이더(3)상에 작용한다. 따라서, 제2의 실시예에 따라 실행된 동작과 마찬가지로 가압된 공기는 동작하는 동안 펌프(11)에서 계속적으로 공급된다. 한편, 언로딩은 펌프(11)로 부터의 가압공기의 공급을 중단하는 것에 의해 실행된다.
본 발명의 제3의 실시예는 슬라이더 (3)에 짐발(5)가 부착되는 구조가 제1의 실시예와 다른 점이다. 제7도 및 제8도에 도시한 바와 같이 슬라이더(3)이 슬라이더 배면부재(33)과 슬라이더 외부부재(34)로 나누어져 있다. 짐발(5)는 상기 2개의 부재 사이에 유지되어 있다. 제11도에 도시된 바와같이 짐발(5)는 4가형상의 프레임(51), 그 양측면을 접속하는 중앙부(51) 및 다른 양측면에서 돌출한 돌출부(53)을 갖는다. 중앙부(52)는 슬라이더 배면부재(33)과 슬라이더 외부부재(34) 사이에 끼워진다. 짐발(5)의 돌출부는 스포트 용접에 의해 지지부재(7)에 고정된다. 슬라이더(3)은 제9도 및 제10도에서 명확한 바와 같이 짐발(5)가 슬라이더(3)의 중심 G를 포함하는 면내에 위치하도록 분할되어 있다.
이 실시예에 의하면 슬라이더(3)을 용이하고 확실하게 짐발(5)에 고정시킬 수 있다. 슬라이더 (3)의 높이(두께)가 낮은(얇은) 경우에도 슬라이더(3)의 중심 G를 거쳐서 연장하고 슬라이더(3)의 바깥면에 나란한 평면내에 짐발(5)를 용이하게 위치시킬 수가 있다. 또, 이 실시예에 의하면 본 발명의 제1의 실시예와 같은 효과가 얻어지는 것은 물론이다.
본 발명의 제4의 실시예를 제12도~제14도를 참조해서 설명한다. 이 실시예에 따르면 짐발(5)의 구조와 슬라이더(3)에 짐발(5)를 고정하는 구조가 본 발명의 제1의 실시예와 다른 점이다. 제13도 및 제14도에 도시한 바와 같이 슬라이더(3)의 측면에는 짐발(5)를 위해 오목부(35)가 마련되어 있다. 4개의 리프(leaf)부재의 각각은 지지부재(7)에 고정된 하나의 끝부분과 오목부(35)내에 유입된 다른 끝부분을 갖는다. 다른쪽끝부분은 슬라이더(3)에 고정된 둥근 돌출부(54)를 갖는다. 상기한 4개의 리프부재가 짐발(5)를 구성한다. 짐발(5)는 슬라이더(3)의 중심 G를 거쳐서 슬라이더 (3)의 바깥면에 평행한 면에 탑재된다. 이 실시예에 따르면 슬라이더(3)이 짐발(5)에 고정될 수 있으므로, 짐발(5 )에 슬라이더(3)을 용이하게 탑재할 수 있어 생산성이 현저하게 향상된다. 또, 이 실시예에 있어서도 제1의 실시예에서 얻어진 효과와 마찬가지의 효과가 얻어지는 것은 물론이다. 제15도에 도시된 바와 같이, 돌출부(36)이 슬라이더(3)의 측면에 형성되고 오목부(54)가 짐발(5)의 리프부재의 각각에 형성된 다른 구조를 사용해도 된다.
제16도~제18도는 짐발(5)의 형상이 본 발명의 제1의 실시예와 다른 본 발명의 제5의 실시예를 도시한 것이다. 짐발(5)는 대칭적으로 배치된 여러개의 슬릿으로 되어 있다. 짐발(5)가 지지강성이 저하되어도 확실하게 지지되므로, 짐발(5)를 고정시키는 것에 의한 슬라이더(3)의 부동특성의 저하를 확실하게 방지할 수 있다. 또, 이 실시예에 의하면 본 발명의 제1의 실시예에서 얻어진 효과와 마찬가지의 효과가 얻어지는 것은 물론이다. 짐발(5)의 형상 및 구조는 자기디스크의 표면에 수직방향으로 슬라이더(3)의 피칭, 롤링 및 진동이 방지되는 것이라면 좋다.
본 발명의 제6의 실시예를 제19도∼제21도를 참조하여 설명한다. 본 발명의 상기 제1의 실시예에 있어서는 지지부재 (7)상에 탑재된 여러개의 슬라이더 (3)이 서로 동일형상이고 동일치수이다. 그러나, 슬라이더(3)에 대한 자기디스크(2)의 회전속도는 슬라이더(3)과 자기디스크(2)의 축 사이의 반경거리가 서로 다르므로 다르게 된다. 슬라이더 (3)은 슬라이더(3)과 디스크 표면 사이의 실제적인 거리가 슬라이더 (3)에 대하여 자기디스크(2)의 회전속도에 비례한다는 특성을 갖는다. 따라서, 본 발명의 상기 제1의 실시예에 따르면, 슬라이더가 상대적으로 반경 내부에서 위치 결정되고 상대적으로 반경 외부에서 위치 결정되면 거리차에 의해 바람직하지 않게 부상된다는 문제점이 발생한다. 본 발명의 제6의 실시예는 상술한 문제점을 해소하기 위한 것이 다. 이하 상기 제1의 실시예와 구조적으로 다른점에 대해 기술한다.
먼저, 가장 내부의 슬라이더를 ①이라 하고, 자기디스크(2)의 중심에서 부터의 거리에 따라 슬라이더를 순차적으로 ②, ③ 및 ④라 한다. 슬라이더 ①, ②, ③ 및 ④에 대한 자기디스크(2)의 회전속도가 동일하다고 하면, 슬라이더(3) (이 실시예에서는 부압력형 슬라이더)의 각각의 부상특성은 제19도에 도시된 바와 같이 슬라이더(3)과 자기디스크(2)의 표면 사이의 거리가 자기디스크(2)의 외부둘레로 부터의 거리에 따라 크게 되도록 결정된다. 이 때문에 제20a 및 b도에 도시한 바와 같이 가장 내부의 슬라이더 ①의 레일(정압력 발생용 레일)(37)의 폭 R1이 가장 외부의 슬라이더 ④의 레일 (37)의 폭 R4보다 크게 배치되며, 부압력 발생용 포켓(38)의 폭 N1이 가장 외부의 슬라이더 ④의 폭 N4보다 작게 배치된다. 슬라이더 ①과 ④ 사이에 배치된 슬라이더 ②와 ③은 상기 관계를 만족하는 치수를 갖도록 순차적으로 배치된다. 그 결과, 제19도에 도시된 바와 같은 부상특성이 얻어진다. 제19도에 도시된 상기 부상특성은 다른 수단에 의해 얻어도 좋다.
자기디스크(2)가 본 발명의 상기 제6의 실시예에 따른 소정의 속도로 회전할 때, 슬라이더 ①, ②, ③ 및 ④의 각각에 대한 자기디스크(2)의 실제적인 회전속도는 자기디스크(2)의 중심과 슬라이더 ①, ②, ③ 및 ④ 사이의 반경거리에 비례해서 다르다. 따라서, 제19도에 도시된 슬라이더 부상특성이 마련되므로, 디스크 표면으로 부터의 슬라이더 ①, ②, ③ 및 ④의 실제적인 거리는 제21도에 도시한 바와 같이 동일하게 할 수 있다. 따라서, 각각의 슬라이더(3)에서 신호의 리드 및 라이트 실행을 일치시킬 수가 있다. 또, 슬라이더(3)과 자기디스크(2)의 표면 사이의 거리가 어떤 외란에 의해 감소되고 자기디스크(2)와 슬라이더(3) 사이의 접촉 염려가 발생하여도 특정 슬라이더(3)이 자기디스크(2)와 접촉하는 것에 의한 손상이 일어난다는 문제점을 방지할 수 있다. 이러한 이유로 인하여 부상하는 슬라이더(3)이 자기디스크(2)의 표면으로 부터의 동일 거리에서 위치 결정된다. 따라서, 장치전체의 신뢰성의 향상을 도모할 수가 있다. 이 실시예에 있어서의 기본 구조는 본 발명의 제1의 실시예의 구조와 동일하므로, 제1의 실시예에서와 마찬가지의 효과가 얻어지는 것은 물론이다.
