JPH01215745A - 石英ガラスと金属との接合体およびその接合方法 - Google Patents
石英ガラスと金属との接合体およびその接合方法Info
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- JPH01215745A JPH01215745A JP4033588A JP4033588A JPH01215745A JP H01215745 A JPH01215745 A JP H01215745A JP 4033588 A JP4033588 A JP 4033588A JP 4033588 A JP4033588 A JP 4033588A JP H01215745 A JPH01215745 A JP H01215745A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K35/00—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
- B23K35/22—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
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- B23K35/26—Selection of soldering or welding materials proper with the principal constituent melting at less than 400 degrees C
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1)発明の目的
[産業上の利用分野]
本発明は、石英ガラスと金属との接合体およびその接合
方法に関し、特に接合用金属を介在することにより石英
ガラスと金属とを互いに接合してなる石英ガラスと金属
との接合体およびその接合方法に関するものである。
方法に関し、特に接合用金属を介在することにより石英
ガラスと金属とを互いに接合してなる石英ガラスと金属
との接合体およびその接合方法に関するものである。
[従来の技術および解決すべき問題点]従来、石英ガラ
スと金属との接合体および接合方法としては、種々試み
られてはいたが、未だ実用に耐え得るだけの十分な接合
強度を達成できたものはない。
スと金属との接合体および接合方法としては、種々試み
られてはいたが、未だ実用に耐え得るだけの十分な接合
強度を達成できたものはない。
そこで本発明は、接合用金属を介在せしめて実用に耐え
得るだけの十分な接合強度を達成可能な石英ガラスと金
属との接合部材およびその接合方法を提供せんとするも
のである。
得るだけの十分な接合強度を達成可能な石英ガラスと金
属との接合部材およびその接合方法を提供せんとするも
のである。
(2)発明の構成
[問題点の解決手段]
本発明により提供される問題点の解決手段は、「50〜
90重量%のインジウムと1〜40重量%のスズと1〜
10重量%の炭化珪素および炭素とを包有する接合用金
属を介して、石英ガラスと金属とが互いに一体化されて
なることを特徴とする石英ガラスと金属との接合体」 である。
90重量%のインジウムと1〜40重量%のスズと1〜
10重量%の炭化珪素および炭素とを包有する接合用金
属を介して、石英ガラスと金属とが互いに一体化されて
なることを特徴とする石英ガラスと金属との接合体」 である。
また未発IJJにより提供される問題点の他の解決手段
は。
は。
r (a)50〜9(1!RIJ%のインジウムと1〜
40重量%のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭
素とを包有する接合用金属を 石英ガラスと金属との間に接触して配 置する第1の工程と、 (b)前記接合用金属を石英ガラスとの間に配置した状
態で、100℃以上てかっ前記金属の融点以下の温度に
加熱する第 2の工程と を包有してなることを特徴とする石英ガラスと金属との
接合方法」 である。
40重量%のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭
素とを包有する接合用金属を 石英ガラスと金属との間に接触して配 置する第1の工程と、 (b)前記接合用金属を石英ガラスとの間に配置した状
態で、100℃以上てかっ前記金属の融点以下の温度に
加熱する第 2の工程と を包有してなることを特徴とする石英ガラスと金属との
接合方法」 である。
[作用]
本発明にかかる石英ガラスと石英との接合体は、50〜
90重量%のインジウムと1〜40重量%のスズと1−
10重量%の炭化珪素Sよび炭素とを包有する接合用金
属を介して石英ガラスと金属とが互いに一体化してなる
のて、(i)石英ガラスおよび金属に対する接合媒体(
すなわち接合用金属)のヌレ特性を改善する作用をなし
、また(ii)接合用金属が石英ガラスの熱膨張係数と
金属の熱膨張係数との間の大きさの熱膨張係数を有して
おり、石英ガラスおよび金属の間の熱膨張係数の差に伴
なう内部応力を緩和する作用をなし、ひいては(iii
)石英ガラスと金属との間で実用に耐え得るだけの十分
な接合強度を達成する作用をなす。
90重量%のインジウムと1〜40重量%のスズと1−
10重量%の炭化珪素Sよび炭素とを包有する接合用金
属を介して石英ガラスと金属とが互いに一体化してなる
のて、(i)石英ガラスおよび金属に対する接合媒体(
すなわち接合用金属)のヌレ特性を改善する作用をなし
、また(ii)接合用金属が石英ガラスの熱膨張係数と
金属の熱膨張係数との間の大きさの熱膨張係数を有して
おり、石英ガラスおよび金属の間の熱膨張係数の差に伴
なう内部応力を緩和する作用をなし、ひいては(iii
)石英ガラスと金属との間で実用に耐え得るだけの十分
な接合強度を達成する作用をなす。
