JPH01265066A - α−ジアゾアセト酢酸エステル及びその製造方法 - Google Patents
α−ジアゾアセト酢酸エステル及びその製造方法Info
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- JPH01265066A JPH01265066A JP9173788A JP9173788A JPH01265066A JP H01265066 A JPH01265066 A JP H01265066A JP 9173788 A JP9173788 A JP 9173788A JP 9173788 A JP9173788 A JP 9173788A JP H01265066 A JPH01265066 A JP H01265066A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C7/00—Multicolour photographic processes or agents therefor; Regeneration of such processing agents; Photosensitive materials for multicolour processes
- G03C7/02—Direct bleach-out processes; Materials therefor; Preparing or processing such materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、新規化学物質に係り、更に詳しくは、α−ジ
アゾアセト酢酸エステル及びその製造方法に関する。
アゾアセト酢酸エステル及びその製造方法に関する。
ジアゾケトン化合物としては1例えばビー・デイ−・グ
ランドらが、アイ・イー・イー・イー・トランザクショ
ン オン エレクトロン ディバイシズ、第28巻、第
1300頁〜1305頁(1981)(B−D、 G
rant et al、、 IEIEE Tr
ans、 ElectronDevices、 ED
−28,130(1−1305(1981))で述べら
れているように、5−ジアゾメルドラム酸及びその誘導
体が知られている。これらの化合物は、300nm以下
(具体的には254nm)の光(deep U V )
に感応することから光゛感応性材料として有望視されて
いる。
ランドらが、アイ・イー・イー・イー・トランザクショ
ン オン エレクトロン ディバイシズ、第28巻、第
1300頁〜1305頁(1981)(B−D、 G
rant et al、、 IEIEE Tr
ans、 ElectronDevices、 ED
−28,130(1−1305(1981))で述べら
れているように、5−ジアゾメルドラム酸及びその誘導
体が知られている。これらの化合物は、300nm以下
(具体的には254nm)の光(deep U V )
に感応することから光゛感応性材料として有望視されて
いる。
上記従来の化合物は、 254nmに感光ピークを有す
るため、短波長の光を光源とする光感応材を用いたリソ
グラフィーにおける。ポジ型ホトレジスト材として有用
性は高いが、露光後の現像処理に要求される現像液に対
する溶解性が乏しく、また、昇華性があるなど実用上解
決すべき課題が残され、その改善が強く望まれていた。
るため、短波長の光を光源とする光感応材を用いたリソ
グラフィーにおける。ポジ型ホトレジスト材として有用
性は高いが、露光後の現像処理に要求される現像液に対
する溶解性が乏しく、また、昇華性があるなど実用上解
決すべき課題が残され、その改善が強く望まれていた。
本発明の目的は上記課題を解決することにあり、その第
1の目的は300nm以下の光に感応し、かつポジ型ホ
トレジストに応用したとき現像液に良く溶がし、昇華性
のない新規な感光材と成り得る属性を有するα−ジアゾ
アセト酢酸エステルから成る新規化学物質を提供するこ
とにあり、第2の目的は上記新規化学物質の製造方法を
提供することにある。
1の目的は300nm以下の光に感応し、かつポジ型ホ
トレジストに応用したとき現像液に良く溶がし、昇華性
のない新規な感光材と成り得る属性を有するα−ジアゾ
アセト酢酸エステルから成る新規化学物質を提供するこ
とにあり、第2の目的は上記新規化学物質の製造方法を
提供することにある。
上記第1の目的は、下記の化学構造式(1)〜(4)で
表わせるいずれか1種の化合物から成ることを特徴とす
るα−ジアゾアセト酢酸エステルによって達成される。
表わせるいずれか1種の化合物から成ることを特徴とす
るα−ジアゾアセト酢酸エステルによって達成される。
CH2X
