JPH01178144A - 情報記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術的分野 本発明は、新規な情報記録媒体およびこの情報記録媒体
を製造する方法に関する。

発明の技術的背景ならびにその問題点 情報記録媒体は、コンパクトディスク、レーザーディス
クあるいはコンピュータなどの情報の記録媒体などとし
て利用されている。

従来からこのような情報記録媒体には、基本的に、透明
基板上にＴｅ、ＳｅおよびＡｐなどの低融点金属からな
る薄膜を設け、この薄膜にエネルギー線を照射して透孔
を形成することにより情報を記録する穴あけタイプの情
報記録媒体と、基板上に形成された記録層を、記録する
情報に対応させてその光学的特性を変化させる結晶相変
化タイプ及び反射金属層の形状を変化させるバブル形成
タイプ等の情報記録媒体とがある。

このうち、穴あけタイプの情報記録媒体は、既に一部実
用化されているが、このタイプの情報記録媒体には、Ｔ
ｅ化合物あるいはＳｅ化合物などを含む多成分組成の薄
膜形成用組成物を用い、組成均一性の高い薄膜を形成す
ることが必要である。

しかしながら、この薄膜の形成工程に於いて組成制御が
難しいことと共に、Ｔｅガス等の毒性が高いガスが生じ
るために、工程管理が非常に煩雑になり、情報記録媒体
の大量生産が困難という問題点がある。また、上記のよ
うな金属から構成される薄膜を有する記録層は、比較的
経時変化を受は易く、情報記録媒体の寿命が短いという
問題点もある。

また、結晶相変化タイプの情報記録媒体も上記穴あけタ
イプと同様な問題点を有している。

これに対してバブル形成タイプの情報記録媒体は、上述
のような問題点は有していないが、以下のような問題点
がある。

即ちバブル形成タイプの情報記録媒体の記録層は、まず
、光の干渉作用などを利用して表面に微細な凹凸を形成
したスタンパ−を製造し、このスタンパ−を用いて射出
成形を行なうことによりスタンパ−表面の凹凸に対応し
た凹凸を有する基板を調製し、次いでこの基板の表面に
金属を蒸着することにより形成される。そして、このよ
うにして形成した記録層に、レーザー等の高エネルギー
線を照射して金属凹凸面を平坦化させ、反射率を変化さ
せることにより情報を記録することができる。

しかしながら、上記の方法は、記録層表面の凹凸を射出
成形により形成するために、この射出成形に非常に高い
精度が必要である。従って、この射出精度の相違によっ
て得られる情報記録媒体の特性が著しく変動するという
問題点があった。

また、このタイプの情報記録媒体への情報の記録（書き
込み）には、記録層を変形させることが必要であり、従
って記録に要するエネルギーが比較的高いという問題点
がある。

発明の目的 本発明は、上記のような従来技術に伴う問題点を解消し
ようとするものであり、情報を容易に記録することがで
きる新規な情報記録媒体を提供することを目的としてい
る。

さらに本発明は、表面に蒸着金属の凹凸を容易に形成す
ることができる情報記録媒体の製造方法を提供すること
を目的としている。

発明の概要 本発明に係る情報記録媒体は、基板と、該基板上に設け
られた書き込み可能な記録層とを有する情報記録媒体に
おいて、該記録層が、電子線非照射部に形成された金属
蒸着部により格子状に区画された金属蒸着層よりなるこ
とを特徴としている。

さらに本発明に係る情報記録媒体の製造方法は、基板上
の金属蒸着予定面に電子線を格子状に照射した後、該金
属蒸着予定面に金属を蒸着させ、電子線非照射部に金属
蒸着膜を被着させるとともに、電子線照射部には金属蒸
着膜を被着させないことを特徴としている。

本発明の情報記録媒体は、記録層が電子線の照射部によ
って区画された金属蒸着部を有することにより、従来の
情報記録媒体における書き込みエネルギーよりも低いエ
ネルギーで情報の書き込みを行なうことができる。

