JPH01271931A - 光学的再生ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光デイスク用の光学的再生ヘッドに関する。

〔発明の概要〕

本発明は、光デイスク用の光学的再生ヘッドにおいて、
一端に光源を有し、他端が記録媒体に対向する第１の光
導波路と、この第１の光導波路と交差型光方向性結合器
を構成して一端に光検出器を有する第２の光導波路より
構成する。また、この構成にさらに各第１及び第２の光
導波路に偏光子及び検光子となる互に所定角度をなす金
属クラッド型モードフィルタを付加して構成する。これ
により、光学的再生ヘッドの軽量スライダ上への形成を
可能とし、高速アクセス、狭トラツク化を図るようにし
たものである。

（従来の技術〕 第１８図は従来の光磁気ディスク用光ヘッドの例を示す
、同図において、（１）は記録媒体である光磁気ディス
ク、（２）はレーザ光源を示す、レーザ光源（２）から
の光ビームはグレイティング（３）、Ｌノンズ糸（４）
、偏光子（５）、ビームスプリッタ（６）及び対物レン
ズ（７）を経て光磁気ディスク（１１上に集光される。

光磁気ディスク（１）を反射した戻りの光ビームはビー
ムスプリッタ（６）で９０°方向に反射され、１／２波
長板（８）を経て偏光ビームスプリッタ（９）とフォト
ダイオード（１０）　、　　（１１）により差動検出さ
れて再生信号が得られる。なお（１２）及び（１３）は
シリンドリカル・レンズである。

最近、オーバライド（１ビームの宙ね書き）が１１１能
な様に第１９図に示すように基板（１５）、記録層（１
６）及び保護層（１７）からなる光磁気ディスク（１）
の一方の面に記録用レーザ光（１８）を照射し、その照
射面と反対側から磁気ディスク用ヘッドと同様なスライ
ダ形状の磁気ヘッド（２１）を配し、記録したい信号を
磁気ヘッド（２１）に入力し、磁界変調方式で記録する
光磁気記録方式も出現している。再生は第１８図の光ヘ
ッドで説明したようにレーザ光で行う。

また、記録再生用の光ヘッドとして、分岐型光導波路を
用い、１万の分岐導波路の端部に光源となる半導体レー
ザを配し、他方の分岐導波路の端部に光検出器を配し、
共通導波路の先端を記録媒体に対向さ笹、半導体レーザ
からの射出光を１方の分岐導波路より共通導波路を通し
て記録媒体に入射させ、記録媒体からの反射光を共通導
波路の先端から他方の分岐導波路に導いて光検出器に入
射せしめ、再生信号を得るように構成したものが提案さ
れている（特開昭６０−５９５４７号、特開昭６０−５
９５４８号、特開昭６１−６６２３８号参照）。さらに
同一基板上に半導体レーザとその両側に光検出器を一体
に形成し、半導体レーザの射出光が記録媒体に入射され
、その反射光を両側の光検出器で受光するようにした光
ヘッドも知られている（特開昭６２−１９２０３２号参
照）。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、第１９図の光ヘツド機構とスライダ形状の磁
気ヘッド（２１）を用いた第１８図に示す如き磁界変調
方式の光磁気記録方式においては、レーザ集光用の対物
レンズ（７）と磁気ヘッド（２１）を同時に駆動する必
要があり、機構が複雑になり高速アクセスが困難である
。

一方、今日の薄膜磁気ヘッドを用いた磁気ディスクシス
テムでは軽輩スライダ上に薄膜形成技術。

フォトリソグラフィ技術等を用いてヘッドを作成するた
めに軽量となり、高速アクセス（２０ｍ５）を実現して
いる。しかし、トラック密度は主に再生時の信号レベル
の関係から３０００ＴＰ　ｌが限度である。

また、分岐型光導波路を用いた場合には光の偏波面の方
向が変化するモード変換が起き易いこと、記録媒体から
の反射光が半導体レーザ側の分岐導波路に入り所謂戻り
光によって半導体レーザの発１辰が不安定となる問題点
がある。

本発明は、上述の問題点を解消し、軽量スライダ上に形
成可能にして高速アクセス、狭トランク化を達成できる
光デイスク用の光学的再生ヘッドを提供するものである
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の光学的再生ヘッドは、一端に光＃（３６）を有
し他端が記録媒体（３１）に対向する第１の光導波路（
３８）と、この第１の光導波路（３８）と交差型光方向
性結合器（３９）を構成し一端に光検出！（３７）を有
する第２の光導波路（４０）を備え成る。

