JPH01189381A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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JPH01189381A
JPH01189381A JP1420888A JP1420888A JPH01189381A JP H01189381 A JPH01189381 A JP H01189381A JP 1420888 A JP1420888 A JP 1420888A JP 1420888 A JP1420888 A JP 1420888A JP H01189381 A JPH01189381 A JP H01189381A
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layer
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cleaning tank
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は溶剤の蒸散防止方法及びその装置に係わり、更
に詳しくは被洗浄物(ワーク)の洗浄に伴なって生ずる
洗浄槽上方に形成される溶剤の飽和蒸気層の上層に上記
溶剤の凝固点前後の低温層である低温空気層を空気冷却
賛成るいは冷却器、吐出ブロワ−ファン及び吸引ファン
等によって形成することにより上記溶剤の上部への蒸散
を防止することができる溶剤の蒸散防止方法及びその装
置に関する。
[従来の技術] 周知の通り、油等で汚れた洗浄目的物を洗浄する為に種
々の溶剤洗浄装置が用いられている。
その内の1つとして複数の洗浄槽を多段に配列すること
によって洗浄目的物を良好に洗浄することができるよう
にしているものがある。上記洗浄槽に着目してみると洗
浄槽には洗浄流体である溶剤を使用し、例えば最後段の
蒸気槽等に於いては溶剤を蒸発させ、その蒸気で洗浄目
的物の油等の汚れを除去している。上記洗浄槽内の溶剤
はヒータ等によって加熱されると共に蒸発せしめられ、
上記蒸発した蒸気は主冷却管によって冷却されて回収さ
れている。
所で上記の主冷却管は、蒸気を凝縮液化せしめるのが本
来の役割である為、飽和蒸気層に接つした所に配置され
ると共に、飽和蒸気層へワークを投入できることを可能
にする位置でなければならないので、必然的に飽和蒸気
層に近い回りに上記の主冷却管が配置される。逆に言え
ば飽和蒸気層の上方に配置することができない。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来技術によれば上述したように洗浄槽に用いる溶
剤の凝縮による回収をすることができるが次の幾つかの
解決すべき問題点を有している。
即ち、上記したように主冷却管は飽和蒸気層の回りに配
置されるから凝縮回収は可能なるも、蒸気の溶剤の上方
への蒸散を防止することができない、仮にその蒸散をも
防止して、その溶剤の全回収率を高率良く行なう為には
上記主冷却管が配管されている冷凍機の能力をアップさ
せなければならない。
即ち冷凍機の能力を大幅に向上させる為には非常に大き
な冷凍機を設備しなければならず設備スペース、設備コ
ストが大きいので実用的に不敵である。具体的には一般
的に主冷却管は5℃〜15℃に保持されているが溶剤の
蒸散を防止する為には略−30℃以下に保持しなければ
ならない為である。
従って本発明の目的とする所は大型の冷凍機を設備する
ことなく省エネルギーで良好に溶剤蒸気の上方への蒸散
の防止を効果的に図り、溶剤のトータル的な回収効率を
向上させることができるようにするにある。
[課題を解決する為の手段] 上記目的を達成するために、本発明は洗浄流体が収容さ
れている洗浄槽内に被洗浄物(ワーク)を収容し洗浄す
る装置の溶剤の蒸散を防止する方法に於いて; 上記被洗浄物(ワーク)の洗浄に際し、洗浄槽1の上方
に溶剤2の飽和蒸気層Aが形成され、この溶剤2の飽和
蒸気層Aの上層に溶剤2の凝固点前後の低温層である低
