JPH01194205A - 静電吸着シート及びその製造方法 - Google Patents
静電吸着シート及びその製造方法Info
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- JPH01194205A JPH01194205A JP1842288A JP1842288A JPH01194205A JP H01194205 A JPH01194205 A JP H01194205A JP 1842288 A JP1842288 A JP 1842288A JP 1842288 A JP1842288 A JP 1842288A JP H01194205 A JPH01194205 A JP H01194205A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は静電吸着シート及びその製造方法に係り、特
に温度や湿度等の影響を受けることなく安定した吸着力
を発揮し得て製造コストの低度な静電吸着シート及びそ
の製造方法に関する。
に温度や湿度等の影響を受けることなく安定した吸着力
を発揮し得て製造コストの低度な静電吸着シート及びそ
の製造方法に関する。
静電気のクーロン力を利用して被吸着物を吸着保持する
静電保持装置は、絶縁基層上に一組の電極を積層して設
けるとともにこの電極上に所定電気抵抗率を有する導電
性の静電吸着シートを積層して設けている。静電保持装
置は、前記−組の電極に夫々正負の電荷を付与して静電
吸着シートを誘電し、この静電吸着シートの静電的な吸
引力により被吸着物を吸着し保持するものである。この
ような静電保持装置としては、特公昭５５−２０８３０
号公報、特公昭５７−５８８７２号公報等に開示されて
いる。
静電保持装置は、絶縁基層上に一組の電極を積層して設
けるとともにこの電極上に所定電気抵抗率を有する導電
性の静電吸着シートを積層して設けている。静電保持装
置は、前記−組の電極に夫々正負の電荷を付与して静電
吸着シートを誘電し、この静電吸着シートの静電的な吸
引力により被吸着物を吸着し保持するものである。この
ような静電保持装置としては、特公昭５５−２０８３０
号公報、特公昭５７−５８８７２号公報等に開示されて
いる。
ところで、従来は、このような静電保持装置の静電吸着
シートを製造する場合に、無定形（非品性）の高分子物
質や合成ゴム等に導電性物質を配合することにより導電
性を有せしめ、これを圧延成形や押出成型により成型し
て静電吸着シートを製造していた。
シートを製造する場合に、無定形（非品性）の高分子物
質や合成ゴム等に導電性物質を配合することにより導電
性を有せしめ、これを圧延成形や押出成型により成型し
て静電吸着シートを製造していた。
ところが、前記無定型（非品性）の高分子化合物や合成
ゴム等よりなる静電吸着シートは、温度や湿度等による
影響を受は容く （第４図参照）、安定した吸着力を発
揮し得ない不都合があった。
ゴム等よりなる静電吸着シートは、温度や湿度等による
影響を受は容く （第４図参照）、安定した吸着力を発
揮し得ない不都合があった。
そこで、前記公報に開示の如く、導電性物質や安定剤、
可塑剤、老化防止剤、滑剤その他の特殊な添加剤を各種
配合することにより、温度や湿度等の影響を排除して良
好な環境安定性を得て、安定した吸着力を発揮させたも
のがある。しかし、このような特殊な添加剤を配合して
製造する結果、製造コストの高騰を招（不都合を生じた
。
可塑剤、老化防止剤、滑剤その他の特殊な添加剤を各種
配合することにより、温度や湿度等の影響を排除して良
好な環境安定性を得て、安定した吸着力を発揮させたも
のがある。しかし、このような特殊な添加剤を配合して
製造する結果、製造コストの高騰を招（不都合を生じた
。
そこで、この発明の目的は、特殊な添加剤を配合するこ
となく高い環境安定性を有し温度や湿度の影響を排除し
得て安定した吸着力を発揮し得て製造コストの低置な静
電吸着シート及びその製造方法を実現することにある。
となく高い環境安定性を有し温度や湿度の影響を排除し
得て安定した吸着力を発揮し得て製造コストの低置な静
電吸着シート及びその製造方法を実現することにある。
この目的を達成するために、この発明は、結晶性高分子
物質に導電性物質を均一に分散して結晶化させシート状
に形成したことを特徴とし、また、溶融状態の結晶性高
分子物質に導電性物質を均一に分散した後に冷却して結
晶化させシート状に形成することを特徴とする。
物質に導電性物質を均一に分散して結晶化させシート状
に形成したことを特徴とし、また、溶融状態の結晶性高
分子物質に導電性物質を均一に分散した後に冷却して結
晶化させシート状に形成することを特徴とする。
この発明によれば、結晶性高分子物質を利用して静電吸
着シートを製造するので、結晶性高分子物質の性質によ
り高い環境安定性を有し、温度や湿度等の影響が少なく
なる。また、生産性の大なる結晶性高分子物質を利用し
て、静電吸着シートを製造することができるものである
。
着シートを製造するので、結晶性高分子物質の性質によ
り高い環境安定性を有し、温度や湿度等の影響が少なく
なる。また、生産性の大なる結晶性高分子物質を利用し
て、静電吸着シートを製造することができるものである
。
次にこの発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。
第１〜３図は、この発明の実施例を示すもので゛ある。
第１図において、２は静電吸着シート、４は結晶性高分
子物質、６は導電性物質である。この発明による静電吸
