JPH01195307A - 被膜の厚さを測定する装置 - Google Patents

被膜の厚さを測定する装置

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JPH01195307A
JPH01195307A JP63306780A JP30678088A JPH01195307A JP H01195307 A JPH01195307 A JP H01195307A JP 63306780 A JP63306780 A JP 63306780A JP 30678088 A JP30678088 A JP 30678088A JP H01195307 A JPH01195307 A JP H01195307A
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JP
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collimator
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frame
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coating
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JP63306780A
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English (en)
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Jerry J Spongr
ジェリ ジェイ スポングル
Byron E Sawyer
バイロン イー ソーヤー
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Original Assignee
Twin City International Inc
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は物体の被覆ないし被膜(coating)の厚
さを測定する装置に関する。
本発明の装置は、厚さが測定されるべき被覆ないし被膜
を有する物体(workpiece:被測定物という)
の被覆ないし被膜にX線を第1コリメータを介して照射
するX線管と、X線蛍光を測定する信号検出器と、固定
焦点距離観察装置と、第1コリメータの下方に配置され
た鏡とを備え、これによって可動被測定物ホルダーに取
付けられた被測定物を第1コリメータと一直線上に、か
つ、X線管から適当な距離をおいて配置しうるようにな
し、さらに動作位置と非動作位置とに選択的に配置する
ことができる第2コリメータを、動作位置においては鏡
と測定されるべき被膜との間に、かつ、第1コリメータ
と一直線上に配置できるようにしたものである。
被測定物の被膜をX線蛍光を利用して測定できることは
当該技術分野では公知であり、この目的のために種々の
装置が開発されている。現行技術を開示している代表的
な特許は米国特許第4406015号および同第465
8357号である。
従来の典型的な装置はX線管と信号検出器を取付けた機
枠を有している。X線ビームはX線管からシャッターを
通して放射されコリメータを介して被測定物に照射され
る。被測定物の表面はX線管と信号検出器から固定され
た距離に保持されねばならない。被測定物をX線管とコ
リメータに対して正確に位置付けるために、通常固定焦
点距離観察装置が使用されている。この観察装置として
は顕微鏡または閉回路テレビジョンカメラおよびモニタ
を用いることができる。観察装置で観察される被測定物
の表面の像は視差をなくすためにX線ビームの光路に配
置された鏡で反射される。この鏡は前述の米国特許第4
656357号に開示されているように小孔を設けてX
線が鏡を通過できるように構成するか、あるいは、同4
406015号に開示されているようにX線ビームに対
して透過性を有する。被測定物はホルダー上に載置され
、このホルダーは、被測定物を観察装置を介して観察し
たときにその表面が焦点にあるようにX線管から固定さ
れた距離だけ離れた正確な位置に被測定物の被膜を正確
に位置付けるようにx、y、z軸上で調節できるように
なっている。この装置はほとんどの使用条件においては
ほぼ満足できるが、非常にせまい面積の被膜を測定する
場合は、必ずしも満足で籾る結果を得られないことが判
明している。これはコリメータの末端から放射されるX
線ビームが僅かに円錐状に外方向に拡散するからである
