JPS62249004A - 光学式傾き検出装置 - Google Patents
光学式傾き検出装置Info
- Publication number
- JPS62249004A JPS62249004A JP9363586A JP9363586A JPS62249004A JP S62249004 A JPS62249004 A JP S62249004A JP 9363586 A JP9363586 A JP 9363586A JP 9363586 A JP9363586 A JP 9363586A JP S62249004 A JPS62249004 A JP S62249004A
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- JP
- Japan
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- detected
- inclination
- laser
- laser beam
- optical
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光学式傾き検出装置に関する。
従来、高速で回転又は移動する物体等の微少な２点間の
微少な傾きを非接触でかつ遠距離から測定する簡単な方
法は無かった。
微少な傾きを非接触でかつ遠距離から測定する簡単な方
法は無かった。
従来、物体の微少な範囲で２点間の傾きを測定する場合
、マイクロセンサ、ダイヤルゲージ等を用いて測定する
事は可能であったが、物体が高速で回転、又は移動する
場合、被検出物に接触する事はできず、従ってその傾き
を測定する事はできなかった。
、マイクロセンサ、ダイヤルゲージ等を用いて測定する
事は可能であったが、物体が高速で回転、又は移動する
場合、被検出物に接触する事はできず、従ってその傾き
を測定する事はできなかった。
（問題点を解決するための手段〕
本発明の光学式傾き検出装置は、レーザから出射された
レーザ光の光軸上に、コリメートレンズ、レーザ光を少
なくとも２分割するハーフミラ−の順に配置された光学
系と、前記ハーフミラ−によって分割されたそれぞれの
レーザ光の光軸上に偏光ビームスプリッタ、１／４波長
板、被検面の順に配置された光学系と、被検面によって
反射され、さらにｍ光ビームプリッタによって反射され
たそれぞれの反射光の光軸上に、配置された集光レンズ
ト、集光レンズによって集光されたレーザ光の焦点付近
に配置された少なくとも２分割の光センサとを有してい
る。
レーザ光の光軸上に、コリメートレンズ、レーザ光を少
なくとも２分割するハーフミラ−の順に配置された光学
系と、前記ハーフミラ−によって分割されたそれぞれの
レーザ光の光軸上に偏光ビームスプリッタ、１／４波長
板、被検面の順に配置された光学系と、被検面によって
反射され、さらにｍ光ビームプリッタによって反射され
たそれぞれの反射光の光軸上に、配置された集光レンズ
ト、集光レンズによって集光されたレーザ光の焦点付近
に配置された少なくとも２分割の光センサとを有してい
る。
本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第１図において、被傾き検出面９に向けられたレーザ１
から出射されたレーザ光は、バー７ミラー３によって、
レーザ光１６．１７に２分割され、レーザ光１６は直進
し、レーザ光１７は、ミラー４によって、レーザ光１６
と平行となる様に方向を変えられる。さらに、レーザ光
１６．１７は、それぞれ偏光ビームスプリッタ５，６，
１／４波長板７，８を通過し、被傾き検出面９に照射さ
れ、被傾き検出面９で反射されたレーザ光１６，１７は
再び１／４波長板７，８を通過し、偏向ビームスグリツ
タ５．６により反射され、さらに集光レンズ１０．１１
で集光されて、２分割光検出センサ１２゜１３に到達す
る。
から出射されたレーザ光は、バー７ミラー３によって、
レーザ光１６．１７に２分割され、レーザ光１６は直進
し、レーザ光１７は、ミラー４によって、レーザ光１６
と平行となる様に方向を変えられる。さらに、レーザ光
１６．１７は、それぞれ偏光ビームスプリッタ５，６，
１／４波長板７，８を通過し、被傾き検出面９に照射さ
れ、被傾き検出面９で反射されたレーザ光１６，１７は
再び１／４波長板７，８を通過し、偏向ビームスグリツ
タ５．６により反射され、さらに集光レンズ１０．１１
で集光されて、２分割光検出センサ１２゜１３に到達す
る。
第２図において、被検出面９が、９′ のように傾いた
場合、被検出面９′ で反射されたレーザ光１６は、光
路１６′を通り９″のように傾いた場合は、光路１６″
を通り、光検出センサ１２に到達した光スポットの位置
はＡ 、 Ａ’ のように移動する。また、同様に被傾
き検出面９が９１，９１１のように傾くと、レーザ光１
７の光スポットは、それぞれＢ、Ｈのように移動する。
場合、被検出面９′ で反射されたレーザ光１６は、光
路１６′を通り９″のように傾いた場合は、光路１６″
を通り、光検出センサ１２に到達した光スポットの位置
はＡ 、 Ａ’ のように移動する。また、同様に被傾
き検出面９が９１，９１１のように傾くと、レーザ光１
７の光スポットは、それぞれＢ、Ｈのように移動する。
ここで、光検出センサ１２，１３からの出力をそれぞれ
差動増幅器１４．１５を通して、それぞれ差動出力１８
、１９として取り出し、該差動出力１８．１９を平均
する事により、被傾き検出面９の微少な範囲の２点間の