また本発明にかかる石英ガラスと金属との接合方法は、
第1の工程で50〜90重量%のインジウムと1〜40
重量%のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭素と
を包有する接合用金属を石英ガラスと金属との間に接触
して配置し、第2の工程で前記接合用金属を石英ガラス
と金属との間に配置した状態で100°C以上でかつ前
記金属の融点以下の温度に加熱してなるので、(i)単
に接合用金属の配置と加熱との2工程のみて石英ガラス
と金属とを接合する作用をなし、また(ii)接合用金
属の融点たる100℃以上でかつ金属の融点以下の所望
の温度に加熱温度を抑制する作用をなす。
第1の工程で50〜90重量%のインジウムと1〜40
重量%のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭素と
を包有する接合用金属を石英ガラスと金属との間に接触
して配置し、第2の工程で前記接合用金属を石英ガラス
と金属との間に配置した状態で100°C以上でかつ前
記金属の融点以下の温度に加熱してなるので、(i)単
に接合用金属の配置と加熱との2工程のみて石英ガラス
と金属とを接合する作用をなし、また(ii)接合用金
属の融点たる100℃以上でかつ金属の融点以下の所望
の温度に加熱温度を抑制する作用をなす。
[実施例]
次に本発明について、具体的な実施例を挙げて説明する
。
。
まず本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体につい
て、その詳細を説明する。
て、その詳細を説明する。
本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体は、50〜
90黴量χのインジウムInと1〜40重量%のスズS
nと1〜10jl量%の炭化珪素SiCおよび炭素Cと
を包有する接合用金属を介して石英ガラスと金属(たと
えば銅、アルミニウムあるいは鉄など)とが互いに一体
化されている。
90黴量χのインジウムInと1〜40重量%のスズS
nと1〜10jl量%の炭化珪素SiCおよび炭素Cと
を包有する接合用金属を介して石英ガラスと金属(たと
えば銅、アルミニウムあるいは鉄など)とが互いに一体
化されている。
ここでインジウムInの包有量が50〜90重量%とさ
れている根拠は、(i) 50重量%未満であれば、石
英ガラスおよび金属に対するヌレ特性を確保できなくな
り、また(ii)90重量%を超えれば、JR化珪素S
iCおよび炭素Cの添加分散ができなくなって石英ガラ
スおよび金属に対して接合できなくなることにある。
れている根拠は、(i) 50重量%未満であれば、石
英ガラスおよび金属に対するヌレ特性を確保できなくな
り、また(ii)90重量%を超えれば、JR化珪素S
iCおよび炭素Cの添加分散ができなくなって石英ガラ
スおよび金属に対して接合できなくなることにある。
スズSnの包有量が1〜40重量%とされている根拠は
、 (i) 1重量%未満であれば、石英ガラスおよび
金属に対するヌレ特性を確保できなくなり、また(ii
)40重量%を超えれば、炭化珪素SiCおよび炭素C
の添加分散ができなくなって石英ガラスおよび金属に対
し接合できなくなることにある。
、 (i) 1重量%未満であれば、石英ガラスおよび
金属に対するヌレ特性を確保できなくなり、また(ii
)40重量%を超えれば、炭化珪素SiCおよび炭素C
の添加分散ができなくなって石英ガラスおよび金属に対
し接合できなくなることにある。
炭化珪素S’tCおよび炭素Cの包有量が1〜10ii
量%とされている根拠は、 (i) 1重量%未満であ
れば、石英ガラスおよび金属に対するヌレ特性を確保で
きなくなり、また(ii)10重量%を超えれば、イン
ジウムInおよびスズSnに対して均一に分散できなく
なることにある。
量%とされている根拠は、 (i) 1重量%未満であ
れば、石英ガラスおよび金属に対するヌレ特性を確保で
きなくなり、また(ii)10重量%を超えれば、イン
ジウムInおよびスズSnに対して均一に分散できなく
なることにある。
接合用金属の熱膨張係数は、25〜700 ’Cの温度
範囲で9.OXIG−’/”Cであって、石英ガラスの
熱膨張係数0.55xIP’/”Cと金属の熱膨張係数
(たとえば銅のam張係数17.6X IG−’/”C
) ト(F)間の大きさを有しており1石英ガラスおよ
び金属、の熱膨張係数の差に伴なう内部応力を緩和して
いる。
範囲で9.OXIG−’/”Cであって、石英ガラスの
熱膨張係数0.55xIP’/”Cと金属の熱膨張係数
(たとえば銅のam張係数17.6X IG−’/”C
) ト(F)間の大きさを有しており1石英ガラスおよ
び金属、の熱膨張係数の差に伴なう内部応力を緩和して
いる。
また本発明にかかる石英ガラスと金属との接合方法につ
いて、その詳細を説明する。
いて、その詳細を説明する。
第1工程において、50〜Q Qffi量%のインジウ
ム1nと1〜40重量%のスズSnと1〜1o重量%の
炭化珪JSiCおよび炭素Cとを包有する接合用金属を
石英ガラスと金属との間に接触して配置する。
ム1nと1〜40重量%のスズSnと1〜1o重量%の
炭化珪JSiCおよび炭素Cとを包有する接合用金属を
石英ガラスと金属との間に接触して配置する。
第2工程において、前記接合用金属を石英ガラスと金属
との間に配置した状態で、 100°C以上でかつ前記
金属の融点以下の温度に加熱する。これにより接合用金
属は、融解されて石英ガラスおよび金属を十分に濡らし
、そののち冷却されることにより固化され石英ガラスお
よび金属に対して接合される。第2工程に際しては1石
英ガラスとを互いに接近するように押圧してもよい。
との間に配置した状態で、 100°C以上でかつ前記
金属の融点以下の温度に加熱する。これにより接合用金
属は、融解されて石英ガラスおよび金属を十分に濡らし
