JPS6299967A

JPS6299967A - 浮動ヘツドスライダ支持機構

Info

Publication number: JPS6299967A
Application number: JP23938285A
Authority: JP
Inventors: Toshibumi Okubo; 俊文大久保; Takefumi Hayashi; 林　武文; Kenji Kogure; 木暮　賢司
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1985-10-28
Filing date: 1985-10-28
Publication date: 1987-05-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、磁気ディスク装置用浮動ヘッドスライダの支
持機構に関する。

〔従来の技術〕

磁気ディスク装置用浮動ヘッドスライダは、磁気記録媒
体の回転に伴う気体（空気）の粘性流による動圧効果を
利用してスライダ面と磁気記録媒体面との間に薄い気体
膜を形成し、このサブミクロンオーダのすきまで磁気ヘ
ッドを磁気記録媒体上に位置付けられる。実際の磁気記
録媒体にはうねり・突起等が存在し、また磁気記録媒体
はそれ自体の回転に伴う気体流やスピンドル駆動系１位
置決め機構系の振動の影響を受けその面は振動しており
、浮動ヘッドスライダはこれらの外乱に対しても磁気記
録媒体に十分追従し、一定の浮上すきまを保つことが必
要とされる。このような浮動ヘッドスライダの磁気記録
媒体に刻する追従特性を十分確保し、スライダ浮上機構
の信頼性を向旧するためには、浮動ヘッドスライダ支持
機構にはスライダのピッチング、ローリングおよび磁気
記録媒体の面外方向の並進運動に対して、それらを妨げ
ないよう十分低い支持剛性、いわゆるジンバル性を有し
、かつ浮動ヘッドスライダに一定の負荷力を加える機能
が要求される。

従来の浮動ヘッドスライダ支持機構の基本構造は、弾性
を有する片持ち梁により浮動ヘッドスライダに負荷力を
与えるとともに、上述の片持ち梁の一端に接合された枠
状をなす可撓性部材のジンバル性により浮動ヘッドスラ
イダを支持するものであった。第３図（ａ）に従来の浮
動ヘッドスライダ支持機構の斜視図を示す。また、第３
図（、）の側面図を第３図（ｂ）に示す。図において、
１はスライダ支持機構のアーム、２は浮動ヘッドスライ
ダ、１２はジンバル性を有する可撓性部材、１３は比較
的剛な負荷アーム部、１４は負荷ばね部、３は磁気記録
媒体、４′は浮動ヘッドスライダ支持機構の固定部であ
る。

第４図は、振動特性の上からモデル化した浮動ヘッドス
ライダおよびその支持機構を示す図である。′４．動ヘ
ッドスライダ２はその支持機構の持つはね剛性（ピッチ
ング剛性、ローリング剛性、並進剛性）に比べて十分に
剛な気体膜（ばね定数ｋ、減衰係数Ｇ）により磁気記録
媒体上に一定のすきまを隔てて浮上しており、良好なス
ライダの追従特性を得るため、気体膜・浮動ヘッドスラ
イダの構成する振動系の共振周波数は通常５に！（ｚ以
上となるように設計されている。

しかしながら、スライダ支持機構も分布質量ｍｚを持つ
振動系とみることができ、例えば支持アームの部分がス
ライダとの接合部を節とするような固有振動モードで共
振する場合には、等価的にスライダ支持機構の並進剛性
が増大したことと同等の効果となり、著しくスライダの
追従特性を劣化せしめ、浮上すきまの変動を招く結果と
なる。

このようなスライダ支持機構の振動が浮動ヘッドスライ
ダの浮上特性におよぼす影響については、機械学会講演
論文集Ｎｏ、　７４０−１２，２１５　（１９７４年）
、機械学会論文集４５−３９１，３５６　（１９７９年
）に詳細に記述されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

