JP3386480B2 - 静電リニアモ−タ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、産業用ロボッ
ト、産業機械、自動車機器部品、家庭電化製品、オフィ
スオ−トメ−ション機器、および、医用福祉機器等の駆
動に利用することが可能な静電リニアモ−タに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、磁気力を利用したモ−タとし
て、回転型モ−タやリニアモ−タ、及び、ステッピング
モ−タ等が知られている。そして、磁気力を利用した各
種のモ−タは、例えば、産業用ロボット、産業機械、自
動車機器部品、家庭電化製品、オフィスオ−トメ−ショ
ン機器、および、医用福祉機器等を駆動するアクチュエ
−タとして利用されている。しかし、静電力を利用した
モ−タとして、実用に供することのできる程度の出力を
持つものは、いまだ製作されていない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、静電力は、
μｍからｎｍ程度の小さなスケ−ルで電磁力よりも有効
になる。このため、静電モ−タの基本単位は小さく設定
され、固定子と可動子との間のギャップも極小さな値に
保たれる。

【０００４】そして、静電モ−タにおいては、磁気モ−
タに比べて出力／重量比は大きくなるが、単体の静電モ
−タの出力は通常の磁気モ−タに比べて絶対値では小さ
くなる。したがって、単位体積当りの集積化率をできる
だけ高くすることが肝要である。

【０００５】また、静電力は表面積に比例するため、出
力を高めるためには表面積を大きく設定する必要があ
る。そして、単位体積当たりの出力を上げるためには固
定子と可動子とをシ−ト状に成形するとよいとされてい
る。しかし、固定子及び可動子を実際にシ−ト状に成形
した場合、固定子及び可動子の撓みを防ぐための支持体
が必要である。さらに、固定子及び可動子を薄くして
も、実効的な表面積はあるところで限界に達して増加し
なくなる。また、静電モ−タにおいては加工や組立の精
度の問題が大きい。このため、固定子や可動子等を精度
を確保しやすい形状に成形することが望まれている。

【０００６】さらに、材料及び機構の面から考えて、電
磁気力により駆動されるモ−タを柔軟構造にすることは
一般に困難であった。しかし、最近では、静電モ−タの
応用が期待されており、柔軟なモ−タへの要求が高まっ
ている。また、可動子と固定子との間の摩擦力が大きい
と両者または一方の摩耗が著しくなり、この摩耗を原因
として静電モ−タ寿命が短くなる。

【０００７】さらに、摩耗を避けるために、ばね等で可
動子を支持し可動子と固定子との間の間隔を一定に保つ
方法があるが、この方法を採用しても大きなストロ−ク
を得ることはできない。したがって、これらの理由か
ら、摩耗を生じにくい駆動原理の開発が望まれている。

【０００８】本発明の目的とするところは、集積化が可
能であるとともに高精度に加工することが容易で、柔軟
性を持たせることもでき、さらに、摩擦力の影響を受け
にくい静電リニアモ−タを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、中空に成形され、軸方向に離間して配設さ
れる複数の固定子電極を備える固定子及びこの固定子に
ギャップを介して挿入され、軸方向に離間して配設され
る通電可能な複数の可動子電極を有する可動子を備える
静電リニアモータにおいて、前記可動子電極の極性は、
常時正極又は負極のいずれか一方に保ち、前記可動子電
極の近傍にある前記固定子電極が前記軸方向に対して一
方の側に位置するときには、前記電極間の極性を異なら
せ、前記可動子電極の近傍にある前記固定子電極が前記
軸方向に対して他方の側に位置するときには、前記電極
間の極性を同じくするように制御可能な構成であるとと
もに、前記各可動子電極は互いに導通され、前記各固定
子電極は、いずれかの極性にスイッチング可能な構成で
あることを特徴とする静電リニアモータである。

【００１０】

【００１１】

【００１２】そして、本発明は、静電モ−タの集積化を
可能にするとともに容易に高精度な加工を行えるように
し、柔軟性も持たせることができ、さらに、摩耗の発生
を防止できるようにした。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の各実施例を図１〜図２９に基
づいて説明する。

【００１４】図１（ａ）、（ｂ）および図２（ｃ）、
（ｄ）は本発明の第１の実施例を示しており、各図中の
図中の符号１は細管型の静電リニアモ−タある。この静
電リニアモ−タ１は、中空糸状の固定子２と、この固定
子２の中に挿入された糸状の可動子３とにより構成され
ている。

【００１５】固定子２は、例えば絶縁性材料からなる支
持細管４と環状の電極５−１〜７とを備えている。そし
て、電極５−１〜７は支持細管４の内側に同心的に配置
されており、支持細管４の軸方向の所定の位置において
支持細管４の内壁側に取り付けられている。

【００１６】また、可動子３は、線状で通電可能な導体
線６の一部に誘電体７−１〜８を被覆してなるものであ
る。可動子３はその外径を支持細管４および電極５−１
〜７の内径よりも小さく設定されており、その外周面と
支持細管４および電極５−１〜７の内周面との間にギャ
ップ８を介在させている。さらに、可動子３は誘電体７
−１〜８で軸方向の所定の位置に被覆されており、誘電
体７−１〜８と電極５−１〜７は互いに異なるピッチで
配置されている。

【００１７】可動子３の導体線６と固定子２の電極５−
１〜７とは電源９−１、９−２に接続されており、導体
線６と電極５−１〜７との間には電源９−１、９−２に
よって電圧が印加される。さらに、電極５−１〜７への
電圧印加は二方向スイッチ（以下、スイッチと称す）１
０−１〜７によってＯＮ−ＯＦＦされる。直列に接続さ
れた両電源９−１、９−２は両者の間の電位が零になる
よう互いの中間部分でア−ス１１に接続されている。

【００１８】ここで、図１（ａ）および図２（ｃ）にお
いては、スイッチ１０−１〜７の右の端子ｅが電源９−
１の正極に、左の端子ｆが電源９−２の負極に接続され
ている。そして、電源９−１および電源９−２の正負の
向きを逆に設定することも可能である。電極５−１〜７
の軸方向の寸法と誘電体７−１〜８の軸方向寸法とは互
いに略等しく設定されている。つぎに、上述の静電リニ
アモ−タ１の作用を説明する。

【００１９】まず、図１（ａ）に示すように誘電体７−
１、７−２、７−３および７−８が、それぞれ電極５−
１、５−２、５−３および５−７のごく近傍または内側
にある時でかつ電極５−１、５−２、５−３および５−
７の軸方向に対し右に位置している時にスイッチ１０−
１、１０−２、１０−３および１０−７を電源９−１の
正極側にＯＮすると、電極５−１と誘電体７−１、電極
５−２と誘電体７−２、電極５−３と誘電体７−３およ
び電極５−７と誘電体７−８の間で静電力による吸引力
が働き、それぞれの電極内に誘電体は吸引される。そし
て、可動子３がそれにつれて左へ移動し機械的仕事を為
す。

