JPH01210672A - 圧電素子と変位拡大装置の取付け構造 - Google Patents

圧電素子と変位拡大装置の取付け構造

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JPH01210672A
JPH01210672A JP63032723A JP3272388A JPH01210672A JP H01210672 A JPH01210672 A JP H01210672A JP 63032723 A JP63032723 A JP 63032723A JP 3272388 A JP3272388 A JP 3272388A JP H01210672 A JPH01210672 A JP H01210672A
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JP
Japan
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piezoelectric element
displacement
spool
force
valve
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JP63032723A
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Haruo Watanabe
春夫 渡辺
Ichiro Nakamura
一朗 中村
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、制御弁の圧電素子と変位拡大装置の取付は構
造に係り、圧電素子と変位拡大装置の初期位置の調整を
する好適な構造に関する。
〔従来の技術〕
テーパエツジをストッパとし、常時はリターンスプリン
グの圧縮力により、閉じられている2方向スプール弁で
、スプールの駆動源を圧電素子と圧電素子の変位拡大機
構(弾性ヒンジ)で構成した制御弁としては、特開昭6
2−177384に記載されている燃料噴射弁の噴射率
を制御するための制御弁がある。この制御弁は変位拡大
機構を含む駆動源全体のケーシングと弁本体とを固定し
た後、圧電素子の初期位置を送りねじとロックナツトで
調整する構造となっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術では、複数の制御弁を製作するとき、変位
拡大機構のスプール軸方向の弾性により変位拡大機構の
力点から圧fr1素子が受ける初期荷重は弁本体、変位
拡大機構のケーシング等の加工精度と送りねじの調整分
によりばらつきを生ずることが分った。これを第4図を
用いて説明する。
第4図は圧電素子と圧電素子の変位拡大機構で弁駆動源
を構成した2方向弁を簡略化して示すものである。第4
図において、スプール4は常時リターンばね6の圧縮力
Fsにより弁本体のストッパ(実際はスプール4はテー
バエツジ形状で、それに対接するシート部のこと)5′
に押付けられるよう配置している。このときスプール4
の駆動源である圧電素子8と変位拡大機構9が、それぞ
れにおいてガタなく配置されるよう調整ねじ12および
ロックナツト13を用いて圧電素子8の初期位置をW7
R整する構造である。ここで変位拡大機構9はスプール
軸方向に弾性をもつので、これを等価ばねとして示し、
20はアーム、21は支点、23は力点、24は作用点
を示している。尚11は駆動源のケーシングで図示して
いないが弁本体5と一体に結合されている。第4図にお
いて駆動源のケーシング11の加工精度と圧電素子8の
位置によって1次の2通りの場合を生ずる。1つは変位
拡大機構9が初期状態で既にスプール4を押している場
合であり、他の1つは変位拡大機の作用点24とスプー
ル4の間にギャップが生じている場合である。第4図で
、リターンばね6の圧縮力をFs 、変位拡大機構の作
用点24がスプール4を押す力(これを弁間動源取付力
とよぶ)をFl、このFl によって圧電素子8が受け
る圧縮力をFR、スプール4が弁本体のストッパ5′を
押す力をFpとしてそれぞれの場合を説明する。前者の
場合はF+ が作用している状態であり、このときのF
lとFpの関係は第4図のような関係、すなわちFp=
Fs  F+            ・・・(1)で
表わせる。したがってF + > F 12となるAの
領域ではFp<Oとなり、スプールが常時開度をもつ状
態となる。またスプール弁のシール性を確保するに必要
なスプール押付力をFpzとすれば、F s t < 
F t < F t zの領域Bでは、スプール弁のシ
ール性が確保できない、したがって第5図でハツチング
をほどこしたF I> F t 1の領域では、オンオ
フ弁として使えなくなる。またFlにより圧電素子8に
はFR(Fl が増幅された力)が圧縮力として作用す
る。そうすると第6図に圧電索子8のある一定電圧時の
発生力Fと変位Xの関係で示すように、FRの値でXが
変わる。すなわちFRが小さいFRIのときはXはxl
と大きく、FRが大きいFRJのときは又はXJ と小
さくなる。したがって、複数の制御弁を製作し同一電圧
で同一電圧レベルで駆動する場合、Fs によって出力
流量あるいは出力圧力がばらつくという不具合が発生す
る。後者の場合、スプール4と変位拡大機構の作用点2
