JPH01186178A

JPH01186178A - 静電アクチュエータ

Info

Publication number: JPH01186178A
Application number: JP63009354A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Nagatake; 和夫長竹; Nobuyuki Kabei; 信之壁井; Kiichi Tsuchiya; 土屋　喜一
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-01-19
Filing date: 1988-01-19
Publication date: 1989-07-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、静電力を利用して物体を移動させるようにし
た静電アクチュエータ、特には産業用ロボット、精密機
械、自動車用機器部品、家庭電化製品、オフィスオート
メーション機器、医療機器等の機構部分の駆動に利用さ
れる静電アクチュエータに関するものである。

（従来の技術）従来より、産業用ロボット、精密機械、自動車用機器部
品、家庭電化製品、オフィスオートメーション機器、医
療機器等の機構部分の駆動には、サーボモータ、リニア
モータ、ステッピングモータ等の磁気式のアクチュエー
タが使用されており、上記機構部分の駆動を静電アクチ
ュエータにより行なうものは、まだ実用化の端緒につい
たばかりである。

（発明が解決しようとする課題）近年においては、上述のような機構部分を駆動するため
のアクチュエータの高出力密度化、駆動パターンの複雑
化及び微少変位の制御を必要とする技術需要、が増えつ
つある。しかしながら、従来の磁気アクチュエータでは
、上記技術的要望を満たすのに必要な条件である低速度
で高トルクまたは高推力を発生するように構成すること
が、その製作−ヒ困難であるという問題点があった。ま
た、磁気アクチュエータと減速機構を組合わせることに
よって低速度で高トルクまたは高推力を得ることも考え
られているが、これでは減速機構を余分に必要とする分
だけ装置全体の小形化が困難になるという新たな問題点
が惹起される。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目
的は、出力制御の分解能低下を来たすことなく高出力密
度化を実現し得ると共に、小変位から大変位に渡っての
微少変位の制御を行なうことも可能となり、しかも複雑
な駆動パターンにも十分対処可能となる等の効果を奏す
る静電アクチュエータを提供するにある。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明による静電アクチュエータは、互に対向され且つ
少なくとも一方が弾性支持された対をなす電極を有し上
記電極間の距離がこれらに電圧が印加されるのに応じて
変化する単位静電アクチュエータを複数個列設した上で
、前記各単位静電アクチュエータに対しその電極間距離
が各電極対毎に変化するように電圧を印加することによ
って列設状態にある複数の電極の変位が全体として周期
的な波動となるように制御するスイッチング回路を設け
る構成とし、上記波動によって物体を移動させるように
したものである。

（作用）スイッチング回路によって、列設状態にある複数の電極
の変位が全体として周期的な波動となるように制御され
ると共に、斯様な波動によって物体が移動される結果、
その物体の変位量（移動量）−を大きくできる。この場
合、上記のように物体が移動されるときの最少変位量は
、各単位静電アクチュエータが有する電極間の距離変化
に応じたものとなるから、小変位から大変位に渡っての
微少変位の制御を精度良く行なうことが可能となる。ま
た、各単位静電アクチュエータを複数列設けた場合、こ
れら単位静電アクチュエータを同時に駆動することによ
って大きな推力を得ることができ、以て高出力密度化を
達成できる。さらに、複数の単位静電アクチュエータの
列設状態を選択することによって、前記物体９を所望の
パターンで移動させることができ、以て複雑な駆動パタ
ーンを得ることができる。

（実施例）以下、本発明の第１の実施例について第１図乃至第３図
を参照しながら説明するに、まず、この実施例で使用す
る単位静電アクチュエータの基本的な構造例を、第２図
及び第３図に基づいて述べる。

即ち、第２図及び第３図に示された第１の単位静電アク
チュエータ１において、２は長尺な電極支持体で、これ
は矩形棒状に形成されて高い剛性を有する。また、３は
弾性変形可能な材料により長尺な矩形板状に形成された
電極支持体で、この電極支持体３は、前記電極支持体２
上にスペーサ４を介して片持ち状に支持され、以て画電
極支持体２及び３が互に所定間隔を存して平行するよう
に配置されている。そして、上記電極支持体２及び３に
は、対をなす電極５及び６が互に対面する状態で夫々固
着されている。