제24도와 제25도는 본 발명의 제7의 실시예로서, 지지부재(7)의 구조만 제1의 실시예와 다르고, 나머지는 동일구조이다. 상기 제1의 실시예에 의하면, 지지부재(7)이 채널부재(71) 및 (72)를 결합한 구조로 되어 있다. 또, 슬라이더(3)이 지지부재(7)의 대향면상에 탑재된다. 그러나, 제7의 실시예에 있어서 지지부재(7)은 U자형상 채널부재(73)과 평판형상의 덮개판(75)로 구성된 4각 형상으로 형성되어 있다. 또, 슬라이더 (3)은 지지부재(7)의 하나의 측면상에 탑재된다. 따라서 이 실시예에 따른 슬라이더 지지기구는 하나의 자기디스크(2)만을 갖는 자기디스크 구동장치에 적용할 수가 있다. 각각 채널부재(73)과 덮개판(75)로 구성된 2개의 지지부재(7)은 스페이서(76)을 거쳐서 자기디스크(2)의 양면에 마주대하도록 서로 떨어져 배치되어 있다. 유로(9)의 한쪽 끝은 2개의 지지부재(7)과 통하고, 다른쪽 끝은 압력조정수단(10)과 통하게 되어 있다. 따라서, 자기디스크 구동장치의 단일 자기디스크(2)의 양면상에 라이트된 데이타를 액세스할 수 있다.
지지부재(7)의 바깥 끝부분(도면상에서 오른쪽 끝부분)은 지지부재(7)의 전체를 반경방향으로 이동시킬 수 있는 구동수단에 접속되어 있다. 이 실시예에 있어서, 부압력형 슬라이더 (3)이 제1의 실시예와 마찬가지로 사용된다. 제2의 실시예와 같이 정압력형 슬라이더를 사용하여도 좋다.
제26도~제29도는 본 발명의 제8의 실시예를 나타낸 것이다. 이 실시예와 이전의 실시예와의 차이점은 지지부재(7)이 공동부분이 없고 압력조정수단이 없는 평판형상으로 되어 있는 점이다. 제27도에 도시된 바와 같이 지지부재(7)은 슬라이더(3)과 동일한 개구의 열림부(6)을 마련하고 있다. 슬라이더(2)은 슬라이더(3)에 중심 G를 통과하는 짐발(5)에 의해 열림부(6)내에 탑재된다.
이 실시예에 의하면, 지지부재(7)이 밀폐된 구조로 배열되지 않으므로, 슬라이더 (3)에 배면압력을 인가하는 로딩을 실행하지 않아도 된다. 따라서, 슬라이더(3)을 동작의 정지시 짐발(5)의 탄성력으로 자기디스크(2)와 접촉시키는 접촉 개시 종료 시스템이 사용된다. 이 실시예에 있어서는 슬라이더 흡착사고가 일어날 수 있지만, 지지기구 전체를 경량화시킬 수 있다. 따라서, 반경방향으로 슬라이더 지지기구를 이동시키는 구동수단의 치수를 감소시킬 수 있다는 이점이 있다. 본 발명의 제8의 실시예에 있어서는 정압력형 슬라이더 또는 부압력형 슬라이더를 사용하여도 좋다.
제30도는 본 발명의 제9의 실시예를 나타낸 것이다. 이 실시예에서는 유로( 9)가 지지부재(7)내의 가장 안쪽의 슬라이더(3)까지 연장하고 있다. 또 노즐(91)이 슬라이더(3)의 각각의 배면과 대향하도록 마련되어 있다. 따라서, 펌프(17)에서 공급된 공기 압력이 슬라이더(3)의 배면에 직접 도입된다. 그러므로, 펌프(10)의 가압력이 작아도 제1의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다. 이 때문에 펌프(10)의 치수를 작게 할 수 있다는 이점이 얻어진다.
펌프(10) 대신에 제22도에 도시한 연속가압이 가능한 펌프(11)을 사용하면, 이 실시예에 정압력형 슬라이더를 사용할 수가 있다.
정압력형 슬라이더는 부압력형 슬라이더와는 다르며, 동적인 공기 베어링 원리에 의해서 슬라이더와 자기디스크(2) 사이에 정압력만을 발생한다. 이 실시예에서는 제23도에 도시한 바와 같이, 자기디스크(2)의 비동작 상태시에 슬라이더(3)은 자기디스크면과 접촉하도록 짐발(5)에 의해 지지된다.
이상의 실시예에 있어서, 짐발(5)에는 일반적으로 Ni-Ti합금, Cu-Aℓ-Ni합금 및 Cu-Sn-Aℓ합금 등의 형상기억합금인 초탄성합금을 사용할 수 있다. 초탄성합금은 변형이 0부터 증가할 때 탄성범위로 부터 초탄성범위로 들어간다. 초탄성범위에서 (응력의 증분)/(변형의 증분) 비율은 탄성범위에 대하여 매우 작다. 또, 초탄성합금은 응력이 제거될 때 변형이 0으로 된다는 특성을 갖는다. 따라서, 초탄성합금이 짐발(5)로서 사용되면 그 효과는 더욱 커진다.
제33도~제36도는 본 발명의 제10의 실시예를 도시한 것으로서, 이 실시예는 헤드 슬라이더(3), 슬라이더 지지기구로서 기능하는 슬라이더 지지암(7), 슬라이더 지지암(7)에 형성된 오목부(62), 오목부(62)까지 공기를 공급하고 배출하는 에어덕트 (13)을 구비하고 있다. (100)은 자기디스크의 회전방향, (101)은 헤드 슬라이더(3)에 의해 실행된 시크동작방향을 나타낸다. 또, 지지기구는 공기 분사구멍(12a), (12b) 및 (12c), 먼지수집수단(30), 예를 들어 필터(301)의 압력을 증감할 수 있는 압력조정수단 (40)을 포함한다. 이 실시예에 있어서, 압력조정수단(40)은 압력공급펌프(41)을 갖는다. 공기 분사구멍(12a), (12b)는 오목부(62)의 벽면(62a) 및 (62c)와 바닥면(62b)에 형성되며, 에어덕트(13)과 필터 (301)을 거쳐서 펌프(41)과 통하고 있다. 슬라이더(3)은 슬라이더(3)이 오목부(62)의 어느면과도 접촉하지 않도록 지지암(7)내에 형성된 오목부(62)내에 지지되어 있다. 슬라이더(3)은 측면(39), (39')와 배면(32)가 오목부(62)내에 마련되어 그들 사이에서 일정한 활동이 가능하며, 측면(39), (39')와 배면(32)가 오목부(62)에 의해 완전히 밀폐되고 바깥면(31)만 자기디스크(2)에 대향하도록 노출되어 있다. 박막의 자기헤드(4)는 슬라이더 (3)의 측면(공기 유출에 인접한 면) (39')상에 배치된다.
