JPH01212425A - アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 - Google Patents
アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法Info
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- JPH01212425A JPH01212425A JP3813888A JP3813888A JPH01212425A JP H01212425 A JPH01212425 A JP H01212425A JP 3813888 A JP3813888 A JP 3813888A JP 3813888 A JP3813888 A JP 3813888A JP H01212425 A JPH01212425 A JP H01212425A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法に関
するものである。
するものである。
従来の技術
アルミ電解コンデンサ用電極箔(以下電極箔という)は
、コンデンサの小形化、低価格化を図るためにアルミニ
ウム箔を電気化学的あるいは化学的にエツチングして表
面積を拡大したものが使用されている。この表面積を拡
大するために種々のエツチング方法が研究されておシ、
従来よシこの目的のため、エツチングを2段に分割する
ことが行なわれてきた。すなわち第1段エツチングで塩
酸に多孔質皮膜生成酸を加えた水溶液を用いてエツチン
グビットを発生させ、続いて第2段エツチングでCI−
を含む中性塩水溶液を用いてエツチングビットを生長さ
せることによシ表面積拡大を図ってきた。
、コンデンサの小形化、低価格化を図るためにアルミニ
ウム箔を電気化学的あるいは化学的にエツチングして表
面積を拡大したものが使用されている。この表面積を拡
大するために種々のエツチング方法が研究されておシ、
従来よシこの目的のため、エツチングを2段に分割する
ことが行なわれてきた。すなわち第1段エツチングで塩
酸に多孔質皮膜生成酸を加えた水溶液を用いてエツチン
グビットを発生させ、続いて第2段エツチングでCI−
を含む中性塩水溶液を用いてエツチングビットを生長さ
せることによシ表面積拡大を図ってきた。
発明が解決しようとする課題
従来の方法では、エツチングによる表面積拡大効果とア
ルミ溶解減量との関係に問題点があった。
ルミ溶解減量との関係に問題点があった。
すなわちエツチングの進行によシアルミ溶解減量を増加
させてもエツチングビットが成長しないばかシか、表面
溶解が進行して表面積が比例的に拡大されず、静電容量
の増大に寄与しないだけでなく、電極箔の機械的強度も
損われてしまう欠点があった。それゆえ電極箔としては
アルミ電解コンデンサの小形化低コスト化を進める上で
表面積拡大効果が不足し、問題となっていた。
させてもエツチングビットが成長しないばかシか、表面
溶解が進行して表面積が比例的に拡大されず、静電容量
の増大に寄与しないだけでなく、電極箔の機械的強度も
損われてしまう欠点があった。それゆえ電極箔としては
アルミ電解コンデンサの小形化低コスト化を進める上で
表面積拡大効果が不足し、問題となっていた。
本発明は上記の問題点を解決するもので、電極箔の機械
的強度を保持しながら表面積拡大できるアルミ電解コン
デンサ用電極箔の製造方法を提供することを目的とする
。
的強度を保持しながら表面積拡大できるアルミ電解コン
デンサ用電極箔の製造方法を提供することを目的とする
。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために本発明では、エツチングを第
1段、第2段の2段階に分けて行なうエツチング方法に
おいて、第1段エツチングを塩酸2〜15%と硫酸、蓚
酸、リン酸からなる多孔質皮膜生成酸のうち少なくとも
1種0.01〜6%含む水溶液中で直流エツチングを行
なった後、第2段エツチングを塩化ナトリウム、塩化ア
ンモニウム、塩化カリウム等のC「を含む中性塩のうち
少なくとも1種0.1〜10%を含む水溶液中で直流エ
ツチングを行ない、この第2段エツチングの前および中
間にオイテ、NH4+ 、 Na++o、o 1〜20
915’を含む水溶液で表面酸化皮膜を電気化学的、化
学的に形成する中間処理を少なくとも1回以上行なうも
のである。
1段、第2段の2段階に分けて行なうエツチング方法に
おいて、第1段エツチングを塩酸2〜15%と硫酸、蓚
酸、リン酸からなる多孔質皮膜生成酸のうち少なくとも
1種0.01〜6%含む水溶液中で直流エツチングを行
なった後、第2段エツチングを塩化ナトリウム、塩化ア
ンモニウム、塩化カリウム等のC「を含む中性塩のうち
少なくとも1種0.1〜10%を含む水溶液中で直流エ
ツチングを行ない、この第2段エツチングの前および中
間にオイテ、NH4+ 、 Na++o、o 1〜20
915’を含む水溶液で表面酸化皮膜を電気化学的、化
学的に形成する中間処理を少なくとも1回以上行なうも
のである。
作用
本発明によれば、エツチングの進行にょシ表面溶解と機
械的強度を損失させることなしくエツチングビットを成