(1) XH2C−C−CH2X。
CH2X
ただし、Xはα−ジアゾアセト酢酸エステル基また、上
記第2の目的は、ペンタエリトリトール、ジペンタエリ
トリトール、1,4−シクロヘキサンジオール及びイノ
シトールから成る群から選択されたいずれか1種の飽和
脂肪族多価アルコールとジケテンとを、p−ジオキサン
溶媒中、p−トルエンスルホン酸触媒下で反応させて前
記飽和脂肪族多価アルコールのアセト酢酸エステルを中
間体として製造する工程と、前記中間体とP−トルエン
スルホニルアジド及びトリエチルアミンとをアセトニト
リル溶媒中で反応させ前記中間体をジアゾ化する工程と
から成ることを特徴とするα−ジアゾアセト酢酸エステ
ルの製造方法によって達成される。
記第2の目的は、ペンタエリトリトール、ジペンタエリ
トリトール、1,4−シクロヘキサンジオール及びイノ
シトールから成る群から選択されたいずれか1種の飽和
脂肪族多価アルコールとジケテンとを、p−ジオキサン
溶媒中、p−トルエンスルホン酸触媒下で反応させて前
記飽和脂肪族多価アルコールのアセト酢酸エステルを中
間体として製造する工程と、前記中間体とP−トルエン
スルホニルアジド及びトリエチルアミンとをアセトニト
リル溶媒中で反応させ前記中間体をジアゾ化する工程と
から成ることを特徴とするα−ジアゾアセト酢酸エステ
ルの製造方法によって達成される。
本発明のα−ジアゾアセト酢酸エステルは、1個のα−
ジアゾアセト酢酸エステル基 ル吸光係数i 7600〜7700の光吸収を持つが、
紫外線照射すると、窒素が脱離しケテンが生じ、これは
水とすぐに反応してカルボン酸となってEが約700程
度まで減少し、大きなブリーチング作用を示す。本発明
のα−ジアゾアセト酢酸エステルは溶解性も良く、エス
テル系、ケトン系、ハロゲン系有機溶媒に可溶である。
ジアゾアセト酢酸エステル基 ル吸光係数i 7600〜7700の光吸収を持つが、
紫外線照射すると、窒素が脱離しケテンが生じ、これは
水とすぐに反応してカルボン酸となってEが約700程
度まで減少し、大きなブリーチング作用を示す。本発明
のα−ジアゾアセト酢酸エステルは溶解性も良く、エス
テル系、ケトン系、ハロゲン系有機溶媒に可溶である。
また昇華性も見られない。従って、本発明のα−ジアゾ
アセト酢酸エステルは、樹脂等との組成物として成膜で
き、光感応性材料として、例えば、フォトレジストの感
光剤として極めて有用である。
アセト酢酸エステルは、樹脂等との組成物として成膜で
き、光感応性材料として、例えば、フォトレジストの感
光剤として極めて有用である。
本発明のα−ジアゾアセト酢酸エステルは、α−ジアゾ
アセト酢酸エステル基 300nm以下の紫外線(通称deeρUV)と効率よ
く反応する。
アセト酢酸エステル基 300nm以下の紫外線(通称deeρUV)と効率よ
く反応する。
し、Rはアルキル基を含む残基)、光反応により窒素が
脱離しケテンを生成し、これが水と反応してカルボン酸
となり可溶性を示す反応式を以下に模式的に示す。
脱離しケテンを生成し、これが水と反応してカルボン酸
となり可溶性を示す反応式を以下に模式的に示す。
実施例1
この例は下記の構造式(1)から成る本発明の新規α−
ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので、合成法として
は、飽和脂肪族多価アルコールとして、ペンタエリトリ
トール C(CH20H)4 を用い、のエステルを生
成し、この中間体をジアゾ化して目的の生成物を得たも
のである。具体的な合成法及び目的生成物の同定並びに
その属性(感光特性)につき以下詳述する。
ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので、合成法として
は、飽和脂肪族多価アルコールとして、ペンタエリトリ
トール C(CH20H)4 を用い、のエステルを生
成し、この中間体をジアゾ化して目的の生成物を得たも
のである。具体的な合成法及び目的生成物の同定並びに
その属性(感光特性)につき以下詳述する。
還流管1滴下ロートおよび攪拌子を備えた100n+u
30フラスコに、ペンタエリトリトール2.72g (
0,020mo n )、触媒量のp−トルエンスルホ
ン酸−水和物、1,4−ジオキサン10IIIQを入れ
、加熱しながらジケテン7.06 g (0,084m
o Q )の1,4−ジオキサン10+a Q溶液を4
0分間で滴下し、その後、2時間熟成する。溶媒を減圧
留去した後、クロロホルム溶液とし水洗後、無水硫酸ナ
トリウムで乾燥する。クロロホルムを留去すると赤褐色
油状物が得られる。酢酸エチル:ヘキサン=4=1溶液
とし、シリカゲル層を通し、溶媒を留去すると、目的化