以」二説明したように、従来の浮動ヘッドスライダ支持
機構においては、磁気記録媒体の持つうねりあるいは而
振れ等の外乱の振動周波数が上述のようなスライダ支持
機構の固有振動数に一致する場合には浮上量変動が増大
し電磁変換機能を低下させ、ひいてはスライダと磁気記
録媒体の接触による相互の損傷（ヘッドクラッシュ）を
招くという問題を有していた。

また、従来の浮動ヘッドスライダ機゛構およびその支持
機構においては、簡易な機構構成を目的として、浮動ヘ
ッドスライダが装置の起動・停止１−に伴って磁気記録
媒体」ユを接触走行して、浮」−あるいは停止するいわ
ゆるコンタクトスタート・ストップ（Ｃ８Ｓ）方式が用
いられている。しかしながら、この接触走行によるスラ
イダおよび電磁変換部の摩耗、塵埃の発生あるいは発生
した塵埃のスライダの磁気記録媒体への吸着等を防ＩＦ
する観点からは、装置の起動後浮動ヘッドスライダをロ
ードあるいはアンロードする方式（ランディングオン・
オフ方式）の方が望ましいことは明らかである。従来の
浮動ヘッドスライダ支持機構において、このようなロー
ド、アンロードを行うためには、負荷ばね部を機械的に
」二下させる機構を更に付加する必要があるためスライ
ダ支持機構が複雑化し、また支持機構自体が片持ち梁構
造のためロード、アンロード時にスライダエツジ部によ
り磁気記録媒体を損傷する可能性があるという問題を有
していた。

一方、従来のスライダ位置決め機構の支持アームにおい
ては、上述のような片持ち梁状のスライダ支持機構を固
定・支持する必要から、浮動へッドスライ“ダ支持機構
までも含めて、ここを通過する気体流れをスムーズにし
得るような比較的平滑な表面形状を有するスライダ支持
アームを実現することが困難であり、磁気記録媒体間の
気体流の乱れに起因する振動（フラッタ）を受け１．：
れがひいてはスライダ支持機構の共振を誘起し、浮Ｊ−
すきまの変動を招くという問題を有していた。

〔問題点を解決するだめの手段および作用〕本発明は」
−述のような問題点に鑑みてなされたもので、磁気記録
媒体の回転に伴う気体の粘性流による動圧効果によりス
ライダに生ずる浮上刃と、該スライダを磁気記録媒体上
の所定の位置に支持し、かつ１；記浮」二カと逆の方向
に該浮上刃に平衡する負荷力とを加え、該スライダを磁
気記録媒体上に所定の微小すきまで浮」ニさせる浮動ヘ
ッドスライダ支持機構において、浮動ヘッドスライダを
薄い粘弾性膜に取付けることにより」ユ記粘弾性’Ｑに
ジンバル性を持たせて浮動ヘッドスライダを支持すると
ともに、薄い粘弾性膜の張力あるいは上記薄い粘弾性膜
の浮動ヘッドスライダが取付けられた面と反対面の側の
気体圧力を高めることにより浮動ヘッドスライダに負荷
力を与えることを特徴とし、これによりスライダ支持機
構の質量を低減し、また外乱によるスライダ支持機構の
＠動に対してスライダ支持機構自体の減衰能を高めるこ
とによって、スライダ支持機構の共振によるスライダ浮
上すきまの変動を低減し、磁気記録媒体のうねり・面振
れ等に対するスライダの追従性を向上することができる
。また、本発明の一実施態様においては、浮動ヘッドス
ライダをスペーサを介して上記薄い粘弾性膜に取付けた
ことを特徴とし、こわにより浮動ヘッドスライダに加え
る負荷力点位置を任意に変えることができ、かつ上述の
ような利点をも有する浮動ヘッドスライダ支持機構が提
供できる。