。従って、非常にせまい面積を測定する場合、被測定物
が鏡の下方に若干の距離をおいて配置されていると、被
測定物に達するX線ビームは測定されるべき区域の周縁
を越えて拡散し、被膜の厚さの正確な測定が阻止される
本発明の主な目的は上述のような被膜の厚さを測定する
装置であって、そのコリメータの末端を被測定物の被膜
にできる限り接近して配置できる装置を提供することに
ある。
すなわち、本発明によれば、X線蛍光を使用し、かつ、
第1コリメータを有するタイプの被膜厚測定装置に第2
コリメータを配備し、この第2コリメータは非動作位置
と動作位置の間を可動であり、非動作位置では被測定物
と固定焦点距離観察装置の鏡との間に配置されず、動作
位置では鏡を通して放射されるX線ビームが第2コリメ
ータを通して照射され、この第2コリメータの末端が被
測定物とできる限り接近して保持されるようになってい
る。
本発明の他の目的は、上述のような装置であって、被測
定物と鏡の間に配置できる種々の第2コリメータを使用
できる装置を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、鏡を通過して被測定物に照
射されるX線ビームの幅よりも広い幅の被膜の厚みを測
定するとき、被膜の測定を鏡と被測定物の間の動作位置
と非動作位置との間で可動コリメータで行なうことがで
きる装置を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、種々の動作位置に配置可能
な複数の第1コリメータと複数の第2コリメータを使用
でき、各第2コリメータは第1コリメータに関連し、第
2コリメータの数が第1コリメータの数よりも少ない装
置を提供することにある。
本発明の装置はX線管とシャッタと第1コリメータ手段
とX線ビームが通過する鏡とが取付けられた枠を含んで
いる。この枠にはさらに例えば比例カウンタの形態の信
号検出器と、鏡を通して被測定物を観察できる固定焦点
距離観察装置と、被測定物をX%YおよびZ軸方向に移
動させることができる被測定物ホルダーとが取付けられ
ている。
本発明の装置はさらに非動作位置から動作位置に移動さ
せることができる第2コリメータ手段を備えている。こ
の第2コリメータは動作位置においてその末端が被測定
物の被膜にできるだけ接近できるように鏡と被測定物の
間に配置されている。一つの実施例においては、固定さ
れた単一の第1コリメータと可動に取付けられた単一の
第2コリメータとが設けられている。他の実施例におい
ては、選択動作可能な複数の第1コリメータと第1コリ
メータより少ない数の第2コリメータとが設けられてお
り、第2コリメータのそれぞれが対応する第1コリメー
タに対して一直線上に配置されている。
以下本発明の実施例について説明する。
本発明の第1の実施例の装置10は、水平な中央取付板
12.1、前方垂直部材12.2、垂下部材12.3、
副枠12.4、基板12.5、ベースブロック12.6
および他の構成部材(図示省略)を含む主枠12を備え
ている。取付板12.1にはX線管14が取り付けられ
ている。取付板12.1の下方にはシャッタ16が固定
され、シャッタ16の下方には単一の第1コリメータ1
8からなる第1コリメータ手段が取り付けられている。
第1コリメータ18の末端19の下方には鏡20が取り
付けられ、この鏡20は主枠12に固定された鏡ホルダ
ー22に取り付けられている。第2図に示すように、こ
の鏡は小孔24を有してもよいし、あるいはX線を透過
する薄い反射被膜を有するものでもよい。例えば、比例
カウンタ26の形態の信号検出器が主枠の垂下部材12
.3に固定されている。固定焦点距離顕微鏡28がブラ
ケット30によって主枠の前方垂直部材12.2に固定
されている。固定焦点距離観察装置は図示例では顕微鏡
であるが、他の固定焦点距離観察装置、例えば、固定焦
点距離テレビカメラと閉回路モニタを使用することもで
きる。
主枠12の基板12.5には被測定物ホルダー取付は手
段32が取付けられている。この被測定物ホルダー取付
手段は被測定物ホルダー34をX、Y、Z軸方向に移動
可能に支持するいかなる構成のものでもよい。この被測
定物ホルダーは公知であり市販のものが種々入手可能で
ある。従って、被測定物ホルダーは被測定物ホルダー取
付手段によって第1図でY軸に沿って左右方向に、また
、第1図でZ軸に沿って上下方向に、さらに、第2図で
X軸に沿って左右方向に、それぞれ移動可能である。被
膜の厚さが測定されるべき被測定物36は、本発明の測
定装置の動作中、被測定物ホルダーに取り付けられる。
第1図第2図に示される被測定物は比較的大きい寸法で