다음에 이 실시예에 따른 부동 헤드 슬라이더 지지기구의 기능에 대하여 설명한다. 가압된 공기가 펌프(41)에서 필터(371), 에어덕트(13)을 거쳐서 공기 분사구멍 (12a), (12b) 및 (12c)에 공급될 때, 슬라이더(3)은 오목부(62)내의 중심위치로 이동하여 유지된다. 전체 공기 분사구멍 (12a), (12b) 및 (12c)에서 공기압력이 동일하므로, 슬라이더(3)은 외란등에 의해서 어긋나더라도 오목부(62)내의 중심부로 자동적으로 돌아가서 유지된다. 또, 오목부(62)의 바닥면에 형성된 분사구멍에서 배출된 고압 공기는 슬라이더(3)을 자기디스크(2)의 표면을 향하여 누른다. 상술한 바와 같이, 슬라이더(3)은 고압 공기에 의해 지지되고 눌려진다(로드된다). 따라서, 롤링, 피칭 및 진동에 대한 강성이 충분히 작게 된다. 즉, 슬라이더(3)이 고압 공기에 의해 지지되고 로드되도록 배열된 상기 구조에 의해 슬라이더(3)은 슬라이더(3)의 이동이 구속되지 않도록 지지된다 . 따라서, 자기디스크(2)의 흔들림과 그 표면의 편향에 따르는 부동 헤드 슬라이더(3)의 특성이 개선된다. 또, 헤드 슬라이더 지지기구의 공진에 따른 슬라이더(3)과 디스크 표면 사이의 거리의 변화도 확실하게 방지된다. 또한, 자기디스크(2)를 향하는 부동 헤드 슬라이더(3)의 부하력이 분사구멍(12a), (12b) 및 (12c)에서 배출된 공기 압력을 조절하는 것에 의해 적절하게 변화되므로, 부동 헤드 슬라이더(3)과 자기디스크 표면 사이의 거리를 용이하게 조절할 수 있다. 또, 오목부(62)내의 고압 공기가 충격흡수제로서 작용하므로, 슬라이더 (3)이 외란에 의해 흔들려도 슬라이더(3)의 진동을 방지할 수 있고, 디스크 표면에서의 거리 변화도 감소시킬 수가 있다.
다음에 제36도를 참조하여 이 실시예에 따른 부동 헤드 슬라이더 지지기구의 역학적 모델에 대해서 설명한다. 부동 헤드 슬라이더(3)은 상술한 고압 공기에 따른 공기 베어링(402)에 의해 위치 결정되고 지지된다. 또 상술한 고압 공기에 따른 공기 베어링에 의해 자기디스크(2)의 표면을 향하여 누른다. 따라서, 이 실시예에 따른 탄성강성(롤링, 피칭 및 진동에 대항하는 강성)은 슬라이더(3)의 바깥면과 자기디스크(2) 사이에 형성된 얇은 공기층의 강성(스프링 상수 K 및 댐핑 계수 C)에 비해서 확실하게 감소된다. 또, 오목부(62)내의 상술한 고압 공기는 공기의 점성에 의해 충격흡수기능을 갖는다. 도면에 있어서, 공기 베어링(400)의 스프링 상수 Ky에 따른 댐핑 계수는 Cy로 나타내며, 공기 베어링(400)의 스프링 상수 Kz에 따른 댐핑 계수는 Cz로 나타낸다. 따라서, 슬라이더(3)은 자기디스크(2)의 흔들림 및 표면 거치름 또는 자기디스크(2)의 회전에 의해 발생된 유로에 의한 자기디스크(2)의 표면의 흔들림에 대해서도 충분히 추종한다. 따라서, 자기디스크로 부터의 소정의 거리를 확보할 수가 있다.
제37도는 제33도에 도시된 슬라이더 지지기구의 전달특성을 측정한 결과의 그래프이다. 전달특성은 부동 헤드 슬라이더(3)과 디스크 표면 사이의 거리의 변화를 검출하도록 슬라이더 지지암(3)을 강제로 진동시키고 검출된 결과를 고속 푸리에변환 (FFT)를 사용하여 해석해서 측정된 것이다. 이 그래프에서 가로축은 진동주파수, 세로축은 진폭 ΔZ에 대한 자기디스크(2)의 표면과 슬라이더(3)의 표면 사이의 갭의 변화 Δh의 비를 나타낸 것이다. 그래프에서 실선은 본 발명에 따른 부동 헤드 슬라이더 지지기구의 전달특성을 나타낸다. 점선은 비교하기 위해 제38도에 도시된 종래의 부동 헤드 슬라이더 지지기구의 전달특성을 도시한 것(제38도에 도시된 고정부(170)은 강제 진동시킨 것)이다. 종래의 지지기구는 자기디스크(2) 위에 배치된 슬라이더(3), 짐발 스프링(130)을 거쳐서 슬라이더(3)을 반송하는 로딩암(140), 고정부(170), 고정부(170)과 로딩암(140)을 접속하는 로딩 스프링부(160)을 갖고 있다. 종래의 지지기구의 역학적 모델을 제40도에 도시하였다. 제37도에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 부동 헤드 슬라이더 지지기구가 지지기구부에서 질량을 갖지 않으므로, 종래의 슬라이더 지지기구의 전달특성에서 현저하게 나타나는 f=2.3㎐에서의 공진점이 나타나지 않는다. 2. 3㎑는 종래의 슬라이더 지지기구의 지지시스템의 특성주파수이다. 그래프상에 도시된 바와 같이, 슬라이더(3)과 디스크 표면 사이의 거리에서 변화특성은 종래의 지지기구에 비해 본 발명에 따른 지지기구내에서 약 30dB(1/50)로 감소된다.
제41도를 참조하면, 본 발명의 제11의 실시예는 하나의 슬라이더 지지암(7)내에 마련되고 자기디스크(2)의 반경방향으로 배열된 3개의 오목부(62)를 가지며, 이 3개의 오목부(62)내에는 3개의 부동 헤드 슬라이더(3)이 각각 지지되어 있다. 상술한 바와 같은 구조에 의해 부동 헤드 슬라이더(3)의 탑재효율을 향상시키고 제1의 실시예에 의한 효과와 마찬가지의 효과가 얻어진다. 물론, 데이타 액세스 시간은 하나의 슬라이더만 마련한 경우에 비해서 훨씬 단축된다. 또, 에어덕트의 파이프도 슬라이더 지지암 (7)내에 에어덕트(13)을 마련하는 것에 의해 단순화된다.
제42a 및 b도는 본 발명의 제12의 실시예를 도시한 것이다. 본 발명의 제10의 실시예와 다른점은 압력조정수단(40)으로서 가압 및 감압펌프(42)를 마련한 점이 다. 따라서, 부동 헤드 슬라이더(3)의 자동 로딩이 가능하다. 즉, 펌프(42)에 의해 압력이 인가될 때, 부상력에 대향하는 방향으로 슬라이더(3)상에 부하가 발생된다. 그 결과 슬라이더(3)은 자기디스크(2)의 면에 대향하도록 로드된다(제42a도 참조). 한편, 펌프 (42)에 의해 압력이 저하될 때, 부상력과 동일 방향으로 슬라이더(3)상에 부하가 작용하여 슬라이더(3)이 자기디스크(2)의 표면에서 이탈되게 된다. 그 결과 슬라이더(3)이 언로드된다(제42b도 참조). 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제43도는 본 발명의 제13의 실시예를 도시한 것이다. 제10~제12의 실시예에 있어서는 부동 헤드 슬라이더(3)으로서 정압력형 슬라이더를 사용하였다. 그러나, 이 실시예에서는 부압력형 슬라이더를 사용한 것이다. 부압력형 슬라이더는 부동 헤드 슬라이더 지지기구의 부하의 일부로서 자체에서 생성된 부압력을 사용할 수가 있다.
