JP3475443B2 - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータInfo
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- JP3475443B2 JP3475443B2 JP12208293A JP12208293A JP3475443B2 JP 3475443 B2 JP3475443 B2 JP 3475443B2 JP 12208293 A JP12208293 A JP 12208293A JP 12208293 A JP12208293 A JP 12208293A JP 3475443 B2 JP3475443 B2 JP 3475443B2
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- axial direction
- electrode
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明に係る静電アクチュエー
タは、ロボット等、各種機械に組み込んで可動部を動か
すのに利用する。
タは、ロボット等、各種機械に組み込んで可動部を動か
すのに利用する。
【０００２】
【従来の技術】小型に製作出来る割合に大きな駆動力を
得られる静電アクチュエータが、例えば株式会社技術調
査会発行の雑誌『センサー技術』１９９３年１月号（ｖ
ｏｌ．１３．Ｎｏ．１）の第６８〜７２頁に記載されて
いる様に、従来から知られている。この様な静電アクチ
ュエータの原理に就いて、上記雑誌の記載に基づき、図
５により説明する。
得られる静電アクチュエータが、例えば株式会社技術調
査会発行の雑誌『センサー技術』１９９３年１月号（ｖ
ｏｌ．１３．Ｎｏ．１）の第６８〜７２頁に記載されて
いる様に、従来から知られている。この様な静電アクチ
ュエータの原理に就いて、上記雑誌の記載に基づき、図
５により説明する。
【０００３】図５に於いて１は固定子、２は移動子であ
る。固定子１は、絶縁材製の基板３にそれぞれ複数個ず
つの第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃを、上記
移動子２の移動方向（図５の左右方向）に亙り間欠的に
配置して成る。そして、二つ置きに配置された第一の電
極４ａ、４ａを第一の導線５ａに、同じく第二の電極４
ｂ、４ｂを第二の導線５ｂに、同じく第三の電極４ｃ、
４ｃを第三の導線５ｃに、それぞれ導通させている。一
方、上記移動子２は、絶縁体６と高抵抗体７とを積層し
て成る（上記雑誌に記載されている様に、絶縁体６を省
略しても良い。）。
る。固定子１は、絶縁材製の基板３にそれぞれ複数個ず
つの第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃを、上記
移動子２の移動方向（図５の左右方向）に亙り間欠的に
配置して成る。そして、二つ置きに配置された第一の電
極４ａ、４ａを第一の導線５ａに、同じく第二の電極４
ｂ、４ｂを第二の導線５ｂに、同じく第三の電極４ｃ、
４ｃを第三の導線５ｃに、それぞれ導通させている。一
方、上記移動子２は、絶縁体６と高抵抗体７とを積層し
て成る（上記雑誌に記載されている様に、絶縁体６を省
略しても良い。）。
【０００４】上述の様に構成される静電アクチュエータ
の使用時には、先ず図５（Ａ）に示す様に、第一の電極
４ａ、４ａに第一の導線５ａを通じて正の電圧を、第二
の電極４ｂ、４ｂに第二の導線５ｂを通じて負の電圧
を、それぞれ印加する。第三の導線５ｃによる第三の電
極４ｃ、４ｃへの印加は行なわない。この結果、同図
（Ｂ）に破線で示す様に、上記移動子２の高抵抗体７
に、正負の電荷が帯電する。
の使用時には、先ず図５（Ａ）に示す様に、第一の電極
４ａ、４ａに第一の導線５ａを通じて正の電圧を、第二
の電極４ｂ、４ｂに第二の導線５ｂを通じて負の電圧
を、それぞれ印加する。第三の導線５ｃによる第三の電
極４ｃ、４ｃへの印加は行なわない。この結果、同図
（Ｂ）に破線で示す様に、上記移動子２の高抵抗体７
に、正負の電荷が帯電する。
【０００５】次いで、上記第一、第二、第三各導線５ａ
