JPH01193634A - Ｘ線検査方法及び装置 - Google Patents
Ｘ線検査方法及び装置Info
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- JPH01193634A JPH01193634A JP63018687A JP1868788A JPH01193634A JP H01193634 A JPH01193634 A JP H01193634A JP 63018687 A JP63018687 A JP 63018687A JP 1868788 A JP1868788 A JP 1868788A JP H01193634 A JPH01193634 A JP H01193634A
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、被検査物体にＸ線？フィルター介して照射し
、その線吸収係数を計測し、その線吸収係数より物体の
組成・構造・素材等？定量的又はイメージ的に分析・出
力するＸ線検査法の改良及びそのためのフィルターの決
定法とＸ線検査装置に関し、特に物体の厚み・素材に応
じてＸＩ管の管電圧を変えた方がよい場合に有用な技術
である。
、その線吸収係数を計測し、その線吸収係数より物体の
組成・構造・素材等？定量的又はイメージ的に分析・出
力するＸ線検査法の改良及びそのためのフィルターの決
定法とＸ線検査装置に関し、特に物体の厚み・素材に応
じてＸＩ管の管電圧を変えた方がよい場合に有用な技術
である。
（従来の技術）
本出願人はＸ線をフィルター介して物体に照射し、その
線吸収係数から物体の素材・組成・構造を検査するＸ線
検査方法を開発して特願昭５７−７５８６０として出願
した。この時、物体の厚みにかかわらず同一素材で同一
線吸収係数となるようにフィルターの素材と厚みをＸ＆
＊管の管球と管電圧に応じて適切なものに変えていた。
線吸収係数から物体の素材・組成・構造を検査するＸ線
検査方法を開発して特願昭５７−７５８６０として出願
した。この時、物体の厚みにかかわらず同一素材で同一
線吸収係数となるようにフィルターの素材と厚みをＸ＆
＊管の管球と管電圧に応じて適切なものに変えていた。
（発明が解決しようとする課題）
従来のＸ線検査法では被検査物の物体の素材又は厚みが
大きく変化した場合、Ｘ線管の管電圧を変えてＸ線１を
適切なものにしていた。例えば、プラスチック・液体等
の検査の場合は低い管電圧で照射し、又金属・セラミッ
ク等の検査の場合は高い管電圧で照射していた。管電圧
を変えればその都度厚み１こよって変化しないフィルタ
ーに交換していた。その適切なフィルターの決定はＸ線
管球と管電圧によって変化し、経験と試行錯誤によって
求められていた。そのため、Ｘ線検査装置個別毎にこ管
電圧に応じた適切なフィルターの決定と製作に多くの手
間と時間を要していた。
大きく変化した場合、Ｘ線管の管電圧を変えてＸ線１を
適切なものにしていた。例えば、プラスチック・液体等
の検査の場合は低い管電圧で照射し、又金属・セラミッ
ク等の検査の場合は高い管電圧で照射していた。管電圧
を変えればその都度厚み１こよって変化しないフィルタ
ーに交換していた。その適切なフィルターの決定はＸ線
管球と管電圧によって変化し、経験と試行錯誤によって
求められていた。そのため、Ｘ線検査装置個別毎にこ管
電圧に応じた適切なフィルターの決定と製作に多くの手
間と時間を要していた。
又、このことは検在対東を変えて別の管電圧で別用途の
検査装置として使用したい場合も、同様にフィルターを
変更しなくてはならず、その新しいフィルターの決定と
製作に多くの労力と時間な要して（・た。
検査装置として使用したい場合も、同様にフィルターを
変更しなくてはならず、その新しいフィルターの決定と
製作に多くの労力と時間な要して（・た。
本発明の解決しようとする課題は従来のかかる欠点を解
消し、経験と試行錯誤による適切フィルターの決定と製
作をなるべく管電圧の少ない点数に限り、池の管電圧に
おける適切フィルターの決定を計算によって補完的に行
えるようにし、フィルターの決定の手間・時間を大巾に
削減し、又管電圧に適切なフィルターを容易に用意でき
、かツ定量測定をスピードアップし、検査精度を高める
ことにある。
消し、経験と試行錯誤による適切フィルターの決定と製
作をなるべく管電圧の少ない点数に限り、池の管電圧に
おける適切フィルターの決定を計算によって補完的に行
えるようにし、フィルターの決定の手間・時間を大巾に
削減し、又管電圧に適切なフィルターを容易に用意でき
、かツ定量測定をスピードアップし、検査精度を高める
