JPH01260616A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH01260616A JPH01260616A JP8980788A JP8980788A JPH01260616A JP H01260616 A JPH01260616 A JP H01260616A JP 8980788 A JP8980788 A JP 8980788A JP 8980788 A JP8980788 A JP 8980788A JP H01260616 A JPH01260616 A JP H01260616A
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 73
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 16
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/265—Structure or manufacture of a head with more than one gap for erasing, recording or reproducing on the same track
- G11B5/2652—Structure or manufacture of a head with more than one gap for erasing, recording or reproducing on the same track with more than one gap simultaneously operative
- G11B5/2654—Structure or manufacture of a head with more than one gap for erasing, recording or reproducing on the same track with more than one gap simultaneously operative for recording or erasing
- G11B5/2655—Structure or manufacture of a head with more than one gap for erasing, recording or reproducing on the same track with more than one gap simultaneously operative for recording or erasing with all the gaps disposed within the track or "guard band" between tracks, e.g. with erase gaps operative on track edges, with wide erase gap followed by narrow write gap
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体からデータを読み出したり、磁
気記録媒体にデータを書き込んだりする磁気記録再生装
置に用いられる磁気ヘッドに関するものである。
気記録媒体にデータを書き込んだりする磁気記録再生装
置に用いられる磁気ヘッドに関するものである。
従来の技術
第３図及び第４図は従来の磁気ヘッドを示す平面図及び
側断面図である。第３図及び第４図において、１はコ字
型の記録再生コア、２はＩ型の共通コア、３はコ字型の
イレーズコア、４はＩ型の共通コアであり、共通コア２
と共通コア４は非磁性体５を介して接合されている。共
通コア２及び記録再生コア１のギャップ形成面は二酸化
シリコン等の非磁性体を介して接合され記録再生ギャッ
プ６が形成される。この時、記録再生コア１の媒体対向
面側と反対側の端部は共通コア２に接触している。又共
通コア４とイレーズコア３を二酸化シリコン等の非磁性
体を介して接合してイレースギャップ７が形成される。
側断面図である。第３図及び第４図において、１はコ字
型の記録再生コア、２はＩ型の共通コア、３はコ字型の
イレーズコア、４はＩ型の共通コアであり、共通コア２
と共通コア４は非磁性体５を介して接合されている。共
通コア２及び記録再生コア１のギャップ形成面は二酸化