【００２０】可動子３を固定子２の中心より偏心させる
方向にも静電力による吸引力は働く。この力を打ち消す
ため、吸引力を発生させない電極５−４、５−５および
５−６をスイッチ１０−４、１０−５および１０−６を
介して電源９−２の負極に接続することにより、電極５
−４、５−５および５−６の近傍または内側にあり、か
つ電極５−４、５−５および５−６の軸方向に対し左ま
たは中心に位置している誘電体７−４、７−５および７
−６に、電極５−４、５−５および５−６との間に半径
方向の反発力を生じさせ、可動子３を固定子２の中心に
保持する。また軸方向にも反発力が働くことにより、誘
電体７−４、７−５および７−６は左方向に押され、可
動子３は吸引力だけの場合より強い力で左方向に移動さ
せられる。可動子３に負荷を取り付けておけば、静電リ
ニアモ−タ１はアクチュエ−タとして動作する。

【００２１】つぎに可動子３が左に移動し図２（ｃ）に
示すような位置に来た場合には、スイッチ１０−４、１
０−５および１０−６を電源９−１の正極側にＯＮする
と、電極５−４と誘電体７−５、電極５−５と誘電体７
−６および電極５−６と誘電体７−７の間で静電力によ
る吸引力が働き、それぞれの電極内に吸引される。そし
て、可動子３がそれにつられてさらに左へ移動し機械的
仕事を為す。

【００２２】電極５−１、５−２、５−３および５−７
をスイッチ１０−１、１０−２、１０−３および１０−
７を介して電源９−２の負極に接続することにより、電
極５−１、５−２、５−３および５−７の近傍または内
側にあり、かつ電極５−１、５−２、５−３および５−
７の軸方向に対し左または中心に位置している誘電体７
−１、７−２、７−３および７−８に、電極５−１、５
−２、５−３および５−７との間に半径方向の反発力を
生じさせ、可動子３を固定子２の中心に保持する。また
軸方向にも反発力が働くことにより、誘電体７−１、７
−２、７−３および７−８は左方向に押され、可動子３
は吸引力だけの場合より強い力で左方向に移動させられ
る。

【００２３】上述の動作において両電源９−１と９−２
に極性を逆にするか、スイッチ１０−１〜７を逆の状態
にすることで、可動子３は右方向に移動させることがで
きる。管の表面積／体積の比は管の断面積を小さくする
ほど大きくなる。すなわち、静電リニアモ−タ１を細く
するほど単位体積当りの出力は大きくなる。また、肉厚
を薄くしても細管をより細くすれば断面形状を正確に保
持しモ−タの機能を維持することができる。したがっ
て、集積化が容易になる。さらに、固定子２が管状であ
るので、精度の高い加工が可能になる。そして、静電リ
ニアモ−タ１を細く加工するほど、静電リニアモ−タ１
の機能を向上させることができる。

【００２４】なお、固定子２を製造するための技術とし
て中空糸の製造技術を利用することが考えられる。ま
た、本実施例に示された細管型の静電リニアモ−タ１に
おいては、例えば極薄い平板の肉厚を高精度に制御する
ことよりも糸径を所望の値に保つことのほうが簡単であ
るため、精度の確保が容易である。さらに、導体線６を
管状に形成してもよい。つぎに、本発明の第２の実施例
を説明する。なお、第１の実施例と同様な部分について
は同一番号を付し、その説明は省略する。

【００２５】図３（ａ）〜（ｄ）は本発明の第２の実施
例を示しており、各図中の符号２１は細管型の静電リニ
アモ−タである。この静電リニアモ−タ２１は、第１の
実施例と同様に中空糸状の固定子２２と、この固定子２
２の中に挿入された中実な糸状の可動子２３とにより構
成されている。

【００２６】固定子２２は内周面を絶縁体によって薄く
被覆されており、固定子２２の内周面には絶縁膜２６が
形成されている。この絶縁膜２６は、図３（ｂ）および
図４（ｄ）に示すように、固定子２２の内周面の略全体
に亘って形成されており、支持細管２４の内周面と電極
２５−１〜７とを覆っている。

【００２７】可動子２３は、線状で通電可能な導体線２
７を段付きに形成してなるもので、導体線２７の軸方向
の一部には径方向に膨らんだ大径部２８−１〜８が形成
されている。大径部２８−１〜８は導体線２７に一体に
形成されており、大径部２８−１〜８の外径は支持細管
２４および絶縁膜２６の内径よりも小さく設定されてい
る。さらに可動子２３と固定子２２との間にギャップ２
９が介在しており、このギャップ２９の大きさは、大径
部２８−１〜８と固定子２２との間の部分において他の
部分よりも小さくなっている。さらに、大径部２８−１
〜８と電極２５−１〜７は互いに異なるピッチで配置さ
れている。

【００２８】可動子２３の導体線２７と固定子２２の電
極２５−１〜７とは電源９−１と９−２に接続されてお
り、導体線２７と電極２５−１〜７との間には電源９−
１と９−２によって電圧が印加される。さらに電極２５
−１〜７への電圧印加は二方向スイッチ（以下スイッチ
と称す）１０−１〜７によってＯＮ−ＯＦＦされる。直
列に接続された両電源９−１、９−２は両者の間の電位
が零になるよう互いの中間部分でア−ス１１に接続され
ている。

【００２９】ここで、図３（ａ）および図４（ｃ）にお
いては、スイッチ１０−１〜７の右の端子ｅが電源９−
１の正極に、左の端子ｆが電源９−２の負極に接続され
ている。そして、電源９−１および電源９−２の正負の
向きを逆に設定することも可能である。電極２５−１〜
７の軸方向の寸法と大径部２８−１〜８の軸方向寸法と
は互いに略等しく設定されている。つぎに、上述の静電
リニアモ−タ２１の作用を説明する。

【００３０】まず、図３（ａ）に示すように大径部２８
−１、２８−２、２８−３および２８−８が、それぞれ
電極２５−１、２５−２、２５−３および２５−７のご
く近傍または内側にある時で、かつ電極２５−１、２５
−２、２５−３および２５−７の軸方向に対し右に位置
している時にスイッチ１０−１、１０−２、１０−３お
よび１０−７を電源９−１の正極側にＯＮすると、電極
２５−１と大径部２８−１、電極２５−２と大径部２８
−２、電極２５−３と大径部２８−３および電極２５−
７と大径部２８−８の間で静電力による吸引力が働き、
それぞれの電極内に誘電体は吸引される。そして、可動
子２３がそれにつれて左へ移動し機械的仕事を為す。