、そののち冷却されることにより固化され石英ガラスお
よび金属に対して接合される。第2工程に際しては1石
英ガラスとを互いに接近するように押圧してもよい。
以上により、石英ガラスと金属とを実用に耐え得るだけ
の十分な接合強度で互いに接合することができる。
の十分な接合強度で互いに接合することができる。
加えて本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体およ
びその接合方法について、−層良く理解を図るために具
体的な数値などを挙げて説明する。
びその接合方法について、−層良く理解を図るために具
体的な数値などを挙げて説明する。
(実施例1)
80重量%のインジウム1nと、10重量%のスズSn
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5g19%の炭素C
とを包有する接合用金属を、 tSOメツシュ以下の
サイズに粉砕したのち、イソプロピルアルコールを添加
してペースト状とし、石英ガラス板の表面に対し50m
g/ c m″の割合で塗布した。
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5g19%の炭素C
とを包有する接合用金属を、 tSOメツシュ以下の
サイズに粉砕したのち、イソプロピルアルコールを添加
してペースト状とし、石英ガラス板の表面に対し50m
g/ c m″の割合で塗布した。
石英ガラス板の表面に塗布した接合用金属のペースト層
上に、厚さ0.5■lで熱膨張係数が17,6x 10
−’/ ”Cである銅板を石英ガラスに接合すべき金属
として載置した。
上に、厚さ0.5■lで熱膨張係数が17,6x 10
−’/ ”Cである銅板を石英ガラスに接合すべき金属
として載置した。
その状態のまま、大気中で170℃の温度に加熱し、そ
の温度に30分間維持した。
の温度に30分間維持した。
この結果、本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体
が形成された。
が形成された。
本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体は、その金
属すなわち銅板の表面に対し直径10mmの鋼製棒体を
銀ロー付したのち、引張試験に供され、その接合強度が
測定された(第1表参照)。
属すなわち銅板の表面に対し直径10mmの鋼製棒体を
銀ロー付したのち、引張試験に供され、その接合強度が
測定された(第1表参照)。
工丈施輿ス上
70重量%のインジウムInと、25重量%のスズSn
と、3重量%の炭化珪素SiCと、2重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施例
1が反復された。
と、3重量%の炭化珪素SiCと、2重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施例
1が反復された。
本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体は、実施例
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
工火施桝lエ
70重量%のインジウムInと、20重量%のスズSn
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施例
1が反復された。
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施例
1が反復された。
本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体は、実施例
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
工2惠例A±
60重量%のインジウムInと、30重量%のスズSn
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施例
1か反復された。
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施例
1か反復された。
本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体は、実施例
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
工丈施負互工
50重量%のインジウムInと、 40重量%のスズS
nと、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素C
とを包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施
例1が反復された。
nと、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素C
とを包有する接合用金属が使用されたことを除き、実施
例1が反復された。
本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体は、実施例
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
工X施豊旦上
50MM%のインジウムInと、4071量%のスズS
nと、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素C
とを包有する接合用金属が使用され、かつ厚さが0.5
11で熱膨張係数が12.OX 10−’/”Cである
鉄板が石英ガラスに接合すべき金属として使用されたこ
とを除き、実施例1が反復された。
nと、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素C
