JPH01234313A - 高純度二酸化炭素の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、二酸化炭素（ＣＯ２）と窒素（Ｎ２）とを
含む混合ガスから圧力スイング吸着（以下単にＰＳＡと
いう。）法を用いて高純度のＣＯ２を製造する方法に関
するものである。

〔従来の技術〕

従来、ＰＳＡ法により高純度のＣＯ２を製造する方法と
しては、一般にゼオライｈ、活性炭もしくは活性アルミ
ナなどの吸着剤が充填された２へ・４つの吸着塔を用い
て吸着工程と脱着工程との間に製品ガスの一部によって
吸着塔内のＣＯ２以外の成分をパージする洗浄工程を有
するものが知られている（例えばセミナー「分離技術に
おける橢能性材料の開発と応用」テキスト第３５頁参照
、１９８７年９月１８日開催、化学工学協会関西支部主
催）。

上記従来の方法を第９図および第１０図に基いて３つの
吸着塔１１．１２．１３を用いた３塔弐ＰＳＡ装置によ
る場合について説明する。例えば熱風炉ガスなどの製鉄
所謂生ガスを原料ガスとして原料ガス供給管路２および
バルブ２１を通して前工程の脱着工程が終って減圧状態
どなった第１吸着塔１１に原料がスブロワ２０によって
供給し、この原料ガスによって第１吸着Ｊ５１１内が大
気圧もしくは大気圧よりやや高い圧力となるまで昇圧す
るとともに原料ガス中のＣＯ２成分を吸着剤に選択的に
吸着させ、残りのガスをバルブ３１を介して排ガス排出
管路３によって排出する（昇圧、吸着工程）。

上記バルブ２１を閉じることにより昇任、吸着工程が終
了し、つぎにバルブ５１を開は洗浄用ガスブロワ５０を
作動することにより製品ガスタンク４内の製品ガスの一
部が洗浄用ガスとして洗浄用ガス供給管路５を通して吸
着塔１１に供給される。この洗浄用ガスのＣＯ２成分に
よって吸着剤に吸着されているＣＯ２以外の成分が大気
圧下もしくは大気圧よりやや高い圧力下で置換脱着され
るとともに、吸着塔１１の空隙内のＣＯ２以外の成分が
パージされ、これらの洗浄排ガスが排ガス排出管路３に
よってバルブ３１を通して排出される（洗浄工程）。

洗浄用ガス供給管路５のバルブ５１と、排ガスＩＪ１出
管路３のバルブ３１とを閉じ、ｐｌＡ着ガス回収管路６
のバルブ６１を聞けることにより、吸着塔１１内は真空
ポンプ６０によって減圧（例えば５０　ＴｏｒｒＰｉ！
　Ｉｆｆ　）され、吸着剤から減圧脱着されたＣＯ２を
含む脱着ガスが製品ガスタンクに蓄えられる（脱着工程
）。

上記昇圧、吸着、洗浄および脱着の各工程が３つの吸着
塔１１．１２．１３で互いにずらせて運転され、製品ガ
スタンク４に脱着ガスが連続して回収されるようにして
いる。

また上記従来の製造方法における吸着剤として活性炭を
使用したものも知られている（特開昭６１−１５７３２
２号公報審照）。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来のＣＯ２の製造方法においては、吸着工程終了
時に吸着塔内の空隙部に残留したり、吸着剤に共吸着し
たりしているＣＯ２以外の不要成分（例えばＮ２など）
を除くために、洗浄工程において比較的多量（例えば脱
着ガスの８０％程度）の洗浄用ガスを必要どしている。

特に高純度ＣＯ２（例えば純ＩＩ［９８％以上のＣ０２
）を得るには上記洗浄工程を十分に行う必要がある。こ
のため洗浄工程における動力費が比較的大きいしのとな
り、コスト増の要因ともなっている。

また上記洗浄用ガスが製品ガスタンクから洗浄用がスブ
ロア−を介して吸着塔に送給される際に、ブロアのシー
ル機構が十分でないと１記洗浄用ガスに外気が侵入し、
ＣＯ２純度が低下することになる。

この発明は、このような従来の問題を解決するためにな
されたものであり、洗浄用ガスの使用量を極力低減させ
てＣＯ２製造に伴う動力費の低減化を図ることができ、
しかも回収されるＣＯ２の純度や回収率を従来方法と同
程瞭の水準に維持することができる高純度ＣＯ２の製造
方法を提供することを目的としている。