シリコン等の非磁性体を介して接合され記録再生ギャッ
プ６が形成される。この時、記録再生コア１の媒体対向
面側と反対側の端部は共通コア２に接触している。又共
通コア４とイレーズコア３を二酸化シリコン等の非磁性
体を介して接合してイレースギャップ７が形成される。
この時イレーズコア３の媒体対向面側と反対側の端部は
共通コア４に接合している。８は記録再生ギャップ６の
ギャップ幅を規制する規制溝て、規制溝８にはカラスが
充填されている。９はイレースギャップ７のギャップ幅
を隼制人る規制溝で・規制溝９（５はカラスカ′充填さ
れているｇ記録再生コア１．共□゛通コ２． “４、
イレーズコア３てコアチップ１０を形成している。１１
．１２はコアチップ１０の両側面に媒体対向面と面一に
なるように取り付けられたスライダーである。
共通コア４に接合している。８は記録再生ギャップ６の
ギャップ幅を規制する規制溝て、規制溝８にはカラスが
充填されている。９はイレースギャップ７のギャップ幅
を隼制人る規制溝で・規制溝９（５はカラスカ′充填さ
れているｇ記録再生コア１．共□゛通コ２． “４、
イレーズコア３てコアチップ１０を形成している。１１
．１２はコアチップ１０の両側面に媒体対向面と面一に
なるように取り付けられたスライダーである。
ところで、磁気記録媒体の記憶容量を増やすためには、
磁気ヘットの記録再生ギャップとイレー □スギャッ
プとの距離をなるべく短かくしなければならない。しか
じな、がら第３図に示す従来の構成では、記録再生ギャ
ップ６とイレースギャップ７の距離を短かくしようとす
ると、共通コア２，４を削って薄くする必要がある。し
かし共通コア２゜４は一般に脆い酸化物磁性材料で構成
されているので、共通コア２，４を薄く削ると、すぐに
割れてしまったり、クラックが生じてしまう事があり、
記録再生ギャップ６とイレースギャップ７の距離を短か
くするには限界があった。この問題点を解決するために
記録再生ヘッド及びイレースへラドを薄膜ヘットで形成
されるものが考えられる。第５図は薄膜ヘットを用いた
従来の磁気ヘッドを示す皐゛面図、第６図は第５図に示
す破線Ａ、Ｂて切断した時の断面図、第７図は第５図に
示す破線Ｃ２Ｄて切断した時の断′面図である。第５図
、第６図。
磁気ヘットの記録再生ギャップとイレー □スギャッ
プとの距離をなるべく短かくしなければならない。しか
じな、がら第３図に示す従来の構成では、記録再生ギャ
ップ６とイレースギャップ７の距離を短かくしようとす
ると、共通コア２，４を削って薄くする必要がある。し
かし共通コア２゜４は一般に脆い酸化物磁性材料で構成
されているので、共通コア２，４を薄く削ると、すぐに
割れてしまったり、クラックが生じてしまう事があり、
記録再生ギャップ６とイレースギャップ７の距離を短か
くするには限界があった。この問題点を解決するために
記録再生ヘッド及びイレースへラドを薄膜ヘットで形成
されるものが考えられる。第５図は薄膜ヘットを用いた
従来の磁気ヘッドを示す皐゛面図、第６図は第５図に示
す破線Ａ、Ｂて切断した時の断面図、第７図は第５図に
示す破線Ｃ２Ｄて切断した時の断′面図である。第５図
、第６図。
第７図において、１３は基板、１４は基板の上に形成さ
れた保護絶縁層、１５は保護絶縁層１４の上に形成され
た記録再生側の下部磁性層、１６は下部磁性層１５の上
に形成されたギャップ絶縁層、１７はギャップ絶縁層１
６の上に形成された層間絶縁層、１８は層間絶縁層１７
の上に形成されたコイル層、１９はコイル層１８の上に
形成された層間絶縁層で、コイル層１８は層間絶縁、層
１７゜１って絶縁されている。２０は層間絶縁層１９の
」二に形成され下部磁性層１５とともに閉磁路を形成す
る記録再生側の上部磁性層で、媒体対向面では下部磁性
層１５と上部磁性層２０の間に記録再生ギャップ２１か
形成されている。２２は上部磁性層２０の上に形成され
た上部保護絶縁層である。
れた保護絶縁層、１５は保護絶縁層１４の上に形成され
た記録再生側の下部磁性層、１６は下部磁性層１５の上
に形成されたギャップ絶縁層、１７はギャップ絶縁層１
６の上に形成された層間絶縁層、１８は層間絶縁層１７
の上に形成されたコイル層、１９はコイル層１８の上に
形成された層間絶縁層で、コイル層１８は層間絶縁、層
１７゜１って絶縁されている。２０は層間絶縁層１９の
」二に形成され下部磁性層１５とともに閉磁路を形成す