又、本発明の光学的再生ヘッドは一端に光源（３６）を
有し他端が記録媒体（３１）に対向する第１の光導波路
（３８）と、この第１の光導波路（３８）と交差型光方
向性結合器（３９）を構成し一端に光検出器（３７）を
有する第２の光導波路（４０）を備え、第１及び第２の
光導波路（３８）及び（４０）に絶縁層（４Ｂ）　　（
４９）を介して金１ｆｆｉｒｆｉ（５０）　　（５１）
を積層した金属クラッド型モードフィルタ（４６）及び
（４７）を設け、夫々の金属層（５０）及び（５１）を
互いに所定の角度で配置して構成する。

第１及び第２の光導波路（３日）及び（４０）は、例え
ばイオン交換によるガラス導波路、或は１゛ｉ拡散Ｌｉ
ＮｂＯ３導波路等にて形成することができ、第１の光導
波路（３８）上に第２の光導波路（４０）を積層して構
成される。そして、積層された第１の光導波路（３８）
と第２の光導波路（４０）が交差する部分において交差
型光方向性結合器（３９）が構成される。

金属クラフト型モードフィルタ（４６）　　（４７）で
は、第１の光導波路（３８）に形成した金属クラッド型
モードフィルタ（偏光子に相当する）　　（４６）の金
属層（５０）の基準面（５２）に対する傾斜角をαとし
、第２の光導波路（４０）に形成した金属クラッド型モ
ードフィルタ（検光子に相当する）（４７）（７）金Ｊ
ＭＪ’！　（５１）　（７）基準面（５２）　ニ対ｉ１
１斜角をβとするとき、α＋β−４５°若しくはα＋β
ミ４５°となるように形成するを可とする。但し、α＝
Ｏ°、β＝４５°若しくはβミ４５°の場合も含む。

上述の前者の光学的再生ヘッドは、再生専用ＣＤ（コン
パクトディスク）の様な光ディスク、１回だけ記録可能
な追記型光ディスク、消去と書き込み可能な書換形光デ
ィスク等における再生ヘッドに通用できる。書換形光デ
ィスクとしては、（ｉ）材料の相変化による光学特性変
化を利用する光ディスク、（ｉｔ）磁気光学効果、即ち
直線偏光面の回転を利用する光ディスクで、バイアス磁
界はなく媒体の浮遊磁界を利用して記録する光ディスク
。

バイアス磁界を用いるもの例えば補助磁界（直流磁界）
を利用して記録する光ディスク、磁界変調方式を利用し
て記録する光ディスク等を含む。

又、上述の後者の光学的再生ヘッドは上記磁気光学効果
を利用する書換形光ディスク等における再生ヘッドに通
用できる。

〔作用〕

上述の構成によれば、光源（３６）からの射出光は第１
の光導波路（３８）を通り先端から記録媒体（３１）に
直接入射される。次で記録媒体（３１）で反射した反射
光は第１の光導波路（３８）の先端がら入射し、交差型
光方向性結合器（３９）において第２の光導波路（４０
）へ伝搬されて光検出器（３７）に入り、之より再生信
号が得られる。交差型光方向性結合器（３９）はエバネ
ッセント・フィールドにより結合される。この交差型光
方向性結合器（３９）によって反射光を第２の光導波路
（４０）へ伝搬しているので、その偏波面の方向が変化
するというようなモード変換や反射による放射損失は小
さい、また、交差型光方向性結合器（３９）を用いるの
で、反射光の第１の光導波路への戻り光は少なく光源と
してのレーザダイオードの発振が不安定になるのが防止
される。

一方、後者の光学的再生ヘッドでは、さらに第１の光導
波路（３８）及び第２の光導波路（４０）に夫々金属ク
ラッド型モードフィルタ（４６）及び（４７）を互いに
所定角度即ち互いのなす角度が４５゜或は４５°に近い
角度になるように形成したので、再生信号を最大にする
ことができる。

そして、上述の本発明の光学的再生ヘッドは、従来のよ
うな大きなレンズ系に変えて光導波路を用い、また偏光
子、検光子を金属クラッド型モードフィルタを用いて構
成するので、軽量スライダ上への形成が可能となる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明による光学的再生ヘッドの
実施例を説明する。