（課題を解決するだめの手段） 上記目的を達成するために、この発明の高純度ＣＯ２の
製造方法では昇圧、吸着工程と、洗浄工程と、脱着工程
とを有し、二酸化＃：Ａ索を選択的に吸着する吸着剤が
充填された圧力スイング吸着塔を用いて、上記工程を繰
返すことにより二酸化炭素と窒素とを含む原料ガスから
高純度二酸化炭素を分離回収する高純度二酸化炭素の製
造方法において、上記吸着剤として活性炭からなるもの
を用い、上記吸着工程を大気圧もしくは大気圧より高い
圧力の下で行なった後、洗浄工程を大気圧より低い圧力
の下で行い、脱着工程を洗浄工程よりも低い圧力の下で
行うように構成した。

〔作用〕

上記構成によれば、吸着剤の活性炭は、吸着塔内の圧力
が大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）より低い方が大気圧以上よ
りもＮ２の吸着量に対するＣｏ２の吸着量の比（吸着量
比：ＣＯ２吸着量／Ｎ２吸着陽）が高いという吸着特性
を有することから、洗浄工程を大気圧より低い圧力下で
行うことにより共吸着したＮ２のＣＯ２による置換が従
来方法における大気圧下もしくは大気圧より高い圧力下
で行う場合よりも容易に行われ、またＣＯ２の吸着量自
体も少なくなるので、従来方法と同程度の製品ガス純度
および回収率を維持するために必要な洗浄用ガスＭを低
減することができる。

〔実施例〕

第１図にはこの発明の高純度ＣＯ２の製造方法を３つの
°吸着塔１１，１２．１３によって実施するだめの３塔
式のＰＳＡ装置が示されている。

第１図において、吸着剤として活性炭が充填された３つ
の吸１７５１１．１２．１３の入口には、バルブ２１．
２２．２３を介して原料ガス供給管路２の下流端、バル
ブ５１．５２．５３を介して洗浄用ガスブロア５０が介
装された洗浄ｌ用ガス排出管路５ｂの上流端、またバル
ブ６１．６２．６３を介して脱着ガス回収管路６の上流
端がそれぞれ接続されている。上記原料ガス供給管路２
の上流側には原料ガスブロア２０が設けられ、脱着ガス
回収管路６は真空ポンプ６０を介して製品ガスタンク４
と接続されている。

一ト記吸看１？１ｉ１１．１２．１３の出口には、バル
ブ３１．３２．３３を介して排ガス排出管路３の上流端
、またバルブ５４．５５．５６を介して洗浄用ガス供給
管路５ａの下流端がそれぞれ接続され、この洗浄用ガス
供給管路５ａの上流端は製品ガスタンク４と接続されて
いる。

上記ＰＳＡ装置を用いた高純度ＣＯ２の製造方法につい
て、第１図および第２図に基いて第１吸着塔１１を中心
にＩＡ着工程が終了して吸着塔１１内が減圧状態になっ
ている段階から説明する。

まず、熱風炉ガスなどのＣＯ２とＮ２とから主要構成さ
れる混合ガス（例えばＣＯ２が１８％、Ｎ２が８１％、
０２が１％の混合ガス）を原料ガスとして原料ガスブロ
ア２０によって原料ガス供給管路２のパル１２１を通し
て第１吸＠塔１１に供給する。この原料ガスによって第
１吸着塔１１内を大気圧よりやや高い圧力（例えば大気
圧より＾＜０．２８ｇ／ｃｉＧ以下の圧力）に昇圧した
後、１ｊ１ガス排出管路３のバルブ３１を開くとともに
原料ガスを引続いて供給する（昇任、吸着工程）。

これによって原料ガス中の易吸着成分であるＣ０２が活
性炭に吸着され、難吸着成分であるＮ２などが排ガス排
出管路３を通して排出される。なお第１吸着塔１１で冒
圧、吸着工程が行なわれている閂、第２吸着塔１２では
脱着工程、第３吸着１？５１３では洗浄工程がそれぞれ
行なわれている。

原料ガス供給管路２のバルブ２１と、撲ガス排出管路３
のバルブ３１とを閉じることにより昇圧、吸着工程が終
了し、洗浄用ガス供給管路５ａのバルブ５４と、洗浄排
ガス排出管路５ｂのバルブ５１とを開くことにより、第
１吸着塔１１は洗浄工程に入る。この洗浄工程では、洗
浄排ガス排出管路５ｂの洗浄用ガスブロワ５０によって
吸着塔１１内が大気圧より低い圧力（例えば−０，１Ｋ
ｇ／ｃＩＩＧ）に減圧されるとともに、その圧力下で洗
浄用ガスとして製品ガスタンク４の製品ガスが洗浄用ガ
ス供給管路５ａを通して吸着塔１１に導入される。

