JPH0120641Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、曲面などを測定するのに適した一次
元センサによる二次元測定装置に関する。

曲面などの測定方法としては、従来第１図のご
とく、光源１よりの光軸の途中に被測定物２を配
置し、反射光を一次元イメージセンサ３にて検出
する光切断法が一般的である。

しかし、第１図のごとき構成では、被測定物２
の曲面の形状が大きく変わつたような場合には一
次元イメージセンサ３に被測定物２よりの反射光
が入射しなくなり測定不能となつたりする不都合
を生じ、時間的に変化する曲面の形状を連続的に
認識することはできなかつた。

本考案は、上記の点に鑑み、スリツト光を多面
反射鏡で反射して被測定物に当て、ここで反射し
た反射光を一次元センサで受光する構成を採用す
ることにより、時間的に変化する被測定物の形状
を連続的に認識することが可能な一次元センサに
よる二次元測定装置を提供しようとするものであ
る。

以下、本考案に係る一次元センサによる二次元
測定装置の実施例を図面に従つて説説明する。

第２図において、１０はスリツト光を発生する
蛍光灯であり、これと平行な回転軸を有する多面
反射鏡としての三面反射鏡１１が前記スリツト光
を受けて被測定物１２方向に反射可能なごとく設
けられる。ここで、三面反射鏡１１は三面からな
る反射面が正三角柱を為しているものであり、そ
の回転軸１３は正三角柱の中心を通つており、該
回転軸１３は回転駆動手段としてのモータ１４の
回転力を受けるようになつている。さらに回転軸
１３にはロータリ・エンコーダ１５が連結され、
これにより回転軸１３の回転角即ち三面反射鏡１
１の回転角を検出している。そして三面反射鏡１
１で反射された前記スリツト光が時間的に変化す
る被測定物１２の形状（例えば被測定物を移動さ
せることによつて得られる）によつて再び反射さ
れた反射光を受光可能な位置に一次元イメージセ
ンサ１６が配置される。ここで一次元イメージセ
ンサ１６としては例えば受光ダイオードエレメン
トを直線的に多数配列した一次元受光ダイオード
アレイが用いられる。

上記構成において、蛍光灯１０より照射された
スリツト光は回転する三面反射鏡１１で反射され
た後、被測定物１２の曲面により再び反射され一
次元イメージセンサ１６により受光感知される。
この場合、一次元イメージセンサ１６で受光した
瞬間の三面反射鏡１１の回転角をロータリ・エン
コーダ１５で検出することにより被測定物１２の
曲面の形状を連続的に認識することができる。例
えば、被測定物１２の平坦部分にてスリツト光が
反射されたときのロータリ・エンコーダ１５で検
出した三面反射鏡１１の回転角と、被測定物１２
の凸部にてスリツト光が反射されたときの回転角
とは相異し、被測定物１２を移動させてスリツト
光が当たる表面形状を時間的に変化させていけ
ば、前記回転角を逐次ロータリ・エンコーダ１５
で検出することによつて被測定物１２の二次元形
状を認識できる。

なお、スリツト光を照射する手段としては蛍光
灯１０のほかレーザービームによりスリツト光を
発生するようにしてもよい。また、実施例では多
面反射鏡として三面反射鏡１１を示したが外面が
正四角柱、正五角柱などを構成する多面反射鏡を
用いてもよい。

以上説明したように、本考案によれば、スリツ
ト光を回転する多面反射鏡を用いて被測定物に当
て、被測定物からの反射光を一次元センサで受光
する構造としたので、時間的に変化する被測定物
の形状を連続的に認識することが可能な一次元セ
ンサによる二次元測定装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の二次元測定を行なう構成を示す
斜視図、第２図は本考案に係る一次元センサによ
る二次元測定装置の実施例を示す斜視図である。 ２，１２……被測定物、３，１６……一次元イ
メージセンサ、１０……蛍光灯、１１……三面反
射鏡、１３……回転軸、１４……モータ、１５…
…ロータリ・エンコーダ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. スリツト光を受けて反射する多面反射鏡と、該
   多面反射鏡を前記スリツト光に平行な回転軸にて
   回転させる回転駆動手段と、前記多面反射鏡の回
   転角度を検出するロータリ・エンコーダと、前記
   多面反射鏡の前記回転軸に平行に配置されていて
   前記多面反射鏡で反射された前記スリツト光が時
   間的に変化する被測定物の形状によつて再び反射
   された反射光を受ける一次元センサとを備えたこ
   とを特徴とする一次元センサによる二次元測定装
   置。