JPH01195307A

JPH01195307A - 被膜の厚さを測定する装置

Info

Publication number: JPH01195307A
Application number: JP63306780A
Authority: JP
Inventors: Jerry J Spongr; ジェリ　ジェイ　スポングル; Byron E Sawyer; バイロン　イー　ソーヤー
Original assignee: Twin City International Inc
Current assignee: Twin City International Inc
Priority date: 1987-12-07
Filing date: 1988-12-03
Publication date: 1989-08-07
Also published as: US4962518A; DE3841430A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は物体の被覆ないし被膜（ｃｏａｔｉｎｇ）の厚
さを測定する装置に関する。

本発明の装置は、厚さが測定されるべき被覆ないし被膜
を有する物体（ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ：被測定物という）
の被覆ないし被膜にＸ線を第１コリメータを介して照射
するＸ線管と、Ｘ線蛍光を測定する信号検出器と、固定
焦点距離観察装置と、第１コリメータの下方に配置され
た鏡とを備え、これによって可動被測定物ホルダーに取
付けられた被測定物を第１コリメータと一直線上に、か
つ、Ｘ線管から適当な距離をおいて配置しうるようにな
し、さらに動作位置と非動作位置とに選択的に配置する
ことができる第２コリメータを、動作位置においては鏡
と測定されるべき被膜との間に、かつ、第１コリメータ
と一直線上に配置できるようにしたものである。

被測定物の被膜をＸ線蛍光を利用して測定できることは
当該技術分野では公知であり、この目的のために種々の
装置が開発されている。現行技術を開示している代表的
な特許は米国特許第４４０６０１５号および同第４６５
８３５７号である。

従来の典型的な装置はＸ線管と信号検出器を取付けた機
枠を有している。Ｘ線ビームはＸ線管からシャッターを
通して放射されコリメータを介して被測定物に照射され
る。被測定物の表面はＸ線管と信号検出器から固定され
た距離に保持されねばならない。被測定物をＸ線管とコ
リメータに対して正確に位置付けるために、通常固定焦
点距離観察装置が使用されている。この観察装置として
は顕微鏡または閉回路テレビジョンカメラおよびモニタ
を用いることができる。観察装置で観察される被測定物
の表面の像は視差をなくすためにＸ線ビームの光路に配
置された鏡で反射される。この鏡は前述の米国特許第４
６５６３５７号に開示されているように小孔を設けてＸ
線が鏡を通過できるように構成するか、あるいは、同４
４０６０１５号に開示されているようにＸ線ビームに対
して透過性を有する。被測定物はホルダー上に載置され
、このホルダーは、被測定物を観察装置を介して観察し
たときにその表面が焦点にあるようにＸ線管から固定さ
れた距離だけ離れた正確な位置に被測定物の被膜を正確
に位置付けるようにｘ、ｙ、ｚ軸上で調節できるように
なっている。この装置はほとんどの使用条件においては
ほぼ満足できるが、非常にせまい面積の被膜を測定する
場合は、必ずしも満足で籾る結果を得られないことが判
明している。これはコリメータの末端から放射されるＸ
線ビームが僅かに円錐状に外方向に拡散するからである
。従って、非常にせまい面積を測定する場合、被測定物
が鏡の下方に若干の距離をおいて配置されていると、被
測定物に達するＸ線ビームは測定されるべき区域の周縁
を越えて拡散し、被膜の厚さの正確な測定が阻止される
。

本発明の主な目的は上述のような被膜の厚さを測定する
装置であって、そのコリメータの末端を被測定物の被膜
にできる限り接近して配置できる装置を提供することに
ある。

すなわち、本発明によれば、Ｘ線蛍光を使用し、かつ、
第１コリメータを有するタイプの被膜厚測定装置に第２
コリメータを配備し、この第２コリメータは非動作位置
と動作位置の間を可動であり、非動作位置では被測定物
と固定焦点距離観察装置の鏡との間に配置されず、動作
位置では鏡を通して放射されるＸ線ビームが第２コリメ
ータを通して照射され、この第２コリメータの末端が被
測定物とできる限り接近して保持されるようになってい
る。