とを包有する接合用金属が使用され、かつ厚さが0.5
11で熱膨張係数が12.OX 10−’/”Cである
鉄板が石英ガラスに接合すべき金属として使用されたこ
とを除き、実施例1が反復された。
本発明にかかる石英ガラスと金属との接合体は、実施例
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
1と同様にして、その接合強度が測定された(第1表参
照)。
エル艷鍔↓よ
り5重量%のインジウムInと、5重量%のスズSnと
を包有する接合用金属を150メツシユ以下のサイズに
粉砕したのち、イソプロピルアルコールを添加してペー
スト状とし、石英ガラス板の表面に対し505g/cr
n’の割合で塗布した。
を包有する接合用金属を150メツシユ以下のサイズに
粉砕したのち、イソプロピルアルコールを添加してペー
スト状とし、石英ガラス板の表面に対し505g/cr
n’の割合で塗布した。
石英ガラス板の表面に塗布した接合用金属のペースト層
上に、厚さ0.5■1で熱膨張係数が17.610−’
/”Cである銅板を石英ガラスに接合すべき金属として
a21した。
上に、厚さ0.5■1で熱膨張係数が17.610−’
/”Cである銅板を石英ガラスに接合すべき金属として
a21した。
その状態のまま、大気中で170℃の温度に加熱し、そ
の温度に30分間維持した。
の温度に30分間維持した。
この結果1石英ガラスと金属との接合体が形成された。
石英ガラスと金属との接合体は、その金属すなわち銅板
の表面に対し直径lO■■の鋼製棒体を銀ロー付したの
ち、引張試験に供され、その接合強度が測定された(第
1表参照)。
の表面に対し直径lO■■の鋼製棒体を銀ロー付したの
ち、引張試験に供され、その接合強度が測定された(第
1表参照)。
エル豊負スよ
り5重量%のインジウムInと、5重量%の炭化珪素S
iCとを包有する接合用金属が使用されたことを除き、
比較例1が反復された。
iCとを包有する接合用金属が使用されたことを除き、
比較例1が反復された。
石英ガラスと金属との接合体は、比較例1と同様にして
、その接合強度が測定された(第1表参照)。
、その接合強度が測定された(第1表参照)。
工止蚊勇l上
45重量%のインジウムInと、45重都心のスズSn
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、比較例
1が反復された。
と、5重量%の炭化珪素SiCと、5重量%の炭素Cと
を包有する接合用金属が使用されたことを除き、比較例
1が反復された。
石英ガラスと金属との接合体は、比較例1と同様にして
、その接合強度が測定された(第1表参照)。
、その接合強度が測定された(第1表参照)。
上述した実施例1〜6と比較例1〜3とを比較すれば明
らかなように1本発明によれば、石英ガラスと金属とを
十分の接合強度で接合でき、また接合用金属によって石
英ガラスと金属との熱膨張係数の差に伴なう内部応力を
緩和できる。
らかなように1本発明によれば、石英ガラスと金属とを
十分の接合強度で接合でき、また接合用金属によって石
英ガラスと金属との熱膨張係数の差に伴なう内部応力を
緩和できる。
また、実施例1〜6では1石英ガラスに接合される金属
として銅および鉄のみが挙げられているが、他の金m(
たとえばアルミニウムなど)であっても十分の接合強度
で接合できることが判明している。
として銅および鉄のみが挙げられているが、他の金m(
たとえばアルミニウムなど)であっても十分の接合強度
で接合できることが判明している。
(3)発明の効果
上述より明らかなように本発明にかかる石英ガラスと金
属との接合体は。
属との接合体は。
50〜90重量%のインジウムと1〜40重量%のスズ
と1−10重量%の炭化珪素および炭素とを包有する接
合用金属を介して1石英ガラスと金属とが互いに一体化
され てなるので、 (+)石英ガラスおよび金属に対するヌレ特性を改善で
きる効果 を有し、また (ii)接合用金属が石英ガラスの熱膨張係数と金属の
熱膨張係数との間の大き さの熱膨張係数を有しており、石英 ガラスおよび金属の間の熱膨張係数 の差に伴なう内部応力を緩和できる 効果 を有し、ひいては (iii)石英ガラスと金属との間で実用に耐え得るだ
けの十分な接合強度を達成 できる効果 を有する。
と1−10重量%の炭化珪素および炭素とを包有する接
合用金属を介して1石英ガラスと金属とが互いに一体化
され てなるので、 (+)石英ガラスおよび金属に対するヌレ特性を改善で
きる効果 を有し、また (ii)接合用金属が石英ガラスの熱膨張係数と金属の
熱膨張係数との間の大き さの熱膨張係数を有しており、石英 ガラスおよび金属の間の熱膨張係数 の差に伴なう内部応力を緩和できる 効果 を有し、ひいては (iii)石英ガラスと金属との間で実用に耐え得るだ
けの十分な接合強度を達成 できる効果 を有する。
また本発明にかかる石英ガラスと金属との接合方法は。
(a)50〜90重ψ%のインジウムと1〜40重量%
のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭素とを包有
する接合用金属を石英ガラスと金属との間に接触して配
置する第1の工程と。
のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭素とを包有
する接合用金属を石英ガラスと金属との間に接触して配
置する第1の工程と。
(b)前記接合用金属を石英ガラスとの間に配置した状
態で、100℃以上でかつ前記金属の融点以下の温度に
加熱する第2の工程とを包有してなるので。
態で、100℃以上でかつ前記金属の融点以下の温度に
加熱する第2の工程とを包有してなるので。
(i)単に接合部材の配置と加熱との2工程のみで石英
ガラスと金属とを接合 できる効果 を有し、また (ii)接合用金属の融点たる100℃以上でかつ金属