温空気層Bを形成することによって溶剤2の上部への蒸
散を防止する溶剤の蒸散防止方法である。
また上記溶剤2の飽和蒸気層Aの上方に上記溶剤2の凝
固点前後の低温層である低温空気層Bを形成する為の冷
却手段を有する溶剤の蒸散防止装置である。
望ましくは上記被洗浄物(ワーク)の洗浄に伴なって生
ずる洗浄槽上方の溶剤2の飽和蒸気の回収は上記洗浄槽
1の上部4に配設せしめられている主冷却管6によって
行ない、更に上記主冷却管6の上部に空気を冷却する為
の空気冷却管9を設けることによって上記溶剤2の飽和
蒸気層Aの上層に溶剤の凝固点前後の低温層である低温
空気層Bを形成することが好ましい。
また洗浄槽lの上部4に配設せしめられている主冷却管
6の上方の一側15に冷却器16、吐出クロスブロワー
ファン18を配設せしめ、他側20に吸引ファン21を
配設せしめ、且つ上記冷却器16によって溶剤2の凝固
点前後の低温の空気を微風にて一側15から他側20に
送風することによって比較的大きな洗浄面積を有する洗
浄槽lであっても上記主冷却管6により溶剤2の飽和蒸
気の回収を可能とし、且つ上記溶剤2の飽和蒸気層Aの
界面付近を一側15から他側20に向かって微風の低温
空気流Cを形成してもよい。
更に洗浄槽l内に収容されている溶剤2はフロン113
を用いることができる。
[作用] 上記構成によると、先ず被洗浄物(ワーク)を溶剤洗浄
装置内の洗浄槽l内に収容し、溶剤2等の飽和蒸気によ
って蒸気洗浄せしめる。即ち洗浄槽1の上方に溶剤2の
飽和蒸気層Aが形成される。
この溶剤2の飽和蒸気層Aから上方空気中への溶剤2の
蒸散を防止する為に上記溶剤2の飽和蒸気層Aの上部に
形成されている空気層を上記溶剤2の凝固点前後に冷却
せしめることにより上記溶剤2の蒸散防1ヒをする。
より具体的には、上記洗浄槽lの上部4に配設されてい
る主冷却管6の上方に溶剤2の飽和蒸気層Aが形成され
、この飽和蒸気層Aの上方に溶剤2の凝固点前後の低温
層である空気層Bを作る為に冷却手段が上記主冷却管6
の上方に配設され、この冷却手段によって溶剤2の飽和
蒸気層Aの上層に上記の低温空気層Bが形成される。
そして上記溶剤2の飽和蒸気層Aの上部に形成されてい
る空気層を溶剤2の凝固点前後に冷却する方法は、上記
洗浄槽lの上部4に配設されている主冷却管6の上方に
空気冷却管を配設することにより可能にされる。
また上記洗浄槽lの洗浄面積が大きい時には、上記洗浄
槽lの上方に形成されている溶剤2の飽和蒸気層Aの界
面付近を一側15から他側20に向かって上記溶剤2の
凝固点前後の低温の空気を微風にて送風循環せしめるこ
とによって上記溶剤2の蒸散を防止するものであり、上
記−側15には冷却器16、吐出クロスブロワ−ファン
18等を配設し、他側20には吸引ファン21等を配設
することが好ましい。
加えて上記洗浄槽lに用いる溶剤2はフロン11.3を
用いることが好ましい。
[実施例] 次に添付図面第1図〜第3図に従い本発明の第1実施例
を説明する。
図中1は洗浄槽を示し、この洗浄槽lは多段に形成され
た複数の洗浄槽の内の1−”)であり、この洗浄槽lは
例えば多段洗浄装置の最終段階の洗浄槽である蒸気洗浄
槽である。即ち前段に於いて例えば超音波洗浄槽等によ
って順次被洗浄物(ワーク)を洗浄したものを更に本例
に於ける洗浄槽1にてワークを蒸気洗浄するものである
上記洗浄槽l内には洗浄溶剤2を所定温度に加温する為
にヒータ3を配設せしめている。
又上記洗浄槽lの上部4には回収槽5が取着せしめられ
、この回収槽5内には主冷却管6が配管せしめられてい
る。
更に上記主冷却管6の上方には補助冷却管7が周囲に配
管された補助冷却部8が設けられている。
上記主冷却管6の上方には空気冷却管9が配管せしめら
れている。上記した回収槽5の底部lOには循環パイプ
11が配管せしめられ、他方側は上記洗浄槽1の側面1
2に配管せしめられている。
上記洗浄溶剤2に着目すると、本例に於いては例えば溶
剤をフロン113を用いた場合について説明すると、上
記フロン113を洗浄槽1内に収容し、ヒータ3によっ
て加温するとこのフロン113は蒸気温度47℃、1気