傾きを、測定する事ができ、例えば、これを光学式情報
記録装置等に適用すると、光学ヘッドに対する光ディス
クの傾き等を瞬時に検出する事ができ、光学ヘッドにと
って大きな問題である光軸の傾きを知る事ができるから
、光軸の傾きに応じて光ヘツド全体を傾ける等、対処す
る事ができる。なお、本実施例においては光検出センサ
として、２分割センサを用いているが、２分割センサの
代わりに、２分割以上のセンサを用いても全く同様に適
用する事ができる。
差動増幅器１４．１５を通して、それぞれ差動出力１８
、１９として取り出し、該差動出力１８．１９を平均
する事により、被傾き検出面９の微少な範囲の２点間の
傾きを、測定する事ができ、例えば、これを光学式情報
記録装置等に適用すると、光学ヘッドに対する光ディス
クの傾き等を瞬時に検出する事ができ、光学ヘッドにと
って大きな問題である光軸の傾きを知る事ができるから
、光軸の傾きに応じて光ヘツド全体を傾ける等、対処す
る事ができる。なお、本実施例においては光検出センサ
として、２分割センサを用いているが、２分割センサの
代わりに、２分割以上のセンサを用いても全く同様に適
用する事ができる。
以上説明したように、未発明は高速で回転、又は移動す
る物体でも、その微少な範囲の２点間の傾きを非接触で
、しかも瞬時に測定することができる。
る物体でも、その微少な範囲の２点間の傾きを非接触で
、しかも瞬時に測定することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明の動作原理を示す図である。 １・・・・・・レーザ、２・・・・・・コリメートレン
ズ、３・・・・Ｉ・ハーフミラ−１４・・・・・・ミラ
ー、５，６・・−・・・偏光ビームスプリッタ、７．８
・・・・・−１／４波長板、９・・・・・・被傾き検出
面、１０．１１・・・・・・集光レンズ、１２゜１３・
・・・・・光検出センサ、１４，１５・・・・・・差動
増幅器、１６．１７°°°°°゛レーザ光、１６’ 、
１６″、１７’ 、１７”矛 ／Ｉ！１
明の動作原理を示す図である。 １・・・・・・レーザ、２・・・・・・コリメートレン
ズ、３・・・・Ｉ・ハーフミラ−１４・・・・・・ミラ
ー、５，６・・−・・・偏光ビームスプリッタ、７．８
・・・・・−１／４波長板、９・・・・・・被傾き検出
面、１０．１１・・・・・・集光レンズ、１２゜１３・
・・・・・光検出センサ、１４，１５・・・・・・差動
増幅器、１６．１７°°°°°゛レーザ光、１６’ 、
１６″、１７’ 、１７”矛 ／Ｉ！１
Claims (1)
- レーザから出射されたレーザ光の光軸上に配置されたコ
リメートレンズと、前記レーザ光を少なくとも２分割す
るハーフミラーと、前記ハーフミラーによって分割され
たそれぞれのレーザ光の光軸上に配置された偏光ビーム
スプリッタ、１／４波長板、および被検面と、前記被検
面および前記偏光ビームスプリッタによって反射された
それぞれの反射光の光軸上に配置された集光レンズと、
前記集光レンズによって集光されたレーザ光の焦点付近
に配置された少なくとも２分割の光検出センサとを有す
ることを特徴とする光学式傾き検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9363586A JPS62249004A (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 光学式傾き検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9363586A JPS62249004A (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 光学式傾き検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62249004A true JPS62249004A (ja) | 1987-10-30 |
Family
ID=14087799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9363586A Pending JPS62249004A (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 光学式傾き検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62249004A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489562B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2005-05-16 | 학교법인 포항공과대학교 | 광 조형 장치의 초점 거리 측정 장치 |
-
1986
- 1986-04-22 JP JP9363586A patent/JPS62249004A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489562B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2005-05-16 | 학교법인 포항공과대학교 | 광 조형 장치의 초점 거리 측정 장치 |
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