JPH01196119A - バレル形サセプタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 バレル形サセプタ装置に関し、 エピタキシャル層の均−慴を改善することを［１的とし
、 周側面に複数のウェハが載置され、その軸線を中心に回
転するバレル形（ブレブタＶ、装置にａ３いて、該バレ
ル形サセプタ装置の」ノゼプタ本体の周側面１こ、上記
ウェハが載置されるつＴハ台を回転可能に支持して設置
−すると共１こ、上記リゼブタ本体の内部に上記ウェハ
台を上記周１１ｔ１１面内で回転させる機構を設（づて
構成する、。

〔産業上の利用分野〕

本発明は気相成長装置に用いるバレル形サセプタ装置に
関する。

ウェハ上に形成される土ビタ１−シャル層は、ウェハ全
域に口つて旧つ各つ］−ハについてその厚さ。

組成、ギせリア１１１１度などの均−ｆ１が良いことが
必要とされる。

エピタキシャル層の均一性の良否はウェハが載置される
刀セブタの構成に関係づる。

〔従来の技術〕

従来のバレル形サセプタは、周側面にウェハが略垂直の
姿勢で載置され、垂直の軸線を中心に回転する４１１１
１成−Ｃある。

つＪ−ハについてみると、略手直姿勢を維持しつつ上記
ｔ１１１線の周りを円運動する１゜［発明が解決しよう
どする問題点］ この−一うな従来のバレル形サセプタはウェハが反応炉
内で回転するため、固定形のサセプタ本体に比べて、均
一性に優れたエピタキシャル層を形成することができる
。

しかし、ウェハの各部分についてみると炉内の同じ高さ
位置を移動する。このため、場合によっては、つ」ニハ
の載置状態にお（づる＾さ方向に温度差が表われ、その
分同じウェハ内でエピタキシャル層が不均一となってし
まう。

本発明は、エピタキシャル層の均一性を改浜することの
できるバレル形づセプタ装置を提供することを目的どす
る。

〔問題点を解決するための手段］ 本発明は、周側面に複数のウェハが載置され、その１１
１線を中心に回転げるバレル形→ノセブタ装置において
、該バレル形→ノセプタ［ｉ、／／のサセプタ本体の周
側面に、上記ウェハが載置されるつ］−ハ台を回転可能
に支持して設）ノるど共に、」−記すセブタ本体の内部
に上記ウェハ台を上記周側面内で回転させる機描を設け
てなる構成でｄりる。１〔作用］ 回転可能に支持されたつ■ハ台及びこのつ１ｂ台を回転
さぜる機措により、ウェハはバレル形り一セブタ装買の
軸線の周りを回転Ｊると共に、周側面内で回転せしめら
れる。即ち、つ王ハは自転しつつ公転する。

これにより、ウェハ相互間においては勿論、個個のウェ
ハの仝而についても湿度差が無くなり、エピタキシャル
層の均一性が改善される。

〔実施例〕

第１図、第２図、第３図は夫々本発明の一実施例になる
バレル形刃レプタ装置の縦断面図、横断面図、斜視図で
ある。

各図中、１はバレル形」ノセブタ装置であり、反応炉（
図示けず）内に縦向きの姿勢で設置される３゜２はサセ
プタ本体であり、略六角柱状であり、その垂直のｌ’ｌ
ｌｌ　ＢＩ　３を中心に回転可能に支持されている。

４−〜／Ｉ−６はサセプタ本体２の周側面であす、ここ
にウェハ台支持部５−１〜５−６が凹状に形成しである
。

６−〜６−６はウェハ台であり、夫々ウェハ台支持部５
−１〜５−６に、嵌合して回転可能に支持されている。

各つ１ｂ台６−１〜６−６の表面側には、凹状のウェハ
載置部６−１．〜６−６ａが形成してあり、裏面側には
歯部６−１ｂ〜６６１１が形成しである。

７は大径のベベルギヤであり、１１１８０十端に固定さ
れて、サセプタ本体２の内部に設（Ｊであり、周面はウ
ェハ台６−〜６−６に略３＝ｊ向しくいる。

９　〜９−６はベベルギヤに似た特殊ギヤであり、斜面
に歯部９１ａ”〜９−、、大径の面に歯部９−１ｂ〜９
−６−形成しである１゜この特殊ギヤ９−１〜９−６は
、サセプタ本体２に形成された特殊ギヤ支乃部１０−１
−１０−６内に回転可能に支持されており、歯部９−１
ａ〜９−６ａがベベルギヤ７に咽合し、歯部９−１ｂ〜
９−６ｂが歯部６−１ｂ〜６−６ｂにロー合している。