〜５ｃへの通電状態を切り換え、同図（Ｃ）に示す様
に、第一、第三の導線５ａ、５ｃを通じて第一、第三の
電極４ａ、４ｃに負の電圧を印加すると同時に、第二の
導線５ｂを通じて第二の電極４ｂ、４ｂに正の電圧を印
加する。第一、第二、第三の各電極４ａ〜４ｃ部分の電
荷は、上記通電状態の切り換えに基づいて瞬間的に変化
するのに対して、上記高抵抗体７に帯電した電荷の切り
換わりは遅れる。
〜５ｃへの通電状態を切り換え、同図（Ｃ）に示す様
に、第一、第三の導線５ａ、５ｃを通じて第一、第三の
電極４ａ、４ｃに負の電圧を印加すると同時に、第二の
導線５ｂを通じて第二の電極４ｂ、４ｂに正の電圧を印
加する。第一、第二、第三の各電極４ａ〜４ｃ部分の電
荷は、上記通電状態の切り換えに基づいて瞬間的に変化
するのに対して、上記高抵抗体７に帯電した電荷の切り
換わりは遅れる。
【０００６】この結果、上記第一、第二、第三の各電極
４ａ〜４ｃと高抵抗体７との間に、これら第一、第二、
第三の各電極４ａ〜４ｃと高抵抗体７とを離す方向（図
５の上下方向）の反発力と、高抵抗体７を図５の右方に
引っ張る吸引力とが作用する。そして、この反発力と吸
引力とに基づき、前記固定子１が移動子２と強く擦れ合
う事なく、図５（Ｄ）に示す様に、上記第一、第二、第
三の電極４ａ〜４ｃの１ピッチ分だけ、右方に移動す
る。以下、上記作用を繰り返し行なわせて上記移動子２
を移動させる。
４ａ〜４ｃと高抵抗体７との間に、これら第一、第二、
第三の各電極４ａ〜４ｃと高抵抗体７とを離す方向（図
５の上下方向）の反発力と、高抵抗体７を図５の右方に
引っ張る吸引力とが作用する。そして、この反発力と吸
引力とに基づき、前記固定子１が移動子２と強く擦れ合
う事なく、図５（Ｄ）に示す様に、上記第一、第二、第
三の電極４ａ〜４ｃの１ピッチ分だけ、右方に移動す
る。以下、上記作用を繰り返し行なわせて上記移動子２
を移動させる。
【０００７】上述の様に構成され作用する静電アクチュ
エータは、例えば図６に示す様に、固定子１、１と移動
子２、２とを交互に配置する事で大きな駆動力を得られ
る様にする。例えば、図６に示した構造は、人工筋とし
て、ロボットの腕等を駆動する為に利用出来る。
エータは、例えば図６に示す様に、固定子１、１と移動
子２、２とを交互に配置する事で大きな駆動力を得られ
る様にする。例えば、図６に示した構造は、人工筋とし
て、ロボットの腕等を駆動する為に利用出来る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の静電
アクチュエータは、固定子１及び移動子２として平板状
のものを使用していた為、大きな駆動力を得るべく、固
定子１及び移動子２の表面積を広くすると、静電アクチ
ュエータ全体が相当に大型化する事が避けられない。こ
の為、小型化を主眼として開発された静電アクチュエー
タであるにも拘らず、小型化に限界があった。
アクチュエータは、固定子１及び移動子２として平板状
のものを使用していた為、大きな駆動力を得るべく、固
定子１及び移動子２の表面積を広くすると、静電アクチ
ュエータ全体が相当に大型化する事が避けられない。こ
の為、小型化を主眼として開発された静電アクチュエー
タであるにも拘らず、小型化に限界があった。
【０００９】特開平４−２２２４７１号公報及び特開昭
６３−９５８６５号公報には、３種類の電極を周面に螺
旋状に配置した芯材と、高抵抗体を備えた移動素子とを
組み合わせた、改良型の静電アクチュエータが記載され
ている。この様な改良型の静電アクチュエータの場合に
は、小型で比較的大きな駆動力を得られるが、３種類の
電極を芯材の長さ方向に配設する作業が面倒で、コスト
が嵩む事が避けられない。又、芯材と移動素子との相対
回転を阻止しない限り、この移動素子の軸方向の移動量
を正確に規制する事ができなくなる。上記特開昭６３−
９５８６５号公報には、３種類の電極を、軸方向に互い
に離隔した状態で円周方向に配設する構造も記載されて
はいるが、円周方向の一部で不連続である為、その分だ
け駆動力が低くなり、小型で駆動力の大きな静電アクチ
ュエータを得る面からは不利である。本発明の静電アク
チュエータは、上述の様な事情に鑑みて発明されたもの
である。
６３−９５８６５号公報には、３種類の電極を周面に螺