圧で飽和蒸気層Aが上記洗浄槽1の上部に形成される。
この時上記溶剤2であるフロン113の飽和蒸気層Aは
路上肥土冷却管6と空気冷却管9の間に形成される。
そして上記主冷却管6に連結される図示せざる冷凍機に
よって主冷却管6を所定温度例えば5℃〜!5℃程度に
冷却せしめるのが一般である。所が従来に於いては主冷
却管と補助冷却管のみによ−て冷却せしめることによっ
て上記溶剤の凝縮回収をするものであるが、上記溶剤の
飽和蒸気層から上方の空気にその空気の温度に伴なうフ
ロン113の蒸気が蒸散している。
このフロン113の蒸気の蒸散を防止する為には上記主
冷却管の温度を一30℃以下にすることによって上記フ
ロン113の蒸気の蒸散を極めて低くおさえ且つ溶剤で
あるフロン113の回収率が向上するが上記主冷却管を
一30℃以下にする為には非常に大きな冷凍機を設備し
なければならず設備コスト、設備スペース等を考慮した
場合に実用的ではない。
そこで本件は次のようにしたものである。
即ち、上記した主冷却管6の上方に空気冷却管9を設け
、上記主冷却管6の温度は5℃〜15℃程度に冷却させ
るのでこの主冷却管6に連結されている冷凍機を出力の
大きなものに変えることなく、この主冷却管6の上方に
配設されている空気冷却管9を所定の温度即ち例えば−
40℃〜−80℃に冷却する。この時この空気冷却管9
は直接上記溶剤の飽和蒸気層Aを冷却するものでなく、
この溶剤の飽和蒸気層A上の空気層を冷却するものであ
り、故に上記空気冷却管9に連結されている図示せざる
冷凍機自体を必要以上に大形のものを設備する必要がな
く一般的な冷凍機を用いることができる。
更に上記空気冷却管9を一40℃〜−60℃に冷却する
ことにより、上記溶剤の飽和蒸気層Aの上層に位置する
空気層を一り0℃〜−40℃程度の低温空気層Bを作る
ことができる。又上記低温空気層Bは室温空気よりはる
かに比重が大きいけれども上記した溶剤の飽和蒸気より
も軽いのでフロン113の飽和蒸気層Aの上に薄く広が
ると共に低温空気層Bを形成する。
従って上記フロン113の飽和蒸気層Aは47℃である
ので主冷却管6と空気冷却管9が協働して上記フロン1
13の飽和蒸気層Aを冷却せしめ、上記フロン113の
飽和蒸気を凝縮液又は凝固せしめ下方側の回収槽5成る
いは洗浄槽1内に回収する。
故に溶剤2である例えばフロン113等の飽和蒸気界面
からの大気への蒸散を大幅に減少させることができるも
のである。
尚上記した空気冷却管9の冷凍機の能力は直接発生する
フロン蒸気を冷却する為ではなく、空気を冷却するもの
であるので極めて小さい能力ですむので設備コスト、設
備スペースを少なくてすむものである。
又上記溶剤であるフロンの飽和蒸気層上部界面は自重の
為一般に平坦であり、この平坦部分と接して低温空気層
Bが生じる。そしてこの界面によって微少な熱交換が行
なわれ、一部のフロン蒸気がキリとなって下降するが大
部分は安定する。
又本例に於いては溶剤をフロン113の例を示したが、
フロン113以外の溶剤を用いることが可能である。
即ち、フロン112、イソプロピルアルコール(I P
A)、エタノール、塩化メチレン、トリクレン、パーク
ロルエチレン、 111 )リフロールエタン、及びそ
れらの共沸物として水等を用いることができる。
次にこの第1実施例の使用例を説明する。
本例に於いては多段に形成された溶剤洗浄装置の最終工
程である洗浄槽1に於ける溶剤2の洗浄槽2の上方への
蒸散を防止する為のものである。
即ち本例に於いては溶剤を例えばフロン113を用いる
とすればこのフロン113は洗浄槽1内のヒータ3によ
って所定温度に加温せしめられ、被洗浄物(ワーク)を
洗浄するものである。この時上記フロン113は47℃
1気圧によって飽和蒸気となって上記洗浄槽lの上方に
所定の領域内の飽和蒸気層Aを形成する。この飽和蒸気
層Aは洗浄槽lの上方に位置する空気よりも比重が大き
いので下方に飽和蒸気層Aが形成されている。この溶剤
の飽和蒸気層Aを冷却する為の手段が上記洗浄槽lの上
部4に配設されている。即ち、主冷却管6と空気冷却管
9及び補助冷却管8より成り、上記主冷却管6は溶剤の
