JPH01235805A - 位置検出器 - Google Patents
位置検出器Info
- Publication number
- JPH01235805A JPH01235805A JP6151488A JP6151488A JPH01235805A JP H01235805 A JPH01235805 A JP H01235805A JP 6151488 A JP6151488 A JP 6151488A JP 6151488 A JP6151488 A JP 6151488A JP H01235805 A JPH01235805 A JP H01235805A
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- Japan
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- light
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 32
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、移動する光スポットの位置を検出する位置検
出器に関するものである。
出器に関するものである。
［従来の技術］
ｖＪ１図は、レーザ１にて発光された光をレンズ２によ
って集光し、この光ビームを振動ミラー３よりなる走査
手段によって所定方向Ｘに移動させて矢印Ｙ方向に搬送
さ°れる検査対象Ａに照射し、検査対象Ａに照射された
光スポットの反射光に基いて表面状態をチエツクするよ
うにした表面検査＊ｉの位置検出器部分の概略構成を示
すもので、図示例では、光ビームをビームスプリッタ４
によって分岐し、分岐された光ビームが位置検出素子５
上に照射されるようにして光スポットの位置を検出する
ようになっている。ところで、従来、位置検出素子５と
してボノシタンセンシティプディテクタ（以下ＰＳＤと
略称する）を用いて光スポットの重心位置を検出してい
た。
って集光し、この光ビームを振動ミラー３よりなる走査
手段によって所定方向Ｘに移動させて矢印Ｙ方向に搬送
さ°れる検査対象Ａに照射し、検査対象Ａに照射された
光スポットの反射光に基いて表面状態をチエツクするよ
うにした表面検査＊ｉの位置検出器部分の概略構成を示
すもので、図示例では、光ビームをビームスプリッタ４
によって分岐し、分岐された光ビームが位置検出素子５
上に照射されるようにして光スポットの位置を検出する
ようになっている。ところで、従来、位置検出素子５と
してボノシタンセンシティプディテクタ（以下ＰＳＤと
略称する）を用いて光スポットの重心位置を検出してい
た。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上述の従来例のように、位置検出素子５
としてＰＳＤを用いた場合には、ＰＳＤの検出幅が比較
的短いので、光スポットの移動範囲すなわち走査幅が長
くなった場合には、第６図に示すように、レンズ１０な
どの光学系を用いて走査幅を短くしなければならず、光
学系が複雑になるとともに、検出精度が悪くなるという
問題があり、さらに、応答スピードが遅いので、ビデオ
レートで処理しようとした場合に、要求応答スピ−ドの
１／１００以下になってしまうという問題があった。
としてＰＳＤを用いた場合には、ＰＳＤの検出幅が比較
的短いので、光スポットの移動範囲すなわち走査幅が長
くなった場合には、第６図に示すように、レンズ１０な
どの光学系を用いて走査幅を短くしなければならず、光
学系が複雑になるとともに、検出精度が悪くなるという
問題があり、さらに、応答スピードが遅いので、ビデオ
レートで処理しようとした場合に、要求応答スピ−ドの
１／１００以下になってしまうという問題があった。
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、走査幅が長くなった場合にも容易に
対応でき、しかも、構成が簡単で低コスト化および高精
度化を図ることができ、さらに応答スピードが速い位置
検出器を提供することにある。
的とするところは、走査幅が長くなった場合にも容易に
対応でき、しかも、構成が簡単で低コスト化および高精
度化を図ることができ、さらに応答スピードが速い位置
検出器を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の位置検出器は、振動ミラーなどの走査手段によ
り移動される光スポットの位置を検出する位置検出器で
あって、光スポットの移動方向に所定のピッチで櫛歯状
に配置されたフォトデイテクタよりなる位置検出素子に
て光スポットを検出し、位置検出素子出力を光スポット
の移動に応じたタイミング信号として出力するようにし
たものである。
り移動される光スポットの位置を検出する位置検出器で
あって、光スポットの移動方向に所定のピッチで櫛歯状
に配置されたフォトデイテクタよりなる位置検出素子に
て光スポットを検出し、位置検出素子出力を光スポット
の移動に応じたタイミング信号として出力するようにし
たものである。
［作 用］
本発明は上述のように構成されており、光スポットを所
定のピッチで櫛歯状に配置されたフォトデイテクタより
なる位置検出素子にて検出し、位置検出素子出力を光ス
ポットの移動に応じたタイミング信号として出力するよ
うにしているので、走査幅が長くなった場合にも容易に
対応でき、しかも、レンズなどの光学系を付加する必要
がなく構成が簡単で低コスト化および高精度化を図るこ
とができ、さらに応答スピードを速くすることができる
ようになっている。
定のピッチで櫛歯状に配置されたフォトデイテクタより
なる位置検出素子にて検出し、位置検出素子出力を光ス
ポットの移動に応じたタイミング信号として出力するよ
うにしているので、走査幅が長くなった場合にも容易に
対応でき、しかも、レンズなどの光学系を付加する必要
がなく構成が簡単で低コスト化および高精度化を図るこ
とができ、さらに応答スピードを速くすることができる
ようになっている。
［実施例］
第１図および第２図は本発明一実施例を示すもので、振