本発明の他の目的は、上述のような装置であって、被測
定物と鏡の間に配置できる種々の第２コリメータを使用
できる装置を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、鏡を通過して被測定物に照
射されるＸ線ビームの幅よりも広い幅の被膜の厚みを測
定するとき、被膜の測定を鏡と被測定物の間の動作位置
と非動作位置との間で可動コリメータで行なうことがで
きる装置を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、種々の動作位置に配置可能
な複数の第１コリメータと複数の第２コリメータを使用
でき、各第２コリメータは第１コリメータに関連し、第
２コリメータの数が第１コリメータの数よりも少ない装
置を提供することにある。

本発明の装置はＸ線管とシャッタと第１コリメータ手段
とＸ線ビームが通過する鏡とが取付けられた枠を含んで
いる。この枠にはさらに例えば比例カウンタの形態の信
号検出器と、鏡を通して被測定物を観察できる固定焦点
距離観察装置と、被測定物をＸ％ＹおよびＺ軸方向に移
動させることができる被測定物ホルダーとが取付けられ
ている。

本発明の装置はさらに非動作位置から動作位置に移動さ
せることができる第２コリメータ手段を備えている。こ
の第２コリメータは動作位置においてその末端が被測定
物の被膜にできるだけ接近できるように鏡と被測定物の
間に配置されている。一つの実施例においては、固定さ
れた単一の第１コリメータと可動に取付けられた単一の
第２コリメータとが設けられている。他の実施例におい
ては、選択動作可能な複数の第１コリメータと第１コリ
メータより少ない数の第２コリメータとが設けられてお
り、第２コリメータのそれぞれが対応する第１コリメー
タに対して一直線上に配置されている。

以下本発明の実施例について説明する。

本発明の第１の実施例の装置１０は、水平な中央取付板
１２．１、前方垂直部材１２．２、垂下部材１２．３、
副枠１２．４、基板１２．５、ベースブロック１２．６
および他の構成部材（図示省略）を含む主枠１２を備え
ている。取付板１２．１にはＸ線管１４が取り付けられ
ている。取付板１２．１の下方にはシャッタ１６が固定
され、シャッタ１６の下方には単一の第１コリメータ１
８からなる第１コリメータ手段が取り付けられている。

第１コリメータ１８の末端１９の下方には鏡２０が取り
付けられ、この鏡２０は主枠１２に固定された鏡ホルダ
ー２２に取り付けられている。第２図に示すように、こ
の鏡は小孔２４を有してもよいし、あるいはＸ線を透過
する薄い反射被膜を有するものでもよい。例えば、比例
カウンタ２６の形態の信号検出器が主枠の垂下部材１２
．３に固定されている。固定焦点距離顕微鏡２８がブラ
ケット３０によって主枠の前方垂直部材１２．２に固定
されている。固定焦点距離観察装置は図示例では顕微鏡
であるが、他の固定焦点距離観察装置、例えば、固定焦
点距離テレビカメラと閉回路モニタを使用することもで
きる。

主枠１２の基板１２．５には被測定物ホルダー取付は手
段３２が取付けられている。この被測定物ホルダー取付
手段は被測定物ホルダー３４をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動
可能に支持するいかなる構成のものでもよい。この被測
定物ホルダーは公知であり市販のものが種々入手可能で
ある。従って、被測定物ホルダーは被測定物ホルダー取
付手段によって第１図でＹ軸に沿って左右方向に、また
、第１図でＺ軸に沿って上下方向に、さらに、第２図で
Ｘ軸に沿って左右方向に、それぞれ移動可能である。被
膜の厚さが測定されるべき被測定物３６は、本発明の測
定装置の動作中、被測定物ホルダーに取り付けられる。

第１図第２図に示される被測定物は比較的大きい寸法で
あるが、多くの場合、被測定物はかなり小さく、例えば
有効直径が約０．００３０ｃ＋ｎ　（０，００１２イン
チ）のワイヤで、その上に被膜が施されている。被膜の
厚さを適正に測定するために、被測定物に照射されるＸ
線ビームは被膜の幅よりも大きくないのが好ましい。

本発明の原理によれば、所望のＸ線ビームを提供するた
めに、第２コリメータ手段４８が設けられる。この第２
コリメータ手段は、末端５１を有する第２コリメータ５
０を含んでいる。第２コリメータは、第３図に最もよく
示されるように、コリメータホルダーないしカートリッ
ジ５２に取り付けられている。第２コリメータ５０を通
して被測定物を観察できないので、第２コリメータ手段
を各図において実線で示す動作位置と非動作位置との間
を穆動させる手段が設けられている。この非動作位置で
は、第２コリメータ５０とそのカートリッジ５２は被測
定物３６を固定焦点距離顕微鏡２８によって見ることを
妨げない位置にある。