ざらに、このような情報記録媒体は、金属の蒸着予定面
に格子状に電子線を照射した後、金属の蒸着を行なうと
いう非常に簡単な操作により製造することができる。

発明の詳細な説明 以下本発明に係る情報記録媒体およびその製造方法につ
いて具体的に説明する。

本発明に係る情報記録媒体は、基本的には、基板と、こ
の基板上に設けられた記録層とからなる。

本発明において、基板としては、アクリル樹脂、ポリカ
ーボネート樹脂、ポリパラバン酸樹脂およびエポキシ樹
脂などのプラスチック、アルミニウム等の金属ならびに
シリコンウェハーおよびガラス等の無機物などが用いら
れる。上記の基板は、そのまま使用することもできるが
、ざらに上記基板の表面に樹脂層あるいは反射層などの
増感層が設けられていてもよい。

本発明の情報記録媒体は、上記のような基板上の金属蒸
着予定面に格子状に電子線を照射した後、金属の蒸着を
行なうことにより製造することができる。

本発明において、金属蒸着予定面に照Ｉ）Ｉ−ｙる電子
線としては、加速電力が５〜１００ＫＶのものを用いた
。

このような電子線を金属蒸着予定面に格子状に照射する
。電子線の照射幅は、金属蒸着部を有効に区画するため
には、２〜１００人にすることが望ましい。

また、照射する電子線の間隔、すなわち格子の間隔は、
通常は、５０〜５００人、好ましくは１００〜４００人
にすることが望ましい。

電子線は、上記の間隔で縦方向および横方向に照射され
て、基板上などの金属蒸着予定面に格子状の電子線照射
部と、電子線非照射部とが形成される。

なお、電子線は、通常は概略直交するように電子線を縦
方向および横方向に照射されるが、厳密に直交させる必
要はなく、斜めに交差していてもよい。さらに、電子線
を上記のようにして格子状に照射した後、さらに形成さ
れた照射部に対して斜めに電子線を照射することもでき
る。

本発明において、上記のような電子線の照射方法として
は、通常の電子線照射装置内に基板を装着し、電子線を
上記の格子幅になるように縦方向および横方向に走査す
る方法などを採用することができる。

このようにして電子線を照射することにより、基板上な
どの金属蒸着予定面には、電子線の照射部と非照射部と
が形成される。

このようにして電子線の照射を行なった後、金属蒸着予
定面に金属の蒸着を行なう。

上記のようにして電子線が照射された金属蒸着予定面に
金属の蒸着を行なうと格子状の電子線照射部で区画され
た電子線非照射部には良好に金属が蒸着されるが、電子
線照射部には金属は蒸着されない。従って、金属蒸着予
定面に、電子線照射部で区画された島状の金属蒸着部を
形成することができる。第１図に本発明に係る情報記録
媒体の表面の一例を模式的に示す。第１図において、Ａ
で示した部分は、電子線の非照射部であり、この非照射
部Ａは、格子状に形成されている。またＢで示された部
分は電子線の照射部であり、照射部Ｂは、非照射部Ａに
よって区画されている。このような電子線を照射した後
、金属の蒸着操作を行なうと照射部には金属蒸着膜が形
成されるが非照射部Ａには金属は蒸着しない。

金属蒸着の分野において、上記のように電子線を照射し
た部分に金属の蒸着層が形成されないことは既に知られ
ている。この理由については現在のところ明確ではない
が、本発明者は電子線の照射により金属蒸着予定面の表
面活性が変化することによるためであろうと推察してい
る。

本発明において金属蒸着予定面に蒸着させる金属として
は、情報記録媒体の金属蒸着膜として通常使用されてい
る金属を挙げることができるが、本発明においては特に
金、白金、ロジウムおよび銀のうちから１種類の金属、
若しくは２種類以上の金属からなる合金を選択して使用
することが好ましい。これらの金属は安定であるので、
得られ、る情報記録媒体が経時的に変化することが少な
い。

また、本発明において、金属の蒸着厚さは、通常は５０
〜１０００人である。

本発明において、上記のような金属の蒸着には、通常の
金属蒸着方法を採用することができる。本発明において
、採用することができる金属蒸着方法としては、具体的
には、真空蒸着法、イオンブレーティングおよびスパッ
タ蒸着法などを挙げることができる。たとえば、真空蒸
着法を採用する場合には、蒸着装置内を、５Ｘ１０−４
〜３Ｘ１０−６トールの真空に保ち、電子ビーム等で蒸
着する金属を加熱して蒸着を行なうことができる。