旋状に配置した芯材と、高抵抗体を備えた移動素子とを
組み合わせた、改良型の静電アクチュエータが記載され
ている。この様な改良型の静電アクチュエータの場合に
は、小型で比較的大きな駆動力を得られるが、３種類の
電極を芯材の長さ方向に配設する作業が面倒で、コスト
が嵩む事が避けられない。又、芯材と移動素子との相対
回転を阻止しない限り、この移動素子の軸方向の移動量
を正確に規制する事ができなくなる。上記特開昭６３−
９５８６５号公報には、３種類の電極を、軸方向に互い
に離隔した状態で円周方向に配設する構造も記載されて
はいるが、円周方向の一部で不連続である為、その分だ
け駆動力が低くなり、小型で駆動力の大きな静電アクチ
ュエータを得る面からは不利である。本発明の静電アク
チュエータは、上述の様な事情に鑑みて発明されたもの
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の静電アクチュエ
ータのうち、請求項１に記載した静電アクチュエータ
は、軸方向に長い外周面を有し、且つ絶縁材により覆っ
た、中心孔を有する芯材と、それぞれがこの外周面の周
方向に亙って設けられ、且つ軸方向に亙って間欠的に等
ピッチで配置された、それぞれが全周に亙り連続した環
状であって、それぞれが二つ置きに順番に配置された第
一、第二、第三の電極である複数の電極と、上記中心孔
に挿入されてこれら各電極のうちの各第一の電極に通じ
る第一の導線と、同じく上記各第二の電極に通じる第二
の導線と、同じく上記各第三の電極に通じる第三の導線
と、高抵抗体を含んで構成されて電極を具備せず、且つ
上記外周面と対向する軸方向に長い内周面を有し、上記
芯材の周囲に配置された円管状の移動素子とを備える。 又、請求項２に記載した静電アクチュエータは、軸方向
に長い内周面を有し、且つ絶縁材により覆った円管状の
芯材と、それぞれがこの内周面の周方向に亙って設けら
れ、且つ軸方向に亙って間欠的に等ピッチで配置され
た、それぞれが全周に亙り連続した環状であって、それ
ぞれが二つ置きに順番に配置された第一、第二、第三の
電極である複数の電極と、上記芯材の外周面に配設され
てこれら各電極のうちの各第一の電極に通じる第一の導
線と、同じく上記各第二の電極に通じる第二の導線と、
同じく上記各第三の電極に通じる第三の導線と、高抵抗
体を含んで構成されて電極を具備せず、且つ上記内周面
と対向する軸方向に長い外周面を有し、上記芯材の内側
に挿入された円杆状の移動素子とを備える。
ータのうち、請求項１に記載した静電アクチュエータ
は、軸方向に長い外周面を有し、且つ絶縁材により覆っ
た、中心孔を有する芯材と、それぞれがこの外周面の周
方向に亙って設けられ、且つ軸方向に亙って間欠的に等
ピッチで配置された、それぞれが全周に亙り連続した環
状であって、それぞれが二つ置きに順番に配置された第
一、第二、第三の電極である複数の電極と、上記中心孔
に挿入されてこれら各電極のうちの各第一の電極に通じ
る第一の導線と、同じく上記各第二の電極に通じる第二
の導線と、同じく上記各第三の電極に通じる第三の導線
と、高抵抗体を含んで構成されて電極を具備せず、且つ
上記外周面と対向する軸方向に長い内周面を有し、上記
芯材の周囲に配置された円管状の移動素子とを備える。 又、請求項２に記載した静電アクチュエータは、軸方向
に長い内周面を有し、且つ絶縁材により覆った円管状の
芯材と、それぞれがこの内周面の周方向に亙って設けら
れ、且つ軸方向に亙って間欠的に等ピッチで配置され
た、それぞれが全周に亙り連続した環状であって、それ
ぞれが二つ置きに順番に配置された第一、第二、第三の
電極である複数の電極と、上記芯材の外周面に配設され
てこれら各電極のうちの各第一の電極に通じる第一の導
線と、同じく上記各第二の電極に通じる第二の導線と、
同じく上記各第三の電極に通じる第三の導線と、高抵抗
体を含んで構成されて電極を具備せず、且つ上記内周面
と対向する軸方向に長い外周面を有し、上記芯材の内側
に挿入された円杆状の移動素子とを備える。
【００１１】
【作用】上述の様に構成される本発明の静電アクチュエ
ータの使用時には、それぞれが二つ置きに順番に配置さ
れた第一、第二、第三の電極である複数の電極に印加す