【００３１】可動子２３を固定子２２の中心より偏心さ
せる方向にも静電力による吸引力は働く。この力を打ち
消すため、吸引力を発生させない電極２５−４、２５−
５および２５−６をスイッチ１０−４、１０−５および
１０−６を介して電源９−２の負極に接続することによ
り、電極２５−４、２５−５および２５−６の近傍また
は内側にあり、かつ電極２５−４、２５−５および２５
−６の軸方向に対し左または中心に位置している大径部
２８−４、２８−５および２８−６に、電極２５−４、
２５−５および２５−６との間に半径方向の反発力を生
じさせ、可動子２３を固定子２２の中心に保持する。ま
た軸方向にも反発力が働くことにより、大径部２８−
４、２８−５および２８−６は左方向に押され、可動子
２３は吸引力だけの場合より強い力で左方向に移動させ
られる。可動子２３に負荷を取り付けておけば、静電リ
ニアモ−タ２１はアクチュエ−タとして動作する。

【００３２】つぎに可動子２３が左に移動し図４（ｃ）
に示すような位置に来た場合には、スイッチ１０−４、
１０−５および１０−６を電源９−１の正極側にＯＮす
ると、電極２５−４と大径部２８−５、電極２５−５と
大径部２８−６および電極２５−６と大径部２８−７の
間で静電力による吸引力が働き、それぞれの電極内に吸
引される。そして、可動子２３がそれにつられてさらに
左へ移動し機械的仕事を為す。

【００３３】電極２５−１、２５−２、２５−３および
２５−７をスイッチ１０−１、１０−２、１０−３およ
び１０−７を介して電源９−２の負極に接続することに
より、電極２５−１、２５−２、２５−３および２５−
７の近傍または内側にあり、かつ電極２５−１、２５−
２、２５−３および２５−７の軸方向に対し左または中
心に位置している大径部２８−１、２８−２、２８−３
および２８−８に、電極２５−１、２５−２、２５−３
および２５−７との間に半径方向の反発力を生じさせ、
可動子２３を固定子２２の中心に保持する。また軸方向
にも反発力が働くことにより、大径部２８−１、２８−
２、２８−３および２８−８は左方向に押され、可動子
２３は吸引力だけの場合より強い力で左方向に移動させ
られる。

【００３４】上述の動作において両電源９−１と９−２
に極性を逆にするか、スイッチ１０−１〜７を逆の状態
にすることで、可動子２３は右方向に移動させることが
できる。本発明の第３の実施例を説明する。なお、前述
の各実施例と同様な部分については同一番号を付し、そ
の説明は省略する。

【００３５】図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ｃ）は本発
明の第３の実施例を示しており、各図中の符号３１は細
管型の静電リニアモ−タである。この静電リニアモ−タ
３１は、前述の各実施例と同様に中空糸状の固定子３２
と、この固定子３２の中に挿入された中実な糸状の可動
子３３とにより構成されている。

【００３６】固定子３２は図３中にその一部のみ示すよ
うに、例えば絶縁性材料からなる支持細管３４と、複数
の環状の電極３５〜４２とを備えている。各電極３５〜
４２は互いの形状及び寸法を略等しく設定されている。
さらに、電極３５〜４２は、図５（ａ）、（ｂ）および
図６（ｃ）に示すように半円状に成形されており、支持
細管３４の内周部に同心的に組込まれている。

【００３７】また、電極３５〜４２は略１８０度毎に交
互に配置されており、支持細管３４の軸方向に沿って略
等ピッチで二列に並んでいる。さらに、電極３５〜４２
は、その内周面を支持細管３４の内周面に沿わせてい
る。そして、各電極３５〜４２の間は支持細管３４によ
って絶縁されている。

【００３８】また、一方の列を構成する電極（例えば３
５、３７、３９、４１）は他方の列を構成する電極（例
えば３６、３８、４０、４２）に対して、支持細管３４
の軸方向に沿って半ピッチずつずれている。そして、一
方の列の各電極（例えば３５、３７、３９、４１）は他
方の列の電極（例えば３６、３８、４０、４２）のうち
の二つの電極の一部に対向している。

【００３９】一方の列の電極３５、３７、３９、４１
は、一つずつ交互に第１の二方向スイッチ（以下、第１
のスイッチと称する）４３に接続されており、この第１
のスイッチ４３を介して負の電源に接続される。また、
他方の列の電極３６、３８、４０、４２も同様に、一つ
ずつ交互に第２の二方向スイッチ（以下、第２のスイッ
チと称する）４４に接続されており、この第２のスイッ
チ４４を介して正の電源に接続される。

【００４０】前記固定子３２は内周面を絶縁体によって
薄く被覆されており、固定子３２の内周面には絶縁膜２
６が形成されている。この絶縁膜２６は固定子３２の内
周面の略全体に亘って形成されており、支持細管３４の
内周面と電極３５〜４２とを覆っている。

【００４１】前記可動子３３は、線状で通電可能な導体
線２７を段付きに成形してなるもので、可動子３３には
導体線２７の径方向へ膨んだ複数の大径部２８、２８が
形成されている。大径部２８、２８は導体線２７に一体
に形成されており、大径部２８、２８の外径は支持細管
３４の内径よりも小さく設定されている。

【００４２】可動子３３の導体線２７は第３の二方向ス
イッチ（以下、第３のスイッチと称する）４５を介して
正及び負の電源（図示しない）に接続されており、可動
子３３はこの第３のスイッチ４５の切換えに伴って正の
電源或いは負の電源に選択的に接続される。つぎに、上
述の静電リニアモ−タ３１の作用を説明する。

【００４３】まず、図５（ａ）に示すように第２のスイ
ッチ４４を介して電極３６、４０が正の電源に接続さ
れ、第１のスイッチ４３を介して電極３７、４１が負の
電源に接続され、さらに、可動子３３の導体線２７が第
３のスイッチ４５の負極に接続される。そして、固定子
３２の内部に静電力が発生し、可動子３３の大径部２
８、２８が正極側の電極３６、４０に向って吸引され
る。これに伴って可動子３３が正極側の電極３６、４０
に吸着される。

【００４４】また、図５（ｂ）に示すように、第３のス
イッチ４５が切換えられて導体線２７が正極に接続され
ると、可動子３３の極性が反転し、大径部２８、２８が
負極側の電極３７、４１に向って吸引される。これに伴
って可動子３３は、正極側の電極３６、４０から分離
し、固定子３２内で浮遊しながら電極３７、４１が位置
する側（図中の右側）へ移動し、負極側の電極３７、４
１に吸着される。

【００４５】次いで、第２のスイッチ４４を介して電極
３８、４２が電源に接続され、可動子３３の導体線２７
が第３のスイッチ４５の負極に接続される。そして、大
径部２８、２８が正極側の電極３８、４２に向って吸引
され、これに伴って可動子３３が更に図中の右側へ移動
し、正極側の電極３８、４２に吸着される。可動子３３
に負荷を取付けておけば、静電リニアモ−タ３１はアク
チュエ−タとして動作する。