動ミラーなどの走査手段３により移動される光スポラ）
Ｓの位置を検出する位置検出器であって、光スポラ）Ｓ
の移動方向に所定のピッチ（実施例では等間隔）で櫛歯
状に配置されたフォトデイテクタよりなる位置検出素子
５にて光スポットＳを検出し、位置検出素子５出力を光
スポットＳの移動に応じたタイミング信号として出力す
るようにしたものである。実施例にあっては、タイミン
グ検出用の位置検出素子５の両サイドに基点検出用位置
検出素子６ ａ、 ６ ｂが設けられている。
動ミラーなどの走査手段３により移動される光スポラ）
Ｓの位置を検出する位置検出器であって、光スポラ）Ｓ
の移動方向に所定のピッチ（実施例では等間隔）で櫛歯
状に配置されたフォトデイテクタよりなる位置検出素子
５にて光スポットＳを検出し、位置検出素子５出力を光
スポットＳの移動に応じたタイミング信号として出力す
るようにしたものである。実施例にあっては、タイミン
グ検出用の位置検出素子５の両サイドに基点検出用位置
検出素子６ ａ、 ６ ｂが設けられている。
なお、ビームスプリッタ４から位置検出素子５までの距
離と、ビームスプリッタ４から検査対象Ａまでの距離と
を同一にし、位置検出素子５上の光スポラ）Ｓの径が最
小となるように光学系（レンズ２、ビームスプリッタ４
および位置検出素子５）が調整される。また、他の構成
および動作は従来例と同様であるので説明を省略する。
離と、ビームスプリッタ４から検査対象Ａまでの距離と
を同一にし、位置検出素子５上の光スポラ）Ｓの径が最
小となるように光学系（レンズ２、ビームスプリッタ４
および位置検出素子５）が調整される。また、他の構成
および動作は従来例と同様であるので説明を省略する。
以下、実施例の動作について説明する。いま、第３図（
ａ）は基点検出用位置検出素子６ａの検出光量、第３図
（ｂ）は位置検出素子５の検出光量、第３図（ｅ）は基
、α検出用位置検出素子６ｂの検出光量を示すものであ
り、検出光量の変化に基いて光スポラ）Ｓの左右の基点
および有効走査範囲の走査位置を示すタイミング信号が
得られるようになっている。しかして、光スポラ）Ｓを
所定のピッチで櫛歯状に配置されたフォトデイテクタよ
りなる位置検出素子５にて検出し、位置検出素子５出力
を光スポラ）Ｓの移動に応じたタイミング信号として出
力するようにしているので、走査幅が長くなった場合に
も容易に対応でき、しかも、従来例のようにレンズなど
の光学系を付加する必要がなく構成が簡単で低コスト化
および高精度化を図ることができ、さらにＰＳＤを用い
た場合に比べて応答スピードを速くすることができる。
ａ）は基点検出用位置検出素子６ａの検出光量、第３図
（ｂ）は位置検出素子５の検出光量、第３図（ｅ）は基
、α検出用位置検出素子６ｂの検出光量を示すものであ
り、検出光量の変化に基いて光スポラ）Ｓの左右の基点
および有効走査範囲の走査位置を示すタイミング信号が
得られるようになっている。しかして、光スポラ）Ｓを
所定のピッチで櫛歯状に配置されたフォトデイテクタよ
りなる位置検出素子５にて検出し、位置検出素子５出力
を光スポラ）Ｓの移動に応じたタイミング信号として出
力するようにしているので、走査幅が長くなった場合に
も容易に対応でき、しかも、従来例のようにレンズなど
の光学系を付加する必要がなく構成が簡単で低コスト化
および高精度化を図ることができ、さらにＰＳＤを用い
た場合に比べて応答スピードを速くすることができる。
また、−般に、振動ミラーを用いた場合には、移動速度
は一定ではないので、光スポラ）Ｓが一定間隔だけ移動
するタイミングを時間で設定するのは難しく、振動ミラ
ーの応答性の変動、駆動信号の変動などによって精度が
悪くなるが、本発明のフォトデイテクタは、所定のピッ
チで櫛歯５ａが配置されているので、光スポラ）Ｓの移
動に正確に対応したタイミング信号が得られ、振動ミラ
ーと光スポットＳのタイミング合わせが精度良く行える
ことになる。
は一定ではないので、光スポラ）Ｓが一定間隔だけ移動
するタイミングを時間で設定するのは難しく、振動ミラ
ーの応答性の変動、駆動信号の変動などによって精度が
悪くなるが、本発明のフォトデイテクタは、所定のピッ
チで櫛歯５ａが配置されているので、光スポラ）Ｓの移
動に正確に対応したタイミング信号が得られ、振動ミラ
ーと光スポットＳのタイミング合わせが精度良く行える
ことになる。
第４図は左側の基点検出用位置検出素子６ａ出力に基い
て光スポラ）Ｓの往路を有効走査範囲ＳＥとしたもので
あり、基点検出用位置検出素子６ｂ出力に基いて光スポ
ラ）Ｓの有効走査範囲ＳＥを復路とすることもできる。
て光スポラ）Ｓの往路を有効走査範囲ＳＥとしたもので
あり、基点検出用位置検出素子６ｂ出力に基いて光スポ
ラ）Ｓの有効走査範囲ＳＥを復路とすることもできる。
第５図は他の実施例の動作説明図であり、櫛歯状のフォ
トデイテクタ５のピッチを粗密にし、高精度が必要な部
分の櫛歯５ａが密になるようにして部分的に高い精度の
タイミング信号が得られる、ようにしたものであり、情
報量を必要最小限にすることができる。
トデイテクタ５のピッチを粗密にし、高精度が必要な部
分の櫛歯５ａが密になるようにして部分的に高い精度の
タイミング信号が得られる、ようにしたものであり、情
報量を必要最小限にすることができる。
［発明の効果１
本発明は上述のように構成されており、光スポットを所
定のピッチで櫛歯状に配置されたフォトデイテクタより
なる位置検出素子にて検出し、位置検出素子出力を光ス
ポットの移動に応じたタイミング信号として出力するよ
うにしているので、走査幅が長くなった場合にも容易に
対応でき、しかも、レンズなどの光学系を付加する必要
がなく構成が簡単で低コスト化および高精度化を図るこ
とができ、さらに応答スピードを速くすることができる
という効果がある。
定のピッチで櫛歯状に配置されたフォトデイテクタより
なる位置検出素子にて検出し、位置検出素子出力を光ス
ポットの移動に応じたタイミング信号として出力するよ
うにしているので、走査幅が長くなった場合にも容易に
対応でき、しかも、レンズなどの光学系を付加する必要