更に他の実施態様においては、上記薄い粘弾性膜に可撓
性部材を接合したことを特徴とし、粘弾性膜面内の剛性
を高めることにより磁気ディスク装置の高速シーク動作
や装置の起動・停止時の磁気記録媒体ｊ二の接触走行（
コンタクトスタート・ストップを行う場合）にも耐え得
る浮動ヘッドスライダ支持機構が提供できる。また他の
実施態様においては、浮動ヘッドスライダ位置決め機構
のスライダ支持アーム両面に接合・固定される上述のよ
うな粘弾性膜を用いた浮動ヘントスライダ支持機構の背
面側の空間を、スライダ支持アームに形成した気体の流
路によって４通させたことを特徴とし、スライダ支持ア
ーム面と磁気記録媒体面位置の設定誤差による浮動ヘッ
ドスライダへの押し付は荷重の変化を緩和し得る浮動ヘ
ッドスライダ支持機構が提供できる。

一方上記薄い粘弾性膜に関して、浮動ヘッドスライダ取
付は面と反対面の側の気体の圧力を変化させることによ
り、極めて簡易でしかも信頼性の高い浮動ヘッドスライ
ダのロード・アンロード機構も提供できる。

また浮動ヘッドスライダの位置決め機構の支持アームの
一部に薄い粘弾性膜を接合することを特徴とし、上記薄
い粘弾性膜がスライダ支持機構を兼ねることにより、磁
気記録媒体の回転によって誘起される気体流に伴う振動
（フラッタ）を受けにくく、しかも簡易な構造の浮動ヘ
ッドスライダ支持アームも提供できる。

〔実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。

第１図（ａ）は本発明の浮動ヘッドスライダ支持機構の
一実施例を示す斜視図である。図において、２は浮動ヘ
ッドスライダ、２３は浮動ヘッドスライダ２に搭載され
ている電磁変換部、２４は信号用のリード線、５は薄い
粘弾性膜、６は磁気記録媒体の回転方向、７は浮動ヘッ
ドスライダのシーク動作の方向を示す。

第１図（ｂ）は第１図（、）に示した浮動ヘッドスライ
ダ支持機構の断面を示す図であり、浮動ヘッドスライダ
２は薄い粘弾性膜５により支持されるとともに、薄い粘
弾性膜５の張力あるいは粘弾性膜内部５１の気体圧力を
高めることにより負荷力を与えられる。薄い粘弾性膜５
を用いることによりスライダ支持機構としてのローリン
グ、ピッチングおよび並進の剛性を十分小さくでき、ま
た支持・負荷機構としての質量を低減できる上、粘弾性
膜自体の減衰作用を生かすことができるため、磁気記録
媒体のうねり・面振れに対する浮動ヘッドスライダの追
従特性を向とさせることができる。

また浮動ヘッドスライダ支持機構の共振による浮上すき
ま変動を抑制するのにも効果的である。また浮動ヘッド
スライダの負荷力を粘弾性膜内部５１の気体の圧力を調
節することにより任意に変えることができるため、浮動
ヘッドスライダの浮上すきまの調整が容易に行うことが
できるとともに比較的薄い粘弾性膜であっても十分な荷
重を加えることができる。

第２図は浮動ヘッドスライダ２をスペーサ８を介して薄
い粘弾性膜５に取付けたものであり、スペーサ８により
浮動ヘッドスライダ２に負荷する荷重点位置をある程度
任意に変えられるようにしたものである。これによりこ
のような薄い膜をスライダ支持機構として用いた場合で
も、スライダの電磁変換部（通常は浮動ヘッドスライダ
の流出端に設けらオしる。）における浮上すきま変動が
最小となるように荷重点位置を調節することができる。