第１図乃至第３図は本発明の光学的再生ヘッドの一例で
ある。第１図において、（３１）は記録媒体例えば光磁
気ディスク、（３２）はその記録トラック、（３３）は
軽量スライダーであり、その端面（３３Ａ）に本発明に
係る光学的再生ヘッド（３４）が形成される。光学的再
生ヘッド（３４）は第２図及び第３図に示すように、基
板（３５）上に光源となる半導体レーザダイオード（例
えばＧａＡｓ　Ｐ−Ｎ接合レーザダイオード）　　（３
６）と、例えばＰＩＮフォトダイオード又はアバランシ
ェフォトダイオード等よりなる光検出器（３７）と、一
端がレーザダイオード（３６）に対接又は対向し、他端
が光磁気ディスク（３１）に対向し、レーザダイオード
（３６）からの射出光を光磁気ディスク（３１）の面に
直接入射せしめる第１の光導波路（３８）と、この第１
の光導波路（３８）と交差型光方向性結合器（３９）を
構成し光磁気ディスク（３１）での反射光を第１の光導
波路（３８）より交差型光方向性結合器（３９）を介し
て光検出器（３７）へ導く第２の光導波路（４０）が設
けられて成る。

レーザダイオード（３６）からの射出光は活性層に平行
な方向に偏波面をもつ直線偏光であり、直線偏光の程度
を表わす偏光比は８０〜１００である。

ごのレーザ光はモード変換なしに光導波路に導かれる。

第１及び第２の光導波路（３８）及び（４０）は夫々例
えばソーダガラスをＫＮＯ３溶融液中に浸積しＫ”イオ
ンとＮａ＋イオン交換によるイオン交換導波路により構
成される。即ち、第１及び第２の先導波ｖ！！（３８）
及び（４０）は４ａｌｌ且つ交差して構成されるもので
、第７図（第２図の１）−Ｄ線上の断面図）に示すよう
にソーダガラス基板（４２）上のガラススパッタｌ’Ｒ
（４３）にイオン交換による第１の光導波路（３８）が
形成され、この上にさらにガラススパッタ１９（４４）
を形成してこのガラススパッタ膜（４４）にイオン交換
による第２の光導波路（４０）が形成される。ここでは
単一モード、即ち電場分布が光導波路（３８）　、　　
（４０）内でガウス分布的になるように光導波路の幅と
深さが調整される０例えば基板（４２）　、膜（４３）
　　（４４）　　（コーニング０２１１：商品名）の屈
折率ｎ　ｓ　＝　１．５２３　、光波長λ＝　０．７８
μｍ、第１の光導波路（３８）の先端幅ｗ＝５μｍ、第
１の光導波路（３８）の先端幅Ｗと拡散課さｄの比ｗ　
／　ｄ　＝　２としたとき、屈折率差Δｎ　（＝光導波
路の屈折率一基板、膜の屈折率）として、 ４．２Ｘ　１０−”　＜Δｎ　＜　９．８　Ｘ　１０−
’の条件が満されれば光導波路（３８）　　（４０）は
単一モード伝搬する光導波路となる。第１の光導波路（
３８）は光磁気ディスク（３１）に対向する先端に向う
に従って細くなる（幅Ｗが小となる）テーバ状光導波路
に形成される。なおテーバを付けずに１１１Ｗが均一な
真直ぐな光導波路をもって形成することもできる。第２
の光導波路（４０）はその一端が光検出器（３７）に対
向又は対接するも、他端は途中で閉じられる。

一方、レーザダイオード（３６）は十分な偏光比を有す
る直線偏光であるが、後述するように再生信号を最大に
するために第１の光導波路（３８）のレーザダイオード
（３６）及び交差型光方向性結合器（３９）間の途上、
及び第２の光導波路（４０）の光検出器（３７）及び交
差型光方向性結合器（３７）間の途上に夫々偏光子及び
検光子となる金属クラフト型モールドフィルタ（４６）
及び（４７）が設けられる。この金属クラッド型モード
フィルタ（４６）及び（４７）は第５図（第２図のＢ−
Ｂ線上の断面図）及び第６図（第２図のＣ−Ｃ線上の断
面図）に示すように第１の光導波路（３８）及び第２の
光導波路（４０）上に夫々例えば５ｉ０２等の絶縁層か
らなるバッファ層（４８）　　（４９）を介して例えば
Ａ１等の金属ｊ響（５０）　、　　（５１）を被着形成
して構成する。