上記のように構成された第１の単位静電アクチュエータ
１において、電極５及び６間に、直流電源７の電圧をス
イッチ８を通じて印加し、以てこれら電極５及び６で構
成されるコンデンサを充電すると、電極５及び６間に吸
引力が発生して、電極支持体２及び３を互に近付けよう
とする力が作用する。このとき、電極５が設けられた電
極支持体２は剛性が高いから変形しないが、電極６が設
けられた電極支持体３は、弾性変形可能であると共に片
持ち状に支持されているから、第２図（ｂ）及び第３図
（ｂ）のように、電極６と共に屈曲変形する。そして、
斯様に電極支持体３及び電極６を変形させる力は、電極
５及び６間の吸引力（静電力）と電極支持体３及び電極
６の屈曲に伴う弾性反発力が均衡するまで作用するもの
であり、結果的に電極支持体３及び電極６は、上記吸引
力及び弾性反発力（これらは電極５及び６間の距離に応
じて変化する）が均衡した位置に保持されるようになる
。この場合、画電極５及び６間の距離は、前記コンデン
サに蓄えられる静電エネルギの大きさ、ひいては電極５
及び６間に対する電圧印加時間に応じた量だけ変化する
ものであり、従って電極支持体３及び電極６が保持され
る位置を、電極５及び６間に対する電圧印加時間によっ
て制御することができる。また、スイッチ８によって電
極５及び６間を短絡したときには、電極５及び６で構成
されるコンデンサに蓄えられた静電エネルギが放出され
て電極５及び６間の吸引力が消失するため、電極支持体
３及び電極６は、電極支持体３の弾性反発力によって第
２図（ａ）及び第３図（ａ）に示す原位置に戻るように
なる。

さて、第１図に示すように、複数個（この実施例では１
７個）の第１の単位静電アクチュエータ１が、各電極支
持体３を平行させた状態で一列状に結合されるものであ
り、これら単位静電アクチュエータ１が夫々有する電極
５はグランド端子に接続されている。９はスイッチング
回路で、これは前記第１の単位静電アクチュエータ１に
各々対応した合計１７個の切換スイッチ１０を含んで構
成されている。このとき、各切換スイッチ１０は、対応
する単位静電アクチュエータ１の電極６を夫々抵抗１０
ａを介して直流電源１１の正極側（この直流電源１１の
負極はグランド端子に接続されている）に接続した状態
と、上記電極６を同じく抵抗１０．ａを介してグランド
端子に接続した状態とに切換可能となっており、さらに
、必要に応じて上記各状態の中間状態（つまり電極６を
直流電源１１及びグランド端子から切離した状態）にも
切換可能となっている。従って、上記スイッチング回路
９内の各切換スイッチ１０の切換タイミングを個々に制
御することによって、各単位静電アクチュエータ１に蓄
えられる静電エネルギの量、ひいては電極支持体３及び
電極６の変位量を個別に制御できるものである。即ち、
この実施例では、列設状態にある電極支持体３及び電極
６の変位が全体として正弦波状となるように制御するよ
うにしており、この場合、上記正弦波状の変位が単位静
電アクチュエータ１の列設方向へ移動するように制御す
れば、上記複数の電極支持体３及び電極トの変位が全体
として周期的な波動となり、以て正弦波状の進行波が得
られる。従って、斯かる進行波と接触するように物体（
図示せず）を置けば、その物体は進行波の進行方向へ移
動されるようになる。また、切換スイッチ１０によって
電極６を直流電源１１及びグランド端子から切離した状
態、つまり各単位静電アクチュエータ１に蓄えられた静
電エネルギをそのまま保持するようにすれば、上記物体
を静止させることもできる。尚、第１図（ａ）及び（ｂ
）は、互に異なる状態を示すものであり、（ｂ）の状態
は、前記正弦波状の進行波の位相が（ａ）の状態より１
／２周期分進んだ状態を示す。

上記した本実施例によれば、列設状態にある電極支持体
３及び電極６全体で生成される正弦波状の進行波により
物体を移動させることができるから、その物体の変位量
（移動量）を大きくできる。