この洗浄工程において、吸着塔１１では上記洗浄用ガス
のＣＯ２によって活性炭に共吸着されているＮ２などの
不要成分が置換脱着されるとともに、吸着塔１１内の空
隙に残留している不要成分が洗浄排ガス排出管路５ｂを
通してパージされて上記空隙は上記洗浄用ガスによって
満たされる。

上記活性炭は、第３図に示すように大気圧（７５Ｑ　Ｔ
ｏｒｒ）より低い範囲では大気圧以上の範囲よりＮ２吸
肴猷に対するＣＯ２の吸ＩＩ比（ＣＯ２吸着ｍ／Ｎ２吸
着小）が高いという吸着特性を有する。このため上記洗
浄工程を大気圧（７６０Ｔ。

ｒｒ）より低い圧力で行うことにより、活性炭に共吸着
したＮ２のＣＯ２による置換脱着を大気圧以上で行う場
合よりも容易に行うことができ、しかもＣＯ２Ｏ２吸着
体自体力が大気圧以上である場合よりも少なくなるため
に、従来のＩ過方法と同程度のＣＯ２ｔＫＡ度の製品ガ
スを同程度の回収率で回収するのに必要な洗浄用ガス量
を低減することができる。

さらに上記洗浄工程における＠着塔１１の下流側である
洗浄排ガス排出管路５ｂに洗浄用ガスブロワ５０を配置
し、この洗浄用ガスブロワ５０によって洗）ｐ用ガスを
大気圧よりも低い圧力下で吸着塔１１に導入するように
しているために、上記ブロワ５０において多少の外気の
漏洩が発生しても吸着塔１１内の洗浄用ガスのＣＯ２純
度を下げることはない。したがって上記洗浄用ガスブロ
ワ５０としてシール灘横が比較的簡易なブロワを採用す
ることができ、これによりＰＳ△装置の動力設怖の簡易
化やコストの低減化を図ることができる。

なお上記吸着量比は、第３図に示すように洗浄圧力を低
くすればする程大きくなり、これに対応して洗浄用ガス
量を減らすことができるが、その一方で上記洗浄圧力を
あまり低くすると、これに対応して高い能力の洗浄用ガ
スブロワが必要となる。このため上記洗浄圧力値は大気
圧より低い範囲であって、ＰＳＡ装置に設けられている
洗浄用ガスブロワの性能に応じてその動力経済性を考慮
して決定すればよい。

また第１吸着塔１１が洗浄工程にある時、第２吸着塔１
２は昇圧、吸着工程、第３吸着塔１３は脱着工程がそれ
ぞれ行なわれている。

洗浄用ガス供給管路５ａおよび洗浄排ガス排出管路５ｂ
のバルブ５１．５４を閉じることにより第１吸着塔１１
は洗浄工程が終了し、脱着ガス回収管路６のバルブ６１
を聞くことにより第１吸着塔１１は脱着工程に入る。こ
の脱着工程では、真空ポンプ６０によって第１吸着塔１
１内が洗浄工程に、１５ける圧力よりも減圧（例えば８
０　Ｔ　ｏｒｒ程度）され、これにより活性炭に吸着さ
れたＣＯ２が脱着し、脱着したＣＯ２を含む脱着ガスが
脱着ガス回収管路６を通して製品ガスタンク４に回収さ
れる。第１吸着塔１１が脱着工程にある時、第２吸着塔
１２は洗浄工程、第３吸谷塔１３は昇圧、吸着工程が行
なわれている。

なお上記脱着圧力は、洗浄圧力より低い範囲で、供給す
る原料ガスのＣＯ２ｍ疫が高い程、高くしてもよく、こ
れによって真空ポンプ６０の動力費の低減化を図ること
ができる。

上記昇圧、吸着工程、洗浄工程および脱着工程によって
第１吸着塔１１は１サイクルが終了し、再び昇圧、吸着
工程に戻り順次繰返される。なお、上記各工程は３つの
吸着塔で互いにずらせて設定され、これら３つの吸着塔
によって製品ガスタンク４にはＩＢ２着ガスが連続して
回収されるようにしている。製品ガスタンク４に蓄えら
れたＣＯ２の製品ガスは、例えばアーク溶接用のシール
ガスとして、また製鉄所内の雰囲気ガスとして取出され
て使用される。