飽和蒸気層A内に配設され、主に溶剤2の回収をする為
のものであり、この主冷却管6の冷却温度は略り℃〜1
5℃程度である。
又この主冷却管6の冷却温度5℃〜15℃程度では溶剤
2の回収率を向上させることが難しく、且つ溶剤2の上
方へ蒸散を防止することも難しい、そこで本件に於いて
は上記主冷却管6の上方即ち溶剤2の飽和蒸気層Aの上
方に空気冷却管9を配管し、この空気冷却管9によって
上記溶剤の飽和蒸気層Aの上方の空気を冷却する。この
時の空気冷却管9の冷却温度は一40℃〜−80℃であ
り、且つこの空気冷却管9は溶剤の飽和蒸気を直接冷却
することなく空気を冷却するものであり、従ってこの空
気冷却管9を冷却する為の図示せざる冷凍機の能力を必
要以上に大きくする必要がないものである。
又上記空気冷却管9によって冷却された空気は室温空気
よりはるかに比重が大きく而も上記した溶剤であるフロ
ン蒸気に比べて比重が軽いために上記空気冷却管9によ
って冷却された低温空気層Bは上記飽和蒸気層Aの上に
薄く広がると共に低温空気層Bを形成する。これは第2
図に示す如くである。
又第3図に示すように低温空気層Bの空気は左右から中
央に流動し、且つ溶剤であるフロン蒸気との界面によっ
て中央から左右側へ流動せしめられる。
この時上記界面に於いては下方側のフロン蒸気も同様に
中央側から左右側に流動せしめられる。
この界面即ち低温空気流と接触するフロン蒸気流によっ
て微少な熱交換が行なわれ、一部のフロン蒸気がキリと
なって下降するが大部分は安定する。
そして主冷却管6の配管されている回収槽5に上記フロ
ン蒸気が回収される。そして上記フロン蒸気を飽和蒸気
層Aより大気への蒸散を大幅に減少させることができる
ものである。
加えてワークは溶剤2であるフロン113の飽和蒸気層
A内に配設することによってフロン113の蒸気にて洗
浄されるものであるが、上記ワークの洗浄効率を維持す
ると共に溶剤2の上方への蒸散を防止し且つ溶剤2の回
収率を格段に向上させることができる本件特有の利点を
有するものである。
次に添付図面第4図、第5図に従い本発明の第2実施例
を詳述する。
上記した第1実施例との相違点のみについて説明する。
′ 本例に於いては洗浄槽lの洗浄面積が大きい場合の例で
あって洗浄槽1の上部4に配設せしめられている主冷却
管6の上方の一側15に冷却器16を設けこの冷却器1
6の一方17に吐出クロスプロワ−ファン18を接続し
、この吐出クロスブロワ−ファン18の吐出口18が上
記洗浄槽内側に配設されている。又他側20には吸引フ
ァン21が配設されると共に吸引口22が同様に洗浄槽
内側に配設されている。更に上記−側15の冷却器16
の他方23には他側20の吸引ファン21に循環パイプ
24が連結せしめられている。又上記主冷却管6の温度
範囲は5℃〜15°C程度であり、この主冷却管6の上
部に位置する冷却器16の温度範囲は一り0℃〜−60
℃程度であり、吐出クロスブロワ−ファン18によって
吐出口18より微風例えば0.3〜0.5m/sec程
度の低温空気流を流動させることによって低温空気層C
が形成される。
又本例に於いては主冷却管6によってフロンの飽和蒸気
を凝縮回収し、残留蒸散分を少ない冷却能力で、回収す
ることが出来るものである。
他については上記した第1実施例と略同じである。
尚本例に於いては主冷却管6等によって回収さ−れた溶
剤2を洗浄槽lに循環させる例を示したが第5図に示す
ように前段に設けられた回収槽等に循環させることも可
能である。
次にこの第2実施例の使用例を説明する。
上記した第1実施例の使用例との相違点のみについて説
明する。
即ち本例に於いては洗浄槽1の洗浄平面が大きい場合で
あり、主冷却管6の上部の一側15から他側20に向か
って低温空気を吐出クロスブロワ−ファン18によって
微風にて流動せしめると共に他側20の吸引ファン21
によって吸引せしめるものである。上記低温空気は冷却
器16によって−40℃〜−60℃の範囲内に冷却する
と共に微風にて送風することによって溶剤の飽和蒸気層
Aの上層の空気層Cを略−30℃〜−35℃程度に冷却