ことにある。
（課題を解決するための手段）
かかる課題を解決した本発明の要旨は、１）Ｘ線をフィ
ルター介して被検査物体に照射し、該物体のＸ線の線吸
収係数？計測して物体の組成・構造を判別するｘｉｓ査
方法に於いて、Ｘ線管球の二点以上の管電圧で物体の原
人によって線吸収係数が変化しないフィルターを求めて
おき、その各フィルターのｉ子ｇ号とフィルターの原人
との積の総和Ｚｔ値が管電圧に対して形成する略直線上
に、所要の管電圧におけるフィルターの総和Ｚｔ値がの
るようにフィルターを選択することにより、上記所要の
管電圧において線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略
一定に維持して定量測定をスピードアメブし、往っ検査
精度を高めたことを特徴とするＸ線検査方法 ２）Ｘ線をフィルター介して被検査物体に照射し、該物
体のＸ線の線吸収係数を計測して物体の組成・構造を判
別するＸ線検査方法に於いて、Ｘ線管球の二点以上の管
電圧で物体の厚みによって線吸収係数が変化しないフィ
ルターを求めておき、その各フィルターの原子番号とフ
ィルターの厚みとの積の総和Ｚｔ値が管電圧に対して形
成する略直線上に、他の所要の管電圧におけるフィルタ
ーの総和Ｚｔ値がのるようにフィルターを多数選択し、
管電圧を変えるとフィルターもこれに対応する上記フィ
ルターに変更することにより、Ｘ線管の種々の管電圧に
おいて線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略一定に維
持して定量測定をスヒートアップし、且つ検査精度を高
めたことを特徴とするＸ線検査方法 ３）Ｘ線管球の二点以上の管電圧で物体の原人によって
線吸収係数が変化しないフィルターを求めておぎ、その
各フィルターの原子番号とフィルターの原人との積の総
和Ｚｔ値がのるようにフィルターを決定することにより
、線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略一定に維持で
きるＸ線線吸収係数測定用フィルターの決定法 ４）請求項３記載のフィルターの決定法で決定されたフ
ィルターをＸ線センサーの前に配置するとともに、被検
査物を透過しない基準Ｘ線センサーを別個設け、更に被
検査物なおかず透過させない時のＸ線センサーのＸ線量
が基準Ｘ線センサーのＸ線量と略同一となるような補正
フィルターを基準Ｘ線センサーの前に設け、被検査物を
透過したＸ線量を測定するＸ線センサーと基準Ｘ線セン
サーのＸ線量の比の対数値を被検査物の原人で除して線
吸収係数としたことを特徴とするＸ線検査装置 ５）請求項４記載のＸ線検査装置においてフィルター及
び補助フィルターが管電圧に応じて複数組用意され、し
かも両フィルターを同期して変更さぜる手段を備えたＸ
線検査装置 にある。
ルター介して被検査物体に照射し、該物体のＸ線の線吸
収係数？計測して物体の組成・構造を判別するｘｉｓ査
方法に於いて、Ｘ線管球の二点以上の管電圧で物体の原
人によって線吸収係数が変化しないフィルターを求めて
おき、その各フィルターのｉ子ｇ号とフィルターの原人
との積の総和Ｚｔ値が管電圧に対して形成する略直線上
に、所要の管電圧におけるフィルターの総和Ｚｔ値がの
るようにフィルターを選択することにより、上記所要の
管電圧において線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略
一定に維持して定量測定をスピードアメブし、往っ検査
精度を高めたことを特徴とするＸ線検査方法 ２）Ｘ線をフィルター介して被検査物体に照射し、該物
体のＸ線の線吸収係数を計測して物体の組成・構造を判
別するＸ線検査方法に於いて、Ｘ線管球の二点以上の管
電圧で物体の厚みによって線吸収係数が変化しないフィ
ルターを求めておき、その各フィルターの原子番号とフ
ィルターの厚みとの積の総和Ｚｔ値が管電圧に対して形
成する略直線上に、他の所要の管電圧におけるフィルタ
ーの総和Ｚｔ値がのるようにフィルターを多数選択し、
管電圧を変えるとフィルターもこれに対応する上記フィ
ルターに変更することにより、Ｘ線管の種々の管電圧に
おいて線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略一定に維
持して定量測定をスヒートアップし、且つ検査精度を高
めたことを特徴とするＸ線検査方法 ３）Ｘ線管球の二点以上の管電圧で物体の原人によって
線吸収係数が変化しないフィルターを求めておぎ、その
各フィルターの原子番号とフィルターの原人との積の総
和Ｚｔ値がのるようにフィルターを決定することにより
