JPH01238934A - セラミックグリーンシートの積層方法及び装置 - Google Patents
セラミックグリーンシートの積層方法及び装置Info
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- JPH01238934A JPH01238934A JP63065730A JP6573088A JPH01238934A JP H01238934 A JPH01238934 A JP H01238934A JP 63065730 A JP63065730 A JP 63065730A JP 6573088 A JP6573088 A JP 6573088A JP H01238934 A JPH01238934 A JP H01238934A
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- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/4626—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
- H05K3/4629—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials laminating inorganic sheets comprising printed circuits, e.g. green ceramic sheets
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、セラミックコンデンサー、セラミック多層配
線基板等に使用される所定のパターン印刷が施されたセ
ラミックグリーンシートの積層体を製造する方法及び装
置に関する。
線基板等に使用される所定のパターン印刷が施されたセ
ラミックグリーンシートの積層体を製造する方法及び装
置に関する。
（従来技術及びその問題点）
従来、コンデンサー、ＩＣパッケージ等の電子部品は、
各種セラミック基材のペースト等をベースフィルム上に
一定の厚みで設け、このセラミック基材上に導体となる
メタライジング層を印刷等の手段により施こし、得られ
る各セラミツクシシート（グリーンシート）を積層して
積層体とし、これを乾燥し、次いで焼結を行なって最終
セラミック部品とすることによって製造される。
各種セラミック基材のペースト等をベースフィルム上に
一定の厚みで設け、このセラミック基材上に導体となる
メタライジング層を印刷等の手段により施こし、得られ
る各セラミツクシシート（グリーンシート）を積層して
積層体とし、これを乾燥し、次いで焼結を行なって最終
セラミック部品とすることによって製造される。
ここで、グリーンシートの積層は、ヒーターを内蔵した
熱板間に、該シートをサンドイッチして圧着することに
より行なわれている。
熱板間に、該シートをサンドイッチして圧着することに
より行なわれている。
然しながら、従来行なわれている積層方法の場合、プレ
ス圧の掻く僅かな偏よりによって、グリーンシート間に
クリープ現象が発生し、各プレス毎に徐々にシートの位
置ずれを生ずるという不都合があり、また全面的に均等
に加圧を行なうことが困難となるという問題もある。
ス圧の掻く僅かな偏よりによって、グリーンシート間に
クリープ現象が発生し、各プレス毎に徐々にシートの位
置ずれを生ずるという不都合があり、また全面的に均等
に加圧を行なうことが困難となるという問題もある。
従って本発明は、所定のパターン印刷が行なわれたセラ
ミックグリーンシートの複数枚を積層するに際し、各シ
ート層間のズレがなく、正確に積層され、全層を通じて
パターン印刷位置が正確に一致し、且つプレス圧が全面
的に実質上均等に付加される積層方法及び積層装置を提
供することを目的とする。
ミックグリーンシートの複数枚を積層するに際し、各シ
ート層間のズレがなく、正確に積層され、全層を通じて
パターン印刷位置が正確に一致し、且つプレス圧が全面
的に実質上均等に付加される積層方法及び積層装置を提
供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、２枚の熱板間に複数枚のグリーンシートをサ
ンドインチして圧着を行なうに際し、一方の熱板上にク
ッションシートを介在させることによって上述した問題
点を解決したものである。
ンドインチして圧着を行なうに際し、一方の熱板上にク
ッションシートを介在させることによって上述した問題
点を解決したものである。
即ち本発明によれば、所定のパターン印刷が行なわれた
セラミックグリーンシートの複数枚を重ね合わせ、２枚
の熱板の間に重ね合わされた複数枚のセラミックグリー
ンシートをサンドイッチして圧着することから成るセラ
ミックグリーンシートの積層方法において、前記熱板の
一方に、クッションシート及びセラミックグリーンシー
トの位置固定を行なうための吸引機構を設け、該吸引機
構を作動させながら、熱板間に保持された複数枚のセラ
ミックグリーンシートの圧着を行なうことを特徴とする
積層方法が提供される。
セラミックグリーンシートの複数枚を重ね合わせ、２枚
の熱板の間に重ね合わされた複数枚のセラミックグリー
ンシートをサンドイッチして圧着することから成るセラ
ミックグリーンシートの積層方法において、前記熱板の
一方に、クッションシート及びセラミックグリーンシー
トの位置固定を行なうための吸引機構を設け、該吸引機