あるが、多くの場合、被測定物はかなり小さく、例えば
有効直径が約0.0030c+n (0,0012イン
チ)のワイヤで、その上に被膜が施されている。被膜の
厚さを適正に測定するために、被測定物に照射されるX
線ビームは被膜の幅よりも大きくないのが好ましい。
本発明の原理によれば、所望のX線ビームを提供するた
めに、第2コリメータ手段48が設けられる。この第2
コリメータ手段は、末端51を有する第2コリメータ5
0を含んでいる。第2コリメータは、第3図に最もよく
示されるように、コリメータホルダーないしカートリッ
ジ52に取り付けられている。第2コリメータ50を通
して被測定物を観察できないので、第2コリメータ手段
を各図において実線で示す動作位置と非動作位置との間
を穆動させる手段が設けられている。この非動作位置で
は、第2コリメータ50とそのカートリッジ52は被測
定物36を固定焦点距離顕微鏡28によって見ることを
妨げない位置にある。
第2コリメータを動作位置と非動作位置の間で変位させ
る移動手段53を第2図第3図に示す。
図示のように、この移動手段は電気作動ソレノイドの形
態のリニアアクチュエータ54を含んでいる。このソレ
ノイドは調節機構60によってY軸に沿って変位可能な
取付板58に固定具56によって固定されている。この
調節機構60は副枠12.4に固定具64によって固定
されたブラケット62を含み、副枠は適宜の手段によっ
て主枠12に連結されている。ロッド66がソレノイド
54の外方へ突出し、矢印68で示すように左右に変位
復帰可能である。ロッド66の左方端はカートリッジホ
ルダー70に固定され、このホルダーは取付板58上で
リニアガイド手段72によって直線移動可能に案内され
ている。
コリメータカートリッジ52は整列ピン74.76と固
定ねじ78とによってカートリッジホルダー70に取り
外し可能に取り付けられている。
これらのピン74,76はカートリッジホルダーに取り
付けられ副コリメータカートリッジの適当な孔に挿入さ
れている。締付手段78を解放することによって、コリ
メータカートリッジ52を移動手段53から取り外し、
その代りに別の第2コリメータを有する他のカートリッ
ジを取り付けることができる。
ソレノイド54を作動させ第2図第3図に示す動作位置
へと左方へ動かすと、コリメータカートリッジがブラケ
ット82によって付設したねじ80からなる係止部材に
当接する。プラッケト82の上端は適宜の手段で枠12
.1の一部にしっかり連結される。
ソレノイドを突出させたとき第2コリメータが所望の位
置になければ、その位置をねじ8oを突出または引き込
ませ、さらに、取付板を調節機構60によってY軸に沿
って8動させることによって調節することができる。
操作にあたって、操作者は、被測定物36を被測定物ホ
ルダー取付板上に適宜に位置調節して正しい位置に置き
、被測定物の測定されるべ被膜を顕微鏡の照準線内に正
確に位置付けて、焦点を合わせる。この操作により、被
測定物の被膜はX線管から予め定められた距離に設定さ
れる。被膜が第1コリメータ18のみを用いて測定でき
る幅を有していれば、操作者は測定装置の操作を開始さ
せる制御ボタン84を押して測定機器の操作を開始させ
る。しかし、被測定物の被膜の幅がコリメータ18によ
っては正確に測定できない幅であれば、操作者は第2!
II御ボタン86を押して操作を開始する。この操作に
より、ソレノイド54がロッドを右側位置から左側位置
へ移動させ、被膜厚測定が行なわれる予め定めた時間の
間、ロッドをその位置に保持し、測定終了後、カートリ
ッジおよびカートリッジホルダーを一点鎖線88で示す
位置まで復帰させ、操作者が再び顕微鏡で被測定物を観
察できるようにする。前述の構成を用いることにより、
第2コリメータ50・の末端51を被測定物の被膜にで
きる限り接近させることができる。
X線ユニット、信号検出器およびソレノイドの操作は、
例えばマイクロプロセッサをベースとするコンピュータ
からなる制御装置90によって制御される。
第2コリメータ手段を動作位置と非動作位置の間を移動
させるためのリニアアクチュエータは第2図第3図では
ソレノイドによって制御されるが、第2コリメータ手段
を直線的に移動させるのには他の種々の機構を用いるこ
ともできる。−例として第4〜6図の第2実施例のもの
と同様のアンチバックラッシュねじ機構がある。この機
構はステッピングモータによって制御される。この種の
ステッピングモータ・アンチバックラッシュねじ機構を
用いることによって、第2コリメータ手段を非動作位置
と一つの動作位置の間を移動させるだけでなく、コリメ
ータカートリッジ52を他の種々の動作位置にも移動さ
せることができる。
