JPH01169709A - 積層型磁気ヘッド - Google Patents
積層型磁気ヘッドInfo
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- JPH01169709A JPH01169709A JP32580587A JP32580587A JPH01169709A JP H01169709 A JPH01169709 A JP H01169709A JP 32580587 A JP32580587 A JP 32580587A JP 32580587 A JP32580587 A JP 32580587A JP H01169709 A JPH01169709 A JP H01169709A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/21—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features the pole pieces being of ferrous sheet metal or other magnetic layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録再生に用いら扛る積層型磁気ヘッド
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
近年、ＶＴＲに於いては、磁気テープの高抗磁力化や高
画質化に対応するため、磁束密度が高かく、摺動ノイズ
の低くい、金属磁性材料を使用した磁気ヘッドが使用さ
れてきている。また、高画質化への対応から、使用周波
数も高くなる傾向にあり、金属磁性材料の場合、電気抵
抗が低く〈。
画質化に対応するため、磁束密度が高かく、摺動ノイズ
の低くい、金属磁性材料を使用した磁気ヘッドが使用さ
れてきている。また、高画質化への対応から、使用周波
数も高くなる傾向にあり、金属磁性材料の場合、電気抵
抗が低く〈。
損失が大きいことから、渦電流損失を低減するため、薄
い金属層を絶縁物を介して積層する構造の磁気ヘッドが
要求されている。
い金属層を絶縁物を介して積層する構造の磁気ヘッドが
要求されている。
一方、磁気テープの再生の過程忙於いて、第３図に示す
磁気ヘッドでは、磁性体１１によ多構成すｎｆＣ−’（
ヤップ１３をさかいにして、磁気テープの磁束を磁心に
導ひき、巻線１２により電圧として取り出す。
磁気ヘッドでは、磁性体１１によ多構成すｎｆＣ−’（
ヤップ１３をさかいにして、磁気テープの磁束を磁心に
導ひき、巻線１２により電圧として取り出す。
しかし、一般に、磁心の端部１４，１４’ もギャップ
と同等の働きがあり、第４図ａに示すように、テープの
磁性体部２１に磁化さｎた記録信号２２を第３図のヘッ
ドで再生した場合、ギャップ１３で再生されたメインの
出力Ｂの前後に、位相の異なった出力信号人、ｅが再生
さ扛る（第４図ｂ）。このように、本来の出力信号に別
の信号が重畳されて再生された場合、当然ながら、画質
の低下をきたす。
と同等の働きがあり、第４図ａに示すように、テープの
磁性体部２１に磁化さｎた記録信号２２を第３図のヘッ
ドで再生した場合、ギャップ１３で再生されたメインの
出力Ｂの前後に、位相の異なった出力信号人、ｅが再生
さ扛る（第４図ｂ）。このように、本来の出力信号に別
の信号が重畳されて再生された場合、当然ながら、画質
の低下をきたす。
この現象を防ぐための従来技術を第５図ないし第７図に
より、説明する。
より、説明する。
ＶＴＲに於ける再生の場合、記録さｎた記録パターンと
同じアジマス角度のギャップラインで再生する。