この場合、物体の最少変位量は、各単位静電アクチュエ
ータ１が有する電極５及び６間の距離変化に応じたもの
となるから、物体の変位量制御の分解能が高くなると共
に、小変位から大変位に渡って、の微少変位の制御を精
度良く行ない得る。また、上記実施例では第１の単位静
電アクチュエータ、１を一列だけ設けたが、各単位静電
アクチュエータ１を複数列設けた場合、これら単位静電
アクチュエータ１を同時に駆動することによって大きな
推力を得ることができ、以て出力制御の分解能の低下を
招くことなく高出力密度化を達成できる。しかも、第１
の単位静電アクチュエータ１は、電極支持体２，３及び
電極５，６を主要部としたきわめて簡単な構造のもので
あるから、これを半導体製造技術（リソグラフィ、薄膜
堆積法等）の応用により製造することが可能となる。こ
の結果、全体の集積度を容易に高めることができて、精
密化を促進し得るものであり、これにて従来の磁気アク
チュエータでは全く不可能であった微少化を実現できる
ようになる。従って、例えば上記のように微少化された
静電アクチュエータを複数個並列或は直列に組合わせて
集積することによって、きわめて多様な駆動パターンを
作り出すことができる。さらに、電極５．６で構成され
るコンデンサのリークがない限り静電エネルギを全く消
費しないから、前述したような移動物体の停止状態を長
期に渡って保持できるようになり、結果的に物体を間欠
移動させる場合のエネルギ変換効率を飛躍的に向上させ
得る。

尚、上記第１の実施例では、第２図及び第３図に示した
第１の単位静電アクチュエータ１を利用するようにした
が、次に述べる構成の第２乃至第７の単位静電アクチュ
エータ１２〜１７を利用することもできるものであり、
以下これらについて説明する。

第２の単位静電アクチュエータ１２を示す第４図におい
て、１８は長尺な電極支持体で、これは矩形棒状に形成
されて高い剛性を有する。また、１９は弾性変形可能な
材料により長尺な矩形板状に形成された電極支持体で、
この電極支持体１９は、その中央部が前記電極支持体１
８の中央部にスペーサ２０を介して支持され、以て画電
極支持体１８及び１９が互に所定間隔を存して平行する
ように配置されている。そして、上記電極支持体１８及
び１９には、２対の電極２１ａ、２１ｂ及び２２ａ、２
２ｂが互に対面する状態で夫々固着されている。従って
、上記のように構成された第２の単位静電アクチュエー
タ１２においても、電極２１ａ、、２１ｂ及び２２ａ、
２２ｂ間に直流電源７の電圧をスイッチ８を通じて印加
することによって、電極支持体１９を第４図（ａ）の状
態から同図（ｂ）のように屈曲変形させることができる
。

第３の単位静電アクチュエータ１３を示す第５図におい
て、２３は長尺な電極支持体で、これは矩形棒状に形成
されて高い剛性を有する。また、２４及び２５は弾性変
形可能な材料により長尺な矩形板状に形成された電極支
持体で、これら電極支持体２４及び２５は、前記電極支
持体２３の両端に夫々スペーサ２６及び２７を介して片
持ち状に支持され、以て電極支持体２３と所定間隔を存
して平行するように配置されている。そして、上記電極
支持体２３上には電極２８が固着されていると共に、電
極支持体２４及び２５には、電極２９ａ、２９ｂが上記
電極２８と対面する状態で夫々固着されている。従って
、上記のように構成された第３の単位静電アクチュエー
タ１３においても、電極２８及び２９ａ、２９ｂ間に直
流電源７の電圧をスイッチ８を通じて印加することによ
って、電極支持体２４．２５及び電極２９ａ、２９ｂを
第５図（ａ）の状態から同図（ｂ）のように屈曲変形さ
せることができる。

第４の単位静電アクチュエータ１４を示す第６図におい
て、３０は長尺な電極支持体で、これは矩形棒状に形成
されて高い剛性を有する。また、３１は弾性変形可能な
材料により長尺な矩形板状に形成された電極支持体で、
この電極支持体３１は、その両端部が前記電極支持体３
０の両端部にスペーサ３２及び３３を介して支持され、
以て電極支持体３０と所定間隔を存して平行するように
配置されている。そして、上記電極支持体３０及び３１
には、対をなす電極３４及び３５が互に対面する状態で
夫々固着されている。従って、上記のように構成された
第４の単位静電アクチュエータ１４においても、電極３
４及び３５間に直流電源７の電圧をスイッチ８を通じて
印加することによって、電極支持体３１及び電極３５を
第６図（ａ）の状態から同図（ｂ）のように屈曲変形さ
せることができる。

第５の単位静電アクチュエータ１５を示す第７図におい
て、３６は長尺な電極支持体で、これは矩形棒状に形成
されて高い剛性を有する。また、３７は弾性変形可能な
材料により長尺な矩形板状に形成された電極支持体で、
この電極支持体３７は、その両端部が前記電極支持体３
６の両端部にスペーサ３８及び３９を介して支持され、
以て電極支持体３６と所定間隔を存して平行するように
配置されている。そして、上記電極支持体３６及び３７
には、例えば３対の電極４０ａ、４０ｂ。