このような構成は付加的な複数の第2コリメータをコリ
メータカートリッジ上で直線路に配置し、異なる第2コ
リメータを用いて被測定物の種々の位置を順次測定する
場合に望ましい構成であり、この場合種々の第2コリメ
ータはライン92に沿って配置される。
さらに、動作位置と非動作位置の間で第2コリメータを
移動させる手段としてリニアアクチュエータを例示した
が、他の機構を用いることもできる。例えば、カートリ
ッジホルダー70を垂直方向に延長するロータリーシャ
フトに取り付け、このシャフトとともに回転動作するよ
うに構成し、このシャフトを回転させ第2コリメータを
動作位置、または非動作位置のいずれかに位置付けるこ
ともできる。この場合は、係止機構80.82は非動作
位置に応じてコリメータカートリッジの前方または後方
に配置しなければならない。また、ロータリシャフトを
支持している機構をX、Y平面で調節して、第2コリメ
ータをその所望の位置に正確に位置付けることもできる
。シャフトを回転させるための機構は、一端がシャフト
に連結され他端がソレノイド等に連結された単なるロッ
クアームとしてもよい。あるいはまた、このシャフトを
スリップクラッチ機構を介し可逆モータにより二つの位
置の間で移動させることもできる。
本発明の第2実施例を第4図〜第6図に示す。
これらの図において、第1図〜第3図の各部材に対応す
る部材には同じ参照番号を付し、少し異なる部材は同じ
参照番号に添字“a”を付して示す。従って、枠は12
a、X線管は14、シャッターは16、鏡は20、鏡ホ
ルダーは22、信号検出器は26、固定焦点距離観察装
置は28、被測定物ホルダーは32でそれぞれ示す。こ
れらの部材はすべて第1図〜第3図に示す実施例におけ
ると同様に互いに関連配置されている。第4図〜第6図
の実施例が第1図〜第3図の実施例と異なる主な点は、
複数の第1コリメータ18.1〜18.7がスライド集
合体100に取り付けられており、このスライド集合体
が第1コリメータ18.1〜18.7と一直線上に取り
付けられた複数の第2コリメータ50.1〜50.2を
も支持している点である。さらに、スライド集合体を移
動させる手段も設けられている。
第4図〜第6図に示すように、枠12aには第1図〜第
3図に示す第1実施例のベースブロックといくぶん異な
るベースブロック12.6aが設けられている。すなわ
ち、ベースブロック12.L+は垂直延長面12.7を
有し、反対側の垂直面(参照番号なし)には鏡ホルダー
22が取り付けられている。ベースブロック12.[i
aの前垂直面12.7にはスライド集合体100が取り
付けられている。このスライド集合体は、上下の水平面
を有する水平方向に延長する取付ブロック102からな
り、この雨水平面はリニアベアリング104とこのベア
リング104に支持された断面C字状のスライド106
とを支受している。スライド106には第1コリメータ
支持部材108が固定されている。
この第1コリメータ支持部材は垂直部108..1と後
方に延長する下方水平支持部108.2とを含んでいる
。、第1コリメータ支持部材はさらに厚さが測定される
べき被膜の観察を容易にする適当な切り欠き108.3
を有している。下方水平支持部108.2の後部には直
線的に配列された複数の孔(参照番号なし)が設けられ
、多孔の底部が第1コリメータ18.1〜18.7の一
つを支受している。これらの第1コリメータは第1コリ
メータ支持部材108に固定されるように取付けるのが
望ましい。
第1コリメータ支持部材108の下面には第2コリメー
タ支持部材110(第6図には図示略)が固定されてい
る。第2コリメータ支持部材は垂直脚110.1と水平
脚110.2を有してL字状をなしている。垂直脚には
第2コリメータ50.1と50.2の間に切り欠き11
0.3が設けられ、ここから観察装置により被膜を観察
でき、また、装置を第1コリメータ18.1−18.6
で使用しているとき、X線ビームが測定されるべき被膜
に直接到達できるようになっている。水平脚110.2
には第1コリメータ18.1と18.7を支受する孔と
同心の二つの孔が設けられており、これらの孔は第1コ
リメータ18.1と18.7と同心状態に一致して第2
コリメータ50.1と50.2を受は止め、ている。第
2コリメータ50.1と50.2は支持部材110に固
定されるのが好ましい。しかし、支持部材110は支持
部材108に取り外し可能に固定されているので、それ
ぞれ第2コリメータを有する複数の第2コリメータ支持
部材を準備することによって、第1コリメータを変える
ことなしに第2コリメータを変えることができる。図示
していないが第3図に示す整列ピン74.76と同様の
