JPH01194914A - 金属フィルタの製造方法 - Google Patents

金属フィルタの製造方法

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JPH01194914A
JPH01194914A JP1765888A JP1765888A JPH01194914A JP H01194914 A JPH01194914 A JP H01194914A JP 1765888 A JP1765888 A JP 1765888A JP 1765888 A JP1765888 A JP 1765888A JP H01194914 A JPH01194914 A JP H01194914A
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filter layer
metal
sintering
powder
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Takayuki Shimamune
孝之 島宗
Masashi Hosonuma
正志 細沼
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De Nora Permelec Ltd
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Permelec Electrode Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D39/00Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2027Metallic material
    • B01D39/2041Metallic material the material being filamentary or fibrous
    • B01D39/2044Metallic material the material being filamentary or fibrous sintered or bonded by inorganic agents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、各種油類やガス類の濾過に使用する金属フィ
ルタ及びその製造方法に関する。
(従来技術とその問題点) 各種油類やガス類の濾過には、紙や樹脂製のフィルタが
使用されてきた。しかし特に微細で精密な濾過を必要と
する場合や圧力や熱が掛かる場合等の過酷な条件下での
濾過には前記紙や樹脂製のフィルタでは不十分であり、
又これらのフィルタは濾過孔が不規則であったり吸着が
生ずるといった欠点を有していた。これらの問題を解決
するために金属フィルタが使用されている。該金属フィ
ルタを使用する場合、約40μm以上の粒子に対しては
金網が用いられるが該金網は濾過通路が直線的であり不
規則形状の粒子が通過してしまうという欠点を有し、又
目開き10μm以下の金網は製造が困難であるだけでな
く圧力損失が大きく実用的でないという問題を有してい
た。
一方1930年代に開発された焼結フィルタは三次元的
広がりを持つフィルタであり、前述の欠点がな(現在広
く使用されている。該焼結フィルタは、球形粉を焼結し
て該球形粉の積み重なりの間隙をフィルタの目とするも
ので、該球形粉の粒径が揃っていればぼぼ理論的な目開
きを得ることができる。即ち理論的な目開きは粉末粒子
径の15.5〜41.4%の範囲、実際には16.3〜
20%の範囲であり、工業的利用では18%程度とされ
ている。これらの値は前記球形粉が当初の大きさを保持
していることを前提とするため、通常の焼結フィルタ製
造の場合には粒子径変化が起こらないようにいわゆるル
ースシンタリンーグという手法が採用される。このルー
スシンタリングとは、粒子が潰れないように又焼結によ
る粒子間の結合を最小にするために前記球形粉の成形に
際しては該球形粉に圧力を掛けず、バインダ等によって
成形を行い、又焼結も低い温度で短時間内に終了させる
方法である。この手法では、十分なフィルタ性能を有す
るが機械的強度が不十分なフィルタが得られるのみであ
る。
粗粒子用のフィルタでは十分に焼結を行っても目開き径
の変化は誤差範囲内に抑えることができ実質的には問題
は生じないが、微細孔用フィルタでは、当初の粒子その
ものが小さいため強い焼結を行うことができず、機械的