合物の前駆体(中間体)である、アセト酢酸エステルを
黄色油状物として4.77 g (0,01io12)
得た。次に、これを、トリエチルアミン5.4m Q
(0,04mo Q )、アセトニトリル20m Q溶
液とする。これにp−トルエンスルホニルアジド8.0
g (0,04mo Q )のアセトニトリルlow
Q溶液を滴下し、室温で攪拌する。2〜3時間後、溶媒
を留去し、クロロホルム溶液とし、水酸化カリウム水溶
′液でよく振り、反応で生成したp−トルエンスルホ
ニルアミドを除いた後、水洗、無水硫酸ナトリウムで乾
燥する。溶媒留去後、残渣の黄色油状物をシリカゲルシ
ョートカラムに通し、得られた固体を酢酸エチル−ヘキ
サンから再結晶し、純粋な目的化合物を、薄黄色結晶と
して1.82g (0,0032園on)得た。
30フラスコに、ペンタエリトリトール2.72g (
0,020mo n )、触媒量のp−トルエンスルホ
ン酸−水和物、1,4−ジオキサン10IIIQを入れ
、加熱しながらジケテン7.06 g (0,084m
o Q )の1,4−ジオキサン10+a Q溶液を4
0分間で滴下し、その後、2時間熟成する。溶媒を減圧
留去した後、クロロホルム溶液とし水洗後、無水硫酸ナ
トリウムで乾燥する。クロロホルムを留去すると赤褐色
油状物が得られる。酢酸エチル:ヘキサン=4=1溶液
とし、シリカゲル層を通し、溶媒を留去すると、目的化
合物の前駆体(中間体)である、アセト酢酸エステルを
黄色油状物として4.77 g (0,01io12)
得た。次に、これを、トリエチルアミン5.4m Q
(0,04mo Q )、アセトニトリル20m Q溶
液とする。これにp−トルエンスルホニルアジド8.0
g (0,04mo Q )のアセトニトリルlow
Q溶液を滴下し、室温で攪拌する。2〜3時間後、溶媒
を留去し、クロロホルム溶液とし、水酸化カリウム水溶
′液でよく振り、反応で生成したp−トルエンスルホ
ニルアミドを除いた後、水洗、無水硫酸ナトリウムで乾
燥する。溶媒留去後、残渣の黄色油状物をシリカゲルシ
ョートカラムに通し、得られた固体を酢酸エチル−ヘキ
サンから再結晶し、純粋な目的化合物を、薄黄色結晶と
して1.82g (0,0032園on)得た。
収率及び化合物の構造決定並びに属性を以下に記す。
ペンタエリトリトールからの収率で15.8%融点 1
08〜109℃ ”HNMRスペクトル(60MHz、重水素化クロロホ
ルムCDCf1.)62.43 (12H,s、 −C
−CH)δ4.27 (8H,S 、 −1−0)IR
スペクトル 2180cm−”(C=N、)、 1740cm−1
(C=O)、 1680CO1−’(C=O)UVス
ペクトル(テトラヒドロフランTHF中)λ+wax
253nm、 f 1laX 30600実施例2 この例は下記の構造式(II)から成る本発明の新規α
−ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので。
08〜109℃ ”HNMRスペクトル(60MHz、重水素化クロロホ
ルムCDCf1.)62.43 (12H,s、 −C
−CH)δ4.27 (8H,S 、 −1−0)IR
スペクトル 2180cm−”(C=N、)、 1740cm−1
(C=O)、 1680CO1−’(C=O)UVス
ペクトル(テトラヒドロフランTHF中)λ+wax
253nm、 f 1laX 30600実施例2 この例は下記の構造式(II)から成る本発明の新規α
−ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので。
合成法としては、飽和脂肪族多価アルコールとしで、ジ
ペンタエリトリトール H2C−C(CH20H)。
ペンタエリトリトール H2C−C(CH20H)。
H,C−C(CH20H)。
を用いた。
以下に具体的な合成法、目的生成物の同定並びにその属
性(感光特性)について詳述する。
性(感光特性)について詳述する。
・・・・・・(II)
ジペンタエリトリトール5.1g (0,02moQ)
、ジケテン11 g (0,13mo Q )、触媒量
のp−トルエンスルホン酸−水和物から1,4−ジオキ
サンを溶媒として、実施例1と同様の操作によって、前
駆体(中間体)のアセト酢酸エステル14.0 g (
0,019moQ)を得、これと、p−トルエンスルホ
ニルアジド21.7g (0,llmolll)、
トリエチルアミン15+nQ(0,llmo Q )、
アセトニトリル60m Qを用い、実施例1とほぼ同様
の操作によって目的化合物を得た。
、ジケテン11 g (0,13mo Q )、触媒量
のp−トルエンスルホン酸−水和物から1,4−ジオキ