１１−〜１１−６はウェハであり、各ウェハ台６−１〜
６−６のウェハ載置部６−１ａ〜６−６゜に嵌合して略
垂直の姿勢がｉｌｉ！置されている３゜気相エピタキシ
ャル成長時、サセプタ本体２を矢印Ａｈ向に回転させる
。ｌｌｌｌｌ１８は固定するか適宜回転させる。ザセプ
タ装買１は反応管の外側のヒ−夕により加熱される。

リヒプタ本体２０回転により、ウェハ１１〜１〜１１−
６４．１！１ｉ１１線３の周囲を円運動する。

また特殊ギヤ９−〜９−６がベベルギ−１−／　７の周
りを転動づ−る。この特殊ギヤ９−１〜９−６の回転が
ウェハ台６−１〜Ｇ−６に伝達され、これが矢印［３ブ
Ｊ向に回転し、各ウェハ１１−１〜１１−６が周方向に
回転する。

これにより、各ウェハ１１−〜１１−（、は、各周面／
ｌ−１〜４−６内で矢印Ｂ方向に自転しつ′つ、軸線３
の周囲を矢印へ方向に公転する動きをする。

このため、ウェハ相Ｕ間での１ｉＪｆｆ差が無くなると
共に、個々のウェハの各部分についても温度差が無くな
る。これ（こより、つ］］ニハ１１−１−１１−の全部
について、口つ個々のウェハ１１−　　＝１１−−６の
全面について、厚さ、１１成。

キャリア淵疫等が均一なエビタギシャル層が１ｑられる
。

なお、ウェハ１１−１〜１１−６の矢印Ｂ方向の回転数
は、軸８を適宜回転させることにより可変でき、所望の
回転数どし１ｑる。１ またサセプタ本体２、ウェハ台６−１へ・６−６、ベベ
ルギヤ７、軸８、特殊ギヤ９−１〜９−６（ま全てグラ
ファイト製である。

反応管内に供給される原（Ｎガスが各ギ′Ｉｌの噛み合
い部に進入し、これが潤濾剤として釣用することにより
、各ギヤは円滑に回転し、庁耗もしにくい。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明に」、れば、各つ７Ｌハが自
転しつつ公転する動きをづ−るため、ウェハ相互間にお
いては勿論、個々のウェハの全面についても温度差が無
くなり、全部のつ］−ハについて厚さ９組成、キャリア
澗度等が均一＜Ｊ−Ｔビター１−シＩフル層を形成する
ことが出来、丁ピタ４シＶ・ル層の均一性を改善できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のバレル形勺セブタ装置の−・実施例の
縦断面図、 第２図は本発明のバレル形サセプタ装置の一実施例の横
断面図、 第３図は本発明のバレル形（）−ゼブタ装置の一実施例
の斜視図である。 図において、 １はバレル形サセプタ装置、 ２はザヒブタ本体、 ３　（よ軸線　、 ４−１〜４−６は周側面、 ５−１〜５−６はウェハ台支持部、 ６−１〜Ｇ−６はウェハ台、 ６−１ａ〜６−６ａはウェハ載首部、 ６−１ｂ〜６Ｇｂ・””　　Ｉａ〜９−６ａ・９−１ｂ
〜９−’−６１１は歯部、 ７はベベル：８′ヤ、 ８は軸、 ９−１へ・９−６は特殊ギヤ、 １０−〜１０−６は特効、ギＡ７支持部、１１−〜１１
−６はウェハ を示す。 １バレ１彫す七グ２付 オ生と川のパ′巧幡杉すゼ７ア兜１漬！４懺よ甲ｗｔ目
轟五　１　Ｅ乙

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　周側面（４−＿１〜４−＿６）に複数のウェハ（１１
   −＿１〜１１−＿６）が載置され、その軸線（３）を中
   心に回転するバレル形サセプタ装置において、 該バレル形サセプタ装置のサセプタ本体（２）の周側面
   に、上記ウェハが載置されるウェハ台（６−＿１〜６−
   ＿６）を回転可能に支持（５−＿１〜５−６）して設け
   ると共に、 上記サセプタ本体の内部に上記ウェハ台を上記周側面内
   で回転させる機構（６−＿１＿ａ〜６−＿６＿ａ、９−
   ＿１〜９−＿６、＿７）を設けてなる構成のバレル形サ
   セプタ装置。