着シート２は、溶融状態の結晶性高分子物質４に、導電
性物質６を均一に分散した後に、これを規則正しい分子
８の配列になるように冷却して均質に結晶化させ、０．
３〜１ｍのシート状に形成して製造する。
子物質、６は導電性物質である。この発明による静電吸
着シート２は、溶融状態の結晶性高分子物質４に、導電
性物質６を均一に分散した後に、これを規則正しい分子
８の配列になるように冷却して均質に結晶化させ、０．
３〜１ｍのシート状に形成して製造する。
このように製造された静電吸着シート２は、第１図に示
す如く結晶性高分子物質４の分子８が規則正しく配列さ
れて結晶化することになる。この結晶性高分子物質４に
は、と（わずかに不完全な部分のある真の結晶となるも
のから、ご（わずかに結晶化した無定形分子の集合体ま
で存在するので、結晶化度の高い、例えばポリアセター
ル等を利用する。これにより、結晶性高分子物ｔ４は、
結晶化することにより分子間に力が働いて耐疲労性や耐
有機薬品性、耐アルカリ性等が高まり、温度や湿度等の
影響を受けることが少なくなる。
す如く結晶性高分子物質４の分子８が規則正しく配列さ
れて結晶化することになる。この結晶性高分子物質４に
は、と（わずかに不完全な部分のある真の結晶となるも
のから、ご（わずかに結晶化した無定形分子の集合体ま
で存在するので、結晶化度の高い、例えばポリアセター
ル等を利用する。これにより、結晶性高分子物ｔ４は、
結晶化することにより分子間に力が働いて耐疲労性や耐
有機薬品性、耐アルカリ性等が高まり、温度や湿度等の
影響を受けることが少なくなる。
また、導電性物質６は、２〜６％の例えばカーボンブラ
ック等を溶融状態の結晶性高分子物質に均一に分散し、
この結晶性高分子物質４の結晶化により連鎖状あるいは
至近距離に接近させて分散し、配列する。これにより、
シート状に形成された静電吸着シート２には導電性が発
現する。
ック等を溶融状態の結晶性高分子物質に均一に分散し、
この結晶性高分子物質４の結晶化により連鎖状あるいは
至近距離に接近させて分散し、配列する。これにより、
シート状に形成された静電吸着シート２には導電性が発
現する。
第２図に示す如く、この静電吸着シート２に電源１０か
ら直流電流を供給して被吸着物１２（トレーシングペー
パ、Ａ４版）に引張力を与え、剥脱される直前の力を吸
着力Ｆとして計測した結果、第３図に示す如き結果を得
られた。第３図から明らかな如く、温度５℃から４０℃
の範囲で、湿度３０％の場合においては３．９ｋｇから
最高５．２ｋｇの吸着力が得られ、また、湿度８０％の
場合においては３．８ｋｇから最高４．４ｋｇの吸着力
が得られ、温度・湿度の影響の少ない吸着力が得られた
。
ら直流電流を供給して被吸着物１２（トレーシングペー
パ、Ａ４版）に引張力を与え、剥脱される直前の力を吸
着力Ｆとして計測した結果、第３図に示す如き結果を得
られた。第３図から明らかな如く、温度５℃から４０℃
の範囲で、湿度３０％の場合においては３．９ｋｇから
最高５．２ｋｇの吸着力が得られ、また、湿度８０％の
場合においては３．８ｋｇから最高４．４ｋｇの吸着力
が得られ、温度・湿度の影響の少ない吸着力が得られた
。
この発明の静電吸着シート２と比較するために、第４図
に従来の無定形（非品性）の高分子物質であるポリ塩化
ビニルを主材料とする静電吸着シートの計測値を例示し
て比較する。この従来の静電吸着シートは、温度１０℃
から４０℃の範囲で、湿度３０％においては５ ｋｇ〜
５．６−の吸着力が得られたが、温度５℃では急減して
３眩未満となった。また、湿度８０％においては、温度
１０℃を越えると急激に減少し、温度１５℃以上におい
ては３睦未満となった。
に従来の無定形（非品性）の高分子物質であるポリ塩化
ビニルを主材料とする静電吸着シートの計測値を例示し
て比較する。この従来の静電吸着シートは、温度１０℃
から４０℃の範囲で、湿度３０％においては５ ｋｇ〜
５．６−の吸着力が得られたが、温度５℃では急減して
３眩未満となった。また、湿度８０％においては、温度
１０℃を越えると急激に減少し、温度１５℃以上におい
ては３睦未満となった。
このように、この発明により製造された静吸着シート２
は、耐疲労性など高い環境安定性を有し、温度や湿度の
影響を受けることなく安定した吸着力を発揮することが
できる。また、生産量の大なる結晶性高分子物質を利用
して製造することができるので、製造コストを低廉に製
造することができる。
は、耐疲労性など高い環境安定性を有し、温度や湿度の
影響を受けることなく安定した吸着力を発揮することが
できる。また、生産量の大なる結晶性高分子物質を利用
して製造することができるので、製造コストを低廉に製
造することができる。
なお、実施例においては、結晶性高分子物質２としてポ
リアセタールを例示したが、ポリバラボン酸やポリぶつ
化ビニリデン、ポリブチレンテレフタレート等その他の
ものを利用することができるものである。また、導電性
物質６としては、カーボンブラックを例示したが、金属
酸化物や金属箔等その他のものを利用することもできる
ものである。さらに、これらを組合せて製造することも
できるものである。
リアセタールを例示したが、ポリバラボン酸やポリぶつ
化ビニリデン、ポリブチレンテレフタレート等その他の
ものを利用することができるものである。また、導電性
物質６としては、カーボンブラックを例示したが、金属
酸化物や金属箔等その他のものを利用することもできる
ものである。さらに、これらを組合せて製造することも
できるものである。
このように、この発明によれば、溶融状態の結晶性高分