부하가 동일한 경우, 부동 헤드 슬라이더(3)의 실효 부하는 부동 헤드 슬라이더(3)의 추종 특성을 향상시키도록 확장된다. 그 결과, 디스크 표면으로 부터의 바람직하지 않은 거리의 변화가 감소된다. 이 실시예에 있어서도 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제44도는 본 발명의 제14의 실시예를 도시한 것으로서, 슬라이더(3)을 정지시키는 스토퍼(201)이 슬라이더 지지암(7)내에 형성된 오목부(62)의 측벽(62a)상에 마련되어 있다. 또, 스토퍼(201)로 연장된 가요성 돌출부(202)가 슬라이더(3)의 배면에서 돌출되어 있다. 그 결과 슬라이더(3)을 오목부(62)내에 용이하게 위치시킬 수 있다. 또한, 슬라이더(3)의 배면에 마련된 가요성 돌출부(202)와 스토퍼(201)에 의해 슬라이더(3)을 걸어 맞춰서 유지할 수 있다. 그러므로, 부동 헤드 슬라이더 지지기구가 이동된 경우 또는 오목부(62)의 열림부가 아래로 향하도록 변경된 경우에도 슬라이더(3)이 오목부(62)에서 이탈되는 일이 없다. 따라서, 부동 헤드 슬라이더 지지기구를 자기디스크 구동장치상에 용이하게 탑재할 수 있으므로, 제조효율을 향상시킬 수 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제45도 및 제46도는 본 발명의 제15의 실시예를 도시한 것으로서, 슬라이더 (3)을 정지시키기 위한 스토퍼밴드(203)이 슬라이더 지지암(7)내에 마련된 것이다. 그 결과 오목부(62)에서 슬라이더(3)의 분리가 방지되어 부동 헤드 슬라이더 지지기구의 신뢰성이 향상된다. 또, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제47도는 본 발명의 제16의 실시예를 도시한 것으로서, 여러개의 오목부(62), (62')가 슬라이더 지지암(7)의 양측에 형성되고 자기디스크(2)의 반경방향으로 배열된 것이다. 또한 헤드 슬라이더(3)은 각각 오목부(62), (62')내에 배치된다. 그 결과, 헤드 슬라이더(3)의 탑재효율이 향상되고, 자기디스크(2) 사이의 갭이 종래의 구조에 비해서 감소된다. 따라서, 자기디스크 구동장치의 사이즈도 용이하게 감소시킬 수 있다. 또, 오목부(62), (62')에서 공기 압력은 에어덕트(13)에 의해 분사구멍끼리 서로 접속하므로 동일하게 된다. 따라서, 부상 헤드 슬라이더 지지기구가 위치 결정되도록 자기디스크 (2) 사이에 삽입될 때, 축방향으로 설정오차가 발생한 경우에도 디스크 표면과 슬라이더(3) 사이의 실제적인 거리는 분사구멍에서 공기의 압력이 동일하고 슬라이더(3)에 인가된 부하가 동일하게 되므로 변화되지 않는다. 이 실시예에 있어서도 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어지는 것은 물론이다.
제48도는 본 발명의 제17의 실시예를 도시한 것이다.
이 실시예에 있어서는 공기 가열수단(600)으로서 펌프(41)과 필터 (301) 사이에 히터(610)을 마련한 것이다. 그 결과, 건조한 고온공기를 슬라이더(3)과 자기디스크(2) 사이의 접촉표면에 공급할 수 있다. 따라서, 슬라이더(3)과 정지된 자기디스크(2) 사이의 작은 공간에서 모세관 현상에 의해 발생된 수분을 기화시킬 수 있어 흡착사고를 방지할 수 있다. 또 이 실시예에 있어서도 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제49도는 본 발명의 제18의 실시예를 도시한 것이다.
도면에 있어서, 압축기(43)은 압력조정수단으로서 사용된다. 압축기(43)은 자기디스크로 구동장치의 회전축에 마련된 휀(110)과 휀(110)을 둘러싼 하우징(120)으로 구성된다. 압축된 공기는 에어덕트(13)과 필터(301)을 거쳐서 압축기(43)에 의해 슬라이더 지지암(7)에 공급된다. 따라서, 밀도의 펌프없이 압축공기를 생성할 수 있다. 그러므로, 자기디스크 구동장치의 치수를 작게 할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어지는 것은 물론이다.
제50도는 본 발명의 제19의 실시예를 도시한 것이다.
오목부(62)의 벽면에 확장된 분사구멍을 마련하지 않고, 에어덕트(13) 자체가 오목부(62)에서 열려져 있다. 그 결과, 확장된 분사구멍에 따른 공기 베어링의 위상지연을 방지할 수 있어 공기 베어링의 진동(자려 진동)을 방지할 수 있다. 따라서, 슬라이더(3)이 안정적으로 지지된다. 또, 확장없는 분사구멍이 마련되므로, 오목부(62)를 용이하게 제조할 수 있어 부상헤드 슬라이더 지지기구의 생산 효율을 향상시킬 수 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제51도는 본 발명의 제20의 실시예를 도시한 것으로서, 에어덕트 (13)이 슬라이더 지지암(7)내에 마련되고, 2개의 분사구멍(12j) 및 (12k)가 슬라이더 (3)의 공기 도입측면(39')에 인접한 오목부(62)의 바닥면(62b)에 형성된 것이다.
한편, 하나의 분사구멍(12i)는 슬라이더(3)의 배출측면(39')에 인접한 오목부(62)의 바닥면(62b)에 형성되어 있다. 에어덕트(13)이 슬라이더 지지암(7)내에 마련되므로, 부상 헤드 슬라이더 지지기구의 사이즈를 축소할 수 있다. 또, 하나의 분사구멍(12i)가 슬라이더(3)의 도입측면(39')상에 마련되고 2개의 분사구멍(12j) 및 (12k)가 슬라이더(3)의 배출측면(39')상에 마련되므로, 공기 베어링에 의해 슬라이더 배면(32)에 공급된 부하는 서로 같지 않다. 즉. 공기 배출측면(39')에 인접한 슬라이더 배면(32)가 2개의 분사구멍(12j)및 (12k)를 가지므로, 상기 2개의 분사구멍 (12j) 및 (12k)에 의해 형성된 공기 베어링의 공기 스프링 정수 KZR은 공기 도입측면(39')에 인접한 하나의 분사구멍 (12i)에 의해 형성된 공기 베어링의 공기 스프링 정수 KZF보다 크다. 따라서, 슬라이더(3)은 자기 디스크(2)의 표면으로부터의 공기 도입측면(39')의 길이 h1이 자기 디스크(2)의 표면으로부터의 공기 배출측면(39')의 거리 h2보다 크게 되도록 부상한다.
자기 헤드(4)는 슬라이더(3)의 공기 배출측면(39')에 고정되고, 자기 헤드(4)의 리드/라이트 특성은 자기디스크(2)의 표면으로부터의 거리가 짧을때 유리하게 된다. 따라서, 이 실시예에 있어서는 슬라이더(3)의 자세를 제어하는 것에 의해, 리드/라이트 특성을 향상할 수 있다는 이점이 얻어진다. 이 실시예에 있어서 2개의 분사구멍은 공기 배출측면에 형성되어 있다.
분사구멍의 반경 (면적)이 동일하다면, 슬라이더(3)의 부상자세는 분사구멍수의 증감으로 임의로 변화시킬 수 있다. 한편, 공기 도입 측면(39')내의 분사구멍의 수를 배출측면(39')보다 많이 마련하여 h1을 최소화할 수도 있다. 슬라이더(3)의 자세 (h1/h2)를 임의로 변경시킬 수 있으므로, 슬라이더 바깥면(31)을 위한 테이퍼 부분이 필요없게 된다. 따라서, 슬라이더 (3)을 용이하게 가공할 수 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다는 것은 물론이다.
제52도는 본 발명의 제21의 실시예를 도시한 것으로서, 공기 배출측면(39')에 인접한 오목부(62)의 바닥면(62b)에 형성된 분사구멍 (12l)의 직경 (면적) Dl이 공기도입 측면(39)에 인접한 오목부(62)의 바닥면(62b)에 형성된 분사구멍 (12i)의 직경 (면적) Di보다 크게 배열된 것이다. 따라서, 배출측면(39')에서 슬라이더(3)의 배면(32)에 인가된 부하가 도입측면(39')에서 보다 크게 된다. 그러므로, 자기 헤드(4)와 자기 디스 크(2)의 측면사이의 거리 H2는 도입측면(39')와 자기 디스크(2)의 측면사이의 거리 h1보다 작게 된다. 따라서, 본 발명의 제20의 실시예와 같이 우수한 리드/라이트 특성이 얻어진다. 이 실시예에 의하면, 공기 구멍의 수를 증가시킬 필요가 없으며, 제20의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 또, 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 또, 이 실시예에 의하면, 슬라이더(3)에 인가되는 부하는 펌프(41)로부터 공급되는 공기 압력이 일정하더라도 분사구멍의 면적을 변화시키는 것에 의해 제어가능하다. 그러나, 분사구멍의 면적이 동일하여도 도입측면과 배출측면에 공급된 공기의 압력을 변화시키는 것에 의해 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 이 실시예에 있어서는 도입측면상에 테이퍼가 없는 슬라이더가 사용되었다.