適当な整列ピンを設けて、支持部材110が支持部材1
08に固定されるとき、第2コリメータ50.1と50
.2がそれぞれ対応する第1コリメータ18.1と18
.7に正確に一致することを保証するようにしてもよい
本実施例の第1コリメータをX軸に沿って8aさせるた
めの8動手段53a(第6図に示す)は第2コリメータ
をも移動させる。この8動手段はアンチバックラッシュ
ねじ114を駆動するステッピングモータ112を含ん
でいる。アンチバックラッシュねじ114には対応する
ナツト116が螺合し、このナツトは第1コリメータ支
持部材108に支持されたブラケット118(第6図に
のみ示す)に固定されている。ステッピングモータ11
2は副枠12.4に固定されている。
第4図〜第6図の実施例のステッピングモータの動作は
、第2図に示す制御装置84.86.90.92と同様
の制御装置によって適当に制御される。この制御装置は
さらに適当なキーバッドを付加的に備えていてもよい。
従って、操作にあたり、操作者は被測定物ホルダー取付
手段を適当に調節することにより被測定物を正確に位置
付け、被測定物の測定されるべき被膜を顕微鏡28の照
準線上で、かつ、焦点に正確に位置付けることができる
。この操作が達成されると、被測定物の被膜はX線管1
4から予め定められた距離にある。被膜が第1コリメー
タ18.2〜18.6の一つのみを用いて測定できる幅
であるときは、操作者は適当な制御ボタンないしキーを
押して測定装置を始動させ、ステッピングモータ112
により第1コリメータ支持部材108をその所望位置に
移動させ、そこで選択された第1コリメータをX線ビー
ムに対して一直線上に配置することができる。しかし、
被測定物の被膜の幅が第1コリメータ18.2〜18.
6のいずれか一つのみを用いては正確に測定で籾ないほ
どの幅である場合は、操作者は他の制御ボタンないしキ
ーを押し、第1コリメータ支持部材108を他の位置に
移動させて、所望の第1コリメータと第2コリメータの
組み合せ、すなわち、18.1と50.1または18.
7と50.2のいずれかをX線ビームに対し一直線上に
配置する。
前述の構成を用いることにより第4図〜第6図の実施例
に示す測定装置内の7通りの異なるコリメータ配置を迅
速に変更することができる。
上記実施例ではステッピングモータを使用したが第1コ
リメータ支持部材108と第2コリメータ支持部材11
0を移動させるのに他の種々の機構を用いることもでき
る。この種の機構の一つとしては、圧電モータで駆動さ
れるねじがある。第1および第2コリメータを位置付け
する他の機構については当業者に明らかであろう。
本発明の原理を二つの実施例で説明したが本発明はこれ
に限定されるものではない。
以下本発明の諸態様を要約する。
(1)枠12と; X線管14と前記枠に取り付けられた固定焦点距離観察
装置と: 前記枠に取り付けられ、被測定物36の被膜の測定中、
前記X線管からのX線が通過可能である鏡20と: 前記被測定物36を保持する被測定物ホルダー34と; 前記枠に取り付けられ、前記被測定物の表面の被膜が前
記観察装置によって観察され正確に焦点に配置されたと
き、前記X線管から予め定められた距離に保持されるよ
うに、前記被測定物ホルダーと関連する被測定物とを8
勤させることができる被測定物ホルダー取付は手段32
と;からなる装置において、 前記枠に相互連結されたコリメータ手段48が前記被測
定物の被膜にできる限り接近可能な動作位置に配置でき
る末端を有するコリメータ50を含んでいることを特徴
とする被膜の厚さを測定する装置。
(2)前記コリメータを非動作位置に移動させることが
できる(1)項の装置。
(3)枠12と; 前記枠に取り付けられたX線管14と;前記枠に取り付
けられ、被測定物36の被膜の測定中、前記X線管から
のX線が通過可能である鏡20と: 前記X線管と前記鏡の間で前記枠に取り付けられた第1
コリメータ手段18と: 前記枠に取り付けられ、前記鏡で反射された前記被測定
物の表面の被膜の像を観察する固定焦点距離観察装置2
8と; 前記被測定物36を保持する被測定物ホルダー34と; 前記枠に取り付けられ、測定されるべき前記被測定物の
表面の被膜が前記X線管から予め定められた距離に保持
され正確に焦点位置において観察できる位置に移動でき
るように、前記被測定物ホルダーと関連する被測定物と
を移動させることができる被測定物ホルダー取付手段と
; 前記枠に取り付けられた信号検出手段26と;からなる
装置において、 第2コリメータ手段48と、前記枠に取り付けられ、こ
の第2コリメータ手段を動作位置と非動作位置の間を移
動させることができる移動手段53とを設け、前記第2