第２コリメータを動作位置と非動作位置の間で変位させ
る移動手段５３を第２図第３図に示す。

図示のように、この移動手段は電気作動ソレノイドの形
態のリニアアクチュエータ５４を含んでいる。このソレ
ノイドは調節機構６０によってＹ軸に沿って変位可能な
取付板５８に固定具５６によって固定されている。この
調節機構６０は副枠１２．４に固定具６４によって固定
されたブラケット６２を含み、副枠は適宜の手段によっ
て主枠１２に連結されている。ロッド６６がソレノイド
５４の外方へ突出し、矢印６８で示すように左右に変位
復帰可能である。ロッド６６の左方端はカートリッジホ
ルダー７０に固定され、このホルダーは取付板５８上で
リニアガイド手段７２によって直線移動可能に案内され
ている。

コリメータカートリッジ５２は整列ピン７４．７６と固
定ねじ７８とによってカートリッジホルダー７０に取り
外し可能に取り付けられている。

これらのピン７４，７６はカートリッジホルダーに取り
付けられ副コリメータカートリッジの適当な孔に挿入さ
れている。締付手段７８を解放することによって、コリ
メータカートリッジ５２を移動手段５３から取り外し、
その代りに別の第２コリメータを有する他のカートリッ
ジを取り付けることができる。

ソレノイド５４を作動させ第２図第３図に示す動作位置
へと左方へ動かすと、コリメータカートリッジがブラケ
ット８２によって付設したねじ８０からなる係止部材に
当接する。プラッケト８２の上端は適宜の手段で枠１２
．１の一部にしっかり連結される。

ソレノイドを突出させたとき第２コリメータが所望の位
置になければ、その位置をねじ８ｏを突出または引き込
ませ、さらに、取付板を調節機構６０によってＹ軸に沿
って８動させることによって調節することができる。

操作にあたって、操作者は、被測定物３６を被測定物ホ
ルダー取付板上に適宜に位置調節して正しい位置に置き
、被測定物の測定されるべ被膜を顕微鏡の照準線内に正
確に位置付けて、焦点を合わせる。この操作により、被
測定物の被膜はＸ線管から予め定められた距離に設定さ
れる。被膜が第１コリメータ１８のみを用いて測定でき
る幅を有していれば、操作者は測定装置の操作を開始さ
せる制御ボタン８４を押して測定機器の操作を開始させ
る。しかし、被測定物の被膜の幅がコリメータ１８によ
っては正確に測定できない幅であれば、操作者は第２！
ＩＩ御ボタン８６を押して操作を開始する。この操作に
より、ソレノイド５４がロッドを右側位置から左側位置
へ移動させ、被膜厚測定が行なわれる予め定めた時間の
間、ロッドをその位置に保持し、測定終了後、カートリ
ッジおよびカートリッジホルダーを一点鎖線８８で示す
位置まで復帰させ、操作者が再び顕微鏡で被測定物を観
察できるようにする。前述の構成を用いることにより、
第２コリメータ５０・の末端５１を被測定物の被膜にで
きる限り接近させることができる。

Ｘ線ユニット、信号検出器およびソレノイドの操作は、
例えばマイクロプロセッサをベースとするコンピュータ
からなる制御装置９０によって制御される。

第２コリメータ手段を動作位置と非動作位置の間を移動
させるためのリニアアクチュエータは第２図第３図では
ソレノイドによって制御されるが、第２コリメータ手段
を直線的に移動させるのには他の種々の機構を用いるこ
ともできる。−例として第４〜６図の第２実施例のもの
と同様のアンチバックラッシュねじ機構がある。この機
構はステッピングモータによって制御される。この種の
ステッピングモータ・アンチバックラッシュねじ機構を
用いることによって、第２コリメータ手段を非動作位置
と一つの動作位置の間を移動させるだけでなく、コリメ
ータカートリッジ５２を他の種々の動作位置にも移動さ
せることができる。

このような構成は付加的な複数の第２コリメータをコリ
メータカートリッジ上で直線路に配置し、異なる第２コ
リメータを用いて被測定物の種々の位置を順次測定する
場合に望ましい構成であり、この場合種々の第２コリメ
ータはライン９２に沿って配置される。