第４図には２塔式の場合のＰＳＡ５Ａｉｌの構成例、第
５図には上記２塔式のＰＳＡ装置を用いた場合の運転方
法が示されている。この２塔式のＰＳＡ装置では、第１
図に示す３塔式のＰＳＡ装置における洗浄用ガスブロワ
５０を省略して、この洗浄用ガスブロワの役割を原料ガ
スブロワ２０が兼用するように構成している。

すなわち吸着塔１１．１２の入口と原料ガスブロワ２０
の上流側とを洗浄排ガス排出管路５ｃによって接続し、
上記原料がスブロワ２０の下流側の原料ガス供給管路２
から洗浄排ガス排出管路５ｄを分岐させ、吸着塔１１．
１２からの洗浄溝ガスが洗浄排ガス排出管路５ｃ、原料
ガスブロワ２０、原料ガス供給管路２および洗浄排ガス
排出管路５ｄを通って排出されるように構成している。

そして原料ガス供給管路２の洗浄排ガス排出管路５Ｃと
の接続箇所より上流側に設けたバルブ１８と、原料ガス
供給管路５ｄに設けたバルブ１９とのＩＦｉｌｒｌｌ操
作によって、洗浄工程と昇圧、吸容工程との切換えが行
われるようにしている。

上記２塔式のＰＳＡ装置による製造方法では、昇圧、吸
着工程と、洗浄工程と、脱着工程とから１サイクルが構
成され、基本的には第１図に示り。

３塔式の場合と同じであるが、第５図に示すように第１
吸着塔１１で昇圧、吸着工程と洗浄工程とを行なってい
る間に、第２吸着塔１２では脱着工程が連続して行われ
、第１吸着塔１１で脱着工程を行っている間に、第２吸
着塔では昇圧、吸着工程と洗浄工程とが行われるように
構成している。

したがって原料ガスブロワ２０および真空ポンプ６０の
作動に伴い、製品ガスタンク４への脱着ガスの回収は連
続して行なわれるが、原料ガスの供給はバルブ１Ｂによ
って間欠的に行われるように運転される。

なおこの発明の製造方法は、原料ガスとしてＣ０２とＮ
２とを含む混合ガスに適用することができるが、ＣＯ２
とＮ２とによって組成の大部分（例えば９８％以上）が
占められる混合ガスを原料ガスとする場合に特に適して
いる。

〔試験例１〕 第２図に示す工程により第１図に示す３塔式ＰＳＡ装置
を運転するこの発明の方法（以下単に発明方法と略す）
と、第１０図に示す工程により第９図に示ず３塔式Ｐ　
Ｓ　Ａ　ｖｉＦｆを運転する従来の方法（以下単に従来
方法と略ｔ）とによって、洗浄圧力と製品ガスのＣＯ２
純度、回収率および洗浄用ガス吊との関係を調べた。な
お、上記洗浄用ガス吊は、１場当たりの単位吸着剤ｔｆ
ｉ（Ｑ）に対する１回の洗浄工程で使用する製品ガスｆ
ｉｔ（ｒｌ）によって表わした。

原料ガスとしてはＣＯ２が１８％、Ｎ２が８１％、０２
が１％の組成を有する混合ガスを用い、吸着剤として活
性炭１０Ｑを冬場に充填した。発明方法では、原料ガス
の供給圧力を０．１に９／ｃｄ０１説＠圧力を脱着工程
終了時で８Ｑ　Ｔｏｒｒ　（吸着塔内平均圧力）にそれ
ぞれ設定するとともに、洗浄圧力としては−０，１Ｋｇ
／ｃｄＧと−０，３にｇ／ｃｔＡ　Ｇとの２通りについ
て試験した。これに対して従来方法では、原料ガスの供
給圧力および洗浄圧力が共に０．１Ｋｇ／ｃｊＧ、１８
２着圧力がＩＩＲＷＩ程終了時で８０　Ｔｏｒｒ　（吸
着塔内平均圧力）となるようにそれぞれ設定した。

