JPH01176946A - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
- Publication number
- JPH01176946A JPH01176946A JP33638587A JP33638587A JPH01176946A JP H01176946 A JPH01176946 A JP H01176946A JP 33638587 A JP33638587 A JP 33638587A JP 33638587 A JP33638587 A JP 33638587A JP H01176946 A JPH01176946 A JP H01176946A
- Authority
- JP
- Japan
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- probe card
- main body
- probe
- conversion ring
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、プローブ装置に関するものである。
（従来の技術）
ゲートアレーは、電極位置が同一でも用途が変われば、
プローブカード上にリレーやコンデンサ等の電子部品の
実装を必要とする場合があるが、この場合は、同一のプ
ローブカードが使えないので、その都度他種のプローブ
カードに交換したり、又、プローブカードよりも安価な
変換リングを利用し、プローブカードを取付けた他種の
変換リングを交換する方法とがある。
プローブカード上にリレーやコンデンサ等の電子部品の
実装を必要とする場合があるが、この場合は、同一のプ
ローブカードが使えないので、その都度他種のプローブ
カードに交換したり、又、プローブカードよりも安価な
変換リングを利用し、プローブカードを取付けた他種の
変換リングを交換する方法とがある。
この従来例として、特開昭６１−２７２９４６号及び特
開昭６１−２８３１３８号公報とがあるが、これらは、
何れもウエハプローバ自体に、ブローブカニドを調整す
る調整機構や位置合せ機構を設置し、これらをその都度
操作して調整したり位置合せ作業を行なう手段が採られ
ている。
開昭６１−２８３１３８号公報とがあるが、これらは、
何れもウエハプローバ自体に、ブローブカニドを調整す
る調整機構や位置合せ機構を設置し、これらをその都度
操作して調整したり位置合せ作業を行なう手段が採られ
ている。
また、プローブカードを取付けた変換リングをプローブ
カードソケットに装着する手段も、安価な変換リングの
交換で足りる為に広く利用されてはいるが、変換リング
を装着したプローブカードソケットをθ方向に回転させ
るための調整機構をプローバ側に設置しなければならず
、しかも、この場合も操作者によりプローバのＸＹ系に
合せるための作業を必要としていた。
カードソケットに装着する手段も、安価な変換リングの
交換で足りる為に広く利用されてはいるが、変換リング
を装着したプローブカードソケットをθ方向に回転させ
るための調整機構をプローバ側に設置しなければならず
、しかも、この場合も操作者によりプローバのＸＹ系に
合せるための作業を必要としていた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記の従来例によると、ウエハプローバ
側に調整手段等を別に設置する必要があルタメ、プロー
バがそれだけ複雑化、大型化し。
側に調整手段等を別に設置する必要があルタメ、プロー
バがそれだけ複雑化、大型化し。
また、プローブカード交換時に、その都度、繰作者によ
る；！１ｍ工程を要するため、誤操作が生じやすく、し
かも省力化の点においても問題がある。
る；！１ｍ工程を要するため、誤操作が生じやすく、し
かも省力化の点においても問題がある。
本発明は、上記した従来の問題点に鑑み、プローバ側に
調整機構等を全く設置する必要がなく、しかも変換リン
グを利用したプローブカードの自動交換を高精度に行な
いうるようにすることを目的としている。
調整機構等を全く設置する必要がなく、しかも変換リン
グを利用したプローブカードの自動交換を高精度に行な
いうるようにすることを目的としている。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記の目的を達成するために開発したもので
、その構成は、プローブカード本体を取付けた変換リン
グをプローブカードソケットに装着したプローブ装置に
おいて、上記プローブカード本体と変換リングとの接続
用の接触位置に、−方側に接続用ラウンドを他方側に接
触ピンをそれぞれ設け、当該接続用ラウンドをプローブ
カード本体の円周方向に沿って長く形成したものである
。
、その構成は、プローブカード本体を取付けた変換リン
グをプローブカードソケットに装着したプローブ装置に
おいて、上記プローブカード本体と変換リングとの接続
用の接触位置に、−方側に接続用ラウンドを他方側に接
触ピンをそれぞれ設け、当該接続用ラウンドをプローブ
カード本体の円周方向に沿って長く形成したものである
。
（作 用）
プローブカード本体と変換リングとの接続用の接触位置
に、一方側に接続用ラウンドを他方側に接触ピンをそれ