【００４６】なお、一方の列の電極３５、３７、３９、
４１と他方の列の電極３６、３８、４０、４２とが必ず
しも互いに半ピッチずれていなくても、可動子３３を移
動させることは上述の場合と同様に可能である。本発明
の第４の実施例を説明する。なお、前述の各実施例と同
様な部分については同一番号を付し、その説明は省略す
る。

【００４７】図８〜図１０は本発明の第４の実施例の細
管型の静電リニアモ−タ５１を示しており、この静電リ
ニアモ−タ５１には固定子５２と可動子５３とが備えら
れている。固定子５２においては、第３の実施例と同様
に、支持細管３４の内周を二分するように複数対の電極
３５、３６、３７、３８、３９、４０が一定のピッチで
二列に配設されている。さらに、一方の列の電極３５、
３７、３９と他方の列の電極３６、３８、４０は互いに
半ピッチずつずれるとともに、電極３５〜４０は支持細
管３４の内周面に露出している。

【００４８】各電極３５〜４０は交互に第１〜第４の二
方向スイッチ（以下、第１〜第４のスイッチと称する）
５４〜５７に接続されており、各スイッチ５４〜５７毎
の切換えに伴って図示しない正の電源或いは負の電源に
選択的に且つ独立に接続される。そして、電極３５、３
９は第１のスイッチ５４に接続されており、電極３７は
第２のスイッチ５５に接続されている。また、電極３
６、４０は第３のスイッチ５６に接続されており、電極
３８は第４のスイッチ５７に接続されている。

【００４９】可動子５３は誘電体を線状に成形してなる
もので、支持細管３４の中に挿入されている。そして、
可動子５３と固定子５２との間にはギャップ２９が形成
されており、可動子５３は固定子５２の中で自由に変位
する。つぎに、上述の静電リニアモ−タ５１の作用を説
明する。

【００５０】まず、図８（ａ）に示すように、第２〜第
４のスイッチ５５〜５７が開放され、電極３５、３９が
第１のスイッチ５４を介して正の電源に接続される。す
ると、可動子５３の電極３５、３９に近い側の部位には
負の電荷が発生するとともに、電極３５、３９に遠い側
の部位には正の電荷が発生する。そして、可動子５３は
静電力を受け、電極３５の側に吸引されて電極３９に吸
着される。

【００５１】つぎに、図９（ａ）に示すように、第１の
スイッチ５４が切換えられ、電極３５、３９が負の電源
に接続されと、その瞬間可動子５３に残存している負の
電荷が作用し、可動子５３と電極３５、３９との間に反
発力が発生し、可動子５３は電極３５、３９から離れ
る。

【００５２】さらに、図１０（ａ）に示すように、第１
〜第３のスイッチ５４〜５６が開放されるとともに第４
のスイッチ５７が負に切換えられると、可動子５３に既
に発生していた正の電荷と電極３８に発生した負の電荷
とが引合い、可動子５３は電極３８に吸着される。そし
て、これに伴い可動子５３は電極３９の側から電極３８
の側（図中の右側から左側）へ浮遊しながら移動する。

【００５３】次いで第４のスイッチ５７が正に切換えら
れると電極３８が正に帯電し、可動子５３が電極３８に
対して反発し、電極３８から離れる。こののち、第２の
スイッチ５５が正に切換えられて電極３７が正に帯電
し、可動子５３が更に図中の左側へ移動する。

【００５４】このように順次第１〜第４のスイッチ５４
〜６７が切換えられ、可動子５３が図中の左側へ移動す
る。さらに、第１〜第４のスイッチ５４〜５６の切換え
順序を変えれば、可動子５３を逆に右方向へ移動させる
ことも可能である。そして、可動子５３に負荷を取付け
ておけば、静電リニアモ−タ５１はアクチュエ−タとし
て動作する。

【００５５】また、一方の列の電極３５、３７、３９と
他方の列の電極３６、３８、４０とが必ずしも互いに半
ピッチずれていなくても、可動子５３を移動させること
は可能である。本発明の第５の実施例を説明する。な
お、前述の各実施例と同様な部分については同一番号を
付し、その説明は省略する。

【００５６】図１１は本発明の第５の実施例の細管型の
静電リニアモ−タ７１を示しており、この静電リニアモ
−タ７１は固定子７２と可動子７３とを備えている。固
定子７２においては支持細管３４の内周を二分するよう
に複数組の電極７４−１〜ｎ、７５−１〜ｎ、７６−１
〜ｍ、７７−１〜ｍが一定のピッチで配設されている。

【００５７】さらに、電極７４−１〜ｎ、７５−１〜ｎ
及び電極７６−１〜ｍ、７７−１〜ｍは一列に且つ交互
に並べられている。そして、一方の列の電極７４−１〜
ｎ、７５−１〜ｎと他方の列の電極７６−１〜ｍ、７７
−１〜ｍは互いに半ピッチずつずれるとともに、電極３
５〜４０は支持細管３４の内周面に露出している。

【００５８】各組の電極７４−１〜ｎ、７５−１〜ｎ、
７６−１〜ｍ、７７−１〜ｍは、各組毎に並列に接続さ
れており、さらに、第１から第４の二方向スイッチ（以
下、第１〜第４のスイッチと称する。）７８〜８１を介
して電極（図示しない）に接続されている。そして、電
極７４−１〜ｎ、７５−１〜ｎ、７６−１〜ｍ、７７−
１〜ｍは、各スイッチ７８〜８１毎の切換えに伴って、
電源の正極或いは負極に選択的に接続される。

【００５９】可動子７３は誘電体を線状に成形してなる
もので、支持細管３４の中に挿入されている。そして、
可動子７３と固定子７２との間にはギャップ２９が形成
されており、可動子７３は固定子７２の中で自由に変位
する。つぎに、上述の静電リニアモータ７１の作用を説
明する。

【００６０】まず、第１のスイッチ７８が正の側にＯＮ
して一組の電極７４−１〜ｎが正の電源に接続される
と、電極７４−１〜ｎに正の電圧が印加されるととも
に、可動子７３の電極７４−１〜ｎの近傍に位置する部
位に負の電荷が発生する。また、可動子７３の電極７４
−１〜ｎに対して遠い部位には正の電荷が誘導される。
そして、可動子７３に静電力が作用し、可動子７３は電
極７４−１〜ｎに向って移動し、電極７４−１〜ｎに吸
着される。

【００６１】こののち、第１のスイッチ７８が切換えら
れて電極７４−１〜ｎが負の電源に接続されると、可動
子７３に残存している負の電荷が作用し、可動子７３と
電極７４−１〜ｎとの間に反発力が発生し、可動子７３
が電極７４−１〜ｎから離れる。