제53도는 본 발명의 제22의 실시예를 도시한 것으로서, 2개의 분사구멍 (12d) 및 (12e)가 오목부(62)의 측면에 각각 형성되어 있다. 슬라이더 (3)의 자기 헤드(4)에 인접하여 배치된 분사구멍(12d)의 면적이 다른 분사구멍 (12e)의 면적보다 크다. 따라서, 자기 헤드(4)에 대응하는 분사구멍(12d)의 스프링 정수 Kya는 다른 분사구멍(12e)의 스프링 정수 Kyb보다 크다. 그 결과, 슬라이더(3)의 데이타 검색을 위해 시크방향(101)로 이동될때, 자기 헤드(4)의 진동이 감소된다. 따라서, 슬라이더(3)의 소정의 반경위치 (데이타 위치)로 바르게 이동할 수 있어 고속의 데이타 액세스가 얻어진다는 이점이 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제54도는 본 발명의 제23의 실시예를 도시한 것으로서, 2개의 분사구멍 (12f) 및 (12g)가 오목부(62)의 측벽의 각각에 형성된 것이다. 2개의 분사구멍중 하나인 (12g)는 슬라이더(3)의 중심 G를 거쳐서 연장한 평면상에 배치되고, 슬라이더(3)의 바깥면(31)과 평행하다. 슬라이더(3)의 중심 G를 연장한 면에 형성된 분사구멍(12g)의 면적은 다른 분사구멍(12l)의 면적보다 크다. 따라서, 분사구멍(12g)에서의 공기 스프링 정수 Kyb는 분사구멍(12f)에서의 공기 스프링 정수 Kya보다 크다. 그러므로, 슬라이더(3)이 시크방향(101)로 검색을 할때, 시크 가속력 Fs는 주로 공기 베어링 Kyb를 경유해서 중심 G에 작용한다. 중심 G에서의 관성력 Fl은 가속력 Fs가 작용하는 동일 평면상에서 역방향으로 작용한다. 따라서, 슬라이더(3)은 시크 동작시 가속력에 의해 중심 G를 중심으로 해서 회전하지 않는다. 그러므로, 자기 헤드(4)와 자기 디스크(2)사이의 거리는 일정값으로 유지된다.
그 결과, 상술한 거리의 변화에 의한 리드/라이트 에러 및 자기 헤드(4)와 자기 디스크(2) 사이의 접촉에 의한 손상을 방지할 수 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 또한, 분사구멍(12f)가 생략되어도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
제55도는 본 발명의 제24의 실시예를 도시한 것으로서, 슬라이더(3)의 바깥면(31)이 크라운 형상으로 된 것이다. 또, 자기 헤드(4)는 슬라이더 (3)의 중심 G를 거쳐서 통과하는 바깥면(31)의 중심에 배치되어 있다. 슬라이더 지지암(7)의 오목부(62)의 벽에 형성된 분사구멍 (12a)는 슬라이더(3)의 중심 G를 포함하는 평면내에 자기 디스크(2)의 표면과 평행하게 배치되어 있다. 자기 헤드(4)가 슬라이더 (3)의 중심 G가 있는 중심부에 배치되고, 공기 베어링을 형성하는 분사구멍 (12a)가 중심 G를 포함하는 평면내에 배치되므로, 슬라이더 (3)은 중심 G를 중심으로 해서 회전하지 않는다. 따라서, 자기헤드(4)의 진동이 감소되어 리드/라이트 에러를 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 제10의 실시예와 마차가지의 효과가 얻어진다.
제56도∼제58도는 본 발명의 제25의 실시예를 도시한 것으로서, 슬라이더(3)의 구형상의 표면을 갖는 원통형으로 배열되고 자기 헤드(4)가 슬라이더(3)의 구형 표면의 중심부분의 위부분에 배치된 것이다. 따라서, 슬라이더 지지암(7)의 오목부(62)가 원통형이어도 좋으므로 가공효율을 향상시킬 수가 있다. 또한, 자기 헤드(4)가 슬라이더(3)의 구형표면의 중싱의 위부분에 배치되므로, 슬라이더(3)을 이동시키기 위해 필요한 거리를 최소화할 수 있고 슬라이더(3)의 진동에 따른 자기 헤드(4)의 변위를 만족할 수 있을 정도로 감소시킬 수가 있다. 도면에 있어서 (3')와 (7')는 슬라이더(3)의 회전을 정지시키기 위한 돌출부와 절단부이다. 또, 제57도 및 제58도에 도시한 바와 같이, 4개의 분사구멍 (12m), (12n), (12p) 및 (12q)가 슬라이더(3)의 중심 G를 포함하는 평면 P1내에 자기 디스크(2)와 평행하게 연장하도록 형성되어 있으므로, 슬라이더 (3)이 자기 디스크(2)의 원주방향 또는 반경방향으로 이동되어도 중심 G를 공기 베어링에 의해 항상 지지할 수가 있다. 따라서, 슬라이더(3)의 중심 G에 대한 슬라이더(3)의 진동이 효율적으로 방지된다. 또, 슬라이더(3)의 바깥면이 상술한 바와 같이 마련되므로, 요우잉 (yawing) 각도(자기 디스크(2)의 접선방향으로 되는 각도)가 발생하여도 디스크 표면으로부터의 일정거리가 유지된다. 즉, 슬라이더(3)의 바깥면에 도입된 유로의 각도가 변화하여도 일정한 부동거리가 유지된다. 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수가 있다.
제59도는 본 발명의 제26의 실시예를 도시한 것으로서, 흡입구멍(80b) 및 (80a)가 분사구멍(12b) 및 (12a)에 부가하여 오목부(62)의 벽(62a)와 바닥면(62b)에 마련된 것이다. 상기 흡입구멍(80b) 및 (80a)는 흡입 파이프(81)과 필터(82)를 거쳐서 압력 감소수단으로서 기능하는 감압펌프(90)에 접속되어 있다. 따라서, 슬라이더(3)이 흡입구멍 (80b)의 흡입력에 의해 오목부(62)내에 유지되므로, 오목부(62)에서 이탈되지 않는다. 또한, 오목부(62)의 바닥막(62b)와 배면(32) 사이의 거리를 감압 펌프(90)에 의해 흡입구멍(80b)의 흡입력을 제어하는 것에 의해서 자유롭게 제어할 수 있다는 이점이 있다. 또, 이 실시예에 의하면, 오목부(62)의 벽(62a)에 형성된 분사구멍(12a)가 슬라이더(3)의 중심 G를 포함하는 평면내에 자기 디스크(2)의 표면과 평행하게 배치되므로, 슬라이더(3)의 중심 G 주위의 회전진동을 시크 처리동안 방지할 수 있다. 흡입구멍(80a)가 분사구멍(12a)에서 분사된 공기를 흡입하므로, 분사구멍(12a)에서 분사된 공기는 슬라이더(3)의 바깥면에 공급되지 않는다. 따라서, 슬라이더(3)의 부동특성이 상술한 공기에 의해 영향을 받지 않는다. 외란에 의해 분사구멍(12a)에서 분사된 공기중에 먼지가 흡입되어도, 슬라이더(3)의 부동특성은 슬라이더(3)에 흡착된 먼지에 의한 영향을 받지 않는다. 이 실시예에 의하면, 슬라이더(3)상에 작용하는 반발력을 발생하는 공기 베어링과 슬라이더(3)상에 작용하는 흡입력을 발생하는 공기 베어링이 형성되므로, 슬라이더(3)에 인가되는 부하, 자기 디스크(2)의 표면으로부터의 거리 및 부동자세는 분사공기와 흡입공기를 적절히 조정하는 것에 의해 용이하게 제어된다. 또, 오목부(62)의 바닥면에 형성된 분사구멍(12b)에서 분사된 공기가 바닥면에 형성된 흡입구멍(80b)내로 흡입되고, 벽에 형성된 분사구멍(12a)에서 분사된 공기는 벽에 형성된 흡입구멍(80a)내로 흡입된다. 따라서, 바닥면과 벽에서의 공기 베어링은 독립적으로 작용하여 서로의 간섭을 방지할 수 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제60도는 본 발명의 제27의 실시예를 도시한 것으로서, 분사구멍(12r)이 자기헤드(4)에 인접한 위치에서 오목부(62)의 벽 (62a)에 형성되며, 다른 분사구멍(12s)는 공기가 공급되는 슬라이더 (3)의 측면에 인접한 위치에서 오목부(62)의 벽(62a)에 형성된 것이다. 분사구멍 (12r)의 반경 Dr은 분사구멍(12s)의 반경 Ds보다 크다. 공기 베어링의 스프링 정수, 즉 공기 베어링의 스프링 효과(강성)는 공기 공급압력이 동일한 경우, 그곳에 마련된 분사구멍의 면적에 비해서도 크게 된다. 따라서, 이 실시예에 의하면 자기헤드(4)에 인접한 공기 베어링이 공기가 도입되는 슬라이더(3)의 측면상에 공기 베어링보다 강하므로, 자기헤드(4)의 진동은 시크방향으로의 가속력이 슬라이더에 인가되어도 감소된다. 그 결과, 리드/라이트 에러를 방지할 수 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