サンを溶媒として、実施例1と同様の操作によって、前
駆体(中間体)のアセト酢酸エステル14.0 g (
0,019moQ)を得、これと、p−トルエンスルホ
ニルアジド21.7g (0,llmolll)、
トリエチルアミン15+nQ(0,llmo Q )、
アセトニトリル60m Qを用い、実施例1とほぼ同様
の操作によって目的化合物を得た。
再結晶は実施例1とは異なりエタノールから行った。目
的物はエタノールにはほとんど溶けないが不純物は溶け
ることから純粋な目的化合物を薄黄色粉末として1.5
7 g (0,0017mo n )得た。
的物はエタノールにはほとんど溶けないが不純物は溶け
ることから純粋な目的化合物を薄黄色粉末として1.5
7 g (0,0017mo n )得た。
ジペンタエリトリ1−−ルからの収率8.6%融点 1
32℃ ’HNMRスペクトル(60MI(z、CDCら)δ2
.42 (lJ3H,s、 CH,−C−)δ3.40
(4H,s、 C−CH20−)δ4.23 (12
H,s、 −C−OCH,−)IRスペクトル 2170cm−”(C=N、)、 1730cm−”
(C=O)、 1670cm−’(C=O)UVスペ
クトル(THF中) λmax 253nm t 、lax 46200
実施例3 この例は下記の構造式(III)から成る本発明の新規
α−ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので、を用いた
。以下、具体的な合成法、目的生成物の同定並びにその
属性(感光特性)について詳述する。
32℃ ’HNMRスペクトル(60MI(z、CDCら)δ2
.42 (lJ3H,s、 CH,−C−)δ3.40
(4H,s、 C−CH20−)δ4.23 (12
H,s、 −C−OCH,−)IRスペクトル 2170cm−”(C=N、)、 1730cm−”
(C=O)、 1670cm−’(C=O)UVスペ
クトル(THF中) λmax 253nm t 、lax 46200
実施例3 この例は下記の構造式(III)から成る本発明の新規
α−ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので、を用いた
。以下、具体的な合成法、目的生成物の同定並びにその
属性(感光特性)について詳述する。
1.4−シクロヘキサンジオール2.5g (0,02
2moQ)、ジケテン4.0 g (0,047io
(1)、触媒量のp−トルエンスルホン酸−水和物から
1,4−ジオキサンを溶媒として、実施例1と同様の操
作によって、前駆体(中間体)のアセト酢酸エステルを
無色結晶として1−92 g (6,75mn+o 1
1 )得た。
2moQ)、ジケテン4.0 g (0,047io
(1)、触媒量のp−トルエンスルホン酸−水和物から
1,4−ジオキサンを溶媒として、実施例1と同様の操
作によって、前駆体(中間体)のアセト酢酸エステルを
無色結晶として1−92 g (6,75mn+o 1
1 )得た。
前駆体1.50g (5,3mmoQ)、 p −ト)
Iixンスルホニルアジド2.1g (10,6mmo
Q)、トリエチルアミン1.5ta Q (11,0
nuwo O,)、アセトニトリル12mRを反応させ
る。2時間後、溶媒を留去し、塩化メチレン溶液とし、
水酸化カリウム水溶液でよく振り、水洗したのち、無水
硫酸ナトリウムで乾燥する6溶媒を留去すると目的物の
粗結晶が得られた。
Iixンスルホニルアジド2.1g (10,6mmo
Q)、トリエチルアミン1.5ta Q (11,0
nuwo O,)、アセトニトリル12mRを反応させ
る。2時間後、溶媒を留去し、塩化メチレン溶液とし、
水酸化カリウム水溶液でよく振り、水洗したのち、無水
硫酸ナトリウムで乾燥する6溶媒を留去すると目的物の
粗結晶が得られた。
エタノールから再結晶することによって純粋な目的化合
物を薄黄色結晶として0.93 g (2,77mmo
Q )得た。
物を薄黄色結晶として0.93 g (2,77mmo
Q )得た。
前駆体からの収率52%
融点 117〜118℃
”I(NMRスペクトル(60MI肚、CDCも)51
.4−2.2 (8H,m、メチレン)62.40 (
6H,S、 −C−CH,)δ4.7−5.2 (2H
,m、メチン)IRスペクトル 2170cm−’(C=N2)、 1720cm−”
(C=O)、 1660cm−’(C=O)UVスペ
クトル(THF中) λvl16X255nm i w+ax 1560
0実施例4 この例は下記の構造式(rV)から成る本発明の新規α
−ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので以下、具体的