することができる。
従って上記低温空気層Cと溶剤2の飽和蒸気層Aの界面
によって上記飽和蒸気が接触すると共に熱交換される。
この時上記低温空気層Cが微風ながら流動せしめられる
ので飽和蒸気との接触効率をより向上させることができ
るので主冷却管6によって飽和蒸気層Aの大部分を凝縮
回収でき、残留鼻散分を少ない冷却能力で回収すること
ができるものである。
他については上記第1実施例の使用例と略同じである。
[発明の効果] 本発明は上述のとおり構成されているので。
次の記載する効果を奏する。
請求項1の溶剤の蒸散防止方法に於いては、洗浄槽1の
上方に形成される溶剤2の飽和蒸気層Aの上方に溶剤2
の凝固点前後の低温である低温空気層Bを形成すること
によって溶剤2の蒸散を容易に防止することができる。
而も省エネルギータイプで実施できる。
請求項2の溶剤2の蒸散防止装置に於いてはワークを洗
浄する為の溶剤2の飽和蒸気層A自体を必要以上に直接
冷却することなく、この飽和蒸気層Aの上層に位置する
空気層を冷却する冷却手段を配設することにより能力の
小さい冷却手段にも係わらず溶剤2の大気への蒸散を防
止し且つ溶剤2の回収率を格段に向上させることができ
る。
請求項3の溶剤の蒸散防止方法に於いては、溶剤2の飽
和蒸気層Aの上方に位置する空気層を空気冷却管9によ
って溶剤の凝固点前後に冷却せしめると共に低温空気層
Bを形成することによって上記空気冷却管9に配管され
ている冷凍機の能力を必要以上にアップする必要がなく
、且つ設備コストを安価にし而も設備スペースを小とす
ることができる。
更にワークの洗浄効率を低下させることなく溶剤2の蒸
散及び回収を空気冷却管9と主冷却管6が協働して格段
に向上させるものである。
請求項4の溶剤の蒸散防止方法に於いては、洗浄槽lの
洗浄平面積が大きい場合であって洗浄槽1の上部4に配
設されている冷却管6の上方に一側15から他側20に
向かって溶剤の凝固点前後に冷却器16によって冷却さ
れた空気を吐出クロスブロワ−ファン18によって微風
にて送風せしめ、他側20に配設されている吸引ファン
21によって吸引すると共に上記冷却器18に循環せし
め、この溶剤2の凝固点前後に冷却された低温空気流と
溶剤2の飽和蒸気層Aとの界面の接触効率を向上させる
ことができるので洗浄槽1の洗浄平面積が大であっても
溶剤の飽和蒸気層Aを均一に冷却することができる。
従って洗浄槽lの洗浄平面積が大であっても必要以上の
能力を有する冷却器16を設備することなく溶剤の回収
率及び溶剤の大気への蒸散を防止を格段に向上させるこ
とができる。
加えて設備コストを安価にすることができ、且つ設備自
体を複雑にすることなく比較的簡単にすることができる
ので保守点検等を容易にしつつ操作性を向上させること
ができる。
請求項5の洗浄槽、1内に収容する溶剤2をフロン11
3を用いることによって設備自体の操作性、安全性をよ
り向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
添付図面第1図〜第3図は第1実施例を示し、第1図は
洗浄槽を示す構成図、第2図は第1図矢示Xの拡大図、
第3図は第2図矢示Yに示す溶剤の飽和蒸気層と低温空
気層の界面に於ける空気及び蒸気の流れを示す図、第4
図、第5図は第2実施例を示し、第4図は洗浄槽を示す
構成図、第5図は洗浄槽を多段に配設した全体図であっ
て而も洗浄槽の回収された溶剤を前段の回収槽等に循環
させた他の例を示す図をそれぞれ示している。 尚図中1・・・・洗浄槽、  2・・・・溶剤。 4・・・・上部、   6・・・・主冷却管。 9・・・・空気冷却管、15・・・・−側、16・・・
・冷却器、 18・・・・吐出クロスブロワ−ファン、20・・・・
他側、    21・・・・吸引ファン、A・・・・飽
和蒸気層、B・・・・低温空気層、C・・・・低温空気
流。 をそれぞれ示している。 図百57゛7−−゛ 丁粘′Jネ山11三1町I(方式) 1 °1を件の表示 昭和63年 特許願 第014208号2 発明の名称 溶剤の蒸散防止方法及びその装置 3  hli it二をする者 =li件との関係  特許出願人 住 所  神奈川県愛甲郡愛用町中沖4087−1名 