、線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略一定に維持で
きるＸ線線吸収係数測定用フィルターの決定法 ４）請求項３記載のフィルターの決定法で決定されたフ
ィルターをＸ線センサーの前に配置するとともに、被検
査物を透過しない基準Ｘ線センサーを別個設け、更に被
検査物なおかず透過させない時のＸ線センサーのＸ線量
が基準Ｘ線センサーのＸ線量と略同一となるような補正
フィルターを基準Ｘ線センサーの前に設け、被検査物を
透過したＸ線量を測定するＸ線センサーと基準Ｘ線セン
サーのＸ線量の比の対数値を被検査物の原人で除して線
吸収係数としたことを特徴とするＸ線検査装置 ５）請求項４記載のＸ線検査装置においてフィルター及
び補助フィルターが管電圧に応じて複数組用意され、し
かも両フィルターを同期して変更さぜる手段を備えたＸ
線検査装置 にある。
（作用）
本発明におけるフィルターの決定方法は使用するＸ線管
球が決まると、まずがなり電圧差のある二点又は二点以
上の管電圧における適切なフィルターを経験と試行錯誤
によって決定する。ここで適切なフィルターとは、管電
圧を一定にしておいて被検査物体の厚みを変えても線吸
収係数が略−定に保持できるフィルターをいう。
球が決まると、まずがなり電圧差のある二点又は二点以
上の管電圧における適切なフィルターを経験と試行錯誤
によって決定する。ここで適切なフィルターとは、管電
圧を一定にしておいて被検査物体の厚みを変えても線吸
収係数が略−定に保持できるフィルターをいう。
この適切なフィルターの素材の原子番号Ｚとその厚みｔ
の積を求める。それが条素材の積層物である場合は各層
の素材の原子番号Ｚとその層の厚みｔの積の全層での和
を求め、それを総和Ｚｔ値とする。
の積を求める。それが条素材の積層物である場合は各層
の素材の原子番号Ｚとその層の厚みｔの積の全層での和
を求め、それを総和Ｚｔ値とする。
次に二点以上の管電圧で求められた総和Ｚｔ値と管電圧
Ｖとの間で略比例関係Ｚｔ＝ａＶ＋ｂを成立させるａ、
ｂの定数又は比例直線を決定する。このａ、ｂ又は比例
直線の決定は計算によってもよいし、作図によって決定
されてもよい。
Ｖとの間で略比例関係Ｚｔ＝ａＶ＋ｂを成立させるａ、
ｂの定数又は比例直線を決定する。このａ、ｂ又は比例
直線の決定は計算によってもよいし、作図によって決定
されてもよい。
次にこの比例関係を略満足する所望の管電圧に対応する
フィルターの総和Ｚｔ値を求める。この総和Ｚｔ値とな
るようにフィルターの素材と厚入な決定する。このよう
に決定されたフィルターをその管電圧の検査に使用する
。
フィルターの総和Ｚｔ値を求める。この総和Ｚｔ値とな
るようにフィルターの素材と厚入な決定する。このよう
に決定されたフィルターをその管電圧の検査に使用する
。
次にこのフィルターを使って物体の定量的検査を行う場
合、原人に略変化しないこのフィルターで種々の試料で
もってその管電圧における線吸収係数μを測定し、回路
又はコンピー−ターにデータとじて記憶させておく。従
って、Ｘ線管の管電圧毎にフィルターが決定され、その
管電圧とフィルターに応じた多くの物体・物質の素材と
線吸収係数μの対応が決定され、記憶されている。一つ
の管電圧しか使わない検査装置の場合でも同様である。
合、原人に略変化しないこのフィルターで種々の試料で
もってその管電圧における線吸収係数μを測定し、回路
又はコンピー−ターにデータとじて記憶させておく。従
って、Ｘ線管の管電圧毎にフィルターが決定され、その
管電圧とフィルターに応じた多くの物体・物質の素材と
線吸収係数μの対応が決定され、記憶されている。一つ
の管電圧しか使わない検査装置の場合でも同様である。
検査する物体の素材（金属・プラスチック・液体・ガス
等）と厚さに適したＸ線管の管電圧が決定されると、そ
の管電圧に対して上記方法で決定された適切なフィルタ
ーが使用され、その時のＸ線量比Ａ／Ｂ、その対数値Ａ
ＬＡ／Ｂ、物体の厚２ＡｄをＸ線センサー、厚み測定装
置、又はキーをコンビエータで算出し、この線吸収係数
をその管電圧とフィルターとによって決められた線吸収
級 係数記憶テーブルからの吸収係数群と照合し、物＾ 体の素材・組成・構造を定量的又はイメージ的に算出し
出力するものである。
等）と厚さに適したＸ線管の管電圧が決定されると、そ
の管電圧に対して上記方法で決定された適切なフィルタ
ーが使用され、その時のＸ線量比Ａ／Ｂ、その対数値Ａ
ＬＡ／Ｂ、物体の厚２ＡｄをＸ線センサー、厚み測定装
置、又はキーをコンビエータで算出し、この線吸収係数