子物質に導電性物質を均一に分散した後に冷却して結晶
化させシート状に形成するので、結晶性高分子物質の性
質により高い環境安定性を有し、これにより温度や湿度
等の影響を受けることなく安定した吸着力を発揮し得て
、また、生産量の大なる結晶性高分子物質を利用して製
造することができるので、製造コストを低廉に製造する
ことができる。
子物質に導電性物質を均一に分散した後に冷却して結晶
化させシート状に形成するので、結晶性高分子物質の性
質により高い環境安定性を有し、これにより温度や湿度
等の影響を受けることなく安定した吸着力を発揮し得て
、また、生産量の大なる結晶性高分子物質を利用して製
造することができるので、製造コストを低廉に製造する
ことができる。
第１〜３図はこの発明の実施例を示し、第１図は静電吸
着シートの構成模式図、第２図は吸着力を計測するため
の説明図、第３図は温度に対する吸着力の変化を示す図
である。 第４図は、従来の静電吸着シートの温度に対する吸着力
の変化を示す図である。 図において、２は静電吸着シート、４は結晶性高分子物
質、６は導電性物質、８は分子、ｌＯは電源、１２は被
吸着物である。 特許出願人 株式会社アビサレ 代理人 弁理士 西 郷 義 美 口及着力 Ｆ（ｋＱ） メ ♂ 第４図 ＯＩＱ ２０ ３０ ４０ ン星＆ｔＣ＠ｃ） 手続補正書坊式） ％式％ １、事件の表示 特願昭６３−０１８４２２号 ２、発明の名称 静電吸着シート及びその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県掛用市領家８６４番地の１名称 株式
会社アビサレ 代表者 笠原敬次 ４、代 理 人 〒１０１ ７ＥＬ ０３−２９２−
４４１１ （代表）住 所 東京都千代田区神田小
川町２丁目８番７１！ｉ’Ａ＊Ｗｅ）ｋ ！’−
。 氏名 （８００５）弁理士西頚ド義美１ ；； 、
・１ ５、補正命令の日付 自発
Ｌ−、−、、、；６、補正の対象
着シートの構成模式図、第２図は吸着力を計測するため
の説明図、第３図は温度に対する吸着力の変化を示す図
である。 第４図は、従来の静電吸着シートの温度に対する吸着力
の変化を示す図である。 図において、２は静電吸着シート、４は結晶性高分子物
質、６は導電性物質、８は分子、ｌＯは電源、１２は被
吸着物である。 特許出願人 株式会社アビサレ 代理人 弁理士 西 郷 義 美 口及着力 Ｆ（ｋＱ） メ ♂ 第４図 ＯＩＱ ２０ ３０ ４０ ン星＆ｔＣ＠ｃ） 手続補正書坊式） ％式％ １、事件の表示 特願昭６３−０１８４２２号 ２、発明の名称 静電吸着シート及びその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県掛用市領家８６４番地の１名称 株式
会社アビサレ 代表者 笠原敬次 ４、代 理 人 〒１０１ ７ＥＬ ０３−２９２−
４４１１ （代表）住 所 東京都千代田区神田小
川町２丁目８番７１！ｉ’Ａ＊Ｗｅ）ｋ ！’−
。 氏名 （８００５）弁理士西頚ド義美１ ；； 、
・１ ５、補正命令の日付 自発
Ｌ−、−、、、；６、補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、結晶性高分子物質に導電性物質を均一に分散して結
晶化させシート状に形成したことを特徴とする静電吸着
シート。 ２、溶融状態の結晶性高分子物質に導電性物質を均一に
分散した後に冷却して結晶化させシート状に形成するこ
とを特徴とする静電吸着シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1842288A JPH01194205A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 静電吸着シート及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1842288A JPH01194205A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 静電吸着シート及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01194205A true JPH01194205A (ja) | 1989-08-04 |
Family
ID=11971212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1842288A Pending JPH01194205A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 静電吸着シート及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01194205A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5031349A (ja) * | 1973-07-23 | 1975-03-27 |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP1842288A patent/JPH01194205A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5031349A (ja) * | 1973-07-23 | 1975-03-27 |
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