長させ、アルミ溶解減量と比例的だ表面積を拡大するこ
とができる。
械的強度を損失させることなしくエツチングビットを成
長させ、アルミ溶解減量と比例的だ表面積を拡大するこ
とができる。
以下に各エツチング液徨の作用につ−て説明する。
(第1段エツチング)
エツチングビットを高密度かつ均一に生成させるために
適度な塩酸濃度と多孔質皮膜を生成し得る酸の適当な添
加が必要である。塩酸濃度は2%未満であるとエツチン
グ効果が小さく、15%を越えると表面の全面溶解が起
こる。従って2〜15!Xの範囲で、特に好適なのは3
〜8%である。
適度な塩酸濃度と多孔質皮膜を生成し得る酸の適当な添
加が必要である。塩酸濃度は2%未満であるとエツチン
グ効果が小さく、15%を越えると表面の全面溶解が起
こる。従って2〜15!Xの範囲で、特に好適なのは3
〜8%である。
多孔質皮膜を生成し得る酸の添加量は硫酸、蓚酸。
リン虚のいずれの場合も0.01未満であると多孔質皮
膜の生成が不充分であり、6%を越えると皮膜形成反応
が強くなり、発生したエツチングビットの長さ方向への
成長が抑制されてしまう。従って0.01〜6%の範囲
内で特に好適なのは0.06〜1%である。この様な好
適範囲内では、高密度かつ均一な孔を持つ多孔質皮膜が
アルミ表面に生成し、その孔の部分をr4−が浸食して
エツチングビットが形成されるが、一方エッチングビッ
ト以外の部分は皮膜でおおわれているから表面溶解が抑
制され、結果的に高密度かつ均一なエツチングビットが
生成される。エツチング液温も重要な影響を及ぼし、5
0℃未満ではエツチング効果が小さく、100℃を越え
ると表面の全面溶解が起こる。従って、60〜100℃
の範囲内で、特に好適なのは70〜90℃である。また
電流密度は3ム/dn? 未満ではエツチング効果が
小さく、7oム/dn11+を越えると表面の全面溶解
が起こる。
膜の生成が不充分であり、6%を越えると皮膜形成反応
が強くなり、発生したエツチングビットの長さ方向への
成長が抑制されてしまう。従って0.01〜6%の範囲
内で特に好適なのは0.06〜1%である。この様な好
適範囲内では、高密度かつ均一な孔を持つ多孔質皮膜が
アルミ表面に生成し、その孔の部分をr4−が浸食して
エツチングビットが形成されるが、一方エッチングビッ
ト以外の部分は皮膜でおおわれているから表面溶解が抑
制され、結果的に高密度かつ均一なエツチングビットが
生成される。エツチング液温も重要な影響を及ぼし、5
0℃未満ではエツチング効果が小さく、100℃を越え
ると表面の全面溶解が起こる。従って、60〜100℃
の範囲内で、特に好適なのは70〜90℃である。また
電流密度は3ム/dn? 未満ではエツチング効果が
小さく、7oム/dn11+を越えると表面の全面溶解
が起こる。
従って3〜TOム/drrIの範囲内で、特に10〜4
゜ム/ad が好ましい。
゜ム/ad が好ましい。
(中間処理)
本発明では第1段エツチングの後の第2段エツチングの
前あるいは中間にお込て中間処理を行なう。この処理は
第1段エツチングで新しいエツチングビットの発生によ
り表面積拡大がアルミ溶解減量に比例的に行なわれてき
たものを受は継いで第2段エツチングにおいても表面積
拡大をアルミ溶解減量とともに飽和させることなく、更
に比例して増加させるため、第2段エツチングで、エツ
チングが集中してエツチングビットが必要以上に犬きく
なりすぎたシ、隣接するエツチングビットを破壊したシ
、あるいは表面溶解が起きないようにする作用をもつ。
前あるいは中間にお込て中間処理を行なう。この処理は
第1段エツチングで新しいエツチングビットの発生によ
り表面積拡大がアルミ溶解減量に比例的に行なわれてき
たものを受は継いで第2段エツチングにおいても表面積
拡大をアルミ溶解減量とともに飽和させることなく、更
に比例して増加させるため、第2段エツチングで、エツ
チングが集中してエツチングビットが必要以上に犬きく
なりすぎたシ、隣接するエツチングビットを破壊したシ
、あるいは表面溶解が起きないようにする作用をもつ。
すなわち第2段エツチングにおいても新しくエツチング
ピットを均−知発生させ成長できるように本発明では、
エツチングの中間にお^てアルミニウム表面に電気化学
的、あるいは化学的表面酸化皮膜を形成させ、その酸化
皮膜によりすでに形成されたエツチングピットを保護し
つつ、再度エツチングを行なうことによシ新たにエツチ
ングピットを形成し、表面積を拡大するものである。こ
のためアルミニウム表面上へ表面酸化皮膜を形成し得る
NH4,Na+ を含む水溶液中での電気化学的ある
いは化学的処理が必要であシ、その濃度は0.01%未
満では表面酸化皮膜形成効果が小さく、2oにを越える
と表面)!l化皮膜が形成されすぎて、エツチングした
時エツチングビットの発生が少なくて集中しやすくなっ
てしまう。従って0.01〜20′!Xの範囲内で、特
に好適なのは0.1〜10%である。
ピットを均−知発生させ成長できるように本発明では、
エツチングの中間にお^てアルミニウム表面に電気化学
的、あるいは化学的表面酸化皮膜を形成させ、その酸化
皮膜によりすでに形成されたエツチングピットを保護し
つつ、再度エツチングを行なうことによシ新たにエツチ
