JPH01206266A - プローブカード - Google Patents

プローブカード

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Publication number
JPH01206266A
JPH01206266A JP63030386A JP3038688A JPH01206266A JP H01206266 A JPH01206266 A JP H01206266A JP 63030386 A JP63030386 A JP 63030386A JP 3038688 A JP3038688 A JP 3038688A JP H01206266 A JPH01206266 A JP H01206266A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probes
probe
card
probe card
board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63030386A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazunori Nishiyama
西山　和則
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
Priority to JP63030386A priority Critical patent/JPH01206266A/ja
Publication of JPH01206266A publication Critical patent/JPH01206266A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプローブカードに関し、特に探針間に生ずる浮
遊容量を低減し得るプローブカードに関するものである
。
〔従来の技術〕
従来、この種のプローブカードは、第２図に示すように
カード基板５に設けられた穴の周囲の基板下面に、内側
に向って一定の傾斜面を有するリングボード６が設けら
れている。そして、リングボード６の傾斜面に互に所定
間隔をもってエポキシコートされた探針７が固着されて
いる。ウェハーと接触しない側の探針７の端部はカード
基板に設けられたパターン配線３に接続され、パターン
配線はソケットピン４に接続されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来のプローブカードは、同一形状のすべての
探針をリングボードの同一の傾斜角を有する面に互いに
所定の間隔をもって配置したものであるため、高速で動
作し、又、特に多ピン品種のブロービング時は、探針間
の浮遊容量の発生により隣接する信号ライン間のクロス
トークや波形不良等の問題を生ずる欠点がある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明のプローブカードは、半導体ウェハーの特性試験
に使用されるプローブカードにおいて、その探針部形状
に段差を設けることにより隣接する探針間のスペースを
とって、浮遊容量を低減することを特徴とする。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）は本発明の一実施例のプローブカード上面
図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。円形のカード基板５の中央部に矩形の穴があり、穴
の周囲のカード基板下面に角形で環状のりングボード６
が設けられている。リングボード６の下面は内側に一定
角度で傾いた傾斜面となっている。この傾斜面に屈曲部
をもたない第１の探針１ａが設けらｈている。リングボ
ードの傾斜面と固着される第１の探針１ａの表面はエポ
キシコート２で被覆されている。第１の探針１ａの両側
にそれぞれ中間に屈曲部を有する第２の探針１ｂが設け
られている。第２の探針はカード基板５裏面からりング
ボード６を貫通し矩形の穴内部に突出する水平な第１の
部分と、水平な第１の部分から内側に屈曲し傾斜を有す
る第２の部分から成立っている。第２の探針１ｂの第２
の部分の先端は、はぼ第１の探針１ａの先端が形成する
平面内にある。そして、カード基板の矩形の穴の周囲の
各辺に並ぶ探針は、第１の探針１ａと第２の探針１ｂか
らなり、かつ、これらが交互に隣接されている。探針の
シリコンウェハーと接しない他端は従来と同じくカード
基板裏面に設けられたパターン配線３を介してソケット
ピン４に接続されている。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、隣接する探針を２タイプ
の形状とし隣り合う探針を互に立体的に離して配置する
ことにより、探針間の浮遊容量を低減し、信号ラインに
生ずるクロストークや波形不良等の、外部信号からの干
渉を低減できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は本発明のプローブカードの一実施例の上
面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ線断面図、
第２図は従来のプローブカードの断面図である。 １ａ・・・・・・第１の探針、ｌｂ・・・・・・第２の
探針、２・・・・・・エポキシコート、３・・用パター
ン配線、４・・・・・・ソケットピン、５・・・・・・
カー）’基板、６・・団・リングボード、７・・川・探
針。 代理人　弁理士　　内　原　　　音 招１図 箭Ｚ凹

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　半導体ウェハーの特性試験に使用されるプローブカー
    ドにおいて、その探針部形状に段差を設けることにより
    隣接する探針間のスペースをとって浮遊容量を低減する
    ことを特徴とするプローブカード。
JP63030386A 1988-02-12 1988-02-12 プローブカード Pending JPH01206266A (ja)

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JP63030386A JPH01206266A (ja) 1988-02-12 1988-02-12 プローブカード

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JP63030386A JPH01206266A (ja) 1988-02-12 1988-02-12 プローブカード

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JPH01206266A true JPH01206266A (ja) 1989-08-18

Family

ID=12302460

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007071598A (ja) * 2005-09-05 2007-03-22 Hitachi Computer Peripherals Co Ltd 磁気ヘッドのインダクタンス測定装置、及び同測定方法

Citations (4)

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JPS561843Y2 (ja) * 1975-07-31 1981-01-16
JPS6176006U (ja) * 1984-10-23 1986-05-22
JPS62182337U (ja) * 1986-05-12 1987-11-19

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