第５図は、第１図（ａ）、（ｂ）に示した本発明による
４１Ｊｔヘッドスライダ支持機構において、スライダ支
持機構の固定部４（あるいは浮動ヘッドスライダ位置決
め機構のスライダ支持アーム）を強制加振し、浮動ヘッ
ドスライダの浮上すきま変動を検出して高速フーリエ変
換器（ＦＦＴ）を用いて解析することによりスライダ支
持機構の伝達特性を測定した結果を示す図である。横軸
はスライダ支持機構固定部の加振周波数ｆであり、縦軸
は加振振幅ΔＺに対するスライダ流出端での浮上すきま
変動Δｈの比をとったものである。ｂ（実線）は本発明
による′４Ｉ？ＩＪヘッドスライダ支持機構の伝達特性
を示したものであり、ａ　（一点鎖線）は比較のため第
３図（ａ）、（ｂ）に示した従来の浮／ＩＪヘッドスラ
イダ支持機構の伝達特性を示したものである。供試スラ
イダにはスライダ幅０．２９ｍｍ。

スライダ長３．７ｍｍのテーバフラット形スライダを用
い゛、粘弾性膜には厚さ２０虜、直径１６ｍｍのゴム膜
を用いている。また流出端におけるスライダ浮上すきま
は共に０．２４如としている。

第５図から明らかなように５本発明による浮動ヘッドス
ライダ支持機構では支持機構の部分での質量が従来形の
支持機構に比べて小さく、しかもゴムのような粘弾性材
料登用いているため、振動に対する減衰効果が大きく、
ｆ＝２．７ｋｌＨｚに若干の共振点がｍ測されるほかは
顕著な共振点は見当たらない。また上述の共振点以外で
はほぼ従来の支持機構の伝達特性を下回っていることが
わかる。

特に本発明の支持機構では５　ｋ　１−Ｔｚ以」二の高
帯域において、従来の支持機構に比べてすきま変動の伝
達特性は約４０ｄＢ　（１／１００）以上も抑制されて
いることがわかる。

第６図は本発明の浮、動／＼ツドスライダ支持ｎ：構の
他の実施例を示したものであり、ここでは浮動ヘッドス
ライダ２を負圧利用形スライダとし、その吸引力により
浮動ヘッドスライダ支持機構の押し付は荷重の一部を賄
う、あるいは同一押付は荷重の場合には浮動ヘッドスラ
イダの実効荷重を大きくして浮動ヘッドスライダの追従
性を向Ｊ二し、すきま変動を更に小さくしたものである
。

第７図（ａ）は本発明の浮動へッドスライダ支持機構の
他の実施例を示した斜視図であり、薄い粘弾性膜５に面
外剛性が小さくジンバル性を有し、かつ面内剛性の比較
的大きな可撓性部材９を接合することにより、浮動ヘッ
ドスライダ支持機構の高速シーク動作時の面内剛性およ
びコンタク）−スタート・ストップ（ＣＳＳ）時の耐久
性を高めたものである。第７図（ｂ）に上記浮動ヘッド
スライダ支持機構の断面図を示す。

第８図は本発明の浮動ヘッドスライダ支持機構他の実施
例を示した斜視図であり、一つの薄い粘弾性膜５に複数
の浮動ヘッドスライダ２を接合したものであり、上述の
構成をとることにより浮動ヘッドスライダの実装効率を
向上させることができる。

第９図（ａ）は本発明の浮動ヘッドスライダ支持機構の
他の実施例を示す斜視図であり、ｐＡ壬子形動ヘッドス
ライダ機構において、親スライダ２６の一部に薄い粘弾
性膜５を接合し、この粘弾性膜５を子スライダ２５の支
持ならびに負荷機構として用いたもので、極めて簡易な
親子形浮動ヘッドスライダ機構が実況できる。第９図（
ｂ）にこの親子形浮動ヘッドスライダ機構の動作を説明
する断面図を示す。