なお、金属蒸着層の蒸着厚さは、たとえば水晶振動式モ
ニターなどの制御手段を用いることにより制御すること
ができる。

このようにして製造された情報記録媒体は、記録層が、
電子線非照射部に蒸着した島状の金属蒸着部と、該金属
蒸着部を格子状に区画する金属が蒸着されていない電子
線照射部とからなる金属蒸着層を含む構成を有している
。

このようにして製造された情報記録媒体の記録層への情
報の記録は、たとえば島状の金属蒸着部にレーザ光線を
照射することにより複数の金属蒸着部を溶融して一体化
させ、この部分の光学的特性を他の部分と相違させるこ
とにより、情報を記録することができる。特に島状の金
属蒸着部の長さおよび幅を１００〜３５０人にすること
により、蒸着金属がその金属の有する本来の融点よりも
低温で溶融状態になる傾向が生じ、記録に用いるエネル
ギーの低減を図ることができると共に、記録の際のレー
ザ光線などによる加熱に伴う基板あるいは他の部材など
の熱変性を有効に防止することができる。

なお、本発明の情報記録媒体は、使用の態様に合わせて
、形成した金属蒸着層表面に反射層および光吸収層とな
どの増感層あるいは保護層などを設けることもできる。

また、本発明の情報記録媒体は、上記のようにして基板
上に記録層を付設した形態で使用することもできるし、
さらに、上記のようにして記録層が付設された２枚の基
板を、スペーサーを用いて金属蒸着層が空気層を介して
対面するように配置した、いわゆるエアーサンドイッチ
構造などの公知の形態で用いることができる。

発明の効果 本発明の情報記録媒体は、記録層が電子線の照射部によ
って区画された金属蒸着部を有することにより、従来の
情報記録媒体における書き込みエネルギーよりも低いエ
ネルギーで情報の書き込みを行なうことができる。

ざらに、このような情報記録媒体は、金属の蒸着予定面
に格子状に電子線を照射した後、金属の蒸着を行なうと
いう非常に簡単に操作により製造することができる。

本発明を実施例により説明するが、本発明はこの実施例
により限定されるものではない。

丈塵叢ユ 厚さ１．２Ｍ、直径１３０ｍのポリカーボネート基板を
電子線照射装置内に装填し、この装置内を２Ｘ１０−６
トールの真空にした。

次いでこの基板表面に電子線を３００人のビーム間隔で
縦方向および横方向に走査して、基板上に幅２００人の
電子線照射部で格子状に区画して、電子線非照射部を形
成した。

次いで、この基板を金属蒸着装置内に移動させて装置内
を２Ｘ１０−６トールの真空にした後、ＡＵの蒸着を行
なった。金属蒸着層の膜厚は、水晶振動式のモニターを
用いて３００人になるように制御した。

このようにして金属蒸着層を形成した後、金属層を電子
顕微鏡を用いて観察したところ、金属が平均２００人径
の微細な島状に蒸着していることが確認された。

この金属蒸着層に６３２８人の波長のＨｅ−Ｎｅレーザ
光を直径１μｍに集束して照射し、情報の書き込みを行
なった。この結果、島状に蒸着した金属のうち、上記レ
ーザ光が照射された部分は、溶融し複数の島状の金属蒸
着部が一体になった。