そして、偏光子となる金属クラッド型モードフィルタ（
４６）と検光子となる金属クラッド型モードフィルタ（
４７）とは互のなす角が４５°、若しくは４５°に近い
所定角度となるように形成する。即ち、例えば偏光子と
なる金属クラッド型モードフィルタ（４６）は第５図で
示すようにその金属層（５０）及びバッファ層（４８）
が基準面（基板（４２）に平行な面）　　（５２）に対
して角度α傾むけて形成し、検光子となる金属クラッド
型モードフィルタ（４７）は第６図で承ずようにその金
属層（５１）及びバフフッ層（４９）が基準面（５２）
に対して角度β傾むけて形成し、その際α＋β−４５°
若しくはα＋βミ４５°となるように構成する。ここで
金属クラッド型モードフィルタ（４６）　　（４７）は
光導波路（３８）　　（４０）上に金属層（５０）　　
（５１）を形成することによってｌ”Ｅモード透過、’
ｌ’　Ｍモード吸収となる。偏光子となる金属クラフト
型モードフィルタ（４６）ではバッファ層（４８）とし
て５ｉ（ｈを、′ｒＥモードが損失を受けないように、
及び膜厚を厚くすると′１゛Ｍモードの損失が小さくな
るので、はぼ０．２μ糟程度の厚さで形成するのがよい
。

交差型光方向性結合器（３９）はエバ不ツセント。

・フィールドにより結合される。この交差型光方向性結
合器（３９）において、第１の光導波路（３８）と第２
の光導波路（４０）の交差角Ｔは１゛以下とするを可と
する。Ｔ−１°、Ｗ＝５μ醜において交差部分のスペー
スｌは６００μ哨程度となる。

一方、レーザダイオード（３６）においては、第４図（
第２図のＡ−Ａ線上の断面図）に示すようにそのｐ型り
ラッド層（５４）及びｎ型クラフト層（５５）間に挟ま
れた活性層（５６）が偏光子となる金属クラッド型モー
ドフィルタ（４６）の傾斜角αと同じに角度αで（頃む
くように配置する。なお、′５３図では図示せざるも、
レーザダイオード（３６）はその活性層が基板（３５）
の面に対して角αだけ仰むくように切り出されたものが
設置される。また、本例ではレーザダイオード（３６）
を金属クラッド型モードフィルタ（４６）の傾斜角αに
合せて角度α傾むけて設置するので、第１の光導波路（
３８）もその面（３８ａ）が全長にわたって、第７図に
示すように角度α傾むくように形成され、且つ交差型光
方向性結合器（３９）における第２の光導波路（４０）
の面（４０ａ）も第１の光導波路（３８）に平行に角度
α傾むいて形成される。この第２の光導波路（４０）は
検光子を構成する金属クラフト型モードフィルタ（４７
）においてはその面（４０ａ　）が角度８便むいて形成
される。

尚、レーザダイオード（３６）を傾むけずに活性Ｎ（５
６）が水平となるように配し、且つ！８１の光導波路（
３８）及び第２の光導波路（４０）も各面（３８ａ　）
　、　　（４０ａ　）が水平となるように形成し、偏光
子及び検光子となる金属クラッド型モードフィルタ（４
６）　、　　（４７）のところで夫々角度α、角度β傾
むくように形成することも可能である。しかし、この場
合には図示の例に比べて光強度は落ちる。かかる構成の
光学的再生ヘッドにおいては、レーザダイオード（３６
）からの射出光が！ＩＦｓＩの光導波路（３８）に入り
、偏光子である金属クラッド型モードフィルタ（４６）
を伝搬して光磁気ディスク（３１）の面に入射される。

光磁気ディスク（３１）で反射した反射光の偏波面は入
射光の偏波面に対して光磁気ディスク（３１）の記録磁
化の方向（例えば上向き磁化、下向き磁化）に応じて角
十〇。

角−θのカー回転が生ずる０反射光は、光磁気ディスク
（３１）とヘッド先端とのスペーシングｔが１μ−以下
であるから第１の光導波路（３８）の先端から入射し、
交差型光方向性結合器（３９）において第２の光導波路
（４０）へ伝搬され、途中曲り導波路部を経て検光子と
なる金属クラッド型モードフィルタ（４７）に入る。こ
こで、第５図及び第６図で示した角度α、角度βの和を
α＋β−ψとすると、検光子の金属クラフト型モードフ
ィルタ（４７）後の光出力の変化（カー回転角±θでの
）は ｃｏｓ２（ψ十〇）　　−ｃｏｓλ　（ψ−θ）＝　−
２ｓｉｎ　　（２φ）ｓｉｎ（２θ）に比例する。