構を作動させながら、熱板間に保持された複数枚のセラ
ミックグリーンシートの圧着を行なうことを特徴とする
積層方法が提供される。
本発明によれば更に、プレス機に連動して昇降動可能と
なっている上部熱板と、上部熱板の下方に位置固定され
た下部熱板とから成り、これら熱板間に複数枚のセラミ
ックグリーンシートを配置し、プレス機の駆動により上
部熱板を降下させて該シートの圧着を行なうセラミック
グリーンシートの積層装置において、下部熱板には、吸
引部材に連結された吸引口が形成されているとともに、
下部熱板表面上にクッションシート、通気プレート及び
メツシュプレートがこの順で載置されており、該メツシ
ュプレート上に複数枚のセラミックグリーンシートが載
置されて圧着が行なわれることを特徴とする積層装置が
提供される。
なっている上部熱板と、上部熱板の下方に位置固定され
た下部熱板とから成り、これら熱板間に複数枚のセラミ
ックグリーンシートを配置し、プレス機の駆動により上
部熱板を降下させて該シートの圧着を行なうセラミック
グリーンシートの積層装置において、下部熱板には、吸
引部材に連結された吸引口が形成されているとともに、
下部熱板表面上にクッションシート、通気プレート及び
メツシュプレートがこの順で載置されており、該メツシ
ュプレート上に複数枚のセラミックグリーンシートが載
置されて圧着が行なわれることを特徴とする積層装置が
提供される。
（作 用）
本発明においては、セラミックグリーンシートの加圧圧
着を行なう熱板に設けられたクッションシートにより、
該シートの圧着に際して、グリーンシート内に発生する
応力が緩和され、この結果として各グリーンシート間に
発生するクリープ現象が抑制され、位置ズレが有効に防
止され、また全面的に実質的に均等な加圧が行なわれる
ものである。
着を行なう熱板に設けられたクッションシートにより、
該シートの圧着に際して、グリーンシート内に発生する
応力が緩和され、この結果として各グリーンシート間に
発生するクリープ現象が抑制され、位置ズレが有効に防
止され、また全面的に実質的に均等な加圧が行なわれる
ものである。
また、クッションシートを設けたことに関連して、熱板
には吸引機構が設けられ、該吸引機構によって圧着すべ
きグリーンシートが所定位置に位置決めされるのである
。
には吸引機構が設けられ、該吸引機構によって圧着すべ
きグリーンシートが所定位置に位置決めされるのである
。
（実施例）
本発明を以下、添付図面に示す具体例に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
本発明の積層方法を好適に実施するための積層装置の全
体の構成を示す第１図において、この積層装置は、プレ
ス機１に接続され、昇降動可能となっている上部熱板２
と、所定位置に位置固定されている下部熱板３とを備え
ている。
体の構成を示す第１図において、この積層装置は、プレ
ス機１に接続され、昇降動可能となっている上部熱板２
と、所定位置に位置固定されている下部熱板３とを備え
ている。
即ち積層装置は、上部熱板２と下部熱板３との間に、所
定のパターン印刷が施された複数枚のセラミックグリー
ンシート４をサンドイッチ状に保持し、プレス機１を動
作させて上部熱板２を降下させて該シート４の圧着を行
なう。
定のパターン印刷が施された複数枚のセラミックグリー
ンシート４をサンドイッチ状に保持し、プレス機１を動
作させて上部熱板２を降下させて該シート４の圧着を行
なう。
熱板２及び３には、それぞれヒータ５が設けられており
、グリーンシート４が適当な温度に加熱されて圧着が行
なわれる様になっている。
、グリーンシート４が適当な温度に加熱されて圧着が行
なわれる様になっている。
プレス圧力は、グリーンシート４の厚み及びその枚数に
よっても異なるが、通常８０乃至２５０Ｋｇ／ｃｍ’の
範囲が採用される。
よっても異なるが、通常８０乃至２５０Ｋｇ／ｃｍ’の
範囲が採用される。
本発明においては、下部熱板３上に、クッションシート
１０、通気プレート１１及びメツシュプレート１２がこ
の順に載置されている。この状態を第２図に示す。
１０、通気プレート１１及びメツシュプレート１２がこ
の順に載置されている。この状態を第２図に示す。
即ち、下部熱板３には、真空ポンプ等の吸引部材（図示
せず）に連なる吸気管が２０が設けられ、該吸気管２０
に連通して吸気孔２１が形成されている。
せず）に連なる吸気管が２０が設けられ、該吸気管２０
に連通して吸気孔２１が形成されている。
また下部熱板３の表面には、そのほぼ全面に吸気ｉ２２
が形成されており、この吸気′ｄＩｔ２２が吸気孔２１
と連通している。
が形成されており、この吸気′ｄＩｔ２２が吸気孔２１
と連通している。
従って、真空ポンプ等の吸引部材の作動によって、下部
熱板３上には負圧が形成される。
熱板３上には負圧が形成される。
かくして下部熱板３上に設けられたクッションシート１
０、通気プレート１１、メツシュプレート１２及びその
上に載置されるグリーンシート４は、該負圧によって下
部熱板３上に位置固定されて、この状態でプレス機１が
駆動してグリーンシート４の圧着が行なわれるのである
。
０、通気プレート１１、メツシュプレート１２及びその
上に載置されるグリーンシート４は、該負圧によって下
部熱板３上に位置固定されて、この状態でプレス機１が
駆動してグリーンシート４の圧着が行なわれるのである
。
この場合、吸引圧は通常０．１ Ｋｇ／ｃｍ’以上であ