強度を十分向上させることができないため、実用的に使
用できるものは存在しない。特に1μm以下の微細孔用
フィルタは半W体ガス用としての需要が大きいにもかか
わらず、従来法では得ることができないという問題点を
有している。
(発明の目的) 本発明は、叙上の問題点を解決するためになされたもの
で、工作性が良好で機械的強度の大きい微細孔用焼結金
属フィルタを提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、第1に比較的目開きの大きい焼結された第1
の金属フィルタ層と、該金属フィルタ層上に形成された
微細な目開きを有する焼結された第2の金属フスルタ層
から成る焼結金属フィルタであり、第2に比較的目開き
の大きい第1の金属フィルタ層を予め第1の金属粉末の
焼結により形成し、次いで該表面に前記金属粉末より微
細な粒径を有する第2の金属粉末を含む懸濁液又はペー
ストを塗布し焼結することにより、目開きが前記第1の
金属フィルタ層より小さい第2の金属フィルタ層を形成
することを特徴とする金属フィルタの製造方法であり、
第3に第1の金属粉末の層と、該第1の金属粉末より小
径の第2の金属粉末の層を積層した後、同時に焼結し、
比較的目開きの大きい第1の金属フィルタ層と、該金属
フィルタ層上に形成された微細な目開きを有する第2の
金属フィルタ層から成る焼結金属フィルタを形成するこ
とから成る金属フィルタの製造方法である。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明では、目開きの大きい第1の金属フィルタ層によ
り良好な成形性(工作性)と機械的強度を得るとともに
圧力損失を減少させ、該金属フィルタ層上に所望の目開
きを有する第2の金属フィルタ層を形成することにより
所定の濾過性能を有する金属フィルタを得ることができ
る。
本発明では金属フィルタの一部を構成する基材を使用し
ないが、製造工程において素焼板等の補助板を使用し、
該補助板上に両フィルタ層を形成し、形成後前記補助板
から剥離して金属フィルタとしてもよい。
前記目開きの大きい第1の金属フィルタ層は球形の金属
粒子を焼結することにより形成する。該形成方法は特に
限定されないが、例えば目開き5μmの金属フィルタを
形成するには、粒径25〜30μmの金属粒子、バイン
ダ及び少量の水とを混練してペーストとし、該ペースト
を素焼板等に塗布し、更に該成形体を50〜100℃で
乾燥後焼結する。
焼結条件は使用する金属粒子によって異なり焼結温度は
300〜1100℃、焼結時間は10分〜数時間が適当
である。例えば金属粒子としてニッケルを使用する場合
には、600〜1000℃で10〜60分間焼結するの
が適当である。又焼結の雰囲気も使用する金属粒子によ
って異なり、銅や銅合金では窒素やアルゴン等の不活性
雰囲気中、ニッケルの場合は窒素やアルゴンに10〜5
0%の水素を添加した雰囲気、チタンではヘリウムやア
ルゴンガス又は真空中が好ましい。
該焼結のみでもある程度の強度を得ることはできるが、
バインダとしてを機金属塩を添加すると、より強度を向
上させることができる。該有機金属塩としては、例えば
前記金属粒子がニッケルや銅の場合にはそれぞれのナフ
テン酸塩、2−エチルヘンサン酸塩及び金属アルコキシ
ド等が好ましく、該有機金属塩の添加により目開きの大
きさは実質的に変化しないが、該有機金属塩の分解によ
り粒子間全体を金属の薄層で被覆することになり更に該
有機金属塩が焼結助剤として機能することにより、より
強度の大きい金属フィルタを得ることができる。該有機
金属塩を添加する場合の焼結条件は添加しない場合と同
様で良い。
又この焼結条件下で化学反応により又は物理的な揮発に
より揮散する粒子をペースト中に混合して焼結し、多孔
質層を形成することも可能である。
この場合は多孔性であり焼結による欠点は生じないため
、十分な焼結が進行する条件で焼結を行うことができる
。このような多孔質層形成物質としては炭素粉末やマグ
ネシウム粉末等があり、炭素粉末を使用する場合には前
記ペーストに該炭素粉末を混合し700〜1200℃で
焼結する。700℃未満では炭素の揮散が不十分である
次いでこのように作製した第1の金属フィルタ層の表面
に目的の目開きを有する第2の金属フィルタの薄層を形
成する。該第2層もルースシンタリング等の前記第1層
とほぼ同様の条件で形成することができるが、目開きが
小さいためそれに合わせて粒径の小さい粒子を使用こと
か必要である。
例えば目的とする目開きが0.1μm程度である場合は