４０ｃ及び４１ａ、４１ｂ、４１ｃが互に対面する状態
で夫々固着されている。従って、上記のように構成され
た第５の単位静電アクチュエータ１５においては、電極
４０ａ及び４１ａ間に直流電源７の電圧をスイッチ８ａ
を通じて印加することによって、電極支持体３７及び電
極４１ａを第７図（ａ）の状態から同図（ｂ）のように
屈曲変形させることができる。また、この状態から、電
極４０ａ及び４１ａ間を短絡すると共に、電極４０ｂ及
び４１ｂ間に直流電源７の電圧をスイッチ８ｂを通じて
印加することによって、電極支持体３７及び電極４１ｂ
をｆｆ１７図（Ｃ）のように屈曲変形させることができ
、さらに、この後に電極４０ｂ及び４１ｂ間を短絡する
と共に、電極４０ｃ及び４１ｃ間に直流電源７の電圧を
スイッチ８Ｃを通じて印加することによって、電極支持
体３７及び電極４１ｃを第７図（ｄ）のように屈曲変形
させることができる。つまり、第５の単位静電アクチュ
エータ１５単体で電極支持体３７上に進行波を得ること
ができるものであり、斯様な単位静電アクチュエータ１
５を前記第１の実施例のように列設した場合には、物体
の二次元方向への移動を制御することができる。

第６の単位静電アクチュエータ１６を示す第８図におい
て、４２及び４３は長尺な電極支持体で、これらは比較
的高い剛性を有する。上記電極支持体４２及び４３は、
各両端部が弾性部材としての例えば板ばね製のスペーサ
４４及び４５を介して連結され、以て互に所定間隔を存
して平行するように配置されている。そして、上記電極
支持体４２及び４３には、対をなす電極４６及び４７が
互に対面する状態で夫々固着されている。従って、上記
のように構成された第６の単位静電アクチュエータ１６
においては、電極４６及び４７間に直流電源７の電圧が
スイッチ８を通じて印加されると、スペーサ４４及び４
５が屈曲されるのに伴い電極支持体４３が第８図（ａ）
の状態から同図（ｂ）のように平行移動されるようにな
る。

第７の単位静電アクチュエータ１７を示す第９図におい
て、４８及び４９は長尺な電極支持体で、これらは比較
的高い剛性を有する。上記電極支持体４８及び４９は、
互の間に介在された弾性部材より成るスペーサ５０を介
して連結され、以て互に所定間隔を存して平行するよう
に配置されている。そして、上記電極支持体４８及び４
９には、対をなす電極５１及び５２が互に対面する状態
で夫々固着されている。従って、上記のように構成され
た第７の単位静電アクチュエータ１７においては、電極
５１及び５２間に直流電源７の電圧がスイッチ８を通じ
て印加されると、スペーサ５０が圧縮変形されるのに伴
い電極支持体４９が第９図（ａ）の状態から同図（ｂ）
のように平行移動されるようになる。尚、スペーサ５０
としては、圧縮流体、ゴム弾性を有する高分子物質等が
利用される。

さて、第１０図には本発明の第２の実施例が示されてお
り、以下これについて前記第１の実施例と異なる部分の
み説明する。

即ち、この実施例では、前記第８図に示した第６の単位
静電アクチュエータ１６を例えば２１個設けて、これら
を−列状（電極支持体４３を互に平行させた状態）に結
合している。上記各単位静電アクチュエータ１６は、図
示しないスイッチング回路（前記スイッチング回路９と
同様構成のもの）によって、夫々に蓄えられる静電エネ
ルギの量、ひいては電極支持体４３及び電極４７の変位
量が個別に制御されることによって、列設状態にある電
極支持体４３及び電極４７の変位が全体として正弦波状
の振動となるような進行波を生起するようになっている
。一方、５３は下面が上記進行波と同様形状に形成され
た物体であり、これは各電極支持体４２上に載置状に設
けられる。この結果、上記物体５３は、進行波の進行方
向へ忠実に移動されるようになる。

続いて、本発明の第３の実施例について第１１図及び第
１２図を参照しながら説明するに、まず、この実施例で
使用する単位静電アクチュエータの基本的な構造例を、
第１２図に基づいて述べる。