変化量を最大にするためにはφ−４５°付近にする必要
がある。このため、前述したように金属クラッド型モー
ドフィルタ（４６）及び（４７）においては、金属層（
５０）　　（５１）　、バッファ層（４８）　　（４９
）にα＋β−４５°若しくはα＋βミ４５°を満足する
ようにそれぞれ角度α、βを付ける。尚、α−０゜β−
４５°若しくはβ；４５°とするように夫々の金属クラ
ッド型モードフィルタ（４６）及び（４７）　全構成し
てもよい。

そして、検光子の金属クラフト型モードフィルタ（４７
）を通過した反射光は光検出器（３７）に受光され、こ
れより例えば差動検出されて再生信号が取り出される。

かかる構成の光学的再生ヘッドによれば、光導波路（３
８）　　（４０）を利用すると共に、第１及び第２の光
導波路（３８）及び（４０）を交差型光方向性結合器（
３９）で結合し、この交差型光方向性結合器（３９）に
よって光磁気ディスク（３１）からの反射光を第２の光
導波路（４０）に伝搬しているので、その偏波面の方向
が変化するというようなモード変換は起きにくい、また
交差型光方向性結合器（３９）を用いるので、反射光の
第１の光導波路（３Ｂ）を通してレーザダイオード（３
６）側への戻り光は少なくレーザダイオード（３６）の
発振が不安定になるのが防止される。

さらに、因みに光方向性結合器としては例えば第１６図
及び第１７図に示すように第１の光導波路（６１）と第
２の光導波路（６２）を同一面に形成し、表面に５ｔ（
ｈ等のバッファ層（６３）を形成した−１ｄ型構造とし
ても上述の機能は得られる。しかし、完全な結合を得る
ためにはｎｆ　／ｎｓ　＝１．０１゜ｗ　−５μｍ　、
　ｇ−２，５μ＋１　　（但し、ｎｆはイオン交換によ
る光導波路（６１）　　（６２）の屈折率、ｎｓは基板
（６４）の屈折率、Ｗは光導波路（６１）　　（６２）
の幅、ｇは第１の光導波路（６１）と第２の光導波路（
６２）間のギャップ）のとき、結合器の長さｌｃは数１
０ｍ−となり小型化できない、これに対し、本構成では
交差型光方向性結合器（３９）を用いるので光学系を小
さくできる。

本構成では、偏光子及び検光子に金属クラッド型モード
フィルタ（４６）及び（４７）を用い、そのバッファ層
（４８）　　（４９）　、金属層（５０）　　（５１）
を互のなす角が４５°若しくは４５°に近い角となるよ
うに形成することにより、再生信号を最大にすることが
できる。

又、上述のように光導波路（３８）　　（４０）　、交
差型光方向性結合器（３９）　、金属クラッド型モード
フィルタ（４６）　　（４７）により、従来に比し、光
学系が小さく構成されるので、軽量スライダ（３３）の
端面（３３Ａ　）上に形成でる。従って、高速アクセス
、狭トラツク化が達成できる。

第９図乃至第１１図は本発明の他の例を示す。本例は、
金属クラッド型モードフィルタ（４６）　　（４７）を
省略し、他は第３図と同様に一端にレーザダイオード（
３６）を有し他端が記録媒体（６５）に対向する第１の
光導波路（３８）と、第１の光導波路（３８）と交差型
光方向性結合器（４９）を構成し一端に光検出器（３７
）を有する第２の光導波路（４０）を有して成る。この
場合、レーザダイオード（３６）はその活性層が基板（
３５）の面に平行となるように設置し、第１及び第２の
光導波ｌ８（３Ｂ）及び（４０）の面（３８ａ　）　　
（４０ａ　）も基板（３５）の面に平行となるように形
成するを可とする。

