JPH01228530A - 真空装置の結合方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 複数の真空装置間の結合方法に関し、 結合の容易化による生産性の向上を目的とし、複数の真
空装置に真空を破ることなく順次試料を搬送する真空搬
送トンネルであって、搬送レールを内在し且つ各端面に
真空フランジが形成された直線搬送トンネル、Ｌ字搬送
トンネル、１字搬送トンネル、十字搬送トンネル、上下
搬送トンネルのそれぞれをユニットとして形成し、所要
真空装置の配置に合わせて上記ユニット複数個を選択組
み合わせて構成する。

Ｃ産業上の利用分野〕 本発明は複数の真空装置間の結合方法に係り、特に真空
搬送トンネルを搬送機能形態別にユニット化することに
よって結合の容易化を図った真空装置の結合方法に関す
る。

〔従来の技術〕

第２図は従来の真空装置の結合方法を例示した概念図で
あり、（Ａ）は廊下方式と呼ばれる方法をまた（Ｂ）は
サテライト方式と呼ばれる方法を示したものである。

図（Ａ）で、例えば１は分子線結晶成長装置、２は蒸着
装置、３はスパンタリング装置、４はエツチング装置の
如く作業内容の異なる真空装置を示し、上記各真空装置
は真空搬送トンネル５および該真空搬送トンネル５から
上記の各真空装置に対応して分岐する補助真空搬送トン
ネル１°、２“。

３°、４°によって密封を保って連結されている。

また上記真空搬送トンネル５および補助真空搬送トンネ
ル１’、２°　３＋、４１の内部には、半導体ウェハ基
板等の試料６が載置される搬送トロッコ７が図示されて
いないチエイン等によって自在に滑動できるレール台８
および８１が同一面をなすように装着されており、真空
搬送トンネル５と各補助真空搬送トンネル１′、２“　
３′、４？との分岐点部分には、真空回転導入機９を介
して該真空搬送トンネル５の外部に設けられたハンドリ
ング装置１０の操作で上記レール台８と同一面内で水平
方向に回転するターンテーブル１１が装着されている。

なお１２は各分岐点のターンテーブル１１の近傍を外部
から観察する観察窓である。

ここで試料６を真空搬送トンネル５の挿入口５ａ部分で
レール台８上の搬送トロッコ７に載置するが、この状態
で該搬送トロッコ７は図示されていないチエイン等で図
示Ａの方向に移動するように構成されている。

そこで所要の真空装置に対応する観察窓１２で見られる
ターンテーブル１１に上記搬送トロッコ７が到達した時
点でＡ方向の移動を停止させた後、ハンドリング装置１
０を操作して９０度方向転換しそのまま該搬送トロッコ
７を補助真空搬送トンネル内のレール台８°上を滑らせ
て所要真空装置の所定位置まで該搬送トロッコ７を移動
させている。

円内拡大図はターンテーブル１１部分の平面図であり、
ターンテーブル１１はメインの真空搬送トンネル５すな
わちレール台８と同方向になっている場合を示している
。

所要作業終了後は、ハンドリング装置１０を操作して該
搬送トロッコ７をメインの真空搬送トンネル５のターン
テーブル１１まで引き戻し再度方向転換させて次工程の
所要真空装置に移動させる。

以下同様の操作を繰り返して所要の複数工程の真空作業
を継続させている。

図（Ｂ）では、メインの真空搬送トンネル５に各真空装
置１，２，３．４に連結する補助真空搬送トンネル１　
’　、２　’　、３　’　、４°を放射状に配設したも
ので、試料が搭載された搬送トロッコをメインの真空搬
送トンネル５から補助真空搬送トンネルを経由して真空
装置に送り込む内部構造は図（八）の場合と同様である
。

従って、図（Ａ）同様に試料６が載置された搬送トロッ
コ７を、真空搬送トンネル５の挿入口５ａ部分から挿入
し該真空搬送トンネル５の中央部に設置したテーブル１
１“上に到達した時点で、ハンドリング装置１０゛を操
作して所要真空装置に送り込むように構成している。