る電圧の正負を適宜切り換える事により、上記移動素子
をその軸方向に亙って変位させる。特に、本発明の静電
アクチュエータの場合には、大型化する事なく、電極と
移動素子の内周面又は外周面とが互いに対向する表面積
を大きくして、駆動力の増大を図れる。 特に、上記第一、第二、第三の各電極は、それぞれが全
周に亙り連続した環状であり、芯材の周面に周方向に亙
って且つ軸方向に亙って間欠的に配置されている為、こ
の芯材と移動素子とが相対回転しても、この移動素子の
軸方向位置を正確に規制できる。又、上記芯材の周方向
に関する、上記各電極の長さ寸法を十分に確保して、小
型でしかも駆動力の大きな静電アクチュエータを得られ
る。
ータの使用時には、それぞれが二つ置きに順番に配置さ
れた第一、第二、第三の電極である複数の電極に印加す
る電圧の正負を適宜切り換える事により、上記移動素子
をその軸方向に亙って変位させる。特に、本発明の静電
アクチュエータの場合には、大型化する事なく、電極と
移動素子の内周面又は外周面とが互いに対向する表面積
を大きくして、駆動力の増大を図れる。 特に、上記第一、第二、第三の各電極は、それぞれが全
周に亙り連続した環状であり、芯材の周面に周方向に亙
って且つ軸方向に亙って間欠的に配置されている為、こ
の芯材と移動素子とが相対回転しても、この移動素子の
軸方向位置を正確に規制できる。又、上記芯材の周方向
に関する、上記各電極の長さ寸法を十分に確保して、小
型でしかも駆動力の大きな静電アクチュエータを得られ
る。
【００１２】
【実施例】図１は、請求項１にのみ対応する、本発明の
第一実施例を示している。全体を絶縁材により丸棒状に
造られた芯材８の外周面が、軸方向に長い円筒状の第一
の周面９を構成する。この第一の周面９にはそれぞれ複
数ずつの第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃを、
それぞれ印刷、スパッタ、溶射等によって全周に亙り連
続した環状に設けている。又、隣り合う第一、第二、第
三の電極４ａ、４ｂ、４ｃ同士の間には間隔をあけ、且
つ、これら第一、第二、第三の各電極４ａ、４ｂ、４ｃ
を、軸方向に亙り等ピッチで配置している。
第一実施例を示している。全体を絶縁材により丸棒状に
造られた芯材８の外周面が、軸方向に長い円筒状の第一
の周面９を構成する。この第一の周面９にはそれぞれ複
数ずつの第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃを、
それぞれ印刷、スパッタ、溶射等によって全周に亙り連
続した環状に設けている。又、隣り合う第一、第二、第
三の電極４ａ、４ｂ、４ｃ同士の間には間隔をあけ、且
つ、これら第一、第二、第三の各電極４ａ、４ｂ、４ｃ
を、軸方向に亙り等ピッチで配置している。
【００１３】又、上記芯材８の中心孔１０内には、第
一、第二、第三の導線５ａ、５ｂ、５ｃを挿入してい
る。そして、二つ置きに配置された第一の電極４ａ、４
ａを第一の導線５ａに、同じく第二の電極４ｂ、４ｂを
第二の導線５ｂに、同じく第三の電極４ｃ、４ｃを第三
の導線５ｃに、それぞれ導通させている。
一、第二、第三の導線５ａ、５ｂ、５ｃを挿入してい
る。そして、二つ置きに配置された第一の電極４ａ、４
ａを第一の導線５ａに、同じく第二の電極４ｂ、４ｂを
第二の導線５ｂに、同じく第三の電極４ｃ、４ｃを第三
の導線５ｃに、それぞれ導通させている。
【００１４】更に、上記芯材８の周囲には、紙、合成樹
脂、ガラス、セラミック等の高抵抗体により円管状に形
成された移動素子１１を設けている。そして、この移動
素子１１の内周面を円筒状の第二の周面１２としてい
る。この移動素子１１の内径は、上記芯材８及び第一、
第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃの外径よりも少しだ
け大きい。従ってこの移動素子１１は上記芯材８に対
し、軸方向に亙って変位自在である。
脂、ガラス、セラミック等の高抵抗体により円管状に形
成された移動素子１１を設けている。そして、この移動
素子１１の内周面を円筒状の第二の周面１２としてい
る。この移動素子１１の内径は、上記芯材８及び第一、