0.4〜0.7μm程度の金属粉末を使用し、0.01
μm程度である場合には0.04〜0.07μm程度の
金属粉末を使用する。そして使用する粒子の粒径が1μ
m以下となる場合には焼結温度を低(する必要がある。
粒径が小さいと焼結温度が低下し同一条件下での焼結の
度合が大きくなり、温度が高いと目的とする目開きが得
られないことがあるからである。
以上の操作により2種類の目開きの異なる層を積層する
ことにより、十分な強度を有ししかも所定の微細な目開
きを有する金属フィルタを得ることができる。又上記し
た2種類の層の形成はほぼ同一条件で行うことができる
ので、2種の金属粉末を積層しておき、両金属粉末を同
時に焼結するようにしてもよい。この方法によるときは
、予め第1の金属フィルタ層用塗布物質を塗布後乾燥し
その上に第2の金属フィルタ層用塗布物質を塗布するこ
とにより第1及び第2の両金属フィルタ層が混合しない
ようにしてから一度の加熱により同時に加熱するように
することが好ましい。
又これらの2種の金属フィルタ層を複数層積層、例えば
両フィルタ層を交互に積層したり、一方のフィルタ層を
複数層形成した上に他方のフィルタ層を複数層形成する
ようにしてもよい。
(実施例) 以下本発明を実施例により、より詳細に説明するが、該
実施例は本発明を限定するものではない。
実施例1 カルボニル法によるニッケル粉(タイプ255) 30
gをメチルセルロース3gとともに純水50m1中ニ加
え混練してニッケルペーストを作製した。該ペーストを
厚さ10mm、 g横それぞれ50mmの素焼板上に厚
さ1mmとなるように塗布した。室温で30分間乾燥後
60°Cで更に1時間乾燥した。
このペーストを塗布した素焼板をアルゴン80%−水素
20%から成るガス雰囲気中に300℃で10分間保持
し、その後750℃に界温しで30分間保持した。冷却
後取り出したところ厚さ約0.51のニッケル多孔体(
第1の金属フィルタ層)が得られた。
この多孔体の表面に粒径200人のニッケル超微粉をエ
チルアルコールと混練して得たペーストを塗布した。乾
燥後上記と同じ雰囲気中500℃で30分間焼結し第2
の金属フィルタ層を形成した。この操作により表面が金
属光沢を有する目開きが40〜60人の微細金属フィル
タが得られた。
比較用として粒径200人の超微粉のみで第1の金属フ
ィルタ層なしに焼結を試みたが、物理強度が弱く、素焼
板から引き剥がすことができなかった。
(実施例2) 実施例1と同様にしてカルボニル法ニッケル粉(タイプ
255)を原料として厚さ約0 、5mmの多孔体ニッ
ケルフィルタ(第1の金属フィルタ層)を作製した。該
フィルタの表面の両側に実施例1と同様にして粒径50
0人のニッケル超微粉ペーストを塗布し、室温で30分
間乾燥後70℃で1時間乾燥した。この表面の両側に保
護層としてカルボニル法ニッケル粉(タイプ255)の
ペーストを厚さ約1mmとなるよう塗布した。これを室
温で30分間保持後、70℃で1時間乾燥した。
更にアルゴン80%−水素20%から成る混合ガス雰囲
気中300℃で1時間保持し、その後650℃に昇温し
て1時間保持した。これにより厚さ約1〜1.5mm、
目開き約100人のニッケル金属フィルタが得られた。
(実施例3) 粒径10μmのチタン粉末30g、メチルセルロース1
.5g、純水50m1及び消泡剤1mlを混練してペー
ストを作製した。該ペーストを実施例1と同様にして素
焼板上に厚さ約1mmとなるように塗布した。室温に1
5分間保持した後、60℃で30分間乾燥した。更に真
空炉(10−’mmHg )に入れ900℃で30分間
焼結し、厚さ約0.7mmのチタン金属フィルタを得た
。このようにして得られたフィルタは目開きが約2μm
であった。
この表面に粒径1000人のチタン超微粉15g1メチ
ルセルロース0.7 g、純水50m1を混練して得た
ペーストを厚さ約0.51となるように塗布した。
15分間室温に保持した後、60℃で1時間乾燥した。
更に前記真空炉に入れ600℃で30分間焼結した。
この操作により目開き約200人のチタン製金属フィル
タを得ることができた。
(実施例4) 実施例3と同様にしてチタンペーストを作製した。該ペ
ーストに体積で2倍量の粒径10〜30μmのマグネシ
ウム粉末を添加し、更にこれを厚さ約2mff1となる
ように素焼板に塗布し室温で30分間乾燥後、100°
Cで2時間乾燥した。該素焼板を真空炉(10−”mm
Hg )に入れ400℃で30分間、次いで1100℃
で3時間焼結した。マグネシウムが揮散して厚さ約1.
