JPH01258412A - 処理対象物授受機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超精密処理装置に係り、とぐに超精密処理に
必要な清浄度の下で処理対象物の受け渡しを行うのに好
適な処理対象物授受機構に関する。

〔従来の技術〕

従来、清浄な環境の下で処理対象物の授受を行なう方法
としては゛、たとえば特開昭６２−９８７４０号公報に
記載されているようＫ、設備の処理室内に設置した処理
対象物授受機構のグリーン化を個別に追加する方式が提
案されている。

この方式は、設備の処理方式に合せた効率的な処理対象
物授受機構を設けることができる利点を有する、 また、たとえば特開昭６２−１０４１３４号公報に記載
されているようにグリーン化された搬送系（搬送台車、
搬送路など）を各設備の処理室に対する処理対象物授受
機構を搬送系の一機構として設置する方式が提案されて
いる。

この方式は、処理対象物授受機構の標準化を図ることが
できる利点を有する。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記前者の従来技術においては、処理室内につエバ取扱
い機構および発塵防止システムを設置しているため、処
理室からなる設備が変更になる度毎にウェハ取扱い機構
および発塵防止システムを変更する必要があって開発工
数が膨大になる一方で開発期間も長期になる問題があっ
た。

また後者の従来技術においては、処理装置毎に設置され
、クリーンチャンバを有する複数個の搬送ケースが移動
テーブルの移動しうる空間を介して接続しているため、
移動テーブルの移動しうる空間を含めたすべての搬送ケ
ース内をクリーン化する必要があって設備投資額が増大
するとともに設備の更新にともなうレイアウトの変更へ
の柔軟性に欠けるという問題があった。

本発明の目的は、前記従来技術の課題を解決し処理室な
どの設置の変更に関係なく、コンパクトな構成にて清浄
な雰囲気下で処理対象物の受け渡しを可能とする処理対
象物授受機構を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

前記の目的を達成するため、本発明による処理対象物授
受機構においては、処理室に処理対象物を送出入するた
めの送出入口を介して接続する密閉された室を設け、か
つ密閉室内に外部からの密閉された容器内より処理対象
物を取出して上記送出入口を介して上記処理室内の処理
手段に受け渡しする手段と、上記処理室内および外部の
圧力よりも高い圧力の清浄な空気を供給するとともに異
物、塵埃を除去して該密閉室内を清浄な環境下に保持す
る清浄手段とを設けたものである。

また密閉室は、複数の処理室毎に処理対象物送出入口を
介して独立して接続するように複数設けることが好まし
い。

また処理対象物受け渡し手段は、自動的に処理対象物を
受け渡しする構成にすることが好寸しい。

〔作用〕

本発明による処理対象物授受機構は前記のように構成さ
れているので、密閉室内を処理室内および外気と遮断し
て常に清浄な環境下に保持した状態で処理対象物を処理
室内に受け渡しするとともに処理室内から処理完了した
処理対象物を密閉容器内に挿入することができるので、
異物などの付着によって汚染されるのを防止して歩留り
の向上をはかることができる。

また種類の異なる処理室に対して同一の処理対象物授受
機構にて独立して結合するので、部分クリーン化が可能
となり、これによって設備費の低減をはかることができ
、かつ設備レイアウトの柔軟性を犬きくするとともに、
処理対象物授受機構の標準化をはかることができ、これ
によって開発費を低減することができる。

また処理対象物の受け渡しを自動化することができるの
で、生産性の向上をはかることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図について説明する。

第１図に示すように、処理室７と仕切壁５を介して隔離
された密閉形の処理対象物授受室１を設けている。この
処理対象物授受室１には、処理対象物であるウェハ４を
内蔵する密閉式枚葉カセット１３を装着する受け払い口
６α、６Ａを形成している。

また処理対象物授受室１内にはウエノ・ノ・ンドリング
機器２が設置されている。このウェハハンドリング機器
２は、一方の受け払い口６αに装着された密閉式枚葉カ
セット１３内からウエノ・４を取出したのち回転してウ
ェハ４を仕切壁５に形成された送入口５αを通って処理
室７内の処理手段９に自動的に受け渡したり、この処理
手段９によって処理完了したウェハ４を仕切壁５に形成
された送出口５ｂから見出したのち、回転してウェハ４
を他方の受け払い口６ｈに既に装着された密閉式枚葉カ
セット１３内に自動的に挿入する。さらに処理対象物授
受室１内上方部には清浄手段３が設置されている。

この清浄手段３は処理室７内および外気の圧力より高い
圧力の清浄な空気を処理対象物授受室１内に供給して処
理対象物授受室１内を処理室７内および外気と遮断した
状態で清浄化し、かつ処理対象物授受室１内に発生した
塵埃および異物などを外部に排出する。上記処理室Ｚ内
には上方部に清浄手段８を設置している。この清浄手段
８は前記の清浄手段３と殆んど同一構成をしているが異
なる点は処理室７内に供給される清浄空気の圧力が低圧
になっている。

したがって処理室７内で発生した塵埃および異物などは
清浄手段８によって除去され送出入口５α。

５ｂを通って処理対象物授受室１内に逆流するのを防止
することができる。また処理対象物授受室１内は処理室
７内および外気と遮断されるとともに発生した塵埃およ
び異物を清浄手段３によって除去されるので常に清浄な
環境状態を保持することができる。さらに密閉式枚葉カ
セット１３が送入口５αに装着したのち、内部のウエノ
・４が処理対象物授受室１内に取り出し、かつ付着した
異物などは清浄手段３によって除去されるので、ウエノ
Ｓ４に異物の付着を防止しこれによって歩留りの向上を
はかることができる。