第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃの外径よりも少しだ
け大きい。従ってこの移動素子１１は上記芯材８に対
し、軸方向に亙って変位自在である。
【００１５】上述の様に構成される本発明の静電アクチ
ュエータの使用時には、前記第一の周面９と第二の周面
１２とが対向し、これら第一、第二の周面９、１２同士
の間に作用する反発力及び吸引力によって、上記移動素
子１１を軸方向に亙り変位させる。即ち、前述した従来
の静電アクチュエータと同様、前記図５に示した様に、
上記複数ずつの第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４
ｃに印加する電圧の正負を適宜切り換える事により、上
記移動素子１１をその軸方向に亙って変位させる。移動
時には上記第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃと
上記移動素子１１との間に直径方向に亙って作用する反
発力に基づき、上記第一の周面９と第二の周面１２とが
擦れ合う事が防止される。
ュエータの使用時には、前記第一の周面９と第二の周面
１２とが対向し、これら第一、第二の周面９、１２同士
の間に作用する反発力及び吸引力によって、上記移動素
子１１を軸方向に亙り変位させる。即ち、前述した従来
の静電アクチュエータと同様、前記図５に示した様に、
上記複数ずつの第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４
ｃに印加する電圧の正負を適宜切り換える事により、上
記移動素子１１をその軸方向に亙って変位させる。移動
時には上記第一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃと
上記移動素子１１との間に直径方向に亙って作用する反
発力に基づき、上記第一の周面９と第二の周面１２とが
擦れ合う事が防止される。
【００１６】次に、図２は、請求項２にのみ対応する、
本発明の第二実施例を示している。全体を絶縁材により
円管状に造られた芯材８ａの内周面を、軸方向に長い第
一の周面９ａとし、この第一の周面９ａに複数ずつの第
一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃを設けている。
又、上記芯材８ａの外周面に第一、第二、第三の導線５
ａ、５ｂ、５ｃを配設している。そして、上記芯材８ａ
の内側に、高抵抗体により丸棒状に形成された移動素子
１１ａを挿入している。そして、この移動素子１１ａの
外周面を第二の周面１２ａとしている。この移動素子１
１ａの外径は、上記芯材８ａ及び第一、第二、第三の電
極４ａ、４ｂ、４ｃの内径よりも少しだけ小さい。その
他の構成及び作用は、内外周が逆になる以外、前述した
第一実施例と同様である。
本発明の第二実施例を示している。全体を絶縁材により
円管状に造られた芯材８ａの内周面を、軸方向に長い第
一の周面９ａとし、この第一の周面９ａに複数ずつの第
一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃを設けている。
又、上記芯材８ａの外周面に第一、第二、第三の導線５
ａ、５ｂ、５ｃを配設している。そして、上記芯材８ａ
の内側に、高抵抗体により丸棒状に形成された移動素子
１１ａを挿入している。そして、この移動素子１１ａの
外周面を第二の周面１２ａとしている。この移動素子１
１ａの外径は、上記芯材８ａ及び第一、第二、第三の電
極４ａ、４ｂ、４ｃの内径よりも少しだけ小さい。その
他の構成及び作用は、内外周が逆になる以外、前述した
第一実施例と同様である。
【００１７】次に、図３は、請求項１及び請求項３に対
応する、本発明の第三実施例を示している。本実施例の
場合、移動素子１１ｂの一部に、軸方向に亙るスリット
１３を形成して、この移動素子１１ｂの直径を拡縮自在
としている。このスリット１３を形成した部分の直径
は、上記移動素子１１ｂを軸方向に移動させるべく、第
一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃと移動素子１１
ｂとの間に反発力が作用すると弾性的に広がり、上記移