【００６２】さらに、第１のスイッチ７８が開放される
とともに第３のスイッチ８０を負の側にＯＮすると、電
極７６−１〜ｍが負に帯電し、電極７６−１〜ｍに発生
した電荷と可動子７３に既に発生していた正の電荷と引
き合い、可動子７３は電極７６−１〜ｍに吸着される。
これに伴い可動子７３は、電極７４−１〜ｎの側から電
極７６−１〜ｍの側（図中の右側から左側）へ移動す
る。このように、第１〜第４のスイッチ７８〜８１を適
当なタイミングで順次ＯＮ−ＯＦＦすれば、可動子７３
は一定の方向に連続して移動する。そして、可動子７３
に負荷を取付けておけば、静電リニアモータ７１はアク
チュエータとして動作する。また、第１〜第４のスイッ
チ７８〜８１の切換えの順序を逆に設定すれば、可動子
７３は逆方向、即ち図中の左側から右側へ移動する。

【００６３】図１２は本発明の第６の実施例を示してお
り、図中の符号９１…は細管型の静電リニアモ−タであ
る。各静電リニアモ−タ９１…は、中空糸状の固定子９
２とこの固定子９２に挿入された中実糸状の可動子９３
とにより構成されている。そして、静電リニアモ−タ９
１…は互いに並列に束ねられており、可動子９３…は固
定子に対して略軸心方向に沿って突没する。

【００６４】この静電リニアモ−タとして９１…とし
て、前述の各実施例で説明された静電リニアモ−タ１、
２１、３１、５１、６１、７１のいずれをも利用するこ
とが可能である。また、例えばｎ個の静電リニアモ−タ
９１…を直列に接続すれば、可動子９３の変位量を、単
体の場合に比べてｎ倍することが可能である。本発明の
第７の実施例を説明する。

【００６５】図１３は本発明の第７の実施例の静電リニ
アモ−タ１０１を示している。この静電リニアモ−タ１
０１においては、柱状の固定子１０２と複数の線状の可
動子１０３…とが備えられている。固定子１０２におい
ては、複数の導体板１０４−１〜ｍと同じく複数の絶縁
板１０５−１〜ｎとが交互に積層されている。

【００６６】さらに、導体板１０４−１〜ｍと絶縁板１
０５−１〜ｎとは、各板毎に同位置に配置された複数の
円形な透孔１０６…、１０７…を有しており、互いに対
応する透孔１０６…、１０７…は固定子１０２の軸方向
全長に亘って連通している。

【００６７】そして、可動子１０３…が透孔１０６…、
１０７…により構成された差込み孔１０８…に挿入さ
れ、導電板１０４−１〜ｍへの選択的な通電に伴い固定
子１０２の各差込み孔１０８…内で発生した静電力に応
じて進退する。

【００６８】この静電リニアモ−タ１０１においては、
単体の静電リニアモ−タを集積した場合と同様な効果が
得られるうえに、板体を積層するだけで電極を所定位置
に配置できるので、製造が容易である。

【００６９】なお、各透孔１０６…、１０７…を必ずし
も同軸に並べる必要はなく、例えば差込み孔１０８を蛇
行させてもよい。そして、可動子１０３…を中空糸に成
形すれば、可動子１０３の可撓性を増すことができ、可
動子１０３を蛇行した差込み孔１０８…に沿って変形さ
せながら変位させることが可能である。本発明の第８の
実施例を説明する。

【００７０】図１４は本発明の第８の実施例の静電リニ
アモ−タ１１１を示しており、この静電リニアモ−タ１
１１においては、固定子１１２がハニカム状に成形され
るとともに、可動子１１３…（１つのみ図示）が六角柱
状に成形されている。そして、可動子１１３が固定子１
１２の各差込み孔１１４…に挿入され、固定子１１２に
対して突没する。この静電リニアモ−タ１１１によれ
ば、可動子１１３の表面積を高めることができ、表面積
／体積比を円形の場合よりも大とすることができる。本
発明の第９の実施例を説明する。

【００７１】図１５は本発明の第９の実施例を示してい
る。図１４においては単体の細管型静の電リニアモ−タ
１２１…、１２２…が縦糸及び横糸として用いられてお
り、静電リニアモ−タ１２１…、１２２…からなる布１
２３が形成されている。そして、本実施例によれば、細
管型の静電リニアモ−タ１２１…、１２３…が自ら構造
体を構成し、二次元方向または準三次元方向に変形する
アクチュエ−タが実現される。本発明の第１０の実施例
を説明する。なお、前述の各実施例と同様な部分につい
ては同一番号を付し、その説明は省略する。

【００７２】図１６〜図２１は本発明の第１０の実施例
を示しており、各図中の符号１３１は多面固定子型の静
電リニアモ−タである。この静電リニアモ−タ１３１に
おいては、多面固定子１３２と可動子１３３とが備えら
れている。

【００７３】多面固定子１３２においては、例えば互い
に平行に対向した平板状の電極支持体１３４、１３５の
それぞれに電極１３６、１３８、１４０及び電極１３
７、１３９が取付けられており、電極支持体１３４、１
３５の板面及び電極１３６〜１４０の表面が絶縁膜１４
１、１４２によって覆われている。

【００７４】可動子１３３は通電可能な材料を段付き円
柱状に成形してなるものであり、両電極支持体１３４、
１３５の間に挿入されている。さらに、可動子１３３に
は細径部１４３と大径部１４４とが形成されており、大
径部１４４は細径部１４３の軸方向中間部に配置されて
いる。

【００７５】この静電リニアモ−タ１３１においては２
つの直列な電源１４５、１４６が備えられており、両電
源１４５、１４６は両者の間の電位が零になるよう互い
の中間の部分でア−ス１４７に接続されている。両電源
１４５、１４６と各電極１３６〜１４０とは第１〜第４
の二方向スイッチ（以下、第１〜第４のスイッチと称す
る）１４８〜１５１を介して接続されている。

【００７６】各スイッチ１４８〜１５１は一方の電源１
４５の負極及び他方の電源１４６の正極に接続されてい
る。そして、一方の電極支持体１３４の電極１３６、１
４０は第１のスイッチ１４８に並列に接続されている。
また、可動子１３３は各スイッチ１４８〜１５１と並列
に常に電源１４６の負の電極に接続されており、負の電
荷を帯びている。つぎに、上述の静電リニアモ−タ１３
１の作用を説明する。

【００７７】まず、図１６（Ａ）に示すように、第３の
スイッチ１５０が正の側にＯＮされ、電極１３８が正に
帯電する。他のスイッチ１４８、１４９、１５１は開放
しており、他の電極１３６、１３７、１３９、１４０は
帯電していない。そして、可動子１３３の大径部１４４
が電極１３８に吸引され、可動子１３３が電極１３８に
吸着される。