ることが好適である。
ることが好適である。
本発明において、下部熱板３上に載置されるクッション
シート１０は、素線径が０．２乃至０．８＋ｎｍのポリ
エステル千ノフィラメント平織メツシュ（１６〜４０メ
ツシユ）を使用し、この周囲にシリコン樹脂等の硬化後
においても弾性を有する樹脂で固着した枠組３０を形成
させたものであることが好適である。この様なりッショ
ンシートを使用することによって、そのクツション作用
によるグリーンシート内に発生する応力緩和と負圧の伝
達とが極めて有効に行なわれる。勿論、上述したシート
以外にも、孔あきのゴム板等を使用することは可能であ
る。
シート１０は、素線径が０．２乃至０．８＋ｎｍのポリ
エステル千ノフィラメント平織メツシュ（１６〜４０メ
ツシユ）を使用し、この周囲にシリコン樹脂等の硬化後
においても弾性を有する樹脂で固着した枠組３０を形成
させたものであることが好適である。この様なりッショ
ンシートを使用することによって、そのクツション作用
によるグリーンシート内に発生する応力緩和と負圧の伝
達とが極めて有効に行なわれる。勿論、上述したシート
以外にも、孔あきのゴム板等を使用することは可能であ
る。
またクッションシート１０の上部に載置される通気プレ
ート１１は、鋼板等の剛性の素材から成っており、通常
、厚みが３〜６ｍｍであり且つ２〜５ｍｍ径の通気孔３
１が多数形成されている。この通気孔３１を介して負圧
の伝達が行なわれる。
ート１１は、鋼板等の剛性の素材から成っており、通常
、厚みが３〜６ｍｍであり且つ２〜５ｍｍ径の通気孔３
１が多数形成されている。この通気孔３１を介して負圧
の伝達が行なわれる。
本発明においては更に、前記通気プレート１１上にメツ
シュプレート１２が載置される。
シュプレート１２が載置される。
このメツシュプレート１２は、厚みが８０乃至１２０μ
ｍ１６０乃至１２０メツシユ、及び孔径が８０乃至２２
０μｍの範囲にあるものが好適に使用される。本発明に
おいては、特に電鍍法により製造されたメツシュプレー
トが平滑性等の見地から望ましい。即ち、全網製のメツ
シュプレートの場合には、表面に凹凸があるため、本発
明にはあまり適当でない。
ｍ１６０乃至１２０メツシユ、及び孔径が８０乃至２２
０μｍの範囲にあるものが好適に使用される。本発明に
おいては、特に電鍍法により製造されたメツシュプレー
トが平滑性等の見地から望ましい。即ち、全網製のメツ
シュプレートの場合には、表面に凹凸があるため、本発
明にはあまり適当でない。
かくして本発明によれば、メツシュプレート１２上にグ
リーンシート４が位置決めされた状態で該シート４の圧
着が行なわれる。
リーンシート４が位置決めされた状態で該シート４の圧
着が行なわれる。
（発明の効果）
かかる本発明の積層方法及び積層装置によれば、セラミ
ックコンデンサー、セラミック多層配線基板等に使用さ
れる所定のパターン印刷が施こされたセラミックグリー
ンシートを積層するにあたって、通常２０〜２００枚の
グリーンシートを層間のズレがなく、且つ全層厚を通じ
てパターン印刷位置が正確に一致する様に積層を行なう
ことが可能となる。
ックコンデンサー、セラミック多層配線基板等に使用さ
れる所定のパターン印刷が施こされたセラミックグリー
ンシートを積層するにあたって、通常２０〜２００枚の
グリーンシートを層間のズレがなく、且つ全層厚を通じ
てパターン印刷位置が正確に一致する様に積層を行なう
ことが可能となる。
また本発明においては、下部熱板上に設けたクッション
シート°の作用により、実買上全面均等であるか、均等
でないにしても中央部が若干弱い程度のプレス圧が付加
される。特に中央部のプレス圧が大であり、周囲のプレ
ス圧が小さい場合には、後工程の搬送及びその取扱いに
おいて不良品が発生し易く、本発明によれば、この様な
問題も有効に解決される。
シート°の作用により、実買上全面均等であるか、均等
でないにしても中央部が若干弱い程度のプレス圧が付加
される。特に中央部のプレス圧が大であり、周囲のプレ
ス圧が小さい場合には、後工程の搬送及びその取扱いに
おいて不良品が発生し易く、本発明によれば、この様な
問題も有効に解決される。
第１図は、本発明の積層装置の全体の構造を示す図、
第２図は、第１図の装置に使用する下部熱板の上部構造
を示す図である。 ２・・・・・・上部熱板 ３・・・・・・下部熱板 ４・・・・・・グリーンシート １０・・・・・・クッションシート １１・・・・・・通気プレート １２・・・・・・メツシュプレート 特許出願人 東伸工業株式会社 第２図
を示す図である。 ２・・・・・・上部熱板 ３・・・・・・下部熱板 ４・・・・・・グリーンシート １０・・・・・・クッションシート １１・・・・・・通気プレート １２・・・・・・メツシュプレート 特許出願人 東伸工業株式会社 第２図
Claims (2)
- （１）所定のパターン印刷が行なわれたセラミックグリ
ーンシートの複数枚を重ね合わせ、２枚の熱板の間に重
ね合わされた複数枚のセラミックグリーンシートをサン
ドイッチして圧着することから成るセラミックグリーン
シートの積層方法において、 前記熱板の一方に、クッションシート及びセラミックグ
リーンシートの位置固定を行なうための吸引機構を設け
、該吸引機構を作動させながら、熱板間に保持された複
数枚のセラミックグリーンシートの圧着を行なうことを
特徴とする積層方法。 - （２）プレス機に連動して昇降動可能となっている上部
熱板と、上部熱板の下方に位置固定された下部熱板とか
