JPH01219440A - エアシャワー装置 - Google Patents
エアシャワー装置Info
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- JPH01219440A JPH01219440A JP63045297A JP4529788A JPH01219440A JP H01219440 A JPH01219440 A JP H01219440A JP 63045297 A JP63045297 A JP 63045297A JP 4529788 A JP4529788 A JP 4529788A JP H01219440 A JPH01219440 A JP H01219440A
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- Japan
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、クリーンルームに通じる人口通路に据付け
てここを通過する人体、物体に向け清浄ジェット気流を
噴射して塵埃を払い落とすエアシャワー装置の構成に関
する。
てここを通過する人体、物体に向け清浄ジェット気流を
噴射して塵埃を払い落とすエアシャワー装置の構成に関
する。
まず第３図により従来におけるエアシャワー装置の構成
を示す０図において、ｌは外装、２は外装内の中央に仕
切られた人体、物体の通過する通路、３は通路２を挟ん
で外装置との間に仕切られた風胴であり、風胴３内には
送風機４．高性能フィルタ５が直接に配備されている。
を示す０図において、ｌは外装、２は外装内の中央に仕
切られた人体、物体の通過する通路、３は通路２を挟ん
で外装置との間に仕切られた風胴であり、風胴３内には
送風機４．高性能フィルタ５が直接に配備されている。
また通路２と風胴３との間は通路隔壁６．およびジェッ
ト噴射ロアを装備のカバー８で仕切られ、かつ通路隔壁
６の床面に近い側にはプレフィルタ付きのリターン空気
吸込口９が開口している。一方、風胴３内には上下扉！
！１０．１１および中仕切隔壁１２により一次室３ａと
二次室３ｂが仕切られており、ここで送風機４は吐出口
を一次室３ａへ臨む隔壁１１に開口させて前記した空気
吸込口９の背後に設置されている。
ト噴射ロアを装備のカバー８で仕切られ、かつ通路隔壁
６の床面に近い側にはプレフィルタ付きのリターン空気
吸込口９が開口している。一方、風胴３内には上下扉！
！１０．１１および中仕切隔壁１２により一次室３ａと
二次室３ｂが仕切られており、ここで送風機４は吐出口
を一次室３ａへ臨む隔壁１１に開口させて前記した空気
吸込口９の背後に設置されている。
また高性能フィルタ５は一次室３ａと二次室３ｂとの間
を仕切る中仕切隔壁１２の開口部へ縦姿勢で取付けであ
る。
を仕切る中仕切隔壁１２の開口部へ縦姿勢で取付けであ
る。
かかる構成で送風機４を運転することにより、通路２が
ら空気吸込口９を通じて吸い込んだリターン空気流は送
風機４により昇圧されて一次室３ａに吐出し、さらに高
性能フィルタ５を透過して清浄化された後に、二次室３
ｂよりカバー８に開口するジェット気流噴射ロアを通じ
て通６２へ噴射し、ここを通過する人体、物体の表面に
付着している塵埃を払い落とす、また通路２に噴出した
空気流はリターン空気吸込口９より吸い込まれて再び送
風機４に戻るように循環通風される。
ら空気吸込口９を通じて吸い込んだリターン空気流は送
風機４により昇圧されて一次室３ａに吐出し、さらに高
性能フィルタ５を透過して清浄化された後に、二次室３
ｂよりカバー８に開口するジェット気流噴射ロアを通じ
て通６２へ噴射し、ここを通過する人体、物体の表面に
付着している塵埃を払い落とす、また通路２に噴出した
空気流はリターン空気吸込口９より吸い込まれて再び送
風機４に戻るように循環通風される。
ところで上記した従来のエアシャワー装置の構成では構
造、保守面で次記のような問題点が残る。
造、保守面で次記のような問題点が残る。
すなわちエアシャワー装置はクリーンルームとその前室
との境界に設置されるものであり、エアシャワー装置の
内部に発生した塵埃を含む空気が外装より漏出してクリ
ーンルームへ侵入することがあってはならない、このた
めにエアシャワー装置の現地据付けの施工に当たっては
、外装の継目。
との境界に設置されるものであり、エアシャワー装置の
内部に発生した塵埃を含む空気が外装より漏出してクリ
ーンルームへ侵入することがあってはならない、このた
めにエアシャワー装置の現地据付けの施工に当たっては
、外装の継目。
および外装板と風胴内の隔壁との間の結合部にシールを
施して十分な気密性を確保するようにしている。この場
合に特に気密性を要求される箇所は、第３図の風１ｉ１
３内で高性能フィルタ５の前段に画成された一次室３ａ
である。すなわち高性能フィルタ５の後段側の二次室３
ｂは清浄空気が充満しているので、仮に空気の漏出があ
ってもクリーンルーム側に悪影響を及ぼすことはないが
、一次室３ａ内には塵埃を含む空気が充満しているので
万一クリーンルーム側に空気が漏出するとクリーンルー