これに加えて処理対象授受室１は処理室７およびその他
の部分と切り離して形成することができるので清浄のた
めの設備費が低額となりかったとえ処理室７の種類が変
っても変更することなく処理対象物授受室１を結合する
ことができるので、設備レイアウトの柔軟性を太きぐす
ることができる。

つぎに本発明の他の一実施例である処理工程システムを
示す第２図および第３図について説明する。

第２図に示すように、複数の工程別処理室７α。

７ｂ毎に独立して形成された複数の密閉形処理対象物授
受室１α、ＩＡが設置され、これら複数の処理対象物授
受室１α、ＩＡおよび処理室７α、７ｂは工程間搬送路
１１にそうて配置されている。

今、工程間搬送路１１によって搬送されたウェハ４を内
蔵するウェハカセット１３がカセットリーダ１２によっ
てその識別を自動的に読み込まれ、当該処理室７αで処
理する必要がある場合には、まづ第１ブツシヤ１４ａな
どでウェハカセット１３が工程間搬送路１１から分岐さ
れて品種系列別の繰返し回数毎に管理される管理棚１５
に第２ブツシユ１４Ａにより格納される。

ついで、処理されるウェハカセット１３は管理棚１５か
ら送り出され、設備搬送路１９を通って＠３ブツシャ１
４ｃにより設備人搬送路１６に分岐されたのち、処理対
象物授受ユニット１の受け払い口６ａに装着されると、
第３図に示すように、ノ１ンドリンク機器２によφウェ
ハカセット１５からウェハ４が取り出されたのち、ウェ
ハ４は、ノ１ンドリング機器２の回転により、送入口５
αを通って処理室７α内の処理手段９に自動的に搬送さ
れて処理される。

一方上記処理手段９が処理している間、つぎに処理され
るウェハカセット１３を空カセット棚１８に保管してお
き、処理終了間近かに該ウエノ・カセット１３を受け払
い口６ｈに装着して処理手段７のウェハ交換時間の短縮
をはかっている。

しかるのち、処理手段７によって処理完了したウェハ４
は送出口５ｂからハンドリング機器２により処理対象物
授受室１の受け払い口６ｂに既に装着されたウェハカセ
ット１３内に自動的に納入される。

ついで、処理完了したウエノ・４を納入するウェハカセ
ット１３は設備量搬送路１７から空カセット棚１８を通
過して設備搬送路１９上に達すると、ウェハカセット１
３は搬送路１９により搬送されその端部に設置された合
流装置２０により工程間搬送路１１上に達して次工程の
処理ユニットに搬送される。

したがって上記各処理対象物授受室１および各処理室７
内に前記第１図に示す清浄手段５．８を設置することＫ
より、最小の清浄化設備にて、ウェハ４を清浄な環境下
で処理し、かつ異物などの汚染を防止して歩留りを向上
することができる。

〔発明の効果〕

本発明は以上述べたように構成されているのでつぎに説
明するような効果を有する。

（１）　　処理対象物授受室内を密閉するとともに処理
室内および外気と遮断して常に清浄な環境下に保持した
状態で処理対象物を処理室内に受け渡しするとともに処
理室内で処理完了した処理対象物を密閉容器内に挿入す
ることができるので処理対象物が異物などの付着によっ
て汚染されるのを防止して歩留りの向上をはかることが
できる、 （１１）種類の異なる処理室に対して同一の処理対象物
授受機構にて独立して結合するので、部分りリーン化が
可能となり、これによって設備費の低減をはかることが
でき、かつ設備レイアウトの柔軟性を大きくするととも
に、処理対象物授受機構の標準化をはかることができ、
これによって開発費を低減することができる。

佃）処理対象物の受け渡しを自動化することかできるの
で、生産性の向上をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である処理対象物授受室およ
び処理室を示す概念図、第２図は本発明の他の一実施例
である処理工程システムを示す斜視図、第３図は第２図
の処理対象物授受室を拡大して示す斜視図である。 １・・・・・・・・・・・・処理対象物授受室２・・・
・・・・・・・・・ハンドリング機器３．８・・・・・
・清浄手段 ４・・・・・・・−・・・・ウェハ ７・・・・・・・・・・・・処理室 ９・・・・・・・・・・・・処理手段 、１ １３・・・・・・・・・密閉形ウェハカセット　　　　
　　　１．。 代理人　弁理士　小　川　勝　男 ４１図 ）　　　　　　　　ノ　　　　　（） ３　　５５ユ５ｂ　　　２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、処理室に処理対象物を受出入するための送出入口を
   介して接続する密閉された室を設け、かつこの密閉室内
   に外部からの密閉された容器内より処理対象物を取出し
   て上記送出入口を介して処理室内の処理手段に受け渡し
   する手段と、上記処理室内および外部の圧力よりも高い
   圧力の清浄な空気を供給するとともに異物、塵埃を除去
   して該密閉室内を清浄な環境下に保持する清浄手段とを
   設けたことを特徴とする処理対象物授受機構。 ２、密閉室は、複数の処理毎に処理対象物送出入口を介
   して独立して接続するように複数設置した請求項１記載
   の処理対象物授受機構。