の融点以下の所望の温度に 加熱温度を抑制できる効果 を有する。
ガラスと金属とを接合 できる効果 を有し、また (ii)接合用金属の融点たる100℃以上でかつ金属
の融点以下の所望の温度に 加熱温度を抑制できる効果 を有する。
Claims (3)
- (1)50〜90重量%のインジウムと1〜40重量%
のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭素とを包有
する接合用金属を介して、石英ガラスと金属とが互いに
一体化されてなることを特徴とする石英ガラスと金属と
の接合体。 - (2)(a)50〜90重量%のインジウムと1〜40
重量%のスズと1〜10重量%の炭化珪素および炭素と
を包有する接合用金属を石英ガラスと 金属との間に接触して配置する第1の工程 と、 (b)前記接合用金属を石英ガラスとの間に配置した状
態で、100℃以上でかつ前記金属の融点以下の温度に
加熱する第2の工程と を包有してなることを特徴とする石英ガラスと金属との
接合方法。 - (3)第2の工程に際し、石英ガラスと金属とを互いに
接近する方向に向けて押圧してなることを特徴とする特
許請求範囲第(2)項記載の石英ガラスと金属との接合
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4033588A JPH01215745A (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 石英ガラスと金属との接合体およびその接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4033588A JPH01215745A (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 石英ガラスと金属との接合体およびその接合方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01215745A true JPH01215745A (ja) | 1989-08-29 |
Family
ID=12577756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4033588A Pending JPH01215745A (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 石英ガラスと金属との接合体およびその接合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01215745A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007027679A1 (de) * | 2007-06-15 | 2009-01-02 | Coherent Gmbh | Befestigungsvorrichtung für ein optisches Element |
JP2010507911A (ja) * | 2006-10-24 | 2010-03-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光学素子をフレームに結合するための方法および装置 |
US7816022B2 (en) * | 2006-08-10 | 2010-10-19 | Carl Zeiss Smt Ag | Composite structure for microlithography and optical arrangement |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP4033588A patent/JPH01215745A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7816022B2 (en) * | 2006-08-10 | 2010-10-19 | Carl Zeiss Smt Ag | Composite structure for microlithography and optical arrangement |
JP2010507911A (ja) * | 2006-10-24 | 2010-03-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光学素子をフレームに結合するための方法および装置 |
US8705006B2 (en) | 2006-10-24 | 2014-04-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method and device for connecting an optical element to a frame |
US9604299B2 (en) | 2006-10-24 | 2017-03-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method and device for connecting an optical element to a frame |
DE102007027679A1 (de) * | 2007-06-15 | 2009-01-02 | Coherent Gmbh | Befestigungsvorrichtung für ein optisches Element |
DE102007027679B4 (de) * | 2007-06-15 | 2009-04-09 | Coherent Gmbh | Befestigungsvorrichtung für ein optisches Element |
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