な合成法、目的生成物の同定並びにその属性(感光特性
)について詳述する。
.4−2.2 (8H,m、メチレン)62.40 (
6H,S、 −C−CH,)δ4.7−5.2 (2H
,m、メチン)IRスペクトル 2170cm−’(C=N2)、 1720cm−”
(C=O)、 1660cm−’(C=O)UVスペ
クトル(THF中) λvl16X255nm i w+ax 1560
0実施例4 この例は下記の構造式(rV)から成る本発明の新規α
−ジアゾアセト酢酸エステルを示すもので以下、具体的
な合成法、目的生成物の同定並びにその属性(感光特性
)について詳述する。
イノシト−/L/3.6 g (0,02o+o n
)、ジケテン11.0g (0,13mo Q )、触
媒量のp−トルエンスルホン酸−水和物、1,4−ジオ
キサン40m Qを用い、実施例1と同様の操作(但し
、クロロホルムの代りに塩化メチレンを使用)によって
前駆体(中間体)であルアセト酢酸Z ステ/L/を8
.67 g (0,012io Q )得た。これと、
p−トルエンスルホニルアジド13.8 g (0,0
7mo n )、トリエチルアミン9.5+++fl(
0,07mo Q L アセトニトリル30m Qを実
施例1と同様の操作で反応させたのち、溶媒を留去後、
塩化メチレンで抽出し、水酸化カリウム水溶液で振り、
水洗後、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。溶媒を留去し
、目的化合物の粗結晶を得た。エタノールによって不純
物を除き、純粋な目的化合物を薄黄色粉末として3.3
8 g (0,004mo Q )を得た。
)、ジケテン11.0g (0,13mo Q )、触
媒量のp−トルエンスルホン酸−水和物、1,4−ジオ
キサン40m Qを用い、実施例1と同様の操作(但し
、クロロホルムの代りに塩化メチレンを使用)によって
前駆体(中間体)であルアセト酢酸Z ステ/L/を8
.67 g (0,012io Q )得た。これと、
p−トルエンスルホニルアジド13.8 g (0,0
7mo n )、トリエチルアミン9.5+++fl(
0,07mo Q L アセトニトリル30m Qを実
施例1と同様の操作で反応させたのち、溶媒を留去後、
塩化メチレンで抽出し、水酸化カリウム水溶液で振り、
水洗後、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。溶媒を留去し
、目的化合物の粗結晶を得た。エタノールによって不純
物を除き、純粋な目的化合物を薄黄色粉末として3.3
8 g (0,004mo Q )を得た。
イノシトールからの収率で20%
融点 133〜134℃
”HNMRスペクトル
62.40−2.42 (18H,s X3.−C−C
H,)65.40−5.60 (6H,m、メチン)I
Rスペクトル 2180cm−”(C=N2)、 1750cm−”
(C=O)、 1670cm−”(C=○)UVスペ
クトル(THF中) λmaX252nm t maX45800〔発明
の効果〕 本発明の新規α−ジアゾアセト酢酸エステルは、300
nm以下の短波長光照射により、効率の良い優れたブリ
ーチング作用を示すばかりでなく、溶解性も良く、昇華
性もないことから、光感応性材料として有用なものであ
る。
H,)65.40−5.60 (6H,m、メチン)I
Rスペクトル 2180cm−”(C=N2)、 1750cm−”
(C=O)、 1670cm−”(C=○)UVスペ
クトル(THF中) λmaX252nm t maX45800〔発明
の効果〕 本発明の新規α−ジアゾアセト酢酸エステルは、300
nm以下の短波長光照射により、効率の良い優れたブリ
ーチング作用を示すばかりでなく、溶解性も良く、昇華
性もないことから、光感応性材料として有用なものであ
る。
代理人弁理士 中 村 純之助
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、下記の化学構造式(1)〜(4)で表わせるいずれ
か1種の化合物から成ることを特徴とするα−ジアゾア
セト酢酸エステル; (1)▲数式、化学式、表等があります▼ (2)▲数式、化学式、表等があります▼ (3)▲数式、化学式、表等があります▼または (4)▲数式、化学式、表等があります▼ ただし、Xはα−ジアゾアセト酢酸エステル基▲数式、
化学式、表等があります▼を示す。 2、ペンタエリトリトール、ジペンタエリトリトール、
1、4−シクロヘキサンジオール及びイノシトールから
成る群から選択されたいずれか1種の飽和脂肪族多価ア
ルコールとジケテンとを、p−ジオキサン溶媒中、p−