得られた製品ガスのＣＯ２純度と回収率との関係を第６
図、この場合に必要な洗浄用ガスωと上記製品ガスのＣ
Ｏ２純度との関係を第７図にそれぞれ示す。

試験例１によれば、第６図に示すように洗浄圧力を−０
，１に９／ｌ、ｉＧに設定した発明方法による場合（同
図の曲１！ｉ！８ａ参照）と、洗浄圧力が０゜１　Ｋｇ
　／　ｃｉ　Ｇである従来方法による場合（同図の曲線
８Ｇ参照）とにおける製品ガスのＣＯ２純度と回収率と
は互いに同等の性能を示し、上記発明方法によっても従
来方法と同程度のＣＯ２純度の製品ガスを同程度の回収
率で得ることができた。そして同程度のＣＯ２純度の製
品ガスを得るのに必要な洗浄用ガスけを、第７図に示す
ように従来方法による場合（同図の曲線９Ｃ参照）に比
べて上記発明方法による場合（同図の曲＄！＃１９ａ寺
照）では減らすことができた。

また製品ガスのＣＯ２１ｉ１＋廓と回収率との関係にお
いて、洗浄圧力を−０，３Ｋｇ／ｒｉＧに設定した発明
方法による場合（第６図の曲線８ｂ参照）は、従来方法
による場合（第６図の曲線８Ｃ参照）に比べてわずかに
劣るが、その程度はほぼ同等の水準といえる性能を示し
た。そしてこの発明方法による場合には、その洗浄用ガ
ス石を洗浄圧力が−０，１に９／ｃｄＧに設定された上
記発明方法による場合（第７図の曲線９ａ−４！照）゛
よりもさらに減らすことができた（第７図の曲線９ｂ参
照）。

なお試験例１に示した装置を用いて、洗浄圧力が大気圧
より低くなるように洗浄用ガスブロワを運転さけた場合
において、ＣＯ２＠度９８％を確保するのに必要な洗浄
用ガス参と洗浄圧力とからブロワ動力を求め、これを第
８図に示す。これは、洗浄圧力と洗浄用ガスブロワ動力
との関係を、０゜１に９　／　ｃｔＡ　Ｇの洗浄圧力で
運転する場合の洗浄用ガスブロワ動力を１とし、これに
対する比率で表わしたものである。この洗浄用ガスブロ
ワの場合では、洗浄圧力がほぼ−０，１２Ｋｔ／ｃｔｌ
Ｇを境にしてこれより低い圧力になると０．１８９／ｃ
ｄＧの洗浄圧力で運転する場合よりもブロワ動力が大き
くなる。このため上記洗浄用ガスブロワの設けられたＰ
ＳＡ装置により高純度ＣＯ２を製造する場合には、洗浄
圧力として大気圧より低く、−〇、１２８９　／　ｃａ
ｔより高い範囲の値を設定することにより、洗浄工程に
おける動力費を低減することができる。

〔試験例２〕 発明方法によりＣＯ２１１度の異なる４種類の原料ガス
について比較試験を行い、原料ガスのＣＯ２１１１度と
得られる製品ガスのＣＯ２純度との関係について調べた
。なお、この際の原料ガス供給圧力は０．１９／ｄ、洗
浄圧力は−０、１Ｋｇ　／　ｃｄ　。

脱着終了時圧力【五〇　〇　Ｔｏｒｒとなるようにそれ
ぞれ設定して試験を行った。

上記４種類の原料ガスの組成と、これらの原料ガスによ
って得られた製品ガスのＣＯ２純度およびＣＯ２の回収
率と、使用した洗浄用ガス量との試験結果を第１表に示
す。

第１表 試験例２によればＣＯ２の含有間が１８％未満の比較的
低濃度の原料ガスでは、第１表に示すように得られる製
品ガスのＣＯ２純度が９５．８％となり、高純度（ＣＯ
２１’ＴＩ度９８％以上）のＣＯ２を回収することはで
きないが、ＣＯ２の含有間が１８％以上の原料ガスを用
いれば高純度（９９゜８％）のＣＯ２を回収することが
できた。

〔試験例３〕 発明方法により１８％、２１％および２４％のＣＯ２１
１１度を有する３種類の原料ガスについてそれぞれ１１
５２着終了時の圧力を変化させて比較試験を行い、原料
ガスのＣＯ２濃度と脱着終了時の圧力との関係について
調べた。なお、この際の原料ガス供給圧力は０．１に９
／ｃｉ、洗浄圧力は−０，１に９　／　ｃｒＡどなるよ
うにそれぞれ設定して試験を行った。