をその管電圧とフィルターとによって決められた線吸収
級 係数記憶テーブルからの吸収係数群と照合し、物＾ 体の素材・組成・構造を定量的又はイメージ的に算出し
出力するものである。
尚、線吸収係数の計算方法は物体透過・非透過の二つの
Ｘ線センサーを用いる方法で求めてもよいし、一つのＸ
線センサーで物体を透過させた場合と物体を透過させな
い時のＸ線量から求めてもよい。又、本発明ではフィル
ターの位置は被検査物の物体の前でも、又その物体の後
でもよく、Ｘ線センサーの前にあればよい。更に請求項
１．２゜３記載の発明では基準Ｘ線センサーを使っても
使わなくてもよい。
Ｘ線センサーを用いる方法で求めてもよいし、一つのＸ
線センサーで物体を透過させた場合と物体を透過させな
い時のＸ線量から求めてもよい。又、本発明ではフィル
ターの位置は被検査物の物体の前でも、又その物体の後
でもよく、Ｘ線センサーの前にあればよい。更に請求項
１．２゜３記載の発明では基準Ｘ線センサーを使っても
使わなくてもよい。
（実施例）
以下、実施例でもって詳細に説明する。
本実施例は、あるＸ線管球で連続Ｘ線をフィルター介し
て被検査物体であるアクリル板に照射し、同アクリル板
を透過しないＸ線量Ａと、被検査物を透過した後のＸ線
量Ｂとを二つのＸ線センサーで測定し、その両者のＸ線
量の比Ａ／Ｂの対数値 、ｌＰｔ Ａ／Ｂをアクリル板
の透過厚みｄで除して求めた線吸収係数、μ＝ ’ Ｌ
Ａ／Ｂが厚みに ｄにかかわらず略一定となるフィルターを６０ＫｖＰと
１２０ＫＶＦの二点の管電圧・定電流４ｍＡでもってア
クリル板の厚みｄを種４かえて試行錯誤によって求めた
。
て被検査物体であるアクリル板に照射し、同アクリル板
を透過しないＸ線量Ａと、被検査物を透過した後のＸ線
量Ｂとを二つのＸ線センサーで測定し、その両者のＸ線
量の比Ａ／Ｂの対数値 、ｌＰｔ Ａ／Ｂをアクリル板
の透過厚みｄで除して求めた線吸収係数、μ＝ ’ Ｌ
Ａ／Ｂが厚みに ｄにかかわらず略一定となるフィルターを６０ＫｖＰと
１２０ＫＶＦの二点の管電圧・定電流４ｍＡでもってア
クリル板の厚みｄを種４かえて試行錯誤によって求めた
。
その結果、管電圧６０ＫＶＰ、管電流４ｍＡでフィルタ
ーはアルミＡ１ｏ、２朋とｊＭｃｕｏ、３朋の積層板が
良好なフィルターとなった。その時の被検査物のアクリ
ル板の原人と線吸収係数、Ｕの関係を第３図に示してい
る。この時の総和Ｚｔ値は１１．３であった。
ーはアルミＡ１ｏ、２朋とｊＭｃｕｏ、３朋の積層板が
良好なフィルターとなった。その時の被検査物のアクリ
ル板の原人と線吸収係数、Ｕの関係を第３図に示してい
る。この時の総和Ｚｔ値は１１．３であった。
次に管電圧１２０ＫＶ、、管電流４ｍＡでフィルターは
銅Ｃｕ １．０４ｓｕ＋ 、銀〜０．３順の積層板で総
和Ｚ ｔＭは４４．３であった。この時のアクリル板の
厚みと線吸収係数μとの関係を第４図に示しているＯ この管電圧と総和Ｚｔ値との関係を第２図に作図し、そ
の直線を求め、この直線に近い他の管電圧８０ＫＶ７．
１００ＫＶＰ、４０ＫＶｒでの総和ｚｔ値の下記フィル
ターな作成して、物体アクリル板の原人と線吸収係数の
関係を調べたら厚みにかかわらず線吸収係数が略一定に
できく第５．６．７図参照）、物体の定量分析を可能と
しうるものとなった。
銅Ｃｕ １．０４ｓｕ＋ 、銀〜０．３順の積層板で総
和Ｚ ｔＭは４４．３であった。この時のアクリル板の
厚みと線吸収係数μとの関係を第４図に示しているＯ この管電圧と総和Ｚｔ値との関係を第２図に作図し、そ
の直線を求め、この直線に近い他の管電圧８０ＫＶ７．
１００ＫＶＰ、４０ＫＶｒでの総和ｚｔ値の下記フィル
ターな作成して、物体アクリル板の原人と線吸収係数の
関係を調べたら厚みにかかわらず線吸収係数が略一定に
できく第５．６．７図参照）、物体の定量分析を可能と
しうるものとなった。
この様にして総和Ｚｔ値から決定された８０ＫＶＹ−１
００ＫＶ２のフィルターの線吸収係数の物体の厚みに対
する変動は少なく、満足いくものであった。
００ＫＶ２のフィルターの線吸収係数の物体の厚みに対
する変動は少なく、満足いくものであった。
直線上からの外れ具合は直線上の総和Ｚｔ値の±１０％
又は±３．０以内であれば満足いくものであった。
又は±３．０以内であれば満足いくものであった。
次に、第１図に示す実施例のＸ線検査装置について説明
する。
する。
本装置のフィルター（２）は被検査物（５）を通過した
Ｘ線を測定するＸ線センサー（４）の直前に配置され、
しかも回転板（１リフ上に複数個配列され、回転板（１
３の回転によって所要の管電圧のフィルター（２）に変
更できるようにしている。又、Ｘ線管（１）からの被検