ングピットを形成し、表面積を拡大するものである。こ
のためアルミニウム表面上へ表面酸化皮膜を形成し得る
NH4,Na+ を含む水溶液中での電気化学的ある
いは化学的処理が必要であシ、その濃度は0.01%未
満では表面酸化皮膜形成効果が小さく、2oにを越える
と表面)!l化皮膜が形成されすぎて、エツチングした
時エツチングビットの発生が少なくて集中しやすくなっ
てしまう。従って0.01〜20′!Xの範囲内で、特
に好適なのは0.1〜10%である。
また液温は、40℃以下では表面酸化皮膜の形成効果が
小さく、90 ’Cを越えると表面酸化皮膜が形成され
すぎて、エツチングビット発生効果が小さくなる。従っ
て40〜90℃の範囲内で、特に好適なのは60〜80
℃である。ここで本発明【よる中間処理は第2(没エツ
チングの前あるいは中間において何回も実施することが
可能であシ、処理を操り返し実施することKより処理回
数に比例して表面積拡大効果は増大する。
小さく、90 ’Cを越えると表面酸化皮膜が形成され
すぎて、エツチングビット発生効果が小さくなる。従っ
て40〜90℃の範囲内で、特に好適なのは60〜80
℃である。ここで本発明【よる中間処理は第2(没エツ
チングの前あるいは中間において何回も実施することが
可能であシ、処理を操り返し実施することKより処理回
数に比例して表面積拡大効果は増大する。
(第2段エツチング)
第2段エツチングは第1段エツチングの後を受けて、中
間処理と組み合わせて表面溶解を抑制しながら、更にエ
ツチングピットを発生させ、同時に第1段エツチングで
生成されたエツチングピットを成長させるために塩化ナ
トリウム、塩化アンモニウム、塩化カリウム等のc4−
を含む中性塩の水溶液中でのエツチングが必要である。
間処理と組み合わせて表面溶解を抑制しながら、更にエ
ツチングピットを発生させ、同時に第1段エツチングで
生成されたエツチングピットを成長させるために塩化ナ
トリウム、塩化アンモニウム、塩化カリウム等のc4−
を含む中性塩の水溶液中でのエツチングが必要である。
これらいずれの中性塩の水溶液の場合でも、そのa度が
0.1に未満ではエツチング効果が小さく、10%を越
えると表面の全面溶解が起こる。
0.1に未満ではエツチング効果が小さく、10%を越
えると表面の全面溶解が起こる。
従って0.1〜10にの範囲内で、特に好適なのは1〜
3%である。このような好適範囲内では表面溶解をほと
んど起こすことなくエツチングピットを新たに発生させ
ることができ、同時に第1段エツチングで生成したエツ
チングピットを成長させることが可能である。第2段エ
ツチングでは、第1段エツチング同様液温は50〜10
0℃の範囲内で特に好適なのは70〜90℃であり、電
流密度は3〜70ム/drIの範囲内で、特に好適なの
は4〜20ム/drIIである。
3%である。このような好適範囲内では表面溶解をほと
んど起こすことなくエツチングピットを新たに発生させ
ることができ、同時に第1段エツチングで生成したエツ
チングピットを成長させることが可能である。第2段エ
ツチングでは、第1段エツチング同様液温は50〜10
0℃の範囲内で特に好適なのは70〜90℃であり、電
流密度は3〜70ム/drIの範囲内で、特に好適なの
は4〜20ム/drIIである。
この発明のエツチングによれば、アルミ溶解減世に比例
して、高密度で適度なエツチングピット径を有した均一
なエツチングピットを生成させた表面積拡大効果の非常
に大きいアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造が可能で
ある。
して、高密度で適度なエツチングピット径を有した均一
なエツチングピットを生成させた表面積拡大効果の非常
に大きいアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造が可能で
ある。
実施例
以下本発明の実施例を比較例とともに示す。
なお試料として、純1Iese、e9%、厚さ100μ
Hの高純度焼鈍アルミニウムを用いた。
Hの高純度焼鈍アルミニウムを用いた。
く比較例〉
第1段エツチングを塩酸7%、硫虚を0.1%添加した
液温80℃の水溶液で電流密度20ム/drr!の直流
を90秒印加して行なった後、第2投エツチングを塩化
ナトリウム6%、液温80℃の水溶液で電流密度10ム
/d♂の直流を320秒印加して行なった。
液温80℃の水溶液で電流密度20ム/drr!の直流
を90秒印加して行なった後、第2投エツチングを塩化
ナトリウム6%、液温80℃の水溶液で電流密度10ム
/d♂の直流を320秒印加して行なった。
〈実施例〉
第1段エツチングを比較例と同様に行なった後、液@9
0℃のギ酸アンモニウム0.1に水溶液中で40秒浸漬
処理を行な−、更に第2役エツチングを比較例と同様に
行なう。
0℃のギ酸アンモニウム0.1に水溶液中で40秒浸漬
処理を行な−、更に第2役エツチングを比較例と同様に
行なう。
上記2例のエツチング箔を硼酸水溶液中で370V化成
した後、各試料について静電容量と折曲げ強In(1,
OR,200?荷重、折曲げ角90°によシ1往直で1
回とする)を測定した結果を第1表3示す・ 第1表 発明の効果 以上のように本発明によれば、機:数的強度を保持しな