ム内を汚染することになる。
施して十分な気密性を確保するようにしている。この場
合に特に気密性を要求される箇所は、第３図の風１ｉ１
３内で高性能フィルタ５の前段に画成された一次室３ａ
である。すなわち高性能フィルタ５の後段側の二次室３
ｂは清浄空気が充満しているので、仮に空気の漏出があ
ってもクリーンルーム側に悪影響を及ぼすことはないが
、一次室３ａ内には塵埃を含む空気が充満しているので
万一クリーンルーム側に空気が漏出するとクリーンルー
ム内を汚染することになる。
かかる観点から第３図の従来構造を考察すると、ます風
胴３内の一次室３ａは上下隔ｇ１ｏ、ＩＬ 中仕切隔壁
１２．および各装置とにより囲まれた上下方向に長い通
風路を持った室として仕切られており、それだけシール
を施す面域が多（なる、したがって現地での据付は施工
の際にはこれら各隔壁の相互間、および外装との間の結
合部に亙って広域部分にシールを施す必要があり、シー
ル作業、および施工後に行うシール性検証に多くの手間
と時間を要する。
胴３内の一次室３ａは上下隔ｇ１ｏ、ＩＬ 中仕切隔壁
１２．および各装置とにより囲まれた上下方向に長い通
風路を持った室として仕切られており、それだけシール
を施す面域が多（なる、したがって現地での据付は施工
の際にはこれら各隔壁の相互間、および外装との間の結
合部に亙って広域部分にシールを施す必要があり、シー
ル作業、および施工後に行うシール性検証に多くの手間
と時間を要する。
また一般にエアシャワー装置の据付は状態で定期的に行
う高性能フィルタ５の点検、並びに風胴内部清掃等のメ
ンテナンス作業は全て通路２側から行うようにしている
。かかる点従来の構成では、メンテナンス作業は通路２
に面している仕切カバー８を外した状態で二次室３ｂ、
および高性能フィルタ５に接近し、さらに高性能フィル
タ５を取り外した状態で中仕切隔壁１２の開口部を通じ
てその背後の一次室３ａに接近して点検、清掃を行うよ
うにしている。このために特に風胴内の一次室３ａに接
近する場合には中仕切隔壁１２が障害物となり、その開
口部の寸法制約もあってメンテナンス作業がやり難い、
さらに加えて従来構成では高性能フィルタ５が中仕切隔
壁１２へ縦姿勢に取付けであるためにその重量を支える
支持金具が複雑でその着脱操作も厄介である。
う高性能フィルタ５の点検、並びに風胴内部清掃等のメ
ンテナンス作業は全て通路２側から行うようにしている
。かかる点従来の構成では、メンテナンス作業は通路２
に面している仕切カバー８を外した状態で二次室３ｂ、
および高性能フィルタ５に接近し、さらに高性能フィル
タ５を取り外した状態で中仕切隔壁１２の開口部を通じ
てその背後の一次室３ａに接近して点検、清掃を行うよ
うにしている。このために特に風胴内の一次室３ａに接
近する場合には中仕切隔壁１２が障害物となり、その開
口部の寸法制約もあってメンテナンス作業がやり難い、
さらに加えて従来構成では高性能フィルタ５が中仕切隔
壁１２へ縦姿勢に取付けであるためにその重量を支える
支持金具が複雑でその着脱操作も厄介である。
この発明は上記の点にかんがみ成されたものであり、そ
の目的は風胴内に画成した一火室、二火室の配置、並び
に高性能フィルタの設置位置を改良することにより、前
記問題点を解消して気密性に対する信頼性の向上、構造
の簡略化と併せて保守性の改善が図れるようにしたエア
シャワー装置を提供することにある。
の目的は風胴内に画成した一火室、二火室の配置、並び
に高性能フィルタの設置位置を改良することにより、前
記問題点を解消して気密性に対する信頼性の向上、構造
の簡略化と併せて保守性の改善が図れるようにしたエア
シャワー装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明のエアシャワー装置
においては、吐出口を上方に向けてリターン空気吸込口
の背後に設置した送風機の吐出側に風胴の胴内一火室を
仕切り、かつ該一次室の上部に高性能フィルタを水平姿
勢に配置するとともに、前記一次室内には送風機の吐出
口に対向して送風動圧を静圧に変える整風板を設けて構
成したものである。
においては、吐出口を上方に向けてリターン空気吸込口
の背後に設置した送風機の吐出側に風胴の胴内一火室を
仕切り、かつ該一次室の上部に高性能フィルタを水平姿
勢に配置するとともに、前記一次室内には送風機の吐出
口に対向して送風動圧を静圧に変える整風板を設けて構
成したものである。
上記の構成により、まず送風機の吐出口から出た空気流
は整風板に突き当たワて動圧から静圧に変わる。これに
より高性能フィルタに対するプレナム室となる一次室の
室内圧力が高まり、空気流は高性能フィルタを局部的に
通流することな（フィルタ全域を均等に分散して通流す
るようになる。
は整風板に突き当たワて動圧から静圧に変わる。これに
より高性能フィルタに対するプレナム室となる一次室の
室内圧力が高まり、空気流は高性能フィルタを局部的に
通流することな（フィルタ全域を均等に分散して通流す
るようになる。
また前記整風板を設置することにより送風機と高性能フ
ィルタとの間に区画された一次室の通路長を第３図に示