称  ニス アンド シー株式会社代表取締役  柴野
  (1英 4 代理人    〒220 住 所  描浜市西区高島2 rT−1+ r番2号5
  a1i+J:、命令の日付   昭和6:3年4J
]26EI6 補IFの対家 添付図面の第1図、第2図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)洗浄流体が収容されている洗浄槽内に被洗浄物(
    ワーク)を収容し洗浄する装置の溶剤の蒸散を防止する
    方法に於いて; 上記被洗浄物(ワーク)の洗浄に際し、洗浄槽1の上方
    に溶剤2の飽和蒸気層Aが形成され、この溶剤2の飽和
    蒸気層Aの上層に溶剤2の凝固点前後の低温層である低
    温空気層Bを形成することによって溶剤2の上部への蒸
    散を防止する溶剤の蒸散防止方法。
  2. (2)上記溶剤2の飽和蒸気層Aの上方に上記溶剤2の
    凝固点前後の低温層である低温空気層Bを形成する為の
    冷却手段を有する溶剤の蒸散防止装置。
  3. (3)被洗浄物(ワーク)の洗浄に伴なって生ずる洗浄
    槽上方の溶剤2の飽和蒸気の回収は上記洗浄槽1の上部
    4に配設せしめられている主冷却管6によって行ない、
    更に上記主冷却管6の上部に空気を冷却する為の空気冷
    却管9を設けることによって上記溶剤2の飽和蒸気層A
    の上層に溶剤の凝固点前後の低温層である低温空気層B
    を形成する請求項1項記載の溶剤の蒸散防止方法。
  4. (4)洗浄槽1の上部4に配設せしめられている主冷却
    管6の上方の一側15に冷却器16、吐出クロスブロワ
    ーファン18を配設せしめ、他側20に吸引ファン21
    を配設せしめ、且つ上記冷却器16によって溶剤2の凝
    固点前後の低温の空気を微風にて一側15から他側20
    に送風することによって比較的大きな洗浄面積を有する
    洗浄槽1であっても上記主冷却管6により溶剤2の飽和
    蒸気の回収を可能とし、且つ上記溶剤2の飽和蒸気層A
    の界面付近を一側15から他側20に向かって微風の低
    温空気流Cを形成することによって溶剤の上部への蒸散
    を防止する請求項1項記載の溶剤の蒸散防止方法。
  5. (5)洗浄槽1内に収容されている溶剤2はフロン11
    3である請求項1項記載の溶剤の蒸散防止方法。
JP63014208A 1988-01-25 1988-01-25 洗浄装置 Expired - Lifetime JPH0667506B2 (ja)

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5729843U (ja) * 1980-07-25 1982-02-17
JPS5953891U (ja) * 1982-10-04 1984-04-09 三喜工業株式会社 低沸点溶剤を用いた洗浄装置
JPS6191386U (ja) * 1984-11-20 1986-06-13
JPS62132793U (ja) * 1986-02-17 1987-08-21

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5729843U (ja) * 1980-07-25 1982-02-17
JPS5953891U (ja) * 1982-10-04 1984-04-09 三喜工業株式会社 低沸点溶剤を用いた洗浄装置
JPS6191386U (ja) * 1984-11-20 1986-06-13
JPS62132793U (ja) * 1986-02-17 1987-08-21

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JPH0667506B2 (ja) 1994-08-31

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