ぞれ設け、当該接続用ラウンドをプローブカード本体の
θ方向に沿って長く形成したから、変換リングにプロー
ブカードを取付ける際に、ウエハプローバに対するθ成
分を補正し。
に、一方側に接続用ラウンドを他方側に接触ピンをそれ
ぞれ設け、当該接続用ラウンドをプローブカード本体の
θ方向に沿って長く形成したから、変換リングにプロー
ブカードを取付ける際に、ウエハプローバに対するθ成
分を補正し。
両者をネジ止めして固着し、これをカードストッカに設
置しておく。この場合のθ成分の補正は、長く形成した
接続用ラウンドにより予め高精度に調整しておくことが
できる。
置しておく。この場合のθ成分の補正は、長く形成した
接続用ラウンドにより予め高精度に調整しておくことが
できる。
カードストッカ内のプローブカードを自動交換する場合
は、プローブカードを取付けた変換リングを自動的に選
択し１次いで、この変換リングをプローブカードソケッ
トにガイドピン等を介して常に同じ位置に装着すること
によって自動交換を行なうことができる。
は、プローブカードを取付けた変換リングを自動的に選
択し１次いで、この変換リングをプローブカードソケッ
トにガイドピン等を介して常に同じ位置に装着すること
によって自動交換を行なうことができる。
（実施例）
本発明ウエハプローバの実施例を第１図乃至第３図を参
照して説明する。
照して説明する。
ウェハプローブ用の円板状プローブカード本体１を円板
状変換リング２に同心的にネジ止めして固着し、この変
換リング２をプローバ側に設置したプローブカードソケ
ット３にガイドピンを介して常に同位置に装着するよう
に構成する。
状変換リング２に同心的にネジ止めして固着し、この変
換リング２をプローバ側に設置したプローブカードソケ
ット３にガイドピンを介して常に同位置に装着するよう
に構成する。
上記したプローブカード本体１の上面に多数の接続用ラ
ウンド４を配設し、この接続用ラウンド４は、プローブ
カード本体１の円周方向（θ方向）に沿って長く形成し
、一方、上記変換リング２には、当該接続用ラウンド４
と接触する接触ピン５がそれぞれ設けられている。本例
では、プローブカード本体１に円周方向に長い接続用ラ
ウンド４を配設したが、これ以外に変換リング２に円周
方向（θ方向）に沿って長く形成した接続用のラウンド
を設け、プローブカード本体１に、これと接触する接触
ピンを設けるようにしても良い。要するに、プローブカ
ード本体１と変換リング２とを相対的円周方向に長いラ
ウンド構造にすれば良い。
ウンド４を配設し、この接続用ラウンド４は、プローブ
カード本体１の円周方向（θ方向）に沿って長く形成し
、一方、上記変換リング２には、当該接続用ラウンド４
と接触する接触ピン５がそれぞれ設けられている。本例
では、プローブカード本体１に円周方向に長い接続用ラ
ウンド４を配設したが、これ以外に変換リング２に円周
方向（θ方向）に沿って長く形成した接続用のラウンド
を設け、プローブカード本体１に、これと接触する接触
ピンを設けるようにしても良い。要するに、プローブカ
ード本体１と変換リング２とを相対的円周方向に長いラ
ウンド構造にすれば良い。
また、ウェハの各電極部に接触させるためプローブカー
ド本体１に探針６が植設され、更に、変換リング２には
、リレー、コンデンサ等の電子部品７が実装されている
。さらにまた、変換リング２にも接続用ラウンド８が設
けられ、このラウンド８と接触する如くプローブカード
ソケット３には多数の接触ピン９が植設され、これら各
接触ピン９の結線を中継するインサートリング１１間は
ワイヤ１０によりワイヤリングされる。
ド本体１に探針６が植設され、更に、変換リング２には
、リレー、コンデンサ等の電子部品７が実装されている
。さらにまた、変換リング２にも接続用ラウンド８が設
けられ、このラウンド８と接触する如くプローブカード
ソケット３には多数の接触ピン９が植設され、これら各
接触ピン９の結線を中継するインサートリング１１間は
ワイヤ１０によりワイヤリングされる。
次に、上記実施例の作用を説明する。
被測定体例えば半導体ウェハが決定すると、該当するプ
ローブカード本体１を収納器から自動的に選択取り出し
、予備位置決めしたのち、予め定められた位置に位置決
め設定されている変換リング２とソケット３とを適宜装
着する。変換リング２にプローブカード本体１を取付け
る際に、ウエハプローバに対する０成分を補正し、両者
をネジ止めして固着しカードストッカにこれを設置して
おく。この場合のθ成分の補正は、長く形成した接続用
ラウンド４により予め高精度に調整しておくことができ
る。この状態で保管されている。
ローブカード本体１を収納器から自動的に選択取り出し
、予備位置決めしたのち、予め定められた位置に位置決
め設定されている変換リング２とソケット３とを適宜装
着する。変換リング２にプローブカード本体１を取付け
る際に、ウエハプローバに対する０成分を補正し、両者
をネジ止めして固着しカードストッカにこれを設置して
おく。この場合のθ成分の補正は、長く形成した接続用
ラウンド４により予め高精度に調整しておくことができ
る。この状態で保管されている。
即ち、カードストッカ内のプローブカードを自動交換す
る場合は、プローブカード本体１を取付けた変換リング