この構成の光学的再生ヘッドは、再生専用ＣＤの様な光
ディスク、１回だけ記録可能な追記型光ディスク、書換
形光ディスク等の再生ヘッドに通用できる。

第１１図及び第１２図は本発明による光学的再生ヘッド
を利用した光磁気用の記録再生ヘッドの一例である。こ
の記録再生ヘッドは磁気で記録し、光で再生し、高速オ
ーバライド、高速アクセスを可能とするものである。第
１１図において、（７１）は基板（７２）上に反射膜（
７３）　、光磁気記録膜（７４）及び保護膜（７５）を
積層形成して成る光磁気ディスク、（７６）は記録用溝
Ｍｉ１Ｍ気ヘッド（７７）と上述の本発明に係る光学的
再生ヘッド（７８）を並設して成る本発明の光磁気用の
記録再生ヘッドを示す。この記録再生ヘッド（７６）は
第１２図に示すようにヘッド基板例えば軽量スライダ（
３９）の端面（７９ａ）に形成される。この例では両面
メディアの光磁気ディスク（７１）に対応してディスク
（７１）の両面に対向して、同様の構成をとる記録再生
ヘッド（７６）が夫々形成された軽量スライダ（７９）
（裏面のスライダは隠れている）が配される。勿論片面
メディアの光磁気ディスクにも対応できる。

薄膜磁気ヘッド（７７）は高透磁率、高飽和磁束密度の
磁性ＷＩｉ膜からなり磁気ギャップ（ｇ）が形成された
磁気回路部（８０）と、この磁気回路部（８ｏ）と交差
するように形成された薄膜コイル導体（８１）により構
成される。光学的再生ヘッド（７８）は、第１の光導波
路（３８）と、第２の光導波路（４０）と、画光導波路
（３８）　　（４０）で構成された交差型光方向性結合
器（３９）を有し、第１及び第２の光導波路（３８）及
び（４０）に偏光子及び検光子となる金属クラッド型モ
ードフィルタ（４６）及び（４７）を設けてなる光導波
路素子（８２）と、光源となるレーザダイオード（３６
）と、フォトダイオードよりなる光検出器（３７）とよ
り成る。第１の光導波路（３８）の一端はレーザダイオ
ード（３６）に対向し、他端は光磁気ディスク（７１）
に対向するように配゛される。第２の光導波路（４０）
の一端は光検出器（３７）に対向するように配される。

（８３）は配線を示す。

第１３図は光学的再生ヘッド（７８）の−例を示す。

この例ではシリコン基板（８４）を用意し、その−面に
光検出器となるフォトダイオード（３７）を作り込む。

一方、例えばソーダガラス基ｆ！（８５）にイオン交換
による第１の光導波路（３８）　、第２の光導波路（４
０）及び交差型光方向性結合器（３９）を形成し、第１
及びｆｆ１２の光導波路（３８）及び（４０）上に夫々
　５ｉ０２等のバ・ソファ層（４Ｂ）　　（４９）を介
して　Ａ＃ｌＪ　（５０）　　（５１）を被着してなる
偏光子及び検光子となる金属クラフト型モードフィルり
（４６）　　（４７）　　（第１４図、第１５図参照）
を形成した光導波路素子（８２）を作成する。なお、こ
の場合は、偏光子の金属クラフト型モードフィルタ（４
６）としては第１４図に示すようにバッファ層（４８）
及びｆ（１股（５０）がガラス基板面に平行となるよう
に形成し、検光子の金属クラッド型モードフィルタ（４
７）としてはバッファ層（４９）及びＡ＃膜（５１）が
ガラス基板面に対してθ（＝４５゜若しくは；４５°）
傾斜して形成した例を示している。そして、この光導波
路素子（８２）をシリコン基板（８４）上に配置し、同
時にレーザダイオードチップ（３６）を配置する。この
例でのレーザダイオード（３６）はその活性層がガラス
基板面と平行となるように設置される。

かかる構成の記録再生ヘッド（７６）によれば、薄膜磁
気ヘッド（７７）で記録することにより、数μ渭オーダ
の狭トラツク幅で数１０ＭＩＩｚ〜１００Ｍｔｌｚの高
速のオーバーライド記録が可能となる。また光導波路素
子（８２）、レーザダイオード（３６）＆びフォトダイ
オードの光検出器（３７）にて光学的再生ヘッド（７８
）を構成することにより、１ｔ）ｉＳ／Ｎで小型ピック
アップを可能とする。また記録用薄膜磁気ヘッド（７６
）　、光学的再生ヘッド（７８）を軽量スライダ（７９
）上に構成することにより、レンズ系、フォーカシング
コントロールが不要となり、小型、軽量の磁気記録−光
再住ヘッドが提供できる。さらに、本発明の記録再生ヘ
ッド（７６）を光磁気ディスク（７１）に使用すること
により、高速アクセス、ｉａ！速転送と、大容量のディ
スクドライブが可能となるものである。又両面メディア
の光磁気ディスクに対応でき、光磁気ディスクの両面化
と、両面記録媒体を複数枚同一スピンドル軸上に積み上
げて使用するスタック化ができる。