ら成り、これら熱板間に複数枚のセラミックグリーンシ
ートを配置し、プレス機の駆動により上部熱板を降下さ
せて該シートの圧着を行なうセラミックグリーンシート
の積層装置において、 下部熱板には、吸引部材に連結された吸引口が形成され
ているとともに、 下部熱板表面上にクッションシート、通気プレート及び
メッシュプレートがこの順で載置されており、 該メッシュプレート上に複数枚のセラミックグリーンシ
ートが載置されて圧着が行なわれることを特徴とする積
層装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065730A JPH01238934A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | セラミックグリーンシートの積層方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065730A JPH01238934A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | セラミックグリーンシートの積層方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01238934A true JPH01238934A (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=13295428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63065730A Pending JPH01238934A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | セラミックグリーンシートの積層方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01238934A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005109458A2 (en) * | 2004-04-29 | 2005-11-17 | Northrop Grumman Corporation | Method of laminating low temperature co-fired ceramic (ltcc) material and product formed thereby |
| RU2474985C1 (ru) * | 2011-07-27 | 2013-02-10 | Открытое акционерное общество "Федеральный научно-производственный центр Нижегородский научно-исследовательский институт радиотехники" | Способ изготовления многослойных печатных плат |
| CN104309263A (zh) * | 2014-10-20 | 2015-01-28 | 中山市亚泰机械实业有限公司 | 真空贴合机上腔定位装夹机构 |
-
1988
- 1988-03-22 JP JP63065730A patent/JPH01238934A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005109458A2 (en) * | 2004-04-29 | 2005-11-17 | Northrop Grumman Corporation | Method of laminating low temperature co-fired ceramic (ltcc) material and product formed thereby |
| WO2005109458A3 (en) * | 2004-04-29 | 2007-02-15 | Northrop Grumman Corp | Method of laminating low temperature co-fired ceramic (ltcc) material and product formed thereby |
| US7240424B2 (en) | 2004-04-29 | 2007-07-10 | Northrop Grumman Corporation | Method of laminating low temperature co-fired ceramic (LTCC) Material |
| RU2474985C1 (ru) * | 2011-07-27 | 2013-02-10 | Открытое акционерное общество "Федеральный научно-производственный центр Нижегородский научно-исследовательский институт радиотехники" | Способ изготовления многослойных печатных плат |
| CN104309263A (zh) * | 2014-10-20 | 2015-01-28 | 中山市亚泰机械实业有限公司 | 真空贴合机上腔定位装夹机构 |
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