査物（５）を通過しないＸ線を測定する基準Ｘ線センサ
ー（３）の前にも０点補正用のフィルター（２）′を回
転板（１１’Ａに複数個配置している。この０点補正用
のフィルター（２）′は管電圧に応じて用意され、？１
１．ｔ！ｊ！査物（５）を載せないときに両Ｘ線センサ
ー（３）、（４）のＸ線量比Ａ／Ｂが略１となるように
調整されている。しかもフィルターを取付けた二つの回
転板（１１、（１１′はＸ線発生装置（１１で設定した
た管電圧に応じて同期してモータ（１１１９、（１１１
９’で回転させられて所要のフィルターとなるように連
動している。尚、上の回転板（ＩＩ ’には窓（２Ｉｊ
ＪをあけられていてＸ線を被検査物（５）に窓（Ｚｔを
通して照射しているが、０点補正用のフィルター（２）
′を介して照射させてもよい。
Ｘ線を測定するＸ線センサー（４）の直前に配置され、
しかも回転板（１リフ上に複数個配列され、回転板（１
３の回転によって所要の管電圧のフィルター（２）に変
更できるようにしている。又、Ｘ線管（１）からの被検
査物（５）を通過しないＸ線を測定する基準Ｘ線センサ
ー（３）の前にも０点補正用のフィルター（２）′を回
転板（１１’Ａに複数個配置している。この０点補正用
のフィルター（２）′は管電圧に応じて用意され、？１
１．ｔ！ｊ！査物（５）を載せないときに両Ｘ線センサ
ー（３）、（４）のＸ線量比Ａ／Ｂが略１となるように
調整されている。しかもフィルターを取付けた二つの回
転板（１１、（１１′はＸ線発生装置（１１で設定した
た管電圧に応じて同期してモータ（１１１９、（１１１
９’で回転させられて所要のフィルターとなるように連
動している。尚、上の回転板（ＩＩ ’には窓（２Ｉｊ
ＪをあけられていてＸ線を被検査物（５）に窓（Ｚｔを
通して照射しているが、０点補正用のフィルター（２）
′を介して照射させてもよい。
次に、被検査物（ＩＩはＸＹ二軸方向（水平）に移動で
−る試料台（６）の開口（２０上に載置されている。
−る試料台（６）の開口（２０上に載置されている。
△
そして両Ｘ線センサー＋３１ 、＋４１で測定されたＸ
線量Ａ、Ｂの比はＸ線量比Ａ／Ｂ計算回路（７）で計算
され、その比の対数値ｋＡ／Ｂは次の対数計算回路（８
）で計算され、更ににカキボード（９）から入力された
被検査物（ＩＩの厚みｄでもって対数値ＡＡ／Ｂを割っ
て線吸収係数μを次段の線吸収係数計算回路＋１１で求
め、線吸収係数記憶回路（１１）で記憶されているその
管電圧での線吸収係数と素材との関係テーブルと計算さ
れた線吸収係数とを照合回路（１１Ｊで比較照合する。
線量Ａ、Ｂの比はＸ線量比Ａ／Ｂ計算回路（７）で計算
され、その比の対数値ｋＡ／Ｂは次の対数計算回路（８
）で計算され、更ににカキボード（９）から入力された
被検査物（ＩＩの厚みｄでもって対数値ＡＡ／Ｂを割っ
て線吸収係数μを次段の線吸収係数計算回路＋１１で求
め、線吸収係数記憶回路（１１）で記憶されているその
管電圧での線吸収係数と素材との関係テーブルと計算さ
れた線吸収係数とを照合回路（１１Ｊで比較照合する。
その照合結果を物体判断回路（１３で分析して最終的に
痕検査物の素材・構造等を解析してデイスプレィ旧にそ
の結果を表示する。
痕検査物の素材・構造等を解析してデイスプレィ旧にそ
の結果を表示する。
又、線吸収係数、αと試料台駆動装置（至）の位置情報
とから、画像処理装置（２６で画像としてＣＲＴ （Ｚ
ｔに出力している。尚、図中（ｌｎは回転板＋１！９、
（１１’を同期して連動させるモータ制御回路である。
とから、画像処理装置（２６で画像としてＣＲＴ （Ｚ
ｔに出力している。尚、図中（ｌｎは回転板＋１！９、
（１１’を同期して連動させるモータ制御回路である。
（発明の効果）
以上の様に本発明によれば、物体の素材・厚みに応じて
検査に適したＸ線管の管電圧における適切なフィルター
を少ない労力でもって決定でき、Ｘ線管の管電圧に応じ
た適切なフィルターに変更することによって、厚さにか
かわらず物体の素材と線吸収係数の対応性を精度よく確
保し、物体の素材・構造の定量的解析、イメージ的解析
、素材の同定分析の精度を高め、且つスピードアップす
ることができた。
検査に適したＸ線管の管電圧における適切なフィルター
を少ない労力でもって決定でき、Ｘ線管の管電圧に応じ
た適切なフィルターに変更することによって、厚さにか
かわらず物体の素材と線吸収係数の対応性を精度よく確
保し、物体の素材・構造の定量的解析、イメージ的解析
、素材の同定分析の精度を高め、且つスピードアップす
ることができた。
第１図は実施例装置を示す説明図、第２図は管電圧と総
和Ｚｔ値との関係を示す説明図、第３図は６０ Ｋ Ｖ
