KR20150122937A - 세정제 회수 장치 - Google Patents

Abstract

세정제 회수 장치가 개시된다. 본 발명은, 세정 작업 챔버로부터 수집된 기체 상태의 플루오르화 수소 에테르를 냉각시키는 냉각 장치, 및 응축 장치로부터 배출되는 액체 상태의 HFE가 회수되는 저장조를 구비한다. 본 발명에 따르면, 세정 작업에서의 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)의 기화를 억제함과 동시에, 세정 작업에서 기화되는 HFE를 회수할 수 있게 됨으로써, 세정 장비의 작업 효율성을 개선시킬 수 있게 된다.

Description

세정제 회수 장치{Apparatus for Recovering Cleaning Agent}

본 발명은 세정제 회수 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 세정 작업에서의 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)의 기화를 억제함과 동시에, 세정 작업에서 기화되는 HFE를 회수할 수 있게 됨으로써, 세정 장비의 작업 효율성이 개선되도록 하는 세정제 회수 장치에 관한 것이다.

플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)를 세정제로 사용하는 세정 장비에서는 세정 작업에서 필연적으로 HFE가 부분적으로 기화되기 마련이며, 이와 같은 기체 상태의 HFE는 세정 장비의 외부로 소실됨으로써, 세정 장비의 작업 효율이 저하되는 문제가 있었다.

뿐만 아니라, 세정제로 사용되는 액체 HFE는 세정 작업 챔버 내에서 공기와 접촉함으로써 수분을 발생시키게 되며, 이와 같이 챔버 내에서 발생되는 수분으로 인해 세정 장비의 작업 효율이 떨어지는 문제가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은, 세정 작업에서의 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)의 기화를 억제함과 동시에, 세정 작업에서 기화되는 HFE를 회수할 수 있게 됨으로써, 세정 장비의 작업 효율성이 개선되도록 하는 세정제 회수 장치를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 세정제 회수 장치는, 세정 작업 챔버(100)로부터 수집된 기체 상태의 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)를 냉각시키는 냉각 장치(200); 및 상기 응축 장치로부터 배출되는 액체 상태의 HFE가 회수되는 저장조(400)를 포함한다.

바람직하게는, 상기 냉각 장치(200)로부터 배출되는 기체가 공급되는 액화 장치(300)를 더 포함하며, 상기 액화 장치(300)로부터 배출되는 액체 상태의 HFE는 상기 저장조(400)로 회수되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 액화 장치(300)는, 상기 냉각 장치(200)로부터 배출되는 기체를, 상기 액화 장치(300)에 담겨진 소정의 액체 내부로 공급하는 공급관(350)을 포함한다.

또한, 상기 소정의 액체는 액체 상태의 HFE 보다 비중이 작은 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 세정 작업 챔버(100)에는 질소 가스가 공급되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 냉각 장치(200)로부터 배출되는 기체에는 기체 상태의 HFE와 질소 가스가 포함되어 있으며, 상기 질소 가스를 회수하여 상기 저장조(400)로 공급하는 질소 이송관을 더 포함한다.

본 발명에 따르면, 세정 작업에서의 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)의 기화를 억제함과 동시에, 세정 작업에서 기화되는 HFE를 회수할 수 있게 됨으로써, 세정 장비의 작업 효율성을 개선시킬 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정제 회수 시스템의 구조를 나타내는 도면, 및
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정제 회수 시스템의 구조를 나타내는 도면이다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정제 회수 시스템의 구조를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정제 회수 시스템은 작업 챔버(100), 냉각 장치(200), 및 저장조(400)를 포함한다.

작업 챔버(100)에서는 저장조(400)로부터 공급되는 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)를 세정제로 이용하는 세정 작업이 실행되며, 작업 챔버(100)에서의 세정 작업 과정에서 발생되는 기체 상태의 HFE는 블로워에 의해 수집관(150)으로 흡입되며, 수집관(150)을 통해 냉각 장치(200)로 공급된다.

냉각 장치(200)에는 냉각기(230), 냉매관(240), 및 응축기(250)가 구비되어 있으며, 냉각기(230)는 응축기(250) 내부에 설치되어 있는 냉매관(240)을 통해 냉매를 순환공급함으로써, 응축기(250)로 공급된 기체 상태의 HFE를 냉각시킨다.

응축기(250)에서의 냉각 처리에 따라 기체 상태의 HFE는 액화되며, 액화된 HFE는 응축기(250)와 저장조(400)를 연결하는 회수관(270)을 따라, 저장조(400)로 회수된다.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정제 회수 시스템의 구조를 나타내는 도면이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정제 회수 시스템은 도 1에서의 작업 챔버(100), 냉각 장치(200), 저장조(400) 이외에 액화 장치(300)를 추가로 구비한다.