제61도는 본 발명의 제28의 실시예를 도시한 것으로서, 2개의 분사구멍 (12u) 및 (12v)가 자기헤드(4)에 인접한 오목부(62)의 벽(62a)에 마련되고, 분사구멍 (12t)가 공기가 도입되는 슬라이더(3)의 측면에 인접하여 형성되어 있다. 그 결과, 자기헤드(4)가 있는 부분에서의 공기 베어링은 본 발명의 제27의 실시예와 동일한 이유로 인하여 강하게 된다. 따라서, 리드/라이트 에러를 방지할 수 있다는 이점이 얻어진다. 또한, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제62a도는 본 발명의 제29의 실시예를 도시한 것으로서, 형상 가변부재, 예를들면 전왜소자 또는 압전소자(401)이 슬라이더 지지암(7)내에 마련된 오목부(62)의 벽(62a)에 마련되고, 분사구멍(12a)를 갖는 압전소자(401)이 그 안에 마련된다. 이 실시예의 동작은 제62a도를 참조하여 설명한다. 전압원(410)에 의해 전왜소자(401)로 전압이 공급되면, 전왜소자(401)은 슬라이더(3)을 향하여 Δt만큼 확장된다. 슬라이더(3)은 분사구멍(12a)에서 공급된 공기 압력 (공기 베어링)에 의해 오목부(62)의 중심에서 위치결정된다(이 이유는 분사구멍(12a) 및 (12b)에서 공급된 압력이 동일하므로, 즉 공기 베어링의 강도가 동일하기 때문이다) 따라서, 자기 헤드(4)는 전왜소자(401)이 없을때의 위치에서 거리 Δt/2 만큼 이동된다. 전왜소자(401)의 변형량 Δt가 인가된 전압을 변화시키는 것에 의해 제어되므로, 자기헤드(4)의 반경방향으로의 자기헤드(4)의 위치는 인가되는 전압을 제어하는 것에 의해서 제어할 수가 있다. 따라서, 자기 디스크 구동장치내의 온도상승에 따라 자기헤드(4)의 위치결정에 있어서 위치오차(열 오프 트랙이라 한다)의 발생을 방지할 수가 있다. 또, 이 실시예에 있어서도 본 발명의 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 전왜소자 대신에 형상기억 합금을 사용하여도 좋다.
제63도 및 제64도는 본 발명의 제30의 실시예를 도시한 것으로서, 전왜소자 (401)이 슬라이더 지지암(7)내에 마련된 오목부(62)의 바닥면(62b)상에 마련되며, 전왜소자(401)은 분사구멍(12b)를 갖는다. 제63도에 도시된 바와 같이, 슬라이더(3)과 자기 디스크(2) 사이의 갭은 h이다. 전압원(410)에서 전왜소자(401)로 전압이 인가되면, 제64도에 도시한 바와 같이, 전왜소자(401)은 슬라이더(3)에 접근하도록 Δt 만큼 변형된다. 따라서, 슬라이더(3)과 자기 디스크(2) 사이의 갭은 h에서 h'(<h)로 변화된 다. 전왜소자(401)의 변형량 Δt'가 인가되는 전압의 세기를 변화시키는 것에 의해 제어되므로, 전압원(410)을 제어하는 것에 의해서 갭 h를 제어할 수가 있다. 따라서, 이 실시예에 의하면, 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 전왜소자 대신에 형상기억 합금을 사용하여도 좋다.
제65도는 본 발명의 제31의 실시예를 도시한 것으로서, 오목부(62)의 측벽에 형성된 분사구멍(12a)로 공기를 공급하는 하나의 펌프와 바닥면에 형성된 분사구멍 (12b)로 공기를 공급하는 다른 펌프를 각각 마련한 것이다. 즉, 펌프(41a)에 의해 분사구멍(12a)로 압력공기가 공급되고, 펌프(41b)에 의해 분사구멍(12b)로 압력공기가 공급된다. 그 결과, 분사구멍(12a)에 의해 형성된 공기 베어링과 분사구멍(12b)에 의해 형성된 공기 베어링의 강도를 별도로 변화시킬 수가 있다. 펌프(41a)의 압력강도가 펌프(41b)의 압력강도보다 높다고 하면, 슬라이더 (3)의 측면과 오목부(62)의 벽사이에 형성된 공기 베어링의 강도는 슬라이더(3)의 배면(32)와 오목부(62)의 바닥면(62b) 사이에 형성된 강도보다 강하게 된다. 그 결과, 슬라이더(3)의 공기 베어링은 슬라이더(3)에 인가될 부하(슬라이더(3)의 면 바깥방향으로 작용)를 증가시킬 필요없이 자기헤드 (2)의 표면에 평행한 방향으로 강하게 될 수 있다. 따라서 슬라이더(3)이 위치결정될때 발생하는 오차를 방지할 수가 있다. 이 실시예에 있어서도 제10의 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다.
제66도는 본 발명의 제32의 실시예를 도시한 것으로서, 자기 헤드(2)의 반경방향으로 배열된 3개의 슬라이더(3i), (3j) 및 (3k)를 지지하는 3개의 오목부(62i), (62j) 및 (62k)에 공기를 공급하는 펌프가 독립적으로 마련된 것이다. 즉, 펌프(41i)는 오목부 (62i)를 위해 마련되고, 펌프(41j)는 오목부(62j)를 위해 마련되고, 펌프(41k)는 오목부 (62k)를 위해 마련된 것이다. 그 결과, 슬라이더 지지부재(7)내에 마련된 여러개의 슬라이더(3)중 바라는 슬라이더를 자기 디스크(3)상에서 로드/언로드 할 수 있다. 밸브가 대응하는 오목부에 접속된 공기관의 각각에 마련된 구조를 사용하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 상술한 기구에 의하면, 외란 또는 파손에 따라 자기 디스크(2)상에 소정의 갭을 갖는 슬라이더를 언로드로 사용하여 자기 디스크 구동장치의 전체의 손상을 방지하거나 손상으로부터 자기 디스크를 보호할 수가 있다. 또, 원하는 슬라이더(3)이 자기 디스크(2)상에 로드되므로, 공급될 공기 압력 (유량)을 감소시킬 수 있다. 따라서, 펌프의 사이즈를 축소시킬 수가 있다. 또한, 이 실시예에 있어서도 제10의 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
이 실시예에 의하면, 슬라이더의 배면에 공급될 공기의 압력, 즉 슬라이더에 공급될 부하를 적절히 조정하는 것에 의해서 자기 디스크의 중심에서 슬라이더까지의 거리의 차로 인하여 슬라이더의 부동력의 강도가 서로 다르게 되어도 슬라이더와 자기 디스크 사이의 거리를 일정하게 할 수 있다.