第１０図（ａ）は本発明の浮動ヘッドスライダ支持機構
の更に他の実施例を示したもので、浮動ヘッドスライダ
位置決め機構のスライダ支持アーム４の両面に設置され
るスライダ（アップ型スライダおよびダウン型スライダ
）の支持機構となる粘弾性膜内空間５１．５１′　をス
ライダ支持アーム４内部に設けた気体の通路４１により
貫通させ、粘弾性膜内部の空間５１．５１′　内の圧力
をアップ型スライダの支持機構およびダウン型スライダ
の支持機構ともに等しくすることにより、スライダ支持
アーム４と磁気記録媒体３との設定誤差に起因する浮動
ヘッドスライダ２への荷重の変化を緩和させたものであ
る。第１０図（ｂ）はスライダ支持アーム４と磁気記録
媒体３との間に設定誤差のある場合の状態を示したもの
である。粘弾性膜内部空間５１．５１′の圧力がアップ
型およびダウン型のスライダ支持機構とで等しいため、
スライダに加わる荷重は）摸張力分を除いてほぼ等しく
、膜張力の影響が十分小さければスライダ支持アームと
磁気記録媒体の設定状態の如何にかかわらず常にスライ
ダへの負荷力が一定の浮動ヘッドスライダ支持機構が実
現できる。

第１１図（ａ）、（ｂ）は本発明に係わる浮動ヘッドス
ライダロード、アンロード機構の動作を説明したもので
ある。第１１図（ａ）はスライダ支持アーム４の内部に
設けた気体流路４２を通して薄い粘弾性膜内部空間５１
の圧力を上げスライダを磁気記録媒体３上にロードした
状態を示しており、また第１１図（ｂ）には薄い粘弾性
膜内部空間５１の圧力を除いて磁気記録媒体３からアン
ロードした状態を示す。第１１図（ａ）、（ｂ）から明
らかなように、本発明の浮動ヘッドスライダロード・ア
ンロード機構は粘弾性膜内の圧力を変えるのみで機械的
な可動“部分を含まない極めて簡易な機構であり、更に
浮動ヘントスライダ２の浮上面を磁気記録媒体３に対し
てほぼ平行な状態を保ったままロード・アンロードの動
作を行うことが可能であるため、スライダによる磁気記
録媒体への損傷（クラッシュ）等の可能性を低減し、信
頼性の高い＞９−　！ＡＪヘッドスライダロード・アン
ロード機構を実現し得ろう第１２図は本発明の浮動ヘッ
ドスライダロード・アンロード機構の一実施例を示した
もので、外部に圧力調整機構１０　（例えばベローズポ
ンプ等）を設置し浮動ヘッドスライダのロード・アンロ
ードを行うとともに、浮り」ヘッドスライダ支持！４ｍ
の周囲の温度変化を検知することによって粘弾性膜内部
５１の圧力を制御しスライダに常に一定の荷重を負荷す
るようにしたものである。

第１３図は本発明の浮動ヘッドスライダロード・アンロ
ード機構の他の実施例を示したもので、スライダ支持ア
ームの一部に気体取り入れ口４３を設は磁気記録媒体３
の回転に伴って生ずる気体の流れのラム圧力を利用し、
これを粘弾性膜内部５１に導いてスライダの磁気記録媒
体へのロート動作を行うようにしたものである。装置の
起動に伴ってラム圧力が上昇しスライダのロードが行オ
〕れ、また停止に伴ってラム圧力が減少してアンロード
が行われるため、ポンプや電気的な制御が全く不要な簡
易な浮動ヘッドスライダロード・アンロード機構が実現
できるとともに加圧機構が外気に対して開いているため
、粘弾性膜および気体流路部分についてさほど高い気密
性を必要としないという利点がある。

また第１４図には圧力発生機構としてスピンドル３１と
同軸のコンプレッサ１１０を用いてスライダのロード・
アンロードを行う、コンパクトで構造の簡単な、信頼性
の高い機構を示す。