る記録再生側の上部磁性層で、媒体対向面では下部磁性
層１５と上部磁性層２０の間に記録再生ギャップ２１か
形成されている。２２は上部磁性層２０の上に形成され
た上部保護絶縁層である。
２３は上部保護絶縁層２２の上に形成されたイレ−ス側
の下部磁性層、２４は下部磁性層２３の」二に形成され
たギャップ絶縁層、２５はギャップ絶縁層２４の上に形
成された層間絶縁層、２６は層間絶縁層２５の上に形成
されたコイル層、２７はコイル層２６の上に形成された
層間絶縁層で、コイル層２６は層間絶縁層２５，２．７
で絶縁されている。２８は層間絶縁層２７の上に形成さ
れたイレース側の上部磁性層で、媒体対向面では下部磁
性層２３と上部磁性層２８の間にイレースギャップ２９
が形成されている。３０は上部磁性層２８の上に形成仝
れた上部保護絶縁層である。又薄膜を形成する夫々の過
程においてアニール等の熱処理を行う。以上の様に記録
再生側及びイレース側のヘットを薄膜で形成すると記録
再生ギャップとイレースギャップ間の距離を短が（する
事ができる。
の下部磁性層、２４は下部磁性層２３の」二に形成され
たギャップ絶縁層、２５はギャップ絶縁層２４の上に形
成された層間絶縁層、２６は層間絶縁層２５の上に形成
されたコイル層、２７はコイル層２６の上に形成された
層間絶縁層で、コイル層２６は層間絶縁層２５，２．７
で絶縁されている。２８は層間絶縁層２７の上に形成さ
れたイレース側の上部磁性層で、媒体対向面では下部磁
性層２３と上部磁性層２８の間にイレースギャップ２９
が形成されている。３０は上部磁性層２８の上に形成仝
れた上部保護絶縁層である。又薄膜を形成する夫々の過
程においてアニール等の熱処理を行う。以上の様に記録
再生側及びイレース側のヘットを薄膜で形成すると記録
再生ギャップとイレースギャップ間の距離を短が（する
事ができる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら前記従来の構成では、イレース側の薄膜ヘ
ッドを形成する時に行なわれるアニール等の熱処理によ
り発生ずる熱によって、記録再生側の層間絶縁層１７．
１９が変質し、コイル層１８の絶縁性が失われ途中で短
絡してしまうという問題点があった。又、同様にイレー
ス側の薄膜ヘッドを形成する時に行なわれるアニール等
の熱処理により発生する熱によって上部磁性層２０及び
下部磁性層１５が変質してしまい、透磁率が低下して磁
気効率が低下するという問題点があった。
ッドを形成する時に行なわれるアニール等の熱処理によ
り発生ずる熱によって、記録再生側の層間絶縁層１７．
１９が変質し、コイル層１８の絶縁性が失われ途中で短
絡してしまうという問題点があった。又、同様にイレー
ス側の薄膜ヘッドを形成する時に行なわれるアニール等
の熱処理により発生する熱によって上部磁性層２０及び
下部磁性層１５が変質してしまい、透磁率が低下して磁
気効率が低下するという問題点があった。
本発明は前記従来の問題点を解決するもので、イレース
キャッラと記録再生ギャップの距離を短かくし、磁気記
録媒体の記録密度を向上さぜる事がてき、又製造上の制
約を少なくする事ができ、作成の容易な磁気ヘットを提
供する事を目的としている。
キャッラと記録再生ギャップの距離を短かくし、磁気記
録媒体の記録密度を向上さぜる事がてき、又製造上の制
約を少なくする事ができ、作成の容易な磁気ヘットを提
供する事を目的としている。
課題を解決するための手段
薄膜ヘットで構成した記録再生側ヘッドの上に金属磁性
膜を形成し、前記金属磁性膜に磁気ギャップを介してイ
レース用コア半分を接合した。
膜を形成し、前記金属磁性膜に磁気ギャップを介してイ
レース用コア半分を接合した。
作 用
この構成により、イレースギャップと記録再生ギャップ
の間を全て薄膜で形成できる。
の間を全て薄膜で形成できる。
実 施 例
第１図及び第２図は本発明の一実施例における磁気ヘッ
ドを示す平面図及び断面図である。第１図及び第２図に
おいて、３１は基板、３２は基板３１の上に形成された
保護絶縁層、３３は保護絶縁層３２の上に形成され、磁
性材料で形成された下部磁性層、３４は磁気ギャップと
なるギャップ絶縁層で、ギャップ絶縁層３４は下部磁性
層３３の磁気記録媒体との媒体対向面側の反対側の端部
を除いて下部磁性層３３の上に形成されている。
ドを示す平面図及び断面図である。第１図及び第２図に