動素子１１ｂを停止させる際には弾性的に縮まる。従っ
て、本実施例の場合には、移動素子１１ｂの直径を厳密
に管理する必要がなくなる。その他の構成及び作用は前
述した第一実施例と同様である。
応する、本発明の第三実施例を示している。本実施例の
場合、移動素子１１ｂの一部に、軸方向に亙るスリット
１３を形成して、この移動素子１１ｂの直径を拡縮自在
としている。このスリット１３を形成した部分の直径
は、上記移動素子１１ｂを軸方向に移動させるべく、第
一、第二、第三の電極４ａ、４ｂ、４ｃと移動素子１１
ｂとの間に反発力が作用すると弾性的に広がり、上記移
動素子１１ｂを停止させる際には弾性的に縮まる。従っ
て、本実施例の場合には、移動素子１１ｂの直径を厳密
に管理する必要がなくなる。その他の構成及び作用は前
述した第一実施例と同様である。
【００１８】次に、図４は、請求項１及び請求項４に対
応する、本発明の第四実施例を示している。本実施例の
場合、それぞれ同数ずつ同一配列で設けられた芯材８、
８並びに移動素子１１、１１の基端部を第一、第二の取
付板１４、１５に支持し、各移動素子１１、１１内に各
芯材８、８を挿入している。この様に構成する結果、上
記第一、第二の取付板１４、１５同士を大きな力で遠近
動させる事が可能となる。尚、移動素子１１、１１又は
第二の取付板１５をリニアガイドによって支持すれば、
これら移動素子１１、１１及び第二の取付板１５の伸縮
運動がより安定する。
応する、本発明の第四実施例を示している。本実施例の
場合、それぞれ同数ずつ同一配列で設けられた芯材８、
８並びに移動素子１１、１１の基端部を第一、第二の取
付板１４、１５に支持し、各移動素子１１、１１内に各
芯材８、８を挿入している。この様に構成する結果、上
記第一、第二の取付板１４、１５同士を大きな力で遠近
動させる事が可能となる。尚、移動素子１１、１１又は
第二の取付板１５をリニアガイドによって支持すれば、
これら移動素子１１、１１及び第二の取付板１５の伸縮
運動がより安定する。
【００１９】
【発明の効果】本発明の静電アクチュエータは、互いに
対向する芯材の周面と移動素子の周面との面積を確保し
易く、小型で大きな駆動力を得られる。又、芯材と移動
素子とが相対回転しても、この移動素子の軸方向位置を
正確に規制できて、各種機器への組付けの為の構造及び
組み付け作業を簡略化し、コスト低減を図れる。
対向する芯材の周面と移動素子の周面との面積を確保し
易く、小型で大きな駆動力を得られる。又、芯材と移動
素子とが相対回転しても、この移動素子の軸方向位置を
正確に規制できて、各種機器への組付けの為の構造及び
組み付け作業を簡略化し、コスト低減を図れる。
【図１】本発明の第一実施例を示す斜視図。
【図２】同第二実施例を示す斜視図。
【図３】同第三実施例を示す斜視図。
【図４】同第四実施例を示す斜視図。
【図５】静電アクチュエータの原理を示す略側面図。
【図６】従来の静電アクチュエータの使用状態の１例を
示す略斜視図。
示す略斜視図。
１ 固定子
２ 移動子
３ 基板４ａ 第一の電極 ４ｂ 第二の電極 ４ｃ 第三の電極 ５ａ 第一の導線 ５ｂ 第二の導線 ５ｃ 第三の導線
６ 絶縁体
７ 高抵抗体
８、８ａ 芯材
９、９ａ 第一の周面
１０ 中心孔
１１、１１ａ、１１ｂ 移動素子
１２、１２ａ 第二の周面
１３ スリット
１４ 第一の取付板
１５ 第二の取付板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−222471（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−95865（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−265572（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−111264（ＪＰ，Ａ)
特公 平３−68250（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H02N 1/00
H02N 11/00
Claims (4)
- 【請求項１】軸方向に長い外周面を有し、且つ絶縁材に