さらに、動作位置と非動作位置の間で第２コリメータを
移動させる手段としてリニアアクチュエータを例示した
が、他の機構を用いることもできる。例えば、カートリ
ッジホルダー７０を垂直方向に延長するロータリーシャ
フトに取り付け、このシャフトとともに回転動作するよ
うに構成し、このシャフトを回転させ第２コリメータを
動作位置、または非動作位置のいずれかに位置付けるこ
ともできる。この場合は、係止機構８０．８２は非動作
位置に応じてコリメータカートリッジの前方または後方
に配置しなければならない。また、ロータリシャフトを
支持している機構をＸ、Ｙ平面で調節して、第２コリメ
ータをその所望の位置に正確に位置付けることもできる
。シャフトを回転させるための機構は、一端がシャフト
に連結され他端がソレノイド等に連結された単なるロッ
クアームとしてもよい。あるいはまた、このシャフトを
スリップクラッチ機構を介し可逆モータにより二つの位
置の間で移動させることもできる。

本発明の第２実施例を第４図〜第６図に示す。

これらの図において、第１図〜第３図の各部材に対応す
る部材には同じ参照番号を付し、少し異なる部材は同じ
参照番号に添字“ａ”を付して示す。従って、枠は１２
ａ、Ｘ線管は１４、シャッターは１６、鏡は２０、鏡ホ
ルダーは２２、信号検出器は２６、固定焦点距離観察装
置は２８、被測定物ホルダーは３２でそれぞれ示す。こ
れらの部材はすべて第１図〜第３図に示す実施例におけ
ると同様に互いに関連配置されている。第４図〜第６図
の実施例が第１図〜第３図の実施例と異なる主な点は、
複数の第１コリメータ１８．１〜１８．７がスライド集
合体１００に取り付けられており、このスライド集合体
が第１コリメータ１８．１〜１８．７と一直線上に取り
付けられた複数の第２コリメータ５０．１〜５０．２を
も支持している点である。さらに、スライド集合体を移
動させる手段も設けられている。

第４図〜第６図に示すように、枠１２ａには第１図〜第
３図に示す第１実施例のベースブロックといくぶん異な
るベースブロック１２．６ａが設けられている。すなわ
ち、ベースブロック１２．Ｌ＋は垂直延長面１２．７を
有し、反対側の垂直面（参照番号なし）には鏡ホルダー
２２が取り付けられている。ベースブロック１２．［ｉ
ａの前垂直面１２．７にはスライド集合体１００が取り
付けられている。このスライド集合体は、上下の水平面
を有する水平方向に延長する取付ブロック１０２からな
り、この雨水平面はリニアベアリング１０４とこのベア
リング１０４に支持された断面Ｃ字状のスライド１０６
とを支受している。スライド１０６には第１コリメータ
支持部材１０８が固定されている。

この第１コリメータ支持部材は垂直部１０８．．１と後
方に延長する下方水平支持部１０８．２とを含んでいる
。、第１コリメータ支持部材はさらに厚さが測定される
べき被膜の観察を容易にする適当な切り欠き１０８．３
を有している。下方水平支持部１０８．２の後部には直
線的に配列された複数の孔（参照番号なし）が設けられ
、多孔の底部が第１コリメータ１８．１〜１８．７の一
つを支受している。これらの第１コリメータは第１コリ
メータ支持部材１０８に固定されるように取付けるのが
望ましい。

第１コリメータ支持部材１０８の下面には第２コリメー
タ支持部材１１０（第６図には図示略）が固定されてい
る。第２コリメータ支持部材は垂直脚１１０．１と水平
脚１１０．２を有してＬ字状をなしている。垂直脚には
第２コリメータ５０．１と５０．２の間に切り欠き１１
０．３が設けられ、ここから観察装置により被膜を観察
でき、また、装置を第１コリメータ１８．１−１８．６
で使用しているとき、Ｘ線ビームが測定されるべき被膜
に直接到達できるようになっている。水平脚１１０．２
には第１コリメータ１８．１と１８．７を支受する孔と
同心の二つの孔が設けられており、これらの孔は第１コ
リメータ１８．１と１８．７と同心状態に一致して第２
コリメータ５０．１と５０．２を受は止め、ている。第
２コリメータ５０．１と５０．２は支持部材１１０に固
定されるのが好ましい。しかし、支持部材１１０は支持
部材１０８に取り外し可能に固定されているので、それ
ぞれ第２コリメータを有する複数の第２コリメータ支持
部材を準備することによって、第１コリメータを変える
ことなしに第２コリメータを変えることができる。図示
していないが第３図に示す整列ピン７４．７６と同様の
適当な整列ピンを設けて、支持部材１１０が支持部材１
０８に固定されるとき、第２コリメータ５０．１と５０
．２がそれぞれ対応する第１コリメータ１８．１と１８
．７に正確に一致することを保証するようにしてもよい
。