なお、真空搬送トンネル５の頭部に観察窓１２が設けら
れていることは図（八）と同様である。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の構成になる真空装置の結合方法では、廊下方式に
よる配列構成では主となる真空搬送トンネルに沿って各
種真空装置を配設しているためラインの全長が長くなる
と共に新しい真空装置を追加する場合にはライン全体の
構成を変更しなければならないと云う問題があり、また
サテライト方式による構成ではサテライトターミナルと
なる真空搬送トンネルに結合できる真空装置の台数が少
なく且つ限定されるために拡張性に乏しいと云う問題が
あった。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点は、複数の真空装置に真空を破ることなく順
次試料を搬送する真空搬送トンネルであって・ 搬送レールを内在し且つ各端面に真空フランジが形成さ
れた直線搬送トンネル、Ｌ字搬送トンネル、Ｔ字搬送ト
ンネル、十字搬送トンネル、上下搬送トンネルのそれぞ
れをユニットとして形成し、所要真空装置の配置に合わ
せて上記ユニット複数個を選択組み合わせる真空装置の
結合方法によって解決される。

〔作　用〕

複数の所要真空装置間が自由に結合できると共に真空装
置の新増設に容易に対応させるには、メインとなる真空
搬送トンネルからの分岐が容易で且つ該分岐点から如何
なる方向へでも伸ばし得る搬送トンネルユニットを複数
個組み合わせればよい。

本発明では、搬送レールを内設し且つ各端面に真空フラ
ンジを有する直線搬送トンネル、Ｌ字搬送トンネル、Ｔ
字搬送トンネル、十字搬送トンネル、上下搬送トンネル
を独立したユニー／　トとして形成している。

従ってメインとなる真空搬送トンネルに上記各ユニット
を選択して連結することによって、複数の所要真空装置
の配置に合致し且つ真空装置の新増設にも容易に対応で
きる真空系の構築を可能としている。

〔実施例〕

第１図は本発明になる真空装置の結合方法による実施例
を示した図であり、（八）は全体の構成例をまた（Ｂ）
は真空搬送トンネル内の構造例を示す概念図で（イ）は
直線搬送トンネルユニット（ロ）は十字搬送トンネルユ
ニット、（ハ）は上下真空搬送トンネルユニットを示し
たものである。

例えば３台の真空装置を結合した場 合を示す第１図（Ａ）で、１５は分子線結晶成長装置。

１６は蒸着装置、１７はスパッタリング装置の如く作業
内容の異なる真空装置である。またメインとなる真空搬
送トンネル１８は、密閉開閉式の導入窓１９ａを備えた
導入室ユニット１９と真空を保って連結している。

図の如き構成の場合には、該真空搬送トンネル１８と分
子線結晶成長装置１５とは十字真空搬送トンネルユニソ
ｌ−２０および直線真空搬送トンネルユニット２１を経
て連結され、蒸着装置１６は十字真空搬送トンネルユニ
ット２０１丁字真空搬送トンネルユニット２２および５
字真空搬送トンネルユニット２３を経由して連結され、
またスパッタリング装置１７とは十字真空搬送トンネル
ユニット２０．丁字真空搬送ト・ンネルユニット２２お
よび上下真空搬送トンネルユニット２４を経由して連結
している。

なお、上記の各真空装置とユニット間および各ユニット
相互間は、それぞれが有する真空フランジによって真空
を保って連結されている。

第１図（Ｂ）で、（イ）は基本となる直線搬送トンネル
ユニット２１の内部構造例を示し７た図であり、ステン
レス等よりなり両端に真空フランジ２５ａが形成された
パイプ状の筐体２５の内部には、逆Ｔ字形の凸部２６ａ
を備えたレール２６が内設されている。

また半導体ウェハ等の試料２７を搭載し搬送するだめの
搬送トロッコ２８は上記レール２６の凸部２６ａをガイ
ドとして図示Ｂ方向に自在に移動できる磁気浮上式であ
って磁気によってレール２６とは非接触に支持されるよ
うに構成されている。