Ｆのフィルターの物体の厚みと線吸収係数を示す特性図
、第４図は１２０ Ｋ Ｖ、フィルターの特性図、第５
図は４０ＫＶｒのフィルターの特性図、第６図は８０
Ｋ ｖ、のフィルターの特性図、第７図は１００ＫＶ、
のフィルターの特性図である。 （１）：Ｘ線管 （２）、（２）’： フィルター （３）、（４）：Ｘ線センサー （５）：を検査物
（６）；試料台 ＋７）：Ｘ線量比Ａ／Ｂ計算回路 （８）二対数ノ計算回路 （９）：キーボード（
ＩＩ ：線吸収係数計算回路 （ＩＩ）：線吸収係数記憶回路 （１２：照合回路（
１３：物体判断回路 （１４：層重プレイ（旧
、（１均′：回転板 （１６）、ｎｅａｒ 、
モータ（ｌη：モータ制御回路 特 許 出 願 人 エックスライド株式会社代
理 人 戸 島 省 四
部第１図 第２図 管電圧 第６図 ８０ＫＶＰ４ｍＡ 第７図 年り嘘収イ暦ｒ５ｃ （μ） 手続補正書（自発） １．事件の表示 昭和６３年特許願第０１８６８７号 ２、発明の名称 氏名 エッグスライド株式会社 ４、代 理 人 ７、補正の対象 明細書中、発明の詳細な説明の欄及び図面８、補正の内
容 別紙の通り １）明細書１６頁９行目の「・・０点補正用のフィルタ
ー（２）′な」を「窓翰に適切なフィルターを入九で、
それを」に補正する。 ２）明細書１６頁１１行目及び１７行目の「被検査物（
１帽を「被検査物（５）」に補正する。 ３）図面の第１図を別紙の通り提出する。
和Ｚｔ値との関係を示す説明図、第３図は６０ Ｋ Ｖ
Ｆのフィルターの物体の厚みと線吸収係数を示す特性図
、第４図は１２０ Ｋ Ｖ、フィルターの特性図、第５
図は４０ＫＶｒのフィルターの特性図、第６図は８０
Ｋ ｖ、のフィルターの特性図、第７図は１００ＫＶ、
のフィルターの特性図である。 （１）：Ｘ線管 （２）、（２）’： フィルター （３）、（４）：Ｘ線センサー （５）：を検査物
（６）；試料台 ＋７）：Ｘ線量比Ａ／Ｂ計算回路 （８）二対数ノ計算回路 （９）：キーボード（
ＩＩ ：線吸収係数計算回路 （ＩＩ）：線吸収係数記憶回路 （１２：照合回路（
１３：物体判断回路 （１４：層重プレイ（旧
、（１均′：回転板 （１６）、ｎｅａｒ 、
モータ（ｌη：モータ制御回路 特 許 出 願 人 エックスライド株式会社代
理 人 戸 島 省 四
部第１図 第２図 管電圧 第６図 ８０ＫＶＰ４ｍＡ 第７図 年り嘘収イ暦ｒ５ｃ （μ） 手続補正書（自発） １．事件の表示 昭和６３年特許願第０１８６８７号 ２、発明の名称 氏名 エッグスライド株式会社 ４、代 理 人 ７、補正の対象 明細書中、発明の詳細な説明の欄及び図面８、補正の内
容 別紙の通り １）明細書１６頁９行目の「・・０点補正用のフィルタ
ー（２）′な」を「窓翰に適切なフィルターを入九で、
それを」に補正する。 ２）明細書１６頁１１行目及び１７行目の「被検査物（
１帽を「被検査物（５）」に補正する。 ３）図面の第１図を別紙の通り提出する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）Ｘ線をフィルター介して被検査物体に照射し、該物
体のＸ線の線吸収係数を計測して物体の組成・構造を判
別するＸ線検査方法に於いて、Ｘ線管球の二点以上の管
電圧で物体の厚みによって線吸収係数が変化しないフィ
ルターを求めておき、その各フィルターの原子番号とフ
ィルターの厚みとの積の総和Ｚｔ値が管電圧に対して形
成する略直線上に、所要の管電圧におけるフィルターの
総和Ｚｔ値がのるようにフィルターを選択することによ
り、上記所要の管電圧において線吸収係数を物体の厚み
にかかわらず略一定に維持して定量測定をスピードアッ
プし、且つ検査精度を高めたことを特徴とするＸ線検査
方法。 ２）Ｘ線をフィルター介して被検査物体に照射し、該物
体のＸ線の線吸収係数を計測して物体の組成・構造を判
別するＸ線検査方法に於いて、Ｘ線管球の二点以上の管
電圧で物体の厚みによって線吸収係数が変化しないフィ
ルターを求めておき、その各フィルターの原子番号とフ
ィルターの厚みとの積の総和Ｚｔ値が管電圧に対して形
成する略直線上に、他の所要の管電圧におけるフィルタ
ーの総和Ｚｔ値がのるようにフィルターを多数選択し、
管電圧を変えるとフィルターもこれに対応する上記フィ
ルターに変更することにより、Ｘ線管の種々の管電圧に
おいて線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略一定に維
持して定量測定をスピードアップし、且つ検査精度を高
めたことを特徴とするＸ線検査方法。 ３）Ｘ線管球の二点以上の管電圧で物体の厚みによって