おいて、３１は基板、３２は基板３１の上に形成された
保護絶縁層、３３は保護絶縁層３２の上に形成され、磁
性材料で形成された下部磁性層、３４は磁気ギャップと
なるギャップ絶縁層で、ギャップ絶縁層３４は下部磁性
層３３の磁気記録媒体との媒体対向面側の反対側の端部
を除いて下部磁性層３３の上に形成されている。
３５はギャップ絶縁層３４の上に形成された層間絶縁層
、３６は層間絶縁層３５の上に形成され磁束を発生させ
るコイル層、３７はコイル層３６の上に形成された層間
絶縁層、３８は層間絶縁層３７の上に磁性材料で作成さ
れた上部磁性層で、上部磁性層３８は下部磁性層３３の
媒体対向面側と反対側の端部と接合し磁気ギャップを含
んだ磁気回路を形成している。３９は上部磁性層３８の
上に形成され、面一になるように研摩された上部保護絶
縁層である。４０は上部保護絶縁層３つの上に形成され
た金属磁性膜、４１はフェライト等の酸化物磁性材料で
構成されたイレーズコアて、イレーズコア４１は金属磁
性膜４０に非磁性体４２を介して接合されている。この
時イレーズコア４１の媒体対向面側と反対側の端部は直
接金属磁性膜４０に接合されている。又イレーズコア４
１にはイレースギャップ４３を規制する規制溝４４が設
けられている。この時規制溝４４にはガラスが充填され
ている。４５はイレーズコア４１と金属磁性膜４０を接
着している接着剤、４６はイレーズコア４１に施される
巻線である。なおイレーズコア４１は非磁性体を介して
金属磁性膜に接合したけれども、予め金属磁性膜の上に
ギャップ充填材となるギャップ絶縁膜を形成してからイ
レーズコア４１を取り付けてもよい。
、３６は層間絶縁層３５の上に形成され磁束を発生させ
るコイル層、３７はコイル層３６の上に形成された層間
絶縁層、３８は層間絶縁層３７の上に磁性材料で作成さ
れた上部磁性層で、上部磁性層３８は下部磁性層３３の
媒体対向面側と反対側の端部と接合し磁気ギャップを含
んだ磁気回路を形成している。３９は上部磁性層３８の
上に形成され、面一になるように研摩された上部保護絶
縁層である。４０は上部保護絶縁層３つの上に形成され
た金属磁性膜、４１はフェライト等の酸化物磁性材料で
構成されたイレーズコアて、イレーズコア４１は金属磁
性膜４０に非磁性体４２を介して接合されている。この
時イレーズコア４１の媒体対向面側と反対側の端部は直
接金属磁性膜４０に接合されている。又イレーズコア４
１にはイレースギャップ４３を規制する規制溝４４が設
けられている。この時規制溝４４にはガラスが充填され
ている。４５はイレーズコア４１と金属磁性膜４０を接
着している接着剤、４６はイレーズコア４１に施される
巻線である。なおイレーズコア４１は非磁性体を介して
金属磁性膜に接合したけれども、予め金属磁性膜の上に
ギャップ充填材となるギャップ絶縁膜を形成してからイ
レーズコア４１を取り付けてもよい。
以北の様に本実施例によれば、薄膜磁気ヘッドの上部保
護絶縁層３９の上に金属磁性膜４０を形成し、非磁性体
４２を介してイレーズコア４１を接合した事により、記
録再生ギャップとイレースギャップの間の全てを薄膜で
形成できるので、配置− 録再生に寄与する薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップとイレ
ースギャップ４３の距離を従来の磁気ヘットよりもはる
かに短かくする事ができ、磁気記録媒体の記録容量を増
やすことができる。又記録再生を行う磁気ヘッドを薄膜
磁気ヘッドで形成しているため、高い保磁力を持った磁
気記録媒体に使用しても十分に磁気飽和させることがで
きる。又スパッタリングのターゲットを取り替えるだけ
でイレースギャップ４３に充填されるギャップ充填材ま
で薄膜で形成する事ができ、後はイレーズコア４１を取
り付けるだけでよいので、製造工程の削減ができる。
護絶縁層３９の上に金属磁性膜４０を形成し、非磁性体
４２を介してイレーズコア４１を接合した事により、記
録再生ギャップとイレースギャップの間の全てを薄膜で
形成できるので、配置− 録再生に寄与する薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップとイレ
ースギャップ４３の距離を従来の磁気ヘットよりもはる
かに短かくする事ができ、磁気記録媒体の記録容量を増
やすことができる。又記録再生を行う磁気ヘッドを薄膜