２を自動的に選択し、次いで、プローバ側のプローブカ
ードソケット３にこの変換リング２をガイドピン等を介
して常に同じ位置に自動装着することによって自動交換
が確実に行なわれる。
る場合は、プローブカード本体１を取付けた変換リング
２を自動的に選択し、次いで、プローバ側のプローブカ
ードソケット３にこの変換リング２をガイドピン等を介
して常に同じ位置に自動装着することによって自動交換
が確実に行なわれる。
（発明の効果）
以上のことから明らかなように、本発明によると次のよ
うな優れた効果がある。
うな優れた効果がある。
プローブカードと比較して安価な変換リングを交換する
機種のウエハプローバにおいて、プローバ側に、プロー
バのｘＹ系にプローブカードの針を合うように調整する
調整機構等を全く必要としないので、プローバの小型化
とコストダウンに寄与できると共に、変換リングが利用
できるタイプのプローバで自動交換が可能となり、人為
的な誤操作を排除できるばかりでなく、省力化が図れ、
もって、ウエハプローバの自動化に寄与できる効果があ
る。
機種のウエハプローバにおいて、プローバ側に、プロー
バのｘＹ系にプローブカードの針を合うように調整する
調整機構等を全く必要としないので、プローバの小型化
とコストダウンに寄与できると共に、変換リングが利用
できるタイプのプローバで自動交換が可能となり、人為
的な誤操作を排除できるばかりでなく、省力化が図れ、
もって、ウエハプローバの自動化に寄与できる効果があ
る。
図面は本発明の一実施例を示したもので、第１図はウエ
ハプローバのプローブカード取付部分を示した正面説明
図、第２図は変換リングとプローブカードとの分離斜視
図、第３図はプローブカードの平面図である。 １・・・プローブカード本体 ２・・・変換リング ３・・・プローブカードソケット ４・・・接続用ラウンド ５・・・接触ピン
ハプローバのプローブカード取付部分を示した正面説明
図、第２図は変換リングとプローブカードとの分離斜視
図、第３図はプローブカードの平面図である。 １・・・プローブカード本体 ２・・・変換リング ３・・・プローブカードソケット ４・・・接続用ラウンド ５・・・接触ピン
Claims (1)
- プローブカード本体を取付けた変換リングをプローブ
カードソケットに装着したプローブ装置において、上記
プローブカード本体と変換リングとの接続用の接触位置
に、一方側に接続用ラウンドを他方側に接触ピンをそれ
ぞれ設け、当該接続用ラウンドをプローブカード本体の
円周方向に沿って長く形成したことを特徴とするプロー
ブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33638587A JPH01176946A (ja) | 1987-12-30 | 1987-12-30 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33638587A JPH01176946A (ja) | 1987-12-30 | 1987-12-30 | プローブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01176946A true JPH01176946A (ja) | 1989-07-13 |
Family
ID=18298587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33638587A Pending JPH01176946A (ja) | 1987-12-30 | 1987-12-30 | プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01176946A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7791361B2 (en) | 2007-12-10 | 2010-09-07 | Touchdown Technologies, Inc. | Planarizing probe card |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046043A (ja) * | 1983-08-23 | 1985-03-12 | Nec Corp | 信号中継板 |
-
1987
- 1987-12-30 JP JP33638587A patent/JPH01176946A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046043A (ja) * | 1983-08-23 | 1985-03-12 | Nec Corp | 信号中継板 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7791361B2 (en) | 2007-12-10 | 2010-09-07 | Touchdown Technologies, Inc. | Planarizing probe card |
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