した従来構造と比べて大幅に縮減でき、これによりシー
ルを施す領域を縮小して気密保持の信頼性向上が図れる
とともに、従来構造における中仕切隔壁が省略できるの
で風胴的全域への接近が容易となって胴肉のメンテナン
ス作業が簡単に実施できる他、さらに高性能フィルタを
水平配置としたのでその支持構造が簡単でその着脱の取
扱いも楽に行うことができる。
ィルタとの間に区画された一次室の通路長を第３図に示
した従来構造と比べて大幅に縮減でき、これによりシー
ルを施す領域を縮小して気密保持の信頼性向上が図れる
とともに、従来構造における中仕切隔壁が省略できるの
で風胴的全域への接近が容易となって胴肉のメンテナン
ス作業が簡単に実施できる他、さらに高性能フィルタを
水平配置としたのでその支持構造が簡単でその着脱の取
扱いも楽に行うことができる。
第１図、第２図は本発明実施例によるエアシャワー装置
の構成を示すものであり、第３図に対応する同一部材に
は同じ符号が付しである。
の構成を示すものであり、第３図に対応する同一部材に
は同じ符号が付しである。
すなわちこの発明により、風胴３内で送風機４の吐出側
には隔壁１１とその上方で各装置と通路隔壁６との間に
またがって新たに設けた隔壁１３との間に一次室３ａが
仕切られており、かつ一次室３ａに通じる隔壁１３の開
口部には高性能フィルタ５が水平姿勢に搭載設置されて
いる。さらに前記一次室３ａの内部には送風機４の吐出
口に対向して側方より張り出した整風板１４が設けであ
る。また一次室３ａの上方には各装置と通路側の隔壁６
．およびカバー８との間に広域な二次室３ｂが画成され
ている。
には隔壁１１とその上方で各装置と通路隔壁６との間に
またがって新たに設けた隔壁１３との間に一次室３ａが
仕切られており、かつ一次室３ａに通じる隔壁１３の開
口部には高性能フィルタ５が水平姿勢に搭載設置されて
いる。さらに前記一次室３ａの内部には送風機４の吐出
口に対向して側方より張り出した整風板１４が設けであ
る。また一次室３ａの上方には各装置と通路側の隔壁６
．およびカバー８との間に広域な二次室３ｂが画成され
ている。
かかる構成で、空気吸込口９より吸い込まれたリターン
空気流は送風機４で昇圧されて一次室３ａに吐出し、こ
こで整風板１４により送風動圧が静圧に変わって一次室
３ａの室内圧力を高めた後に高性能フィルタ５を透過し
て清浄化される。さらに高性能フィルタ５を通過した空
気流は風胴３内の二次室３ｂに入り、ここからジェット
気流噴射ロアを通じて通路２内へ噴出する。
空気流は送風機４で昇圧されて一次室３ａに吐出し、こ
こで整風板１４により送風動圧が静圧に変わって一次室
３ａの室内圧力を高めた後に高性能フィルタ５を透過し
て清浄化される。さらに高性能フィルタ５を通過した空
気流は風胴３内の二次室３ｂに入り、ここからジェット
気流噴射ロアを通じて通路２内へ噴出する。
また、風胴内に設置された高性能フィルタ５の点検、お
よび風胴内部の清掃等のメンテナンス作業は、通路２に
面しているカバー８を取り外した上で通路隔壁６の開口
部を通じて風胴内部に接近して行う、また一次室３ａの
内部の清掃は、高性能フィルタ５を取り外して行う。
よび風胴内部の清掃等のメンテナンス作業は、通路２に
面しているカバー８を取り外した上で通路隔壁６の開口
部を通じて風胴内部に接近して行う、また一次室３ａの
内部の清掃は、高性能フィルタ５を取り外して行う。
以上述べたように、この発明のエアシャワー装置によれ
ば、外装と通路との間に仕切った風胴において、吐出口
を上方に向けて空気吸込口の背後に設置した送風機の吐
出側に風胴の胴内一次室を仕切り、かつ該一次室の上部
に高性能フィルタを水平姿勢に配置するとともに、前記
一次室内には送風機の吐出口に対向して送風動圧を静圧
に変える整風板を設けて構成したことにより、次記のよ
うな効果が得られる。
ば、外装と通路との間に仕切った風胴において、吐出口
を上方に向けて空気吸込口の背後に設置した送風機の吐
出側に風胴の胴内一次室を仕切り、かつ該一次室の上部
に高性能フィルタを水平姿勢に配置するとともに、前記
一次室内には送風機の吐出口に対向して送風動圧を静圧
に変える整風板を設けて構成したことにより、次記のよ
うな効果が得られる。
まず送風機と高性能フィルタとの間に画成した一次室を
最小必要寸法に抑えつつ、整風板により送風機からの吐
出気流を高性能フィルタの全域に亙り均等に通風するこ
とができる。また特に気密性確保のために一次室に対し
て施すシール範囲は、一次室を挟んでその上下に配した
隔壁と外装との間の僅かな結合面領域のみで済み、これ
によりシ゛−ル施工、シール性検証の作業に要する手間
が少なく、かつその気密性に対する信頼性も向上する他
、さらに高性能フィルタを水平設置としたのでその支持
構造９着脱の取扱いが簡単となる。加えて一次室の上方
に画成された風胴内の二次室には第３図の従来構造にお
ける中仕切隔壁が不要となるので、通路側のカバーを外
すのみで風胴内の全域、並びに高性能フィルタへ容易に
接近してメンテナンス作業を楽に行うことができる。
最小必要寸法に抑えつつ、整風板により送風機からの吐
出気流を高性能フィルタの全域に亙り均等に通風するこ