Claims (55)

  1. 자기기록매체(2)의 표면에서 소정의 거리만큼 떨어져서 배치된 강체(71,72), 상기 강체(71,72)를 거쳐서 상기 자기기록매체(2)의 상기 표면까지 연장하는 공기유로(9,13), 상기 공기유로(9,13)을 거쳐서 상기 자기기록매체(2)의 상기 표면을 향해서 흐르는 공기흐름(211)을 발생하거나 또는 상기 표면에서 흐르는 공기흐름(221)을 발생하는 공기흐름 발생수단(10,11,40,41,42), 상기 자기기록매체(2)상에 기록된 데이타를 재생하거나 또는 상기 자기기록매체(2)상에 데이타를 기록하는 리드/라이트 헤드(4), 상기 공기흐름중에 배치되어 상기 리드/라이트 헤드(4)를 반송하는 헤드 슬라이더(3), 상기 자기기록매체(2)의 상기 표면과 직교하는 방향으로 상기 강체에 대해서 상대적으로 이동할 수 있는 상기 헤드 슬라이더를 지지하는 지지수단(5,12,80)과, 상기 헤드 슬라이더(3)과 상기 자기기록매체(2)와의 사이에 상대적인 이동을 발생하는 발생수단 (1)을 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 헤드 슬라이더(3)의 중심(G)를 통과하고 또한 상기 자기기록매체(2)의 상기 표면과 평행하게 연장하는 평면내의 여러개의 위치(35,36)에서 상기 헤드 슬라이더(3)과 걸어맞추는 가요성부재(5)를 갖는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  3. 제1항에 있어서, 여러개의 상기 헤드 슬라이더(3)은 서로 떨어져서 배치되어 있으며, 또한 상기 공기흐름(211,221)중에 각각 배치되어 상기 지지수단(5)에 의해 각각 지지되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  4. 제2항에 있어서, 상기 공기흐름 발생수단(17,11)은 상기 공기흐름(211,221)의 강도를 변화시키는 변화수단을 갖고, 상기 헤드 슬라이더(3)은 부압력형 슬라이더인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  5. 제2항에 있어서, 상기 공기흐름 발생수단(10,11)은 상기 공기흐름의 강도를 변화시키는 변화수단을 갖고, 상기 헤드 슬라이더는 정압력형 슬라이더인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  6. 제1항에 있어서, 상기 지지수단은 비접촉형 수단(12a,12b,12c,12i,12j,12k,12l,12n,12m,12p,12q,12r,12s,80a,80b)인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  7. 제6항에 있어서, 상기 지지수단(12,80)은 상기 강체(62a,62b,62c)와 상기 헤드 슬라이더(32,39) 사이에 배치된 공기베어링(400,402)인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  8. 제7항에 있어서, 상기 공기흐름 발생수단(47)은 상기 공기흐름(211a~211d)의 강도를 변화시키는 변화수단(42)를 갖고, 상기 헤드 슬라이더(3)은 부압력형 슬라이더일 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  9. 제7항에 있어서, 상기 공기흐름 발생수단(40)은 상기 공기흐름(211a~211d)의 강도를 변화시키는 변화수단(42)를 갖고, 상기 헤드 슬라이더(3)은 정압력형 슬라이더인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  10. 자기디스크(2)의 표면에서 소정의 거리만큼 떨어져서 배치되고, 상기 자기디스크의 상기 표면과 대향하는 표면에 열림부(6)을 가짐과 동시에 그 안에 공동부(200)을 갖는 강성이 높은 지지부재(7,71,72), 상기 열림부(6)내에 배치되어 상기 열림부의 둘레부에 접속되는 강성이 낮은 가요성수단(5), 상기 자기디스크(2)의 상기 표면과 직교하는 방향(FL,FU)로 이동할 수 있도록 상기 가요성수단(5)에 의해 상기 열림부(6)내에 지지되어 있는 슬라이더와 상기 지지부재(7,71,72)내의 상기 공동부(200)의 압력을 조정하는 압력조정수단(40,42,10,11)을 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  11. 제10항에 있어서, 상기 슬라이더 (3)과 상기 가요성수단(5)사이의 접합부는 상기 슬라이더(3)의 중심(G)를 통과하고 또한 상기 자기디스크(2)의 상기 표면과 평행하게 연장하는 평면내에 위치결정되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  12. 제10항에 있어서, 상기 지지부재(7)은 상기 자기디스크(2)의 반경방향으로 배열된 여러개의 열림부(6)을 가지며, 상기 여러개의 열림부의 각각에는 상기 가요성수단(5)와 상기 가요성수단(5)에 의해 지지된 상기 슬라이더(3)이 수납되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  13. 제10항에 있어서, 상기 지지부재는 동축으로 부착된 2개의 자기디스크(2)사이에 배치되어 각각의 자기디스크(2)와 대향하는 측면에 상기 열림부(6)을 가지며, 상기 열림부(6)의 각각에는 상기 가요성수단(5)와 상기 가요성수단(5)에 의해 지지된 상기 슬라이더(3)이 수납되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  14. 제10항에 있어서, 상기 슬라이더(3)은 부압력형 슬라이더인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  15. 제10항에 있어서, 상기 슬라이더(3)은 정압력형 슬라이더인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  16. 제10항에 있어서, 상기 슬라이더(3)은 정압력형 슬라이더이고, 또한 상기 슬라이더가 상기 자기디스크(2)의 정지중에 상기 자기디스크(2)와 접촉상태로 되도록 지지되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  17. 제11항에 있어서, 상기 슬라이더(3)은 정압력형 슬라이더이고, 또한 상기 슬라이더가 상기 자기디스크의 정지중에 상기 자기디스크(2)와 접촉상태로 되도록 지지되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  18. 제16항 또는 제17항에 있어서, 상기 압력조정수단(10,11)과 상기 지지부재(7)내의 상기 공동부(200)과를 접속하는 기체유로(9)를 또 포함하고, 상기 기체유로(9)에 흐르는 기체를 가열하는 수단이 상기 기체유로(9)의 도중에 배치되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  19. 자기디스크(2)의 표면에서 소정의 거리만큼 떨어져서 배치되고, 상기 자기디스크(2)의 상기 표면과 대향하는 측면에 형성된 열림부(6)을 갖는 강체(7), 상기 열림부(6)내에 배치되어 상기 열림부(6)의 둘레부(53)에 접속된 가요성수단(5)와 상기 자기디스크(2)의 상기 표면과 직교하는 방향으로 이동할 수 있도록 상기 가요성수단(5)에 의해 상기 열림부(6)내에 지지되어 있는 슬라이더(3)을 포함하고, 상기 슬라이더(3)은 상기 자기디스크의 정지중에 상기 가요성수단(5)의 탄성력에 의해 상기 자기디스크(2)의 상기 표면과 접촉 상태로 유지되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  20. 제12항에 있어서, 자기디스크의 반경방향의 바깥둘레에 배치된 상기 슬라이더의 하나의 슬라이더(4)의 정압력발생용 레일(37)의 폭(R4)는 좁게되어 있거나 또는 부압력발생용 포켓(38)의 사이즈(N4)는 상기 반경방향의 바깥둘레에서 반경방향의 안쪽으로 배치된 상기 슬라이더의 다른 하나의 슬라이더(1)의 사이즈(N1)보다 크게되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  21. 제10항에 있어서, 상기 슬라이더(3)은 그의 중심(G)를 포함하는 평면에 의해 2개의 부분(33,34)로 분할되고, 상기 2개의 부분은 상기 가요성수단(52)를 그들 사이에 유지하도록 서로 결합되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  22. 제10항에 있어서, 상기 가요성수단(5)와 상기 슬라이더는 돌출부(54,55)와 오목부(35,36)을 서로 접속하는 것에 의해 서로 결합되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  23. 제10항에 있어서, 상기 가요성수단(5)는 짐발 스프링인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  24. 제23항에 있어서, 상기 짐발 스프링은 초탄성재료로 이루어지는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  25. 자기기록매체(2)에서 소정의 거리만큼 떨어져서 배치된 지지부재(7)과 공기베어링을 거쳐서 비접촉상태로 상기 지지부재(7)에 의해 지지된 헤드 슬라이더(3)을 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  26. 제25항에 있어서, 상기 지지부재(7)은 상기 헤드 슬라이더(3)의 측면(62a,62c) 및 배면(62b)를 그들 사이에 형성된 작은 간극을 두고 덮는 오목부(62)를 갖고, 상기 헤드 슬라이더(3)은 상기 오목부(62)내에 상기 자기디스크(2)와 대향하는 상기 헤드 슬라이더(3)의 표면이 외부로 노출하도록 끼워맞춰지고, 상기 헤드 슬라이더(3)의 측면(39,39')와 상기 오목부(62)의 벽면(62a,62c)사이에는 제1의 공기베어링이 마련되어 있고, 상기 헤드 슬라이더(3)의 배면(32)와 상기 오목부(62)의 바닥면(62b)사이에는 제2의 공기베어링이 마련되어 있으며, 이것에 의해 상기 헤드 슬라이더 (3)은 상기 제1의 공기베어링에 의해 상기 자기기록매체(2)의 상기 표면과 평행한 방향으로 지지되고, 상기 제2의 공기베어링에 의해 상기 자기기록매체(2)를 향해서 상기 헤드 슬라이더(3)에 부하가 인가되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  27. 제26항에 있어서, 상기 제1의 공기베어링은 상기 오목부(62)의 상기 벽면(62a,62c)에 뚫려진 분사구멍(12a,12c)와 상기 분사구멍(12a,12c)로 공기를 공급하는 공기공급계(40)으로 구성되고, 상기 제2의 공기베어링은 상기 오목부(62)의 바닥면에 뚫려진 분사구멍 (12b)와 상기 오목부(62)의 바닥면(62b)에 뚫려진 상기 분사구멍(12b)로 공기를 공급하는 공기공급계(40)으로 구성되는 부동 혜드 슬라이더 지지기구.