4の間のギャップの量によって、圧電素子8が変位して
も、スプール4に駆動力が伝わらない無効電圧が生じて
しまう。またこの無効電圧の大小も複数の制御弁の場合
、ばらつきがでるので、結果的に前者同様の不具合が生
ずることになる。以上のような場合が生ずるとたとえば
制御弁の入力電圧Vと出力流量Qの関係は第7図に示す
ように、大変ばらつき範囲が大きくなる。
本発明の目的は、圧電素子が受ける初期荷重を極力小さ
く、かつ容易に調整でき、複数の制御弁を製作するとき
個体間の出力流量あるいは出力圧力を均一にする取付構
造を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、圧電素子と圧電素子の変位拡大機構の力点
との間で、圧電素子の位置決めを行う第1の調整ねじと
、変位拡大機構と一体となす圧電素子ケーシングと弁本
体との位置決めを行う第2の調整ねじと、圧電素子ケー
シングのリターンばねを設けることにより達成される。
〔作用〕
弁駆動源となる圧電素子と、圧電素子の変位拡大機構の
力点との間で、圧電素子の位置決めを行う第1の調整ね
じと、変位拡大機構と一体となす圧電素子ケーシングと
弁本体との位置決めを行う第2の調整ねじと、圧電素子
ケーシングのリターンばねを設けた制御弁で、最初に、
第1の調整ねじて圧電素子と変位拡大機構の力点との間
に適当なギャップを設けた状態とし、第2の調整ねじて
、駆動力を受けるスプール端と変位拡大機構の作用点の
ギャップがほぼ零になるよう調整する。この後、第1の
調整ねじで圧電素子を変位拡大機構の力点に押し付け、
ある調整入力電圧を圧電素子に加えたとき、その調整入
力電圧に相当する出力流量あるいは出力圧力が得られる
よう位置決めを行う。これら第1の調整ねじおよび第2
のw!4整ねじにはいずれもばね反力が作用すると共に
ロックナツトで固定するので、これらの初期?A整によ
り設定された位置にガタ等が生ずることはない。
〔作用〕
以下、本発明の一実施例を第1〜3図により説明する。
第5図において、1は本発明の対象である制御弁、2は
制御弁1の制御対象となる負荷で、詳細を示していない
が、2方向弁で流量あるいは圧力の制御が制御対象とな
るものなら何でもかまわない。制御弁1は、主にテーパ
エツジ3をもつスプール4と弁本体5およびスプール4
を弁本体シート部5′との間で常時閉に保つよう予圧縮
して配置されたリターンばね6を主構成要素とする弁部
7と、圧電素子82弾性ヒンジで構成される変位拡大機
構9.変位拡大機構9と一体となす圧電素子のケーシン
グ10.さらに圧電素子ケーシングをガイドする駆動部
全体のケーシング11.第1の調整ねじ12.第1のロ
ックナツト13.第2の調整ねじ14.第2のロックナ
ツト15を主構成要素とする弁駆動部16からなる。そ
して弁部7と弁駆動部16はボルト(図示せず)で固定
されている弁本体5のPs、Pcは供給圧力ポート。
制御圧力ポートをそれぞれ示し、弁本体5と駆動部全体
のケーシング11のPaはドレンポートを示す。スプー
ル4の右端にはボール17がスプール同軸上に配置され
、スプール駆動力を点接触でかつスプール同軸上に伝達
されるよう配慮されている。−同様の力由で圧電素子8
の両端にもそれぞれボール18.18’ が配置されて
いる。圧電素子8は圧電素子のケーシング10の内で軸
方向に摺動可能に配置され、その位置は第1の調整ねじ
12と変位拡大機構の弾性によるばね作用とで任意の位
置に位置決めすることができ、その位置は第1のロック
ナツト13を締めることで固定できる。同様に圧電素子
8のケーシング10も駆動源全体のケーシング11の中
で軸方向に摺動可能に配置されており、弁本体5に対す
る駆動源全体のケーシング11の位置は第2の調整ねじ
14と予圧縮されて配置されたリターンばね19のばね
力により任意に位置決めでき、その位置は第2のロック
ナツト15を締めることで固定できる。変位拡大機構9
は、アーム20と支点21.ベース22よりなり、アー
ムには圧電素子8の力、変位を受ける力点23とスプー
ル4を駆動する作用点24がある。また変位拡大機構9
は支点21にガタの生じないよう弾性ヒンジで形成する
。したがってスプール軸方向に弾性をもつ、一方、圧電
素子8の変位を効率よく増幅するには支点21のねじり
剛性は柔に、その他の部分のスプール軸方向の剛性は剛
にすることが望ましい。また制御弁1の応答性向上の点
からも同様である。他方、スプール4のリターンばね6
のばね力は大きくすると。
その分圧電素子8への負荷となり、圧電素子8の変位を
減少させることになる(第3図参照)ので、弁としての
シール性に必要かつ十分な押付力程度にとどめておくこ
とがよい。そして、そのばね定数ksは小の方がよい。
したがって、変位拡大機構9のスプール軸方向等価ばね
定数をkgとすればke)’ksとなるようにそれぞれ
の部材を選定する。今1図示の状態から圧電素子8に入
力電圧を加えると、圧電素子8は軸方向に変位し、変位
拡大機構9によりその変位はアーム20の(作用点−支
点間長さ)/(力点−支点間長さ)に応じて増幅され、
スプール4を図中左方向にリターンばね6に抗して変位
させる。そうするとPsポートに供給されている高圧流
体は、そのスプール変位とPcポートの制御圧に応じ、
pcポートに流入し、結果的に負荷2を制御する。尚、