5mmの多孔質チタンが形成された。
該多孔質チタンが形成された素焼板に、粒径1μmのチ
タン粉末とメチルセルロース、純水及び消泡剤を実施例
3と同じ割合で添加して形成したペーストを塗布し乾燥
後、アルゴン雰囲気中700℃で2時間焼結した。この
操作により目開き約0,2μmのチタン製金属フィルタ
を得ることができた。
(発明の効果) 本発明は、比較的目開きの大きい第1の金属フィルタ層
と、該金属フィルタ層上に形成された微細な目開きを有
する第2の金属フィルタ層とを使用して形成された金属
フィルタと該金属フィルタの製造方法である。
従って前記第1の金属フィルタ層により金属フィルタ全
体に機械的強度を与え、かつ通常は微細な目開きのため
大きな圧力損失を生じやすい所望の目開きを有する金属
フィルタ層つまり前記第2の金属フィルタ層の厚さを薄
くすることができるため、圧力f員失を最小限に抑える
ことが可能になる。又微粒子金属は粒径が小さくなるほ
ど加速度的に高価になるが、該微粒子金属の使用量を最
小限とすることができるので、より安価な極微細粒子か
ら成る金属フィルタを得ることができる。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)比較的目開きの大きい焼結された第1の金属フィ
    ルタ層と、該金属フィルタ層上に形成された微細な目開
    きを有する焼結された第2の金属フィルタ層から成る焼
    結金属フィルタ。
  2. (2)第1の金属フィルタ層の目開きが1〜40μmで
    、第2の金属フィルタ層の目開きが1μm以下である請
    求項1に記載の金属フィルタ。
  3. (3)第1の金属フィルタ層又は第2の金属フィルタ層
    を複数層設けた請求項1に記載の金属フィルタ。
  4. (4)比較的目開きの大きい第1の金属フィルタ層を予
    め第1の金属粉末の焼結により形成し、次いで該表面に
    前記金属粉末より微細な粒径を有する第2の金属粉末を
    含む懸濁液又はペーストを塗布し焼結することにより、
    目開きが前記第1の金属フィルタ層より小さい第2の金
    属フィルタ層を形成することを特徴とする金属フィルタ
    の製造方法。
  5. (5)第1又は第2の金属フィルタ層を金属粉末のルー
    スシンタリングにより形成する請求項4に記載の金属フ
    ィルタの製造方法。
  6. (6)第1の金属フィルタ層を、金属粉末、バインダ及
    び焼結時に揮散する多孔化剤を加えたペーストを成形し
    焼結することにより形成するようにした請求項4に記載
    の金属フィルタの製造方法。
  7. (7)第1の金属フィルタ層を、有機金属塩をバインダ
    として用いて焼結するようにした請求項4から6までの
    いずれかに記載の金属フィルタの製造方法。
  8. (8)第1の金属粉末の層と、該第1の金属粉末より小
    径の第2の金属粉末の層を積層した後、同時に焼結し、
    比較的目開きの大きい第1の金属フィルタ層と、該金属
    フィルタ層上に形成された微細な目開きを有する第2の
    金属フィルタ層から成る焼結金属フィルタを形成するこ
    とから成る金属フィルタの製造方法。
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