  28. 제27항에 있어서,상기 제1의 공기베어링은 상기 분사구멍(12z), 상기 공기공급계(41), 상기 오목부(62)의 상기 벽면(62a)에 뚫려진 흡입구멍(80a) 및 상기 흡입구멍(80a)에서 공기를 흡입하는 흡입계(90,81,82)로 구성되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  29. 제27항 또는 제28항에 있어서, 상기 제2의 공기베어링은 상기 분사구멍(12b), 상기 공기공급계(41), 상기 오목부(62)의 상기 바닥면(62b)에 뚫려진 흡입구멍(87b) 및 상기 흡입구멍에서 공기를 흡입하는 흡입계(90,81,82)로 구성되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  30. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 제2의 공기베어링의 특성을 변화시키는 수단을 또 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  31. 제20항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서. 상기 헤드 슬라이더(3)의 상기 배면(32)상에 작용하는 상기 제2의 공기베어링의 합력은 상기 슬라이더의 상기 자기기록매체(2)와의 상대적인 이동방향에서 보왔을때, 그의 중앙부로부터 편심한 부분상에 작용하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  32. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서. 상기 부동 헤드 슬라이더(3)의 상기 표면상에 작용하는 상기 제1의 공기베어링의 합력은 상기 슬라이더의 중심(G)을 포함하며 또한 상기 자기기록매체(2)의 상기 표면과 평행하게 연장하는 평면내에 존재하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  33. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 부동 헤드 슬라이더(3)의 상기 측면상에 작용하는 상기 제1의 공기베어링의 합력은 상기 슬라이더(3)의 상기 측면상에서 상기 슬라이더의 중심으로부터 편심된 부분에 작용하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  34. 제27항 또는 제28항에 있어서, 상기 오목부(62)의 상기 벽면(62a,62c)에 뚫려진 상기 분사구멍(12s,12r,l2f,12g,12a,12c,l2d,12e)와 상기 흡입구멍(80a)가 여러개 마련되고, 상기 오목부(62)의 상기 바닥면(62b)에 뚫려진 상기 분사구멍(12b)와 상기 흡입구멍 (80b)가 여러개 마련되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지 기구.
  35. 제34항에 있어서, 상기 분사구멍(12i,12l,12f,12g,12s,12r)의 면적은 서로 다른 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  36. 제34항에 있어서, 상기 흡입구멍(82a,80b)의 면적은 서로 다른 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  37. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 오목부(62)의 상기 측면(62a,62c)와 상기 바닥면(62b)의 적어도 하나를 상기 측면(62a,62c)와 상기 바닥면(62b)의 상기 적어도 하나의 법선방향으로 변위시키는 변위수단(401)을 또 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  38. 제37항에 있어서, 상기 변위수단은 전왜소자 또는 압전소자(401)로 구성되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  39. 제37항에 있어서. 상기 변위수단은 형상기억합금으로 구성되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  40. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사구멍(12a,12b,12c)는 공통의 공기공급계(41) 또는 별개의 공기공급계(41a,41b,41i-41k)에 접속되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  41. 제40항에 있어서, 상기 공통의 또는 별개의 공기공급계(41,42)에 의해 공급된 공기의 압력레벨은 조정이 가능한 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  42. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 흡입구멍(80a)는 공통의 흡입계(90) 또는 별개의 흡입계에 접속되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  43. 제42항에 있어서, 상기 공통의 또는 상기 별개의 흡입계(90)에 의해 흡입된 공기의 압력레벨은 조정이 가능한 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  44. 제27항 또는 제28항에 있어서, 상기 분사구멍의 적어도 하나에 공급될 공기를 가열하는 수단(70)을 또 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  45. 제29항에 있어서, 상기 분사구멍의 적어도 하나에 공급될 공기를 가열하는 수단(600)을 또 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  46. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 지지부재(7)에는 여러개의 상기 오목부(62)가 배열되어 있고, 상기 오목부(62)의 각각에는 헤드 슬라이더(3), 제1의 공기베어링 및 제2의 공기베어링이 마련되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  47. 제46항에 있어서, 상기 오목부의 각각에 있어서의 상기 제1 및 제2의 공기베어링의 특성은 다른 오목부(62i,62j,62k)와는 독립적으로 조정할 수 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  48. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 헤드 슬라이더(3)의 상기 오목부(62)에서 이탈되는 것을 방지하는 스토퍼(201,203)을 또 포함하는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  49. 제26항, 제27항, 제28항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 지지부재(7)은 2개의 대향하는 자기기록매체(2) 사이에 배치되고, 상기 헤드 슬라이더(3)은 상기 지지부재의 양면에 배치되는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  50. 제46항에 있어서, 자기디스크의 반경방향의 바깥둘레에 배치된 상기 슬라이더의 하나의 슬라이더의 정압력발생용 레일의 폭은 좁게되어 있거나 또는 부압력발생용 포켓의 사이즈는 상기 반경방향의 바깥둘레에서 반경방향의 안쪽으로 배치된 상기 슬라이더의 다른 하나의 슬라이더의 사이즈보다 크게되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  51. 제1항에 있어서, 상기 슬라이더(3)은 부압력형 슬라이더인 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  52. 제1항에 있어서, 상기 슬라이더(3)은 정압력형 슬라이더이고, 또한 상기 슬라이더(3)이 상기 자기디스크의 정지중에 상기 자기디스크(2)와 접촉상태로 되도록 지지되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  53. 제52항에 있어서, 상기 압력조정수단(41)과 상기 지지부재(7)내의 상기 공동부와를 접속하는 기체유로를 또 포함하고, 상기 기체유로(13)에 흐르는 기체를 가열하는 수단(600)이 상기 기체유로(13)의 도중에 배치되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  54. 제3항에 있어서, 자기디스크의 반경방향의 바깥둘레에 배치된 상기 슬라이더의 하나의 슬라이더의 정압력발생용 레일의 폭은 좁게되어 있거나 또는 부압력발생용 포켓의 사이즈는 상기 반경방향의 바깥둘레에서 반경방향의 안쪽으로 배치된 상기 슬라이더의 다른 하나의 슬라이더의 사이즈보다 크게되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
  55. 제13항에 있어서, 자기디스크의 반경방향의 바깥둘레에 배치된 상기 슬라이더의 하나의 슬라이더의 정압력발생용 레일의 폭은 좁게되어 있거나 또는 부압력발생용 포켓의 사이즈는 상기 반경방향의 바깥둘레에서 반경방향의 안쪽으로 배치된 상기 슬라이더의 다른 하나의 슬라이더의 사이즈보다 크게되어 있는 부동 헤드 슬라이더 지지기구.
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