とができる。また特に気密性確保のために一次室に対し
て施すシール範囲は、一次室を挟んでその上下に配した
隔壁と外装との間の僅かな結合面領域のみで済み、これ
によりシ゛−ル施工、シール性検証の作業に要する手間
が少なく、かつその気密性に対する信頼性も向上する他
、さらに高性能フィルタを水平設置としたのでその支持
構造９着脱の取扱いが簡単となる。加えて一次室の上方
に画成された風胴内の二次室には第３図の従来構造にお
ける中仕切隔壁が不要となるので、通路側のカバーを外
すのみで風胴内の全域、並びに高性能フィルタへ容易に
接近してメンテナンス作業を楽に行うことができる。
第１図は本発明実施例によるエアシャワー装置の構成断
面図、第２図は第１図における矢視ｎ−■断面図、第３
図は従来におけるエアシャワー装置の構成断面図である
。各図において、１：外装、２；通路、３：風胴、３ａ
ニ一次室、３ｂ二二次室、４：送風機、５：高性能フィ
ルタ、６：通路隔壁、７：ジェット気流噴射口、８：カ
バー、９：リターン空気吸込口、１４：Ｗ！風板。
面図、第２図は第１図における矢視ｎ−■断面図、第３
図は従来におけるエアシャワー装置の構成断面図である
。各図において、１：外装、２；通路、３：風胴、３ａ
ニ一次室、３ｂ二二次室、４：送風機、５：高性能フィ
ルタ、６：通路隔壁、７：ジェット気流噴射口、８：カ
バー、９：リターン空気吸込口、１４：Ｗ！風板。
Claims (1)
- １）クリーンルームに通じる入口通路に据付けてここを
通過する人体、物体に向け清浄ジェット気流を噴射して
塵埃を払い落とすエアシャワー装置であり、ジェット気
流噴射口を装備のカバー、およびプレフィルタ付きのリ
ターン空気吸込口を備えた通路隔壁を介して通路と外装
との間に風胴を仕切り、かつ該風胴内に送風機、高性能
フィルタを直列に配備したものにおいて、吐出口を上方
に向けて前記空気吸込口の背後に設置した送風機の吐出
側に風胴の胴内一次室を仕切り、かつ該一次室の上部に
高性能フィルタを水平姿勢に配置するとともに、前記一
次室内には送風機の吐出口に対向して送風動圧を静圧に
変える整風板を設けたことを特徴とするエアシャワー装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63045297A JPH01219440A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | エアシャワー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63045297A JPH01219440A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | エアシャワー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01219440A true JPH01219440A (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=12715381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63045297A Pending JPH01219440A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | エアシャワー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01219440A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5926856A (ja) * | 1982-06-03 | 1984-02-13 | イコマ・パツクテヒニ−ク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ミシン目を入れた紙チユ−ブ区分を分離させるための分離装置 |
| JPS6071833A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 分解式送風装置 |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP63045297A patent/JPH01219440A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5926856A (ja) * | 1982-06-03 | 1984-02-13 | イコマ・パツクテヒニ−ク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ミシン目を入れた紙チユ−ブ区分を分離させるための分離装置 |
| JPS6071833A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 分解式送風装置 |
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