【００７８】ここで、図１６（Ｂ）に示すように、第３
のスイッチ１５０が負の側に切換えられると、電極１３
８は負に帯電し、可動子１３３と電極１３８とが反発す
る。このとき、第４のスイッチ１５１が正の側にＯＮさ
れると、電極１３７が正極となり、可動子１３３の大径
部１４４に吸引力が作用する。したがって、可動子１３
３は電極１３８から電極１３７の側へ向い、浮遊しなが
ら両電極支持体１３４、１３５の間の空間を横切って移
動する。

【００７９】図１７（Ｃ）に示すように、可動子１３３
は浮遊したのち電極１３７に吸着される。この時点で第
３のスイッチ１５０が中立な状態にされ、電極１３８の
電荷が自然消滅する。ここで、第３のスイッチ１５０を
ア−ス１４７に接続して電極１３８の電荷を積極的に零
にしてもよい。

【００８０】こののち、図１７（Ｄ）に示すように、第
４のスイッチ１５１が電源１４６の負にＯＮされ、電極
１３７が負に帯電する。これとともに第１のスイッチ１
４８が電源１４５の正極にＯＮし、電極１３６が正に帯
電する。可動子１３３の大径部１４４が電極１３７から
離れ、可動子１３３が電極１３６に向って図中の右側か
ら左側へ、浮遊しながら更に移動する。

【００８１】図１８（Ｅ）に示すように、可動子１３３
が電極１３６に吸着された時点で第４のスイッチ１５１
が中立な状態に戻され、電極１３７の電荷が自然消滅す
る。ここで、第４のスイッチ１５１をア−ス１４７に接
続して電極１３７の電荷を積極的に零にしてもよい。

【００８２】以上は可動子１３３が図中の右側から左側
へ移動する場合の作用の説明であるが、以下に可動子１
３３が図中の右側から左側へ移動する場合の作用を説明
する。

【００８３】まず、図１９（Ａ）に示すように、電極１
３８が電源１４５の正極に接続され、他の電極は１３
６、１３７、１３９、１４０は帯電していない状態にあ
る。このため、可動子１３３の大径部１４４が電極１３
８に吸着されている。

【００８４】ここで、図１９（Ｂ）に示すように、第３
のスイッチ１５０が電源１４６の負極側に切換えられ、
電極１３８が負に帯電し、可動子１３３が電極１３８に
対して反発する。このとき第２のスイッチ１４９が正の
側にＯＮされると、電極１３９が正極となり、大径部１
４４に吸引力が作用する。したがって、可動子１３３は
電極１３８から離れて、電極１３８の側から電極１３９
の側（図中の左側から右側）へ浮遊しながら移動する。

【００８５】図２０（Ｃ）に示すように、可動子１３３
は浮遊したのち電極１３９に吸着される。この時点で第
３のスイッチ１５０が中立な状態にされ、電極１３８の
電荷が自然消滅する。ここで、第３のスイッチ１５０を
ア−ス１４７に接続して電極１３８の電荷を積極的に零
にしてもよい。

【００８６】こののち、図２０（Ｄ）に示すように、第
２のスイッチ１４９が電源１４６の負にＯＮされ、電極
１３９が負に帯電する。これとともに第１のスイッチ１
４８が電源１４５の正極にＯＮし、電極１４０が正に帯
電する。可動子１３３の大径部１４４が電極１３９から
離れ、可動子１３３が電極１４０に向って図中の右側か
ら左側へ、浮遊しながら更に移動する。

【００８７】図２１（Ｅ）に示すように、可動子１３３
が電極１４０に吸着された時点で第２のスイッチ１４９
が中立な状態に戻され、電極１３９の電荷が自然消滅す
る。ここで、第２のスイッチ１４９をア−ス１４７に接
続して電極１３９の電荷を積極的に零にしてもよい。

【００８８】すなわち、上述のような静電リニアモ−タ
１３１においては、可動子１３３が電極１３６〜１４０
に順次吸着されるまでの間の浮遊状態にあるときに移動
する。したがって、固定子１３２と可動子１３３との間
の動摩擦力を零にすることができる。さらに、摩耗の発
生を防止することができる。また、特別な支持機構を用
いる必要がなく、可動子１３３のストロ−クを大とする
ことができる。そして、静電リニアモ−タ１３１が細い
ほど、静電リニアモ−タ１３１の機能は向上する。本発
明の第１１の実施例を説明する。なお、前述の各実施例
と同様な部分については同一番号を付し、その説明は省
略する。

【００８９】図２２〜図２７は本発明の第１１の実施例
を示しており、各図中の符号１６１は多面固定子型の静
電リニアモ−タである。この静電リニアモ−タ１６１に
おいては、多面固定子１６２と可動子１６３とが備えら
れている。

【００９０】多面固定子１６２においては、例えば互い
に平行に対向した平板状の電極支持体１３４、１３５の
それぞれに電極１３６、１３８、１４０及び電極１３
７、１３９が取付けられており、電極１３６〜１４０の
表面が電極支持体１３４、１３５の板面に露出してい
る。

【００９１】可動子１６３は通電可能な材料を段付き円
柱状に成形してなるものであり、両電極支持体１３４、
１３５の間に挿入されている。さらに、可動子１６３に
は細径部１６４と大径部１６５とが形成されており、大
径部１６５は細径部１６４の軸方向中間部に配置されて
いる。

【００９２】この静電リニアモ−タ１６１においては２
つの直列な電源１４５、１４６が備えられており、両電
極１４５、１４６は両者の間の電位が零になるよう互い
の中間の部分でア−ス１４７に接続されている。両電源
１４５、１４６と各電極１３６〜１４０とは第１〜第４
の二方向スイッチ（以下、第１〜第４のスイッチと称す
る）１４８〜１５１を介して接続されている。

【００９３】各スイッチ１４８〜１５１は一方の電源１
４５の負極及び他方の電源１４６の正極に接続されてい
る。そして、一方の電極支持体１３４の電極１３６、１
４０は第１のスイッチ１４８に並列に接続されている。
つぎに、上述の静電リニアモ−タ１６１の作用を説明す
る。

【００９４】まず、図２２（Ａ）に示すように、第３の
スイッチ１５０が正の側にＯＮされ、電極１３８が正に
帯電する。他のスイッチ１４８、１４９、１５１は開放
しており、他の電極１３６、１３７、１３９、１４０は
帯電していない。可動子１６３の大径部１６５の電極１
３８に近い側の部位は負に帯電し、電極１３８に遠い側
の部位は正に帯電する。そして、大径部１６５が吸引力
を受け、可動子１６３が電極１３８に吸着される。

【００９５】ここで、図２２（Ｂ）に示すように、第３
のスイッチ１５０が負の側に切換えられると、電極１３
８は負に帯電し、大径部１６５の負に帯電している部分
と電極１３８とが反発する。このとき、第４のスイッチ
１５１が正の側にＯＮされると、電極１３７が正極とな
り、大径部１６５の負に帯電している部分に対して吸引
力が作用する。したがって、可動子１６３は電極１３８
から電極１３７の側へ向い、浮遊しながら両電極支持体
１３４、１３５の間の空間を横切って移動する。