도 2에서의 작업 챔버(100)에서 또한 저장조(400)로부터 공급되는 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)를 세정제로 이용하는 세정 작업이 실행되며, 작업 챔버(100)에서의 세정 작업 과정에서 발생되는 기체 상태의 HFE는 수집관(150)을 통해 냉각 장치(200)로 공급된다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정제 회수 시스템에 구비된 작업 챔버(100)에는 질소 투입관(50)을 통해 질소가 공급되게 되며, 작업 챔버(100)에 공급되는 질소는 HFE가 산소와 반응하여 수분이 생성되는 것을 억제하는 기능을 수행함과 동시에 액체 HFE가 기화되는 것을 억제하는 기능을 수행한다.

아울러, 도 2에서의 냉각 장치(200)에도 냉각기(230), 냉매관(240), 및 응축기(250)가 구비되어 있으며, 냉각기(230)는 응축기(250) 내부에 설치되어 있는 냉매관(240)을 통해 냉매를 순환공급함으로써, 응축기(250)로 공급된 기체 상태의 HFE를 냉각시킨다.

응축기(250)에서의 냉각 처리에 따라 기체 상태의 HFE는 액화되며, 액화된 HFE는 응축기(250)와 저장조(400)를 연결하는 회수관(270)을 따라, 저장조(400)로 회수된다.

한편, 냉각 장치(200)에서 냉각되지 않은 잔여 HFE 기체와 질소의 혼합 가스는 수집관(150)을 통해 액화 장치(300)로 공급된다. 액화 장치(300)의 내부에는 물이 담겨져 있으며, 수집관(150)을 통해 액화 장치(300)로 공급된 혼합 가스(HFE+N₂)는 물 속에 잠겨져 있는 다공 세관인 공급관(350)을 통해 물 내부로 공급된다.

물 내부로 공급된 혼합 가스의 성분 중 HFE 기체는 물속에서 액화되며, 액화된 HFE는 물보다 비중이 크므로, 물층의 하부에서 액화 HFE 층을 형성하게 된다.

액화 장치(300)의 하부에는 액화 장치(300)와 저장조(400)를 연결하는 회수관(270)이 설치되어 있으며, 액화 장치(300)의 내부에서 물층의 하부에 형성된 액화 HFE는 회수관(270)을 통해 저장조(400)로 공급된다.

한편, 공급관(350)을 통해 물 내부로 공급된 혼합 가스의 성분 중 질소는 물에 용해되지 않고, 액화 장치(300) 내에서 물의 상부에 기체 상태로 존재하며, 이와 같이 액화 장치(300) 내에 존재하는 질소 기체는 액화 장치(300)의 상부에 구비된 질소 이송관(370)으로 블로워를 통해 흡입되며, 질소 이송관(370)을 통해 저장조(400)로 공급된다.

이처럼 질소 이송관을 통해 저장조(400)로 공급된 질소는 저장조(400) 내의 액체 HFE가 산소와 반응하여 수분이 생성되는 것을 억제하는 기능을 수행한다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 응용예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 응용예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.

또한, 본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

50: 질소 투입관, 100: 작업 챔버,
150: 수집관, 200: 냉각 장치,
230: 냉각기, 240: 냉매관,
250: 응축기, 270: 회수관,
300: 액화 장치, 350: 공급관,
370: 질소 이송관, 400: 저장조.

Claims (6)

1. 세정 작업 챔버(100)로부터 수집된 기체 상태의 플루오르화 수소 에테르(HydroFluoroEther, HFE)를 냉각시키는 냉각 장치(200); 및
   상기 응축 장치로부터 배출되는 액체 상태의 HFE가 회수되는 저장조(400);
   를 포함하는 세정제 회수 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 냉각 장치(200)로부터 배출되는 기체가 공급되는 액화 장치(300)를 더 포함하며,
   상기 액화 장치(300)로부터 배출되는 액체 상태의 HFE는 상기 저장조(400)로 회수되는 것인 세정제 회수 장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 액화 장치(300)는,
   상기 냉각 장치(200)로부터 배출되는 기체를, 상기 액화 장치(300)에 담겨진 소정의 액체 내부로 공급하는 공급관(350)을 포함하는 것인 세정제 회수 장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 소정의 액체는 액체 상태의 HFE 보다 비중이 작은 것인 세정제 회수 장치.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 세정 작업 챔버(100)에는 질소 가스가 공급되는 것인 세정제 회수 장치.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 냉각 장치(200)로부터 배출되는 기체에는 기체 상태의 HFE와 질소 가스가 포함되어 있으며, 상기 질소 가스를 회수하여 상기 저장조(400)로 공급하는 질소 이송관을 더 포함하는 세정제 회수 장치.

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