トルエンスルホン酸触媒下で反応させて前記飽和脂肪族
多価アルコールのアセト酢酸エステルを中間体として製
造する工程と、前記中間体とp−トルエンスルホニルア
ジド及びトリエチルアミンとをアセトニトリル溶媒中で
反応させ前記中間体をジアゾ化する工程とから成ること
を特徴とするα−ジアゾアセト酢酸エステルの製造方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9173788A JPH01265066A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | α−ジアゾアセト酢酸エステル及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9173788A JPH01265066A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | α−ジアゾアセト酢酸エステル及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01265066A true JPH01265066A (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=14034837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9173788A Pending JPH01265066A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | α−ジアゾアセト酢酸エステル及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01265066A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02239250A (ja) * | 1989-01-12 | 1990-09-21 | Hoechst Ag | 多官能α―ジアゾ―β―ケトエステルを含有するポジ作動性感放射線混合物、その製法およびこの混合物を含有する感放射線記録材料 |
EP0456073A2 (de) * | 1990-05-08 | 1991-11-13 | Hoechst Aktiengesellschaft | Mehrfunktionelle Verbindungen mit alpha-Diazo-beta-ketoester- und Sulfonsäureester-Einheiten und Verfahren zu ihrer Herstellung. |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP9173788A patent/JPH01265066A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02239250A (ja) * | 1989-01-12 | 1990-09-21 | Hoechst Ag | 多官能α―ジアゾ―β―ケトエステルを含有するポジ作動性感放射線混合物、その製法およびこの混合物を含有する感放射線記録材料 |
EP0456073A2 (de) * | 1990-05-08 | 1991-11-13 | Hoechst Aktiengesellschaft | Mehrfunktionelle Verbindungen mit alpha-Diazo-beta-ketoester- und Sulfonsäureester-Einheiten und Verfahren zu ihrer Herstellung. |
US5191069A (en) * | 1990-05-08 | 1993-03-02 | Hoechst Aktiengesellschaft | Polyfunctional compounds containing α-diazo-β-keto ester units and sulfonate units |
EP0456073B1 (de) * | 1990-05-08 | 1995-10-25 | Hoechst Aktiengesellschaft | Mehrfunktionelle Verbindungen mit alpha-Diazo-beta-ketoester- und Sulfonsäureester-Einheiten und Verfahren zu ihrer Herstellung. |
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