がなく構成が簡単で低コスト化および高精度化を図るこ
とができ、さらに応答スピードを速くすることができる
という効果がある。
第１図は本発明一実施例の概略構成図、第２図は同上の
要部正面図、第３図および第４図は同上の動作説明図、
第５図は他の実施例の要部正面図、第６図は従来例の要
部構成図である。 ３は走査手段、５は位置検出素子、５ａは櫛歯である。 代理人 弁理士 石 １）艮 七 す 第２図 第３図 Ｓ）ｈ ：）ヒ
要部正面図、第３図および第４図は同上の動作説明図、
第５図は他の実施例の要部正面図、第６図は従来例の要
部構成図である。 ３は走査手段、５は位置検出素子、５ａは櫛歯である。 代理人 弁理士 石 １）艮 七 す 第２図 第３図 Ｓ）ｈ ：）ヒ
Claims (1)
- （１）振動ミラーなどの走査手段により移動される光ス
ポットの位置を検出する位置検出器であっで、光スポッ
トの移動方向に所定のピッチで櫛歯状に配置されたフォ
トデイテクタよりなる位置検出素子にて光スポットを検
出し、位置検出素子出力を光スポットの移動に応じたタ
イミング信号として出力するようにしたことを特徴とす
る位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63061514A JP2671915B2 (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 表面検査装置用の位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63061514A JP2671915B2 (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 表面検査装置用の位置検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01235805A true JPH01235805A (ja) | 1989-09-20 |
| JP2671915B2 JP2671915B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=13173270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63061514A Expired - Lifetime JP2671915B2 (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 表面検査装置用の位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2671915B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013519505A (ja) * | 2010-02-10 | 2013-05-30 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | パルスレーザ溶発によるナノ粒子溶液の製造 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57154017A (en) * | 1981-03-19 | 1982-09-22 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Detecting device for displaced position |
| JPS61100607A (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-19 | Olympus Optical Co Ltd | 距離検出装置 |
| JPS6232312A (ja) * | 1985-08-03 | 1987-02-12 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 測距装置 |
-
1988
- 1988-03-15 JP JP63061514A patent/JP2671915B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57154017A (en) * | 1981-03-19 | 1982-09-22 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Detecting device for displaced position |
| JPS61100607A (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-19 | Olympus Optical Co Ltd | 距離検出装置 |
| JPS6232312A (ja) * | 1985-08-03 | 1987-02-12 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 測距装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013519505A (ja) * | 2010-02-10 | 2013-05-30 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | パルスレーザ溶発によるナノ粒子溶液の製造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2671915B2 (ja) | 1997-11-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070711 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080711 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080711 Year of fee payment: 11 |