その結果、情報記録媒体の書き込み部分の反射率を３６
％から４０％に変化させることができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る情報記録媒体の表面の一例を模式
的に示す図である。 Ａ・・・電子線非照射部　　Ｂ・・・電子線照剣部代理
人　　弁理士　　鈴　木　俊一部 第１図 手続補正書 １．２Ｊ件の表示 昭和６３年　特　許　願　第８４１号 ２、発明の名称 情報記録媒体およびその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 名　　　称　東亜燃料工業株式会社 ４、代　理　人　（郵便番号１４１） 東京部品用区東五反田−丁目２５番４号ニーエムビル４
階 ［電話東京（４４４）　３１５１コ ロ、補正の対象 ［３、発明の詳細な説明」の欄 手続補正書 昭和６３年　３月３１日 １、事件の表示 昭和６３年特　許　願第８４１号 ２、発明の名称 情報記録媒体およびその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 名　　　称　東亜燃料工業株式会社 ４、代　理　人　（郵便番号１４１） 東京部品用区東五反田−丁目２５番４号ニーエムビル４
階 ［電話東京（４４４）　３１５１］ ６、補正の対象 ７、補正の内容 （１）明細書第６頁第１行目から第２行目において、「
金属蒸着部により格子状に区画された金属蒸着層」とあ
るのを、 「金属蒸着部を格子状に区画する、金属蒸着層が形成さ
れていない電子線照射部とから」と補正する。 （２）明細書第７頁第４行目から第５行目において、「
樹脂およびエポキシ樹脂」とあるのを、「樹脂、エポキ
シ樹脂、ポリスチレン樹脂とポリカーボネート樹脂との
混合物および非晶質ポリオレフィン樹脂Ｊと補正する。 （３）明細書第７頁第１６行目において、「加速電力」
とあるのを、 「加速電圧」と補正します。 （４）明細書第９頁第１３行目において、「非照射部」
とあるのを、 「照射部」と補正する。 （５）明細書第９頁第１４行目において、「非照射部Ａ
」とあるのを、 「照射部Ａ」と補正する。 ６）明細書第９頁第１５行目において、「電子線の照射
部であり、照射部」とあるのを、「電子線の非照射部で
あり非照射部」と補正する。 ７〕明細書第９頁第１６行目において、「非照射部Ａ」
とあるのを、 「照射部Ａ」と補正する。 ８）明細書第９頁第１８行目において、「照射部には」
とあるのを、 「非照射部には」と補正する。 ９）明細書第９頁第１８行目から第１９行目において、 「非照射部Ａには、」とあるのを、 「照射部Ａには」と補正する。 １０）明細書第１２頁第７行目において、「金属蒸着層
表面」と「と反射層」の間に、「あるいは、基板と金属
蒸着層との間」を挿入する。 １１）明細書第１４頁第１６行目において、「Ａ・・・
電子線非照射部　Ｂ・・・電子線照射部」とあるのを、 「Ａ・・・電子線照射部　Ｂ・・・電子線非照射部」と
補正する。 手続補正書 １、事件の表示 昭和６３年特許　願第８４１号 ２、発明の名称 情報記録媒体およびその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 名　　　称　東亜燃料工業株式会社 ４、代　理　人　（郵便番号１４１） 東京部品用区東五反田−丁目２５番４号ニーエムビル４
階 ［電話東京（４４４）　３１５１］ 自発補正 」 ７、補正の内容 （１）明細書第５頁第１８行目から第６頁第２行目の記
載を次のように補正する。 「本発明に係る情報記録媒体は、基板と、該基板上に設
けられた書き込み可能な記録層とを有する情報記録媒体
において、該記録層が電子線非照射部に形成された金属
蒸着部と、該金属蒸着部を格子状に区画する金属蒸着層
が形成されていない電子線照射部とからなることを特徴
としている。」（２）明細書第１３頁第５行目において
、「簡単に操作によりＪとあるのを、 「簡単な操作により」と補正する。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板と、該基板上に設けられた書き込み可能な記
   録層とを有する情報記録媒体において、該記録層が、金
   属非蒸着部により格子状に区画された金属蒸着層より成
   ることを特徴とする情報記録媒体。
2. （２）金属蒸着層が、金、白金、ロジウムおよび銀より
   なる群から選ばれる少なくとも一種の金属若しくはこれ
   らの金属を含む合金の蒸着層であることを特徴とする請
   求項第１項に記載の情報記録媒体。
3. （３）金属蒸着部が、電子線照射部によつて区画された
   縦方向および横方向にそれぞれ２００〜５００Åの幅の
   島状構造を有することを特徴とする請求項第１項に記載
   の情報記録媒体。
4. （４）基板上の金属蒸着予定面に電子線を格子状に照射
   した後、該金属蒸着予定面に金属を蒸着させ、電子線非
   照射部に金属蒸着膜を被着させるとともに、電子線照射
   部には金属蒸着膜を被着させないことを特徴とする情報
   記録媒体の製造方法。
5. （５）蒸着する金属が、金、白金、ロジウムおよび銀よ
   りなる群から選ばれる少なくとも一種の金属若しくはこ
   れらの金属を含む合金であることを特徴とする請求項第
   ４項に記載の情報記録媒体の製造方法。
6. （６）基板上の金属蒸着予定面に２００〜５００Åの間
   隔で電子線を格子状に照射することを特徴とする請求項
   第４項に記載の情報記録媒体の製造方法。