がら静電容量の大きなアルミ電解コンデンサ用電極箔を
得ることができる。
した後、各試料について静電容量と折曲げ強In(1,
OR,200?荷重、折曲げ角90°によシ1往直で1
回とする)を測定した結果を第1表3示す・ 第1表 発明の効果 以上のように本発明によれば、機:数的強度を保持しな
がら静電容量の大きなアルミ電解コンデンサ用電極箔を
得ることができる。
Claims (4)
- (1)エッチングを第1段,第2段の2段階に分けて行
なうエッチング方法において、第2段エッチングの前お
よび中間にNH_4^+またはNa^+を含む水溶液中
で表面酸化皮膜を電気化学的あるいは化学的に形成する
中間処理を少なくとも1回以上行なうことを特徴とする
アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法。 - (2)第1段エッチングは、塩酸2〜15%と硫酸,蓚
酸,リン酸からなる多孔質皮膜生成酸のうち少なくとも
1種0.01〜5%含む水溶液中で直流エッチングを行
なうことを特徴とする請求項1記載のアルミ電解コンデ
ンサ用電極箔の製造方法。 - (3)中間処理はNH_4^+またはNa^+0.01
〜20%を含む水溶液中で処理を行なうことを特徴とす
る請求項1記載のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造
方法。 - (4)第2段エッチングは、塩化ナトリウム,塩化アン
モニウム,塩化カリウム等のCl^−を含む中性塩のう
ち、少なくとも1種0.1〜10%を含む水溶液中で直
流エッチングを行なうことを特徴とする請求項1記載の
アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63038138A JP2696882B2 (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63038138A JP2696882B2 (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01212425A true JPH01212425A (ja) | 1989-08-25 |
JP2696882B2 JP2696882B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=12517066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63038138A Expired - Fee Related JP2696882B2 (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2696882B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004186696A (ja) * | 2002-12-05 | 2004-07-02 | Acktar Ltd | 電解コンデンサ用電極およびその製造方法 |
US8213159B2 (en) | 2007-04-20 | 2012-07-03 | Fujitsu Limited | Electrode foil, method of manufacturing electrode foil, and electrolytic capacitor |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS57131399A (en) * | 1981-02-02 | 1982-08-14 | Showa Alum Corp | Manufacture of aluminum alloy foil for electrode of electrolytic capacitor |
JPS60169131A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-02 | 松下電器産業株式会社 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
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1988
- 1988-02-19 JP JP63038138A patent/JP2696882B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8213159B2 (en) | 2007-04-20 | 2012-07-03 | Fujitsu Limited | Electrode foil, method of manufacturing electrode foil, and electrolytic capacitor |
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JP2696882B2 (ja) | 1998-01-14 |
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