【００９６】図２３（Ｃ）に示すように、可動子１６３
は浮遊したのち電極１３７に吸着される。この時点で第
３のスイッチ１５０が中立な状態にされ、電極１３８の
電荷が自然消滅する。ここで、第３のスイッチ１５０を
ア−ス１４７に接続して電極１３８の電荷を積極的に零
にしてもよい。

【００９７】こののち、図２３（Ｄ）に示すように、第
４のスイッチ１５１が電源１４６の負にＯＮされ、電極
１３７が負に帯電する。これとともに第１のスイッチ１
４８が電源１４５の正極にＯＮし、電極１３６が正に帯
電する。可動子１６３の大径部１６５が電極１３７から
離れ、可動子１６３が電極１３６に向って図中の右側か
ら左側へ、浮遊しながら更に移動する。

【００９８】図２４（Ｅ）に示すように、可動子１６３
が電極１３６に吸着された時点で第４のスイッチ１５１
が中立な状態に戻され、電極１３７の電荷が自然消滅す
る。ここで、第４のスイッチ１５１をア−ス１４７に接
続して電極１３７の電荷を積極的に零にしてもよい。

【００９９】以上は可動子１６３が図中の右側から左側
へ移動する場合の作用の説明であるが、以下に可動子１
６３が図中の右側から左側へ移動する場合の作用を説明
する。

【０１００】まず、図２５（Ａ）に示すように、電極１
３８が電源１４５の正極に接続され、他の電極は１３
６、１３７、１３９、１４０は帯電していない状態にあ
る。このため、可動子１６３の大径部１６４の電極１３
８に近い側が負に帯電し、遠い側が正に帯電している。
そして、可動子１６３が電極１３８に吸着されている。

【０１０１】ここで、図２５（Ｂ）に示すように、第３
のスイッチ１５０が電源１４６の負極側に切換えられ、
電極１３８が負に帯電し、可動子１３３が電極１３８に
対して反発する。このとき第２のスイッチ１４９が正の
側にＯＮされると、電極１３９が正極となり、大径部１
６５に吸引力が作用する。したがって、可動子１６３は
電極１３８から離れて、電極１３８の側から電極１３９
の側（図中の左側から右側）へ浮遊しながら移動する。

【０１０２】図２６（Ｃ）に示すように、可動子１６３
は浮遊したのち電極１３９に吸着される。この時点で第
３のスイッチ１５０が中立な状態にされ、電極１３８の
電荷が自然消滅する。ここで、第３のスイッチ１５０を
ア−ス１４７に接続して電極１３８の電荷を積極的に零
にしてもよい。

【０１０３】こののち、図２６（Ｄ）に示すように、第
２のスイッチ１４９が電源１４６の負にＯＮされ、電極
１３９が負に帯電する。これとともに第１のスイッチ１
４８が電源１４５の正極にＯＮし、電極１４０が正に帯
電する。可動子１６３の大径部１６５が電極１３９から
離れ、可動子１６３が電極１４０に向って図中の右側か
ら左側へ、浮遊しながら更に移動する。

【０１０４】図２７（Ｅ）に示すように、可動子１６３
が電極１４０に吸着された時点で第２のスイッチ１４９
が中立な状態に戻され、電極１３９の電荷が自然消滅す
る。ここで、第２のスイッチ１４９をア−ス１４７に接
続して電極１３９の電荷を積極的に零にしてもよい。本
発明の第１２の実施例を説明する。

【０１０５】図２８は本発明の第１２の実施例を示して
おり、図２８中の符号１７１は多面固定子型の静電リニ
アモ−タである。この静電リニアモ−タ１７１において
は、多面固定子１７２と複数の線状の可動子１７３…と
が備えられている。

【０１０６】多面固定子１７２は、複数の平板状固定子
１７４−１〜ｍと同じく複数の波形な屈曲板状固定子１
７５−１〜ｎとにより構成されている。さらに、両板状
固定子１７４−１〜ｍ、１７５−１〜ｎには、例えば印
刷等の手段により、帯状の電極１７６…、１７７…が略
等間隔で形成されている。そして、各電極１７６…、１
７７…が適宜組合わされて端子１７８〜１８１に接続さ
れている。

【０１０７】さらに、両板状固定子１７４−１〜ｍ、１
７５−１〜ｎは交互に積層されるとともに接合されてお
り、可動子１７３…が両板状固定子１７４−１〜ｍ、１
７５−１〜ｎによって囲まれて規則的に並んだ複数の空
間に一本ずつ挿入されている。また、両板状固定子１７
４−１〜ｍ、１７５−１〜ｎは必要に応じて絶縁膜によ
り覆われている。

【０１０８】このような静電リニアモ−タ１７１によれ
ば、単体の静電リニアモ−タが集積化される。さらに、
従来の印刷技術とダンボ−ル製造技術とを応用すれば、
集積化された静電リニアモ−タを容易に製造することが
できる。また、一つ電極を複数の可動子１７３…の駆動
に兼用できるので、配線数は可動子１７３…の数よりも
少ない。したがって、配線を簡略化することができる。
本発明の第１３の実施例を説明する。

【０１０９】図２９は本発明の第１３の実施例を示して
おり、図２９中の符号１９１は多面固定子型の静電リニ
アモ−タである。この静電リニアモ−タ１９１において
は、多面固定子１９２と複数の線状の可動子１９３…と
が備えられている。

【０１１０】多面固定子１９２はハニカム状のもので、
矩形波形な複数の屈曲板状固定子１９４−１〜ｍにより
構成されている。屈曲板状固定子１９４−１〜ｍは順次
積層されて接合されており、屈曲板状固定子１９４−１
〜ｍの間には、帯状の絶縁体１９５…が挟み込まれてい
る。

【０１１１】各屈曲板状固定子１９４−１〜ｍには、印
刷等の手段により、帯状の電極１９６…が略等間隔で形
成されており、絶縁体１９５…は各屈曲板状固定子１９
４…における電極間を絶縁している。そして、可動子１
９３…が各屈曲板状固定子１９４…によって囲まれて規
則的に並んだ複数の空間に一本ずつ挿入されている。こ
こで、各屈曲板状固定子１９４…の所定の位置っを絶縁
膜予め覆っておけば、絶縁体１９５…を省略することも
できる。

【０１１２】このような静電リニアモ−タ１９１によれ
ば、単体の静電リニアモ−タが集積化される。さらに、
従来の印刷技術とダンボ−ル製造技術とを応用すれば、
集積化された静電リニアモ−タを容易に製造することが
できる。