線吸収係数が変化しないフィルターを求めておき、その
各フィルターの原子番号とフィルターの厚みとの積の総
和Ｚｔ値がのるようにフィルターを決定することにより
、線吸収係数を物体の厚みにかかわらず略一定に維持で
きるＸ線線吸収係数測定用フィルターの決定法。 ４）請求項３記載のフィルターの決定法で決定されたフ
ィルターをＸ線センサーの前に配置するとともに、被検
査物を透過しない基準Ｘ線センサーを別個設け、更に被
検査物をおかず透過させない時のＸ線センサーのＸ線量
が基準Ｘ線センサーのＸ線量と略同一となるような補正
フィルターを基準Ｘ線センサーの前に設け、被検査物を
透過したＸ線量を測定するＸ線センサーと基準Ｘ線セン
サーのＸ線量の比の対数値を被検査物の厚みで除して線
吸収係数としたことを特徴とするＸ線検査装置。 ５）請求項４記載のＸ線検査装置においてフィルター及
び補助フィルターが管電圧に応じて複数組用意され、し
かも両フィルターを同期して変更させる手段を備えたＸ
線検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63018687A JPH0715442B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | Ｘ線検査方法及び装置 |
| US07/299,538 US4933960A (en) | 1988-01-28 | 1989-01-23 | Filter selection method for hard x-ray analysis of objects |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63018687A JPH0715442B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | Ｘ線検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01193634A true JPH01193634A (ja) | 1989-08-03 |
| JPH0715442B2 JPH0715442B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=11978523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63018687A Expired - Lifetime JPH0715442B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | Ｘ線検査方法及び装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4933960A (ja) |
| JP (1) | JPH0715442B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03191850A (ja) * | 1989-12-20 | 1991-08-21 | Aloka Co Ltd | Ｘ線を用いた成分分析装置 |
| JP2012055420A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Shimadzu Corp | Ｘ線撮影装置 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081660A (en) * | 1990-06-06 | 1992-01-14 | Yokio Fujisaki | High resolution x-ray imaging system with energy fluctuation restricting filters |
| GB9317371D0 (en) * | 1993-08-20 | 1993-10-06 | Oxford Analytical Instr Ltd | X-ray fluorescence inspection apparatus |
| DE19729414A1 (de) * | 1997-07-09 | 1999-02-11 | Siemens Ag | Strahlenblende eines medizinischen Gerätes |
| GB2409271B (en) * | 2000-08-03 | 2005-09-21 | Cambridge Imaging Ltd | Improvements in and relating to material identification using x-rays |