第１５図には本発明のスライダ位置決め機構のスライダ
支持アームの一実施例を示す。スライダ支持アーム４の
磁気記録媒体（図示せず）の対向面（両面）に薄い粘弾
性膜５を接合することにより、上述の浮動ヘッドスライ
ダ支持機構を同時に実現するとともに、スライダ支持ア
ーム４の表面の凹凸をなくし、磁気記録媒体間の気体流
れをスムーズにすることによりスライダ支持アーム、ス
ライダ支持機構が気体流れの乱れによって受ける振動（
フラッタ）を低減してスライダ浮上すきまの変動を抑制
することができる。さらにスライダ支持アーム端部を滑
らかな形状とするような部材４４をスライダ支持アーム
に接合すれはこのフラッタ低減効果をより亮めることが
できる。

また第１６図（ａ）にはスライダ支持アームの骨組をパ
イプ状部材４５により構成し、これに薄い粘弾性膜５を
接合したスライダ支持アームを示している。この軽くて
丈夫なパイプ状部材４５を採用することにより、浮上す
きま位置決め機構の可動部材の質量を低減でき、またス
ライダ支持アームを薄く構成できるため、磁気記録媒体
の積層間隔を狭くでき、実装密度を上げることができる
。またパイプ状部材４５を通して浮動ヘッドスライダと
の信号線の授受あるいは薄い粘弾性膜ジンバルへの気体
の加圧等を行うことにより浮動ヘッドスライダのロード
・アンロードもしくはスライダの浮上量調節も可能であ
る。第１６図（ｂ）には第１６図（ａ）のＡ−Ａ断面を
示す。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の浮動ヘッドスライダ支持
機構は、薄い粘弾性膜によりスライダを支持し、かつ上
記薄い粘弾性膜の張力あるいは膜の背面に加わる気体の
圧力によってスライダに荷重を与える構成をとったため
、極めて簡易な構造でスライダ支持機構の質量を低減で
き、同時に支持機構自体の持つ減衰能を大きくでき、磁
気記録媒体のうねり、面振れ、スピンドル系・位置決め
機構の振動等の各種要因に伴うスライダ浮上すきまの変
動を抑制し得る浮動ヘッドスライダ支持機構を実現でき
る。

また」二連の薄い粘弾性膜に対し、面内剛性の高い可撓
性部材を接合すれば、上述の効果に加えて高速のシーク
動作、磁気記録媒体上の接触走行（Ｃ８Ｓ）に対しても
耐久性のある浮動ヘッドスライダ支持機構を実現できる
。加えてスライダ支持アームの両面に設置される上述の
ような粘弾性膜を”用いた浮動ヘッドスライダ支持機構
の粘弾性膜背面側を、スライダ支持アームに形成した気
体の流路により墓通させれば、スライダ支持アームの両
側の粘弾性膜内部の気体圧力をほぼ等しくすることかで
き、スライダ支持アームと磁気記録媒体とで設定誤差が
ある場合でも浮動ヘッドスライダに加わる押し付は荷重
を常に一定にし得る浮動ヘッドスライダ支持機構を実現
できる。

さらにＬ記の薄い粘弾性膜背面に加わる気体の圧力を制
御することによりロード・アンロードする構成をとれば
、極めて簡易でかつ信頼性の、繕い浮動ヘッドスライダ
ロード・アンロード機構が実現できる。