磁気ヘッドで形成しているため、高い保磁力を持った磁
気記録媒体に使用しても十分に磁気飽和させることがで
きる。又スパッタリングのターゲットを取り替えるだけ
でイレースギャップ４３に充填されるギャップ充填材ま
で薄膜で形成する事ができ、後はイレーズコア４１を取
り付けるだけでよいので、製造工程の削減ができる。
発明の効果
本発明は、薄膜ヘッドで構成した記録再生側ヘッドの上
に金属磁性膜を形成し、前記金属磁性膜に磁気ギャップ
を介してイレース用コア半分を接合した事により、イレ
ースギャップと記録再生ギャップの間を全て薄膜で形成
できるので、記録再生ギャップとイレースギャップの間
隔を短かくてき、磁気記録媒体の記憶密度を向」ニさせ
る事がて−８＝ きるとともに、製造上の制約を少なくてき、磁気ヘット
の作成を容易にする事ができる。
に金属磁性膜を形成し、前記金属磁性膜に磁気ギャップ
を介してイレース用コア半分を接合した事により、イレ
ースギャップと記録再生ギャップの間を全て薄膜で形成
できるので、記録再生ギャップとイレースギャップの間
隔を短かくてき、磁気記録媒体の記憶密度を向」ニさせ
る事がて−８＝ きるとともに、製造上の制約を少なくてき、磁気ヘット
の作成を容易にする事ができる。
第１図は本発明の一実施例における磁気へ・ソトを示す
平面図、第２図は同側断面図、第３図は従来の磁気ヘッ
ドを示す平面図、第４図は同側断面３１・・・・・・基
板 ３２・・・・・・保護絶縁層 ３３・・・・・・下部磁性層 ３４・・・・・・ギャップ絶縁層 ３５・・・・・・層間絶縁層 ３６・・・・・・コイル層 ３７・・・・・・層間絶縁層 ３８・・・・・・上部磁性層 ３９・・・・・・」二部保護絶縁層 ４０・・・・・・金属磁性膜 ４１・・・・・・イレーズコア ４２・・・・・・非磁性板 ４３・・・・・・イレースギャップ ４４・・・・・・規制溝
平面図、第２図は同側断面図、第３図は従来の磁気ヘッ
ドを示す平面図、第４図は同側断面３１・・・・・・基
板 ３２・・・・・・保護絶縁層 ３３・・・・・・下部磁性層 ３４・・・・・・ギャップ絶縁層 ３５・・・・・・層間絶縁層 ３６・・・・・・コイル層 ３７・・・・・・層間絶縁層 ３８・・・・・・上部磁性層 ３９・・・・・・」二部保護絶縁層 ４０・・・・・・金属磁性膜 ４１・・・・・・イレーズコア ４２・・・・・・非磁性板 ４３・・・・・・イレースギャップ ４４・・・・・・規制溝
Claims (1)
- 基板と、前記基板の上に形成された保護絶縁層と、前記
保護絶縁層の上に形成された下部磁性層と、前記下部磁
性層の上に形成され磁気ギャップとなるギャップ絶縁層
と、前記ギャップ絶縁層の上に絶縁層を介して形成され
磁束を発生させるコイル層と、前記コイル層の上に絶縁
層を介して形成され、前記下部磁性層と共に前記磁気ギ
ャップを含む磁気回路を構成する上部磁性層と、前記上
部磁性層の上に形成された上部保護絶縁層と、前記上部
保護絶縁層の上に形成された金属磁性膜と、前記金属磁
性膜に磁気ギャップを介して接合されたイレーズコアを
備えた事を特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8980788A JPH01260616A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8980788A JPH01260616A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260616A true JPH01260616A (ja) | 1989-10-17 |
Family
ID=13980993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8980788A Pending JPH01260616A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01260616A (ja) |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP8980788A patent/JPH01260616A/ja active Pending
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