本実施例の第１コリメータをＸ軸に沿って８ａさせるた
めの８動手段５３ａ（第６図に示す）は第２コリメータ
をも移動させる。この８動手段はアンチバックラッシュ
ねじ１１４を駆動するステッピングモータ１１２を含ん
でいる。アンチバックラッシュねじ１１４には対応する
ナツト１１６が螺合し、このナツトは第１コリメータ支
持部材１０８に支持されたブラケット１１８（第６図に
のみ示す）に固定されている。ステッピングモータ１１
２は副枠１２．４に固定されている。

第４図〜第６図の実施例のステッピングモータの動作は
、第２図に示す制御装置８４．８６．９０．９２と同様
の制御装置によって適当に制御される。この制御装置は
さらに適当なキーバッドを付加的に備えていてもよい。

従って、操作にあたり、操作者は被測定物ホルダー取付
手段を適当に調節することにより被測定物を正確に位置
付け、被測定物の測定されるべき被膜を顕微鏡２８の照
準線上で、かつ、焦点に正確に位置付けることができる
。この操作が達成されると、被測定物の被膜はＸ線管１
４から予め定められた距離にある。被膜が第１コリメー
タ１８．２〜１８．６の一つのみを用いて測定できる幅
であるときは、操作者は適当な制御ボタンないしキーを
押して測定装置を始動させ、ステッピングモータ１１２
により第１コリメータ支持部材１０８をその所望位置に
移動させ、そこで選択された第１コリメータをＸ線ビー
ムに対して一直線上に配置することができる。しかし、
被測定物の被膜の幅が第１コリメータ１８．２〜１８．
６のいずれか一つのみを用いては正確に測定で籾ないほ
どの幅である場合は、操作者は他の制御ボタンないしキ
ーを押し、第１コリメータ支持部材１０８を他の位置に
移動させて、所望の第１コリメータと第２コリメータの
組み合せ、すなわち、１８．１と５０．１または１８．
７と５０．２のいずれかをＸ線ビームに対し一直線上に
配置する。

前述の構成を用いることにより第４図〜第６図の実施例
に示す測定装置内の７通りの異なるコリメータ配置を迅
速に変更することができる。

上記実施例ではステッピングモータを使用したが第１コ
リメータ支持部材１０８と第２コリメータ支持部材１１
０を移動させるのに他の種々の機構を用いることもでき
る。この種の機構の一つとしては、圧電モータで駆動さ
れるねじがある。第１および第２コリメータを位置付け
する他の機構については当業者に明らかであろう。

本発明の原理を二つの実施例で説明したが本発明はこれ
に限定されるものではない。

以下本発明の諸態様を要約する。

（１）枠１２と；Ｘ線管１４と前記枠に取り付けられた固定焦点距離観察
装置と：前記枠に取り付けられ、被測定物３６の被膜の測定中、
前記Ｘ線管からのＸ線が通過可能である鏡２０と：前記被測定物３６を保持する被測定物ホルダー３４と；前記枠に取り付けられ、前記被測定物の表面の被膜が前
記観察装置によって観察され正確に焦点に配置されたと
き、前記Ｘ線管から予め定められた距離に保持されるよ
うに、前記被測定物ホルダーと関連する被測定物とを８
勤させることができる被測定物ホルダー取付は手段３２
と；からなる装置において、前記枠に相互連結されたコリメータ手段４８が前記被測
定物の被膜にできる限り接近可能な動作位置に配置でき
る末端を有するコリメータ５０を含んでいることを特徴
とする被膜の厚さを測定する装置。