| US7502442B2 (en) * | 2002-01-28 | 2009-03-10 | Smiths Heimann Gmbh | X-ray inspection system and method |
| US7649981B2 (en) * | 2003-10-15 | 2010-01-19 | Varian Medical Systems, Inc. | Multi-energy x-ray source |
| US20050082491A1 (en) * | 2003-10-15 | 2005-04-21 | Seppi Edward J. | Multi-energy radiation detector |
| US7869862B2 (en) * | 2003-10-15 | 2011-01-11 | Varian Medical Systems, Inc. | Systems and methods for functional imaging using contrast-enhanced multiple-energy computed tomography |
| US7224763B2 (en) * | 2004-07-27 | 2007-05-29 | Analogic Corporation | Method of and system for X-ray spectral correction in multi-energy computed tomography |
| US7397904B2 (en) * | 2005-05-11 | 2008-07-08 | Varian Medical Systems Technologies, Inc. | Asymmetric flattening filter for x-ray device |
| US8503616B2 (en) * | 2008-09-24 | 2013-08-06 | Varian Medical Systems, Inc. | X-ray tube window |
| CN101789277B (zh) * | 2009-01-24 | 2014-06-11 | Ge医疗系统环球技术有限公司 | 滤波器和x射线成像系统 |
| JP4868034B2 (ja) * | 2009-07-16 | 2012-02-01 | 横河電機株式会社 | 放射線検査装置 |
| CN109765291A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-05-17 | 陕西科技大学 | 基于滤光法的纸张总灰分及组分快速测量装置及测量方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3854049A (en) * | 1973-12-10 | 1974-12-10 | Wisconsin Alumni Res Found | Compensation for patient thickness variations in differential x-ray transmission imaging |
| JPS61193364U (ja) * | 1985-05-24 | 1986-12-02 |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP63018687A patent/JPH0715442B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-01-23 US US07/299,538 patent/US4933960A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03191850A (ja) * | 1989-12-20 | 1991-08-21 | Aloka Co Ltd | Ｘ線を用いた成分分析装置 |
| JP2012055420A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Shimadzu Corp | Ｘ線撮影装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0715442B2 (ja) | 1995-02-22 |
| US4933960A (en) | 1990-06-12 |
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