即ち、第１２図に示された第８の単位静電アクキュエー
タ５４において、５５及び５６は弾性変形可能な材料に
より長尺な矩形板状に形成された電極支持体で、これら
電極支持体５５及び５６は、各一端部がスペーサ５７を
介して互に連結され、以て画電極支持体５５及び５６が
互に所定間隔を存して平行するように配置されている。

そして、上記電極支持体５５及び５６には、対をなす電
極５８及び５９が互に対面する状態で夫々固着されてい
る。

上記のように構成された第８の単位静電アクチュエータ
５４において、電極５８及び５９間に、直流電源７の電
圧をスイッチ８を通じて印加し、以てこれら電極５８及
び５９で構成されるコンデンサを充電すると、電極５８
及び５９間に吸引力が発生して、電極支持体５５及び５
６を互に近付けようとする力が作用する。この結果、電
極支持体５５及び５６は、電極５８及び５９と共に第１
２図（ｂ）のように屈曲変形する。

さて、第１１図に示すように、複数個（この実施例では
１８個）の第８の単位静電アクチュエータ５４が、各電
極支持体５６を平行させた状態で一列状に結合されるも
のであり、これら単位静電アクチュエータ５４が夫々有
する電極５８はグランド端子に接続されている。６０は
スイッチング回路で、これは前記第８の単位静電アクチ
ュエータ５４に各々対応した合計１８個の切換スイッチ
６１を含んで構成されている。このとき、各切換スイッ
チ６１は、対応する単位静電アクチュエータ５４の電極
５９を夫々抵抗６２を介して直流電源１１の正極側に接
続した状態と、上記電極５９を同じく抵抗６２を介して
グランド端子に接続した状態とに切換可能となっており
、さらに、必要に応じて上記各状態の中間状態（つまり
電極５９を直流電源１１及びグランド端子から切離した
状態）にも切換可能となっている。従って、上記スイッ
チング回路６０内の各切換スイッチ６１の切換タイミン
グを個々に制御することによって、各単位静電アクチュ
エータ５４に蓄えられる静電エネルギの量、ひいては電
極支持体５５及び５６間の距離を個別に制御できるもの
である。即ち、この実施例では、列設状態にある電極支
持体５５及び電極５８の変位が全体として正弦波状とな
り、且つ同じく列設状態にある電極支持体５６及び電極
５９の変位が全体として余弦波状となるように制御する
ようにしており、この場合、上記正弦波及び余弦波状の
変位が単位静電アクチュエータ５４の列設方向へ移動す
るように制御すれば、上記複数の電極支持体５５及び５
６の変位が全体として周期的な波動となり、以て正弦波
及び余弦波状の進行波が得られる。このとき、電極５８
及び５９間には、弾性変形可能なチューブ６３が介在さ
れており、従って、このチューブ６３内の流体（物体）
は上記進行波の進行方向へ移送（移動）されるようにな
る。

第１３図及び第１４図には本発明の第４の実施例が示さ
れており、以下これについて説明する。

即ち、この実施例では、前記第１の単位静電アクチュエ
ータ１と同一の基本構造を有した第９の単位静電アクチ
ュエータ６４を複数個設け、これらを同一平面上に円環
状に列設した点に特徴を有する。但し、各単位静電アク
チュエータ６４は、１個の円盤状電極支持体６５上に環
状のスペーサ６６を介して複数個の電極支持体６７を片
持ち状に支持した構造となっている（電極は図示せず）
。

従って、このような構成によれば、図示しないスイッチ
ング回路によって、列設状態にある電極支持体６７の変
位が全体として正弦波状の振動となるような進行波を生
起したときに、その電極支持体６７群上に置かれた物体
６８（第１４図参照）が回転されるようになる。

第１５図には本発明の第５の実施例が示されており、以
下これについて説明する。即ち、この実施例では、例え
ば前記第６の単位静電アクチュエータ１６と同一の基本
構造を有した第１０の単位静電アクチュエータ６９を複
数個設け、これらを円筒状に列設した点に特徴を有する
。但し、各単位静電アクチュエータ６９は、１個の円筒
状電極支持体７０の内周面に対をなすスペーサ（一方の
み符号７１を付して示す）を介して複数個の平板状電極
支持体７２を支持した構造となっている（電極は図示せ
ず）。従って、このような構成によれば、図示しないス
イッチング回路によって、列設状態にある電極支持体７
２を所定に変位させて、これらにより囲まれた空間部が
一定形状のまま回転する振動を生起したときに、その空
間部内に位置された物体７３が回転されるようになる。