なお該搬送トロッコ２８のＢ方向の駆動は、図示されて
いないリニアモータ等を用いて行っている。

一方上記の各真空搬送トンネルユニットの内部の分岐点
あるいは弯曲点部分には、例えば十字真空搬送トンネル
ユニット２０の内部を示す図（ロ）。

上下真空搬送Ｉ・ンネルユニット２４の内部を示す図（
ハ）の如く、上記レール２６と同一形状の凸部２６ａを
有し且つ該レール２６と同一面内で図示Ｃの如く水平方
向に軸回転するテーブル２９あるいは図示りの方向に所
定距離だけ上下動できるテーブル２９１が設けられてい
るが、この回転および上下動の駆動力は第２図の場合と
同様に真空回転導入機等を介して大気側から真空を破る
ことなく伝達されるように構成している。

なお、丁字真空搬送トンネルユニット２２および５字真
空搬送トンネルユニット２３の各分岐弯曲部分にも、図
（ロ）で示した十字真空搬送トンネルユニット２０の場
合と全く同様のテーブル２８を装着している。

かかる構成になる真空装置の連結方法では、密閉開閉式
の導入窓１９ａから搬送トロッコ２７と共に該真空系に
導入された試料２７は、図示されていないリニアモータ
等の動作によって導入室ユニソト１９から真空搬送トン
ネル１８を８１方向に移動して十字真空搬送トンネルユ
ニット２０の分岐点にあるテーブル２９上に到達する。

ここで該試料２７が分子線結晶成長作業を必要とする場
合は、搬送トロッコ２８はテーブル２９で９０度方向転
換されてＢ１　“となりそのまま直線真空搬送トンネル
ユニット２１を経て分子線結晶成長装置１５に送り込ま
れて所要の作業が実施される。また該作業が不必要な場
合にはテーブル２９の方向転換が行われずそのまま素通
りしてＢ、ＩＴとなって丁字真空搬送トンネルユニット
２２に内設されているテーブル２９上に移動する。

ここで該試料２７の所要の作業内容によって例えば蒸着
作業が必要な場合には図面上で右回転してＢ２　　’と
なりＬ字真空搬送トンネルユニット２３を経由して蒸着
装置１６に送り込まれ、またスパッタリング作業を要す
るときには左回転してＢ３　’となり上下真空搬送トン
ネルユニット２４で高さ方向に移動してＢａ　　”とな
ってそのままスパッタリング装置１７に送り込まれるよ
うになっている。

なお図では分子線結晶成長装置１５に分岐する部分に十
字真空搬送トンネルユニソ）２０を用いているために、
該分子線結晶成長装置１５の反対側（図面左側）に４台
目の真空装置の結合が可能であることを示している。

〔発明の効果〕

上述の如く本発明を実施することにより、周囲の保守ス
ペースを確保しながら配置される複数の真空装置間を自
由に連結できると共に、真空装置の新増設にも容易に対
処できる真空装置の連結方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる真空装置の結合方法による実施例
を示した図、 第２図は従来の真空装置の結合方法を例示した概念図、 である。図において、 １５は分子線結晶成長装置、１６は蒸着装置。 １７はスパッタリング装置、 １８は真空搬送トンネル、　１９は導入室ユニット１９
ａは導入窓、 ２０は十字真空搬送トンネルユニット、２１は直線真空
搬送トンネルユニット、２２は丁字真空搬送トンネルユ
ニット、２３はＬ字真空搬送トンネルユニット、２４は
上下真空搬送トンネルユニット、２５は筐体、　　　　
　２５ａは真空フランジ、２６はレール、　　　　２６
ａは凸部、２７は試料、　　　　　２８は搬送トロッコ
、２９．２９　　’はテーブル、 をそれぞれ表わす。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　複数の真空装置に真空を破ることなく順次試料を搬送
   する真空搬送トンネルであって、 搬送レール（２６）を内在し且つ各端面に真空フランジ
   （２５ａ）が形成された直線搬送トンネル（２１）、Ｌ
   字搬送トンネル（２３）、Ｔ字搬送トンネル（２２）、
   十字搬送トンネル（２０）、上下搬送トンネル（２４）
   のそれぞれをユニットとして形成し、所要真空装置の配
   置に合わせて上記ユニット複数個を選択組み合わせるこ
   とを特徴とする真空装置の結合方法。