この状態から圧電素子8への入力電圧を零に戻せば、図
示の状態に戻り、スプール4の開度は零となり、Psポ
ートとpcポートはスプール4のテーパエツジ3と弁本
体のシール部5′とでシールされしゃ断される。
第2図は第1図の初期状態を得るための第1の調整ねじ
12と、第2の調整ねじ14による弁駆動部15の組立
調整方法をモデル化して順番に示すものである。同図で
第1,4図と同一部分は同−符号で示す、尚変位拡大機
構9は弾性体であるので、その軸方向の弾性を等測的に
ばねで表現した。第2の(a)図はW14整の初期設定
状態を示し、スプール4はリターンばね6の予圧縮部分
の力を受けfpの力で弁本体5に押しつけられ、圧電素
子のケーシング10もリターンばね19予圧縮部分で第
2の調整ねじ14の端面に押つけられている。変位拡大
機構9の作用点24とスプール4の端面25の間には適
当なギャップδ1、また変位拡大機構9の力点23と圧
電素子8の間にも適当なギャップを設けておく。次に(
b)図に示すように第2の調整ねじ14を調整すること
により、圧電素子のケーシング10を左方向に約61だ
け移動させ、変位拡大機構9の作用点24とスプール4
の間のギャップを、はぼ零に近い、*小ギャップを残す
よう調整し第2のロックナツト15を締めて、このギャ
ップを固定する。このとき、変位拡大機構9の力点と圧
電素子8端のギャップをΔ1とすれば、次に(c)図に
示すように、第1の調整ねじ12を調整して、Δ1だけ
圧電素子8を左方向に移動させる。そしてこの状態にて
一定圧力をPsポートに加えかつ圧電素子8にある調整
入力電圧を加え、このときある幅をもつ基準流量が得ら
れるよう(d)図に示すようにさらにΔ2だけ第1の調
整ねじ12をi!ill!l、そこで第1のロックナツ
ト13を締めロックする。そして最後に圧電素子8への
入力電圧を零にしたときPsからPcポートへのリーク
がないことを確認すればよい。以上のように第1の調整
ねじ及び第2のねじを用いて弁駆動源の初期位置と調整
することにより、圧電素子に加わる初期荷重が緩和し、
かつ複数の制御弁を製作するとき、その値を揃えやすい
。したがって複数の制御弁の特性は、たとえば入力電圧
と出力流量の関係は第3図に示すように、ある範囲に押
えることができ、ばらつきが少ない。
〔発明の効果〕
本発明によれば、複数の制御弁を製作するとき変位拡大
機構の位置の調整と、圧電素子の位置の調整の両方が容
易に行えるので、圧電素子が受ける初期荷重を極力小さ
くでき、かつ制御弁間の個体間の出力特性を均一にする
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例である制御弁の断面図、第2
図は第1図の制御弁の駆動系の構成を示すモデル図、第
3図は本実施例の制御弁の入力電圧と出力流量の関係を
示す図で、第4図は従来の制御弁の駆動系の構成を示す
モデル図、第5図は弁駆動源取付力とスプール押付力の
関係を示す図、第6図は圧電素子の発生力と変位の関係
を示す図、第7図は、従来の制御弁の入力電圧と出力流
量の関係を示す図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.高圧流体の流量あるいは圧力を制御するテーパシー
    トをストッパとするスプールと弁本体とからなる2方向
    スプール弁と、圧電素子と圧電素子の変位を機械的にテ
    コの原理で拡大する弾性ヒンジを変位拡機構としてもつ
    スプール駆動源とを主構成要素とする制御弁において、
    圧電素子と変位拡大機構の力点部との位相決めを行う第
    1の調整ねじと、変位拡大機構と一体となす圧電素子ケ
    ーシングと弁本体との位置決めを行う第2の調整ねじと
    、圧電素子ケーシングのリターンばねを設けたことを特
    徴とする圧電素子と変位拡大装置の取付構造。
JP63032723A 1988-02-17 1988-02-17 圧電素子と変位拡大装置の取付け構造 Pending JPH01210672A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0783343A (ja) * 1993-09-16 1995-03-28 Nec Corp 薄膜積層圧電バルブ
US7732985B2 (en) 2004-12-16 2010-06-08 Electronics And Telecommunications Research Institute Micro stage using piezoelectric element
JP2013108568A (ja) * 2011-11-21 2013-06-06 Satake Corp 圧電式バルブの組立方法及び圧電式バルブ、並びに該圧電式バルブを利用した噴風手段を備える光学式粒状物選別機

Cited By (4)

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JP2013108568A (ja) * 2011-11-21 2013-06-06 Satake Corp 圧電式バルブの組立方法及び圧電式バルブ、並びに該圧電式バルブを利用した噴風手段を備える光学式粒状物選別機

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