（２）前記コリメータを非動作位置に移動させることが
できる（１）項の装置。

（３）枠１２と；前記枠に取り付けられたＸ線管１４と；前記枠に取り付
けられ、被測定物３６の被膜の測定中、前記Ｘ線管から
のＸ線が通過可能である鏡２０と：前記Ｘ線管と前記鏡の間で前記枠に取り付けられた第１
コリメータ手段１８と：前記枠に取り付けられ、前記鏡で反射された前記被測定
物の表面の被膜の像を観察する固定焦点距離観察装置２
８と；前記被測定物３６を保持する被測定物ホルダー３４と；前記枠に取り付けられ、測定されるべき前記被測定物の
表面の被膜が前記Ｘ線管から予め定められた距離に保持
され正確に焦点位置において観察できる位置に移動でき
るように、前記被測定物ホルダーと関連する被測定物と
を移動させることができる被測定物ホルダー取付手段と
；前記枠に取り付けられた信号検出手段２６と；からなる
装置において、第２コリメータ手段４８と、前記枠に取り付けられ、こ
の第２コリメータ手段を動作位置と非動作位置の間を移
動させることができる移動手段５３とを設け、前記第２
コリメータ手段が、動作位置にあるとき鏡と被測定物の
間に配置される第２コリメータを含み、動作位置にある
とき前記第２コリメータの末端５１が測定されるべき被
膜にできる限り近くに配置され、さらに前記第２コリメ
ータが非動作位置にあるとき前記被膜を前記観察装置を
介して観察できるようにした被膜の厚さを測定する装置
。

（４）前記第２コリメータ手段４８がコリメータホルダ
ー５２を含み、前記第２コリメータ５０が前記コリメー
タホルダーに取り付けられ、このコリメータホルダーが
異なる第２コリメータを用いることができるように移動
手段に取り外し可能に固定されている（３）項の装置。

（５）前記第２コリメータ手段がコリメータホルダー５
２を含み、前記第２コリメータおよび他の第２コリメー
タが前記コリメータホルダーに取り付けられ、さらに、
前記移動手段が前記コリメータホルダーを複数の動作位
置に８勤させる手段を含み、測定中前記動作位置におい
て、前記第２コリメータを用いるようにした（３）項の
装置。

（６）前記移動手段がリニアアクチュエータである（３
）項の装置。

（７）前記移動手段がロータリーアクチュエータである
（３）項の装置。

（８）前記第１コリメータ手段が、前記Ｘ線管と前記鏡
の間を可動にスライド１０６上に取り付けられた複数の
第１コリメータを含み、前記移動手段が前記スライドを
複数の異なる動作位置間に移動させることができ、一つ
の第１コリメータのみが複数の動作位置の各々に対して
動作位置にある（３）項の装置。

（９）第２コリメータ手段が前記第１コリメタにこれと
ともに可動に連結され、この第１コリメータ手段が複数
の第１コリメータを含み、第２コリメータの各々が関連
する前記第１コリメータと軸方向に一直線上に配置され
ている（８）項の装置。

（１０）前記第２コリメータの数が前記第１コリメータ
の数と同じか、またはこれより少なく、前記スライドが
一つの動作位置にあるとき前記第１と第２のコリメータ
を測定されるべき被膜に対し一直線に配置し、前記スラ
イドが他の動作位置にあるとき一つの第１コリメータの
みが測定されるべ包被膜に対し一直線上に配置される（
９）項の装置。