なお、第１１図（及び第１３図）では光学的再生ヘッド
を構成する光導波路として交差型光方向性結合器（３９
）を構成するように互い交差する第１及び第２の光導波
路（３８）及び（４０）を用いたが、その他、分岐導波
路を用いた構成、或は一端にレーザダイオードを有する
光導波路と一端に光検出器を有する光導波路を有し、夫
々の他端が記録媒体に対向するように互いに接近せしめ
た構成とすることもできる。

また光導波路としてイオン交換導波路を用いたが、Ｔｉ
拡散ＬｉＮｂＯ３導波路を用いることもできる。

〔発明の効果〕

本発明の光学的再生ヘッドによれば、従来のような大き
なレンズ系に変えて光導波路を用いて光学系を小さくし
、また光磁気ディスク用ではさらに偏光子、検光子を金
属クラッド型モードフィルタを用いて構成するので、軽
量スライダ上への形成が可能となり、高速アクセスを達
成でき、また＋（１ｔ密度トラック化を達成することが
できる。そして記録媒体からの反射光を光検出器側の第
２の光導波路へ伝搬するための手段として第１及び第２
の光導波路による交差型光方向性結合器を用いるので、
光のモード変換が起きにり＜、且つ反射光の第１の光導
波路への戻り光が少なく光線としてのレーザダイオード
の発振の不安定を防止することができる。さらに交差型
光方向性結合器のために光方向性結合器としての小型化
ができ、光学的再生ヘッドのより小型化を達成すること
ができる。

また第１及び第２の光導波路に金属クラッド型モードフ
ィルタを設け、互のなす角度を４５°或は４５°に近い
所定の角度となすことによって光！気ディスクでの再生
信号を最大にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光学的再生ヘッドを軽量スライダ
に配した例を示す構成図、第２図はその光学的再生ヘッ
ドの一例を示す平面図、第３図はその光学的再生ヘッド
の斜視図、第４図は第２図のＡ−Ａ線上の断面図、第５
図はｆ４１Ｓ２図のＢ−Ｂ線上の断面図、第６図は第２
図のＣ−Ｃ線上の断面図、第７図は第２図のＤ−Ｄ線上
の断面図、第８図は本発明による光学的再生ヘッドの他
の例を示す平面図、第９図は第８図のＥ−Ｅ線上の断面
図、第１０図は第８図の光学的再生ヘッドの斜視図、第
１１図は本発明を用いた記録再生ヘッドの一例を示す構
成図、第１２図はこの記録再生ヘッドを軽量スライダに
設けた構成図、第１３図は記録再生ヘッドの例を示す斜
視図、第１４図は第１３図のＦ−Ｆ線上の断面図、第１
５図は第１３図のＧ−Ｇ線上の断面図、第１６図は本発
明の説明に供する一層構造の光方向性結合器の例を示す
平面図、第１７図は第１６図のＨ−Ｈ線上の断面図、第
１８図は従来の光ヘッドの例を示す構成図、第１９図は
磁界変調方式の光磁気記録方式を示す構成図である。 （３１）は記録媒体、（３６）はレーザダイオード、（
３７）は光検出器、（３８）は第１の光導波路、（３９
）は交差型光方向性結合器、（４０）は第２の光導波路
である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一端に光源を有し、他端が記録媒体に対向する第１
   の光導波路と、 上記第１の光導波路と交差型光方向性結合器を構成し一
   端に光検出器を有する第２の光導波路より成る光学的再
   生ヘッド。 ２、一端に光源を有し、他端が記録媒体に対向する第１
   の光導波路と、 上記第１の光導波路と交差型光方向性結合器を構成し一
   端に光検出器を有する第２の光導波路を備え、 上記第１及び第２の光導波路には該光導波路に絶縁層を
   介して金属層が積層された金属クラッド型モードフィル
   ターが設けられ、上記夫々の金属層は互いに所定の角度
   で配されて成る光学的再生ヘッド。