尚、この物体７３の形状は、前記空間部の形状に予め一
致されるものである。

尚、上述した第２乃至第５の各実施例においても、前記
第１の実施例と同様に、第２乃至第７の単位静電アクチ
ュエータ１２〜１７を適宜に採用できるものである。ま
た、上記各実施例において、コンデンサを構成する電極
間への電圧印加は、アナログ的手段、デジタル的手段の
何れにおいても可能である。

その他、本発明は上記し且つ図面に示した各実施例に限
定されるものではなく、例えばスイッチング回路を半導
体スイッチング素子により構成しても良い等、その要旨
を逸脱しない範囲で種々変形して実施できるものである
。

［発明の効果］本発明によれば以上の説明によって明らかなように、互
に対向され且つ少なくとも一方が弾性支持された対をな
す電極を有し上記電極間の距離がこれらに電圧が印加さ
れるのに応じて変化する単位静電アクチュエータを複数
個列設すると共に、前記各単位静電アクチュエータに対
しその電極間距離が各電極対毎に変化するように電圧を
印加することによって列設状態にある複数の電極の変位
が全体として周期的な波動となるように制御するスイッ
チング回路を設ける構成としたので、出力制御の分解能
低下を来たすことなく高出力密度化を実現し得ると共に
、小変位から大変位までの微少変位の制御を行なうこと
も可能となり、しかもｍｍな駆動パターンにも十分対処
可能になると共に、物体の間欠移動時におけるエネルギ
変換効率を高め得る等の優れた効果を奏するものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の第１の実施例を説明するた
めのもので、第１図は電気回路構成と共に示す全体の概
略的正面図、第２図は単位静電アクチュエータを電気回
路構成と共に示す側面図、第３図は同単位静電アクチ二
エー夕の正面図であり、また、１４図乃至第９図は夫々
単位静電アクチュエータの変形例を示す第２図相当図で
ある。！１１１０図は本発明の第２の実施例を示す概略的縦断
正面図、第１１図ば本発明の第３の実施例を電気回路構
成と共に示す概略的縦断正面図、第１２図は同第３の実
施例で利用した単位静電アクチュエータに関する第２図
相当図である。さらに、第１３図は本発明の第４の実施
例を示す平面図、第１４図は同第４の実施例を示す縦断
面図、第１５図は本発明の第５の実施例を示す平面図で
ある。図中、１は第１の単位静電アクチュエータ、２゜３は電
極支持体、５，６は電極、９はスイッチング回路、１０
は切換スイッチ、１１は直流電源、１２は第２の単位静
電アクチュエータ、１３は第３の単位静電アクチュエー
タ、１４は第４の単位静電アクチュエータ、１５は第５
の単位静電アクチュエータ、１６は第６の単位静電アク
チュエータ、１７は第７の単位静電アクチュエータ、１
８゜１９は電極支持体、２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２
ｂは電極、２３．２４．２５は電極支持体、２０．２９
ａ、２９ｂは電極、３０．３１は電極支持体、３４．３
５は電極、３６．３７は電極支持体、４０ａ　〜４０ｃ
、４１ａ　〜４１ｃは電極、４２．４３は電極支持体、
４６．４７は電極、４８゜４９は電極支持体、５１．５
２は電極、５３は物体、５４は第８の単位静電アクチュ
エータ、５５゜５６は電極支持体、５８．５９は電極、
６０はスイッチング回路、６１は切換スイッチ、６３は
チューブ、６４は第９の単位静電アクチュエータ、６５
．６７は電極支持体、６８は物体、６９は第１０の単位
静電アクチュエータ、７０．７２は電極支持体、７３は
物体を示す。出願人　　株式会社　　東　　芝第２図　　　　　第３図第４　ｒ２第５　図第　６　図第７　図（ａ）　　　　　　　　　　　　（ｂ）（ａ）　　　　
　　　　　　（ｂ）第９図昭引 −国へ味　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　−賊ス

Claims

【特許請求の範囲】

１、互に対向され且つ少なくとも一方が弾性支持された
対をなす電極を有し上記電極間の距離がこれらに電圧が
印加されるのに応じて変化する単位静電アクチュエータ
を複数個列設すると共に、前記各単位静電アクチュエー
タに対しその電極間距離が各電極対毎に変化するように
電圧を印加することによって列設状態にある複数の電極
の変位が全体として周期的な波動となるように制御する
スイッチング回路を設け、上記波動によって物体を移動
させるようにしたことを特徴とする静電アクチュエータ
。