上記３種類の原料ガスによって得られた製品ガスのＣＯ
２純度およびＣＯ２回収率と、使用した洗浄用ガス量と
、設定した１１＠終了時圧力領とを第２表に示す。

第２表 注）原料ガス供給圧カニ　０　、　Ｉ　Ｋ９／ａｊＧ洗
浄圧カニ　−０，’ＩＫ９／ｃｔＡＧこの試験例３によ
れば、第２表に示すようにＣ０２１１度が１８％の原料
ガスでは肌着終了時圧力を３　Ｑ　Ｔｏｒｒより低く設
定しないと、脱着ガス量が少なくなってしまい高純度Ｃ
Ｏ２を得るのに必要な洗浄用ガス量を確保することがで
きず、１２０■０「「に設定した場合にはＣＯ２純度が
８４．２％に低下し、しかも回収率も極端に低い値（６
，５％）となった。

ＣＯｚ　１１度が２１％の原料ガスでは肌着終了時圧力
を１Ｑ　Ｑ　Ｔｏｒｒより低く設定しないと、上記Ｃ０
２１１度が１８％の原料ガスの場合と同様に高純度ＣＯ
２を得ることはできなかった。

同様にＣＯ２濃度が２１％の原料ガスでは、高純度ＣＯ
２を得るのにＩＢ２着終了時圧力を１２０１Ｏ「ｒより
低く設定する必要があった。

したがって原料ガスのＣＯ２８１度が１８％以上２１％
未満である場合には１１５２＠終了時の吸着塔内平均圧
力を８Ｑ　Ｔｏｒｒ以下、原料ガスのＣＯ２濃度が２１
％以上２４％未満である場合には脱着終了時の吸着塔内
平均圧力を１００Ｔｏｒｒ以下、原料ガスのＣＯ２′ｆ
Ａ度が２４％以上である場合には脱着終了時の吸着塔内
平均圧力を１２０１Ｏｒｒ以下に設定すれば、高ｔ／ｌ
＠度ＣＯ２を得ることができる。

〔発明の効果〕

この発明の高純度ＣＯ２の製造方法によれば、吸着剤の
活性炭は吸着塔内の圧力が大気圧より小さくなるほどＣ
Ｏ２以外の成分（例えばＮ２）に対するＣＯ２の吸＠け
比（ＣＯ２／Ｎ２　）は高くなるという吸着特性を有す
ることから、洗浄工程を大気圧より低い圧力下で行うこ
とにより共吸着したＮ２のＣＯ２による置換脱着は従来
方法におりる大気圧下もしくは大気圧より大きい圧力下
で行う場合よりも容易に行われ、またＣＯ２の吸着量自
体も少なくなる。したがって、製品ガスのＣＯ２純度や
ＣＯ２の回収率を従来方法と同じ程度に維持したまま、
洗浄工程で使用する洗浄用ガスの量を低減することがで
き、これによって高純度Ｃ０２の製造に伴う動力費を低
減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明を実施するためのＰＳＡ装置　　　−
例を示す説明図、第２図は第１図のＰＳＡ装置を用いた
工程説明図、第３図は吸着剤である活性炭のＣＯ２、Ｎ
２についての圧力と吸＠量、吸１ｌｆｆｉ比率との関係
図、第４図は２塔式のＰＳＡ装置例を示す説明図、第５
図は第４図のＰＳＡ装置を用いた場合の工程説明図、第
６図は製品ガスのＣ０２純度と回収率との関係図、第７
図は第６図におけるＣＯ２純度と洗浄用ガスかとの関係
図、第８図は洗浄圧力と洗浄用がスブ０ワ動力との１例
を示す関係図、第９図は従来の方法を説明するためのＰ
ＳＡ装置例の説明図、第１０図は従来の方法を示す工！
！ｉ！説明図である。 ２・・・原料ガス供給管路、３・・・排ガス排出管路、
４・・・製品ガスタンク、５ａ・・・洗浄用ガス供給管
路、５ｂ・・・洗浄排ガス排出管路、６・・・脱着ガス
回収管路、ｌ’ｌ、１２．１３・・・圧力スイング吸着
塔、５０・・・洗浄用ガスブロワ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、昇圧、吸着工程と、洗浄工程と、脱着工程とを有し
   、二酸化炭素を選択的に吸着する吸着剤が充填された圧
   力スイング吸着塔を用いて、上記工程を繰返すことによ
   り二酸化炭素と窒素とを含む原料ガスから高純度二酸化
   炭素を分離回収する高純度二酸化炭素の製造方法におい
   て、上記吸着剤として活性炭からなるものを用い、上記
   吸着工程を大気圧もしくは大気圧より高い圧力の下で行
   なった後、洗浄工程を大気圧より低い圧力の下で行い、
   脱着工程を洗浄工程よりも低い圧力の下で行うことを特
   徴とする高純度二酸化炭素の製造方法。