【０１１３】以上説明したように本発明は、中空に成形
され、軸方向に離間して配設される複数の固定子電極を
備える固定子及びこの固定子にギャップを介して挿入さ
れ、軸方向に離間して配設される通電可能な複数の可動
子電極を有する可動子を備える静電リニアモータにおい
て、前記可動子電極の極性は、常時正極又は負極のいず
れか一方に保ち、前記可動子電極の近傍にある前記固定
子電極が前記軸方向に対して一方の側に位置するときに
は、前記電極間の極性を異ならせ、前記可動子電極の近
傍にある前記固定子電極が前記軸方向に対して他方の側
に位置するときには、前記電極間の極性を同じくするよ
うに制御可能な構成であるとともに、前記各可動子電極
は互いに導通され、前記各固定子電極は、いずれかの極
性にスイッチング可能な構成であることを特徴とする静
電リニアモータである。

【０１１４】また、本発明は、中空糸状に成形され軸心
方向に沿って並んだ複数の電極を有し電極に電圧を供給
される固定子と、この固定子の中に挿入されその外周面
と固定子の内周面との間にギャップを介在させ、固定子
内での静電力の発生に伴い所定の電極中に順に吸引され
て変位する可動子とを具備した。

【０１１５】

【０１１６】したがって本発明は、静電モ−タの集積化
を可能にするとともに容易に高精度な加工を行えるよう
にし、柔軟性をも持たせることができ、さらに、摩耗の
発生を防止できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示しており、（ａ）は
軸方向に沿った断面図、（ｂ）は径方向に沿った同じく
断面図である。

【図２】本発明の第１の実施例を示しており、（ｃ）は
軸方向に沿った断面図、（ｄ）は径方向に沿った同じく
断面図である。

【図３】本発明の第２の実施例を示しており、（ａ）は
軸方向に沿った断面図、（ｂ）は径方向に沿った同じく
断面図である。

【図４】本発明の第２の実施例を示しており、（ｃ）は
軸方向に沿った断面図、（ｄ）は径方向に沿った同じく
断面図である。

【図５】本発明の第３の実施例を示しており、（ａ）及
び（ｂ）は軸方向に沿った断面図である。

【図６】同じく本発明の第３の実施例を示しており、
（ｃ）は軸方向に沿った断面図である。

【図７】同じく本発明の第３の実施例を示しており、
（ａ）〜（ｃ）は径方向に沿った断面図である。

【図８】本発明の第４の実施例を示しており、（ａ）は
軸方向に沿った断面図、（ｂ）は径方向に沿った同じく
断面図である。

【図９】同じく本発明の第４の実施例を示しており、
（ａ）は軸方向に沿った断面図、（ｂ）は径方向に沿っ
た断面図である。

【図１０】同じく本発明の第４の実施例を示しており、
（ａ）は軸方向に沿った断面図、（ｂ）は径方向に沿っ
た断面図である。

【図１１】本発明の第５の実施例を示しており、（ａ）
は軸方向に沿った断面図、（ｂ）は径方向に沿った同じ
く断面図である。

【図１２】本発明の第６の実施例を示す斜視図である。

【図１３】本発明の第７の実施例を示す斜視図である。

【図１４】本発明の第８の実施例を示す斜視図である。

【図１５】本発明の第９の実施例を示す斜視図である。

【図１６】本発明の第１０の実施例を示しており、
（Ａ）及び（Ｂ）は作用を順に示す説明図である。

【図１７】同じく本発明の第１０の実施例を示してお
り、（Ｃ）及び（Ｄ）は作用を［図１６］（Ａ）、
（Ｂ）に続いて順に示す説明図である。

【図１８】同じく本発明の第１０の実施例を示してお
り、（Ｅ）は作用を［図１７］（Ｃ）、（Ｄ）に続いて
示す説明図である。

【図１９】本発明の第１０の実施例を示しており、
（Ａ）及び（Ｂ）は作用を順に示す説明図である。

【図２０】同じく本発明の第１０の実施例を示してお
り、（Ｃ）及び（Ｄ）は作用を［図１９］（Ａ）、
（Ｂ）に続いて順に示す説明図である。

【図２１】同じく本発明の第１０の実施例を示してお
り、（Ｅ）は作用を［図２０］（Ｃ）、（Ｄ）に続いて
示す説明図である。

【図２２】本発明の第１１の実施例を示しており、
（Ａ）及び（Ｂ）は作用を順に示す説明図である。

【図２３】同じく本発明の第１１の実施例を示してお
り、（Ｃ）及び（Ｄ）は作用を［図２２］（Ａ）、
（Ｂ）に続いて順に示す説明図である。

【図２４】同じく本発明の第１１の実施例を示してお
り、（Ｅ）は作用を［図２３］（Ｃ）、（Ｄ）に続いて
示す説明図である。

【図２５】本発明の第１１の実施例を示しており、
（Ａ）及び（Ｂ）は作用を順に示す説明図である。

【図２６】同じく本発明の第１１の実施例を示してお
り、（Ｃ）及び（Ｄ）は作用を［図２５］（Ａ）、
（Ｂ）に続いて順に示す説明図である。

【図２７】同じく本発明の第１１の実施例を示してお
り、（Ｅ）は作用を［図２６］（Ｃ）、（Ｄ）に続いて
示す説明図である。

【図２８】本発明の第１２の実施例を示す斜視図であ
る。

【図２９】本発明の第１３の実施例を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１…静電リニアモ−タ、２…固定子、３…可動子、５…
電極、８…ギャップ、９…電源。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−95865（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−22886（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−118785（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−265572（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 1/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空に成形され、軸方向に離間して配設
   される複数の固定子電極を備える固定子及びこの固定子
   にギャップを介して挿入され、軸方向に離間して配設さ
   れる通電可能な複数の可動子電極を有する可動子を備え
   る静電リニアモータにおいて、 前記可動子電極の極性は、常時正極又は負極のいずれか
   一方に保ち、 前記可動子電極の近傍にある前記固定子電極が前記軸方
   向に対して一方の側に位置するときには、前記電極間の
   極性を異ならせ、 前記可動子電極の近傍にある前記固定子電極が前記軸方
   向に対して他方の側に位置するときには、前記電極間の
   極性を同じくするように制御可能な構成であるととも
   に、前記各可動子電極は互いに導通され、前記各固定子
   電極は、いずれかの極性にスイッチング可能な構成であ
   ることを特徴とする静電リニアモータ。
2. 【請求項２】 線状で通電可能な導体線の軸方向に沿っ
   て、径方向に膨らんだ大径部を離間して複数形成させる
   ことにより複数の前記可動子電極を形成させる構成とし
   たことを特徴とする請求項１記載の静電リニアモータ。
3. 【請求項３】 複数の固定子が軸線を平行にして束ねら
   れていることを特徴とする請求項１記載の静電リニアモ
   ータ。
4. 【請求項４】 複数の固定子が縦方向と横方向に交差し
   て配置されていることを特徴とする請求項１記載の静電
   リニアモータ。