（１１）前記第２コリメータが取り外し可能に取り付け
られている（８）項の装置。

（１２）枠と；この枠に取り付けられたＸ線管と；前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
Ｘ線管からの放射線が通過可能な鏡と；前記枠に取り付
けられ、前記鏡で反射された前記被測定物の表面の被膜
の像を観察する固定焦点距離観察装置と；前記枠に取り付けられた信号検出手段と；からなる装置
において、前記枠に取り付けられ、前記Ｘ線管と前記鏡の間におい
て一直線上に配列された複数の第１コリメータを含む第
１コリメータ手段と；前記第１コリメータ手段に取り付けられ、取り外し可能
な複数の第２コリメータを含む第２コリメータ手段と；からなり、すべての第２コリメータが一つの第１コリメ
ータと一直線に配置され、かつ前記鏡の下方に取り付け
られ；前記第２コリメータ手段が前記第１コリメータ手段の位
置によって決定される一連の動作位置と非動作位置の間
を可動であり；前記枠に取り付けられ、前記第１および第２コリメータ
手段を前記第１コリメータの一つのみが動作位置にある
一連の動作位置の間を移動させることができる移動手段
を；併せ備えてなる被膜の厚さを測定する装置。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明一実施例の一部を省略して示した側面図
、第２図は第１図の２−２線縦断正面図、第３図は第２図
の３−３線方向から見た底面図、第４図は本発明の他の実施例の一部を省略して示した側
面図、第５図は第４図の５−５線縦断正面図、第６図は第４図
の６−６線方向から見た底面図で、一部が移動した状態
を示す図である。１０・・・被膜測定装置、１２・・・主枠、１４・・・Ｘ線管、１８・・・第１コリメータ、２０・・・鏡、２８・・・固定焦点距離観察装置、３４・・・被測定物ホルダー、３６・・・被測定物、５０・・・第２コリメータ、５４・・・リニアアクチュエータ、６０・・・調節機構。Ｖノ図１ｄ５葛２１２１茗５５２Ｉ第６品

Claims

【特許請求の範囲】

（１）枠と；Ｘ線管と前記枠に取り付けられた固定焦点距離観察装置
と；前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
Ｘ線管からのＸ線が通過可能である鏡と；前記被測定物を保持する被測定物ホルダーと；前記枠に
取り付けられ、前記被測定物の表面の被膜が前記観察装
置によって観察され正確に焦点に配置されたとき、前記
Ｘ線管から予め定められた距離に保持されるように、前
記被測定物ホルダーと関連する被測定物とを移動させる
ことができる被測定物ホルダー取付け手段と；からなる装置において、前記枠に相互連結されたコリメータ手段が前記被測定物
の被膜にできる限り接近可能な動作位置に配置できる末
端を有するコリメータを含んでいる被膜の厚さを測定す
る装置。
（２）枠と；前記枠に取り付けられたＸ線管と；前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
Ｘ線管からのＸ線が通過可能である鏡と；前記Ｘ線管と前記鏡の間で前記枠に取り付けられた第１
コリメータ手段と；前記枠に取り付けられ、前記鏡で反射された前記被測定
物の表面の被膜の像を観察する固定焦点距離観察装置と
；前記被測定物を保持する被測定物ホルダーと；前記枠に
取り付けられ、測定されるべき前記被測定物の表面の被
膜が前記Ｘ線管から予め定められた距離に保持され正確
に焦点位置において観察できる位置に移動できるように
、前記被測定物ホルダーと関連する被測定物とを移動さ
せることができる被測定物ホルダー取付手段と；前記枠に取り付けられた信号検出手段と；からなる装置において、第２コリメータ手段と、前記枠に取り付けられ、この第
２コリメータ手段を動作位置と非動作位置の間を移動さ
せることができる移動手段とを設け、前記第２コリメー
タ手段が、動作位置にあるとき鏡と被測定物の間に配置
される第２コリメータを含み、動作位置にあるとき前記
第２コリメータの末端が測定されるべき被膜のできる限
り近くに配置され、さらに前記第２コリメータが非動作
位置にあるとき前記被膜を前記観察装置を介して観察で
きるようにした被膜の厚さを測定する装置。
（３）枠と；この枠に取り付けられたＸ線管と；前記枠に取り付けられ、被測定物の被膜の測定中、前記
Ｘ線管からのＸ線が通過可能な鏡と；前記枠に取り付け
られ、前記鏡で反射された前記被測定物の表面の被膜の
像を観察する固定焦点距離観察装置と；前記枠に取り付けられた信号検出手段と；からなる装置において、前記枠に取り付けられ、前記Ｘ線管と前記鏡の間におい
て一直線上に配列された複数の第１コリメータを含む第
１コリメータ手段と；前記第１コリメータ手段に取り付けられ、取り外し可能
な複数の第２コリメータを含む第２コリメータ手段と；からなり、すべての第２コリメータが一つの第１コリメ
ータと一直線に配置され、かつ前記鏡の下方に取り付け
られ；前記第２コリメータ手段が前記第１コリメータ手段の位
置によって決定される一連の動作位置と非動作位置の間
を可動であり；前記枠に取り付けられ、前記第１および第２コリメータ
手段を前記第１コリメータの一つのみが動作位置にある
一連の動作位置の間を移動させることができる移動手段
を；併せ備えてなる被膜の厚さを測定する装置。