またスライダ支持アームの磁気記録媒体対向面に上記薄
い粘弾性膜を接合した構成をとれば、浮動ヘッドスライ
ダ支持機構を同時に構成でき、またスライダ支持アーム
の表面を滑らかに形成できるので、磁気記録媒体間の気
体流によるフラッタ等の外乱を受けにくいスライダ支持
アームを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の浮動ヘッドスライダ支
持機構の一実施例を示す図、第２　ｌｉｄは本発明の浮
動ヘッドスライダ支持機構の他の実施例の断面図、第３
図（ａ）、（ｂ）は従来の浮動ヘッドスライダ支持機構
を示す図、第４図は振動特性の上からモデル化した浮動
ヘッドスライダおよびその支持機構を示す図、第５図は
本発明に係わる浮動ヘッドスライダ支持機構の伝達特性
を示す図、第６図、第７図（ａ）、（ｂ）、第８図、第
９図（ａ）、（ｂ）、第１０図（ａ）、（ｂ）は本発明
の浮動ヘッドスライダ支持機構の他の実施例を示す図、
第１１図（ａ）、（ｂ）は本発明に係わる浮動ヘッドス
ライダのロード・アン口・−ド機構の動作を説明するた
めの図、第１２図、第１３図、第１４図は本発明に係わ
る浮動ヘッドスライダロード・アンロード機構の実施例
を示す図、第１５図、第１６図（ａ）、（ｂ）は本発明
に係わるスライダ支持アームの実施例を示す図である。１・・・浮動ヘッドスライダ支持機構１２・・・ジンバル部　　　　１３・・・負荷アーム部
１４・・・負荷ばね部　　　　２・・・浮動ヘッドスラ
イダ２１・・・気体膜のばね定数　２２・・・気体膜の
減衰係数２３・・・電磁変換部（磁気ヘッド）２４・・・信号引出し線　　　２５・・・子スライダ２
６・・・親スライダ　　　　３・・磁気記録媒体４・・
・スライダ支持子・−ム４′・・・浮動ヘッドスライダ支持機構固定部４１・・
・圧力調整用厚通孔４２・・・浮動ヘッドスライダロード・アンロード用加
圧孔４３・・・ラム圧発生孔４４・・・スライダ支持アーム用整流部材４５・・・パ
イプ状部材４６・・位置決め機構駆動用コイル５・・・薄い粘弾性膜５１・・・薄い粘弾性膜背面部６・・・磁気記録媒体回転方向７・・・浮動ヘッドスライダシーク方向８・・・スペー
サ　　　　　９・・・可撓性部材１０・・・ポンプ１１０・・・同軸コンプレッサ第１図（ｂ）第２図８Ｘベーブ第３図（ａ）第４図（ｂ）第９図（ａ）（ｂ）第１０図（′ａ）（ｂ）第１１図（ａ）（ｂ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）磁気記録媒体上に所定の微小すきまを隔てて浮動
ヘッドスライダを浮上させ支持する浮動ヘッドスライダ
支持機構において、上記スライダが、支持体に接合され
た粘弾性膜に取付けられ、該粘弾性膜により上記スライ
ダが支持され、かつ上記粘弾性膜の張力により上記スラ
イダに負荷力を加えるようになっていることを特徴とす
る浮動ヘッドスライダ支持機構。
（２）上記粘弾性膜の上記スライダが取付けられた面と
反対の面の側の空間の圧力を高めることにより上記張力
を発生させ、上記スライダに負荷力を加えることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の浮動ヘッドスライダ
支持機構。
（３）上記スライダが上記粘弾性膜にスペーサを介して
取付けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の浮動ヘッドスライダ支持機構。
（４）上記粘弾性膜が可撓性部材によって補強されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の浮動ヘ
ッドスライダ支持機構。
（５）上記支持体の両面に上記粘弾性膜が接合され、か
つ該各粘弾性膜と上記支持体とによって形成されるそれ
ぞれの空間が、上記支持体に形成された通路によって導
通されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の浮動ヘッドスライダ支持機構。
（６）上記粘弾性膜の上記スライダが取付けられた面と
反対の面の側の空間の圧力が変化可能になっており、上
記圧力を高めることにより上記スライダを上記磁気記録
媒体面上にロードし、上記圧力を低減することにより上
記スライダを上記磁気記録媒体面からアンロードするよ
うになっていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の浮動ヘッドスライダ支持機構。
（７）上記浮動ヘッドスライダ支持機構が、上記スライ
ダの支持体を構成する梁状の支持アームと、該支持アー
ムの駆動手段と、上記スライダを上記磁気記録媒体上の
所定の位置に位置決めする機構とを含むことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の浮動ヘッドスライダ支持
機構。