より覆った、中心孔を有する芯材と、それぞれがこの外
周面の周方向に亙って設けられ、且つ軸方向に亙って間
欠的に等ピッチで配置された、それぞれが全周に亙り連
続した環状であって、それぞれが二つ置きに順番に配置
された第一、第二、第三の電極である複数の電極と、上
記中心孔に挿入されてこれら各電極のうちの各第一の電
極に通じる第一の導線と、同じく上記各第二の電極に通
じる第二の導線と、同じく上記各第三の電極に通じる第
三の導線と、高抵抗体を含んで構成されて電極を具備せ
ず、且つ上記外周面と対向する軸方向に長い内周面を有
し、上記芯材の周囲に配置された円管状の移動素子とを
備えた静電アクチュエータ。 - 【請求項２】軸方向に長い内周面を有し、且つ絶縁材に
より覆った円管状の芯材と、それぞれがこの内周面の周
方向に亙って設けられ、且つ軸方向に亙って間欠的に等
ピッチで配置された、それぞれが全周に亙り連続した環
状であって、それぞれが二つ置きに順番に配置された第
一、第二、第三の電極である複数の電極と、上記芯材の
外周面に配設されてこれら各電極のうちの各第一の電極
に通じる第一の導線と、同じく上記各第二の電極に通じ
る第二の導線と、同じく上記各第三の電極に通じる第三
の導線と、高抵抗体を含んで構成されて電極を具備せ
ず、且つ上記内周面と対向する軸方向に長い外周面を有
し、上記芯材の内側に挿入された円杆状の移動素子とを
備えた静電アクチュエータ。 - 【請求項３】移動素子の一部に軸方向に亙るスリットを
形成する事により、この移動素子の直径を拡縮自在とし
た、請求項１に記載した静電アクチュエータ。 - 【請求項４】それぞれ同数ずつ同一配列で設けられた芯
材並びに移動素子の基端部を第一、第二の取付板に支持
し、これら各移動素子内に上記各芯材を挿入した、請求
項１に記載した静電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12208293A JP3475443B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12208293A JP3475443B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 静電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06315280A JPH06315280A (ja) | 1994-11-08 |
| JP3475443B2 true JP3475443B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=14827216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12208293A Expired - Fee Related JP3475443B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 静電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3475443B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7188473B1 (en) * | 2004-04-26 | 2007-03-13 | Harry HaruRiko Asada | Shape memory alloy actuator system using segmented binary control |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP12208293A patent/JP3475443B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06315280A (ja) | 1994-11-08 |
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Legal Events
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