コリメータ手段が、動作位置にあるとき鏡と被測定物の
間に配置される第2コリメータを含み、動作位置にある
とき前記第2コリメータの末端51が測定されるべき被
膜にできる限り近くに配置され、さらに前記第2コリメ
ータが非動作位置にあるとき前記被膜を前記観察装置を
介して観察できるようにした被膜の厚さを測定する装置
(4)前記第2コリメータ手段48がコリメータホルダ
ー52を含み、前記第2コリメータ50が前記コリメー
タホルダーに取り付けられ、このコリメータホルダーが
異なる第2コリメータを用いることができるように移動
手段に取り外し可能に固定されている(3)項の装置。
(5)前記第2コリメータ手段がコリメータホルダー5
2を含み、前記第2コリメータおよび他の第2コリメー
タが前記コリメータホルダーに取り付けられ、さらに、
前記移動手段が前記コリメータホルダーを複数の動作位
置に8勤させる手段を含み、測定中前記動作位置におい
て、前記第2コリメータを用いるようにした(3)項の
装置。
(6)前記移動手段がリニアアクチュエータである(3
)項の装置。
(7)前記移動手段がロータリーアクチュエータである
(3)項の装置。
(8)前記第1コリメータ手段が、前記X線管と前記鏡
の間を可動にスライド106上に取り付けられた複数の
第1コリメータを含み、前記移動手段が前記スライドを
複数の異なる動作位置間に移動させることができ、一つ
の第1コリメータのみが複数の動作位置の各々に対して
動作位置にある(3)項の装置。
(9)第2コリメータ手段が前記第1コリメタにこれと
ともに可動に連結され、この第1コリメータ手段が複数
の第1コリメータを含み、第2コリメータの各々が関連
する前記第1コリメータと軸方向に一直線上に配置され
ている(8)項の装置。
(10)前記第2コリメータの数が前記第1コリメータ
の数と同じか、またはこれより少なく、前記スライドが
一つの動作位置にあるとき前記第1と第2のコリメータ
を測定されるべき被膜に対し一直線に配置し、前記スラ
イドが他の動作位置にあるとき一つの第1コリメータの
みが測定されるべ包被膜に対し一直線上に配置される(
9)項の装置。
(11)前記第2コリメータが取り外し可能に取り付け
られている(8)項の装置。
(12)枠と; この枠に取り付けられたX線管と; 前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
X線管からの放射線が通過可能な鏡と;前記枠に取り付
けられ、前記鏡で反射された前記被測定物の表面の被膜
の像を観察する固定焦点距離観察装置と; 前記枠に取り付けられた信号検出手段と;からなる装置
において、 前記枠に取り付けられ、前記X線管と前記鏡の間におい
て一直線上に配列された複数の第1コリメータを含む第
1コリメータ手段と; 前記第1コリメータ手段に取り付けられ、取り外し可能
な複数の第2コリメータを含む第2コリメータ手段と; からなり、すべての第2コリメータが一つの第1コリメ
ータと一直線に配置され、かつ前記鏡の下方に取り付け
られ; 前記第2コリメータ手段が前記第1コリメータ手段の位
置によって決定される一連の動作位置と非動作位置の間
を可動であり; 前記枠に取り付けられ、前記第1および第2コリメータ
手段を前記第1コリメータの一つのみが動作位置にある
一連の動作位置の間を移動させることができる移動手段
を; 併せ備えてなる被膜の厚さを測定する装置。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明一実施例の一部を省略して示した側面図
、 第2図は第1図の2−2線縦断正面図、第3図は第2図
の3−3線方向から見た底面図、 第4図は本発明の他の実施例の一部を省略して示した側
面図、 第5図は第4図の5−5線縦断正面図、第6図は第4図
の6−6線方向から見た底面図で、一部が移動した状態
を示す図である。 10・・・被膜測定装置、 12・・・主枠、 14・・・X線管、 18・・・第1コリメータ、 20・・・鏡、 28・・・固定焦点距離観察装置、 34・・・被測定物ホルダー、 36・・・被測定物、 50・・・第2コリメータ、 54・・・リニアアクチュエータ、 60・・・調節機構。 Vノ図 1d5 葛2121 茗552I 第6品

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)枠と; X線管と前記枠に取り付けられた固定焦点距離観察装置
    と; 前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
    X線管からのX線が通過可能である鏡と; 前記被測定物を保持する被測定物ホルダーと;前記枠に
    取り付けられ、前記被測定物の表面の被膜が前記観察装
    置によって観察され正確に焦点に配置されたとき、前記
    X線管から予め定められた距離に保持されるように、前
    記被測定物ホルダーと関連する被測定物とを移動させる
    ことができる被測定物ホルダー取付け手段と; からなる装置において、 前記枠に相互連結されたコリメータ手段が前記被測定物
    の被膜にできる限り接近可能な動作位置に配置できる末
    端を有するコリメータを含んでいる被膜の厚さを測定す
    る装置。
  2. (2)枠と; 前記枠に取り付けられたX線管と; 前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
    X線管からのX線が通過可能である鏡と; 前記X線管と前記鏡の間で前記枠に取り付けられた第1
    コリメータ手段と; 前記枠に取り付けられ、前記鏡で反射された前記被測定
    物の表面の被膜の像を観察する固定焦点距離観察装置と
    ; 前記被測定物を保持する被測定物ホルダーと;前記枠に
    取り付けられ、測定されるべき前記被測定物の表面の被
    膜が前記X線管から予め定められた距離に保持され正確
    に焦点位置において観察できる位置に移動できるように
    、前記被測定物ホルダーと関連する被測定物とを移動さ
    せることができる被測定物ホルダー取付手段と; 前記枠に取り付けられた信号検出手段と; からなる装置において、 第2コリメータ手段と、前記枠に取り付けられ、この第
    2コリメータ手段を動作位置と非動作位置の間を移動さ
    せることができる移動手段とを設け、前記第2コリメー
    タ手段が、動作位置にあるとき鏡と被測定物の間に配置
    される第2コリメータを含み、動作位置にあるとき前記
    第2コリメータの末端が測定されるべき被膜のできる限
    り近くに配置され、さらに前記第2コリメータが非動作
    位置にあるとき前記被膜を前記観察装置を介して観察で
    きるようにした被膜の厚さを測定する装置。
  3. (3)枠と; この枠に取り付けられたX線管と; 前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
    X線管からのX線が通過可能な鏡と;前記枠に取り付け
    られ、前記鏡で反射された前記被測定物の表面の被膜の
    像を観察する固定焦点距離観察装置と; 前記枠に取り付けられた信号検出手段と; からなる装置において、 前記枠に取り付けられ、前記X線管と前記鏡の間におい
    て一直線上に配列された複数の第1コリメータを含む第
    1コリメータ手段と; 前記第1コリメータ手段に取り付けられ、取り外し可能
    な複数の第2コリメータを含む第2コリメータ手段と; からなり、すべての第2コリメータが一つの第1コリメ
    ータと一直線に配置され、かつ前記鏡の下方に取り付け
    られ; 前記第2コリメータ手段が前記第1コリメータ手段の位
    置によって決定される一連の動作位置と非動作位置の間
    を可動であり; 前記枠に取り付けられ、前記第1および第2コリメータ
    手段を前記第1コリメータの一つのみが動作位置にある
    一連の動作位置の間を移動させることができる移動手段
    を; 併せ備えてなる被膜の厚さを測定する装置。
JP63306780A 1987-12-07 1988-12-03 被膜の厚さを測定する装置 Pending JPH01195307A (ja)

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US12947787A 1987-12-07 1987-12-07
US129477 1987-12-07
US07/235,946 US4962518A (en) 1987-12-07 1988-08-23 Apparatus for measuring the thickness of a coating
US235946 1999-01-22

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JP2001304844A (ja) * 2000-03-17 2001-10-31 Helmut Fischer Gmbh & Co Inst Fuer Elektronik & Messtechnik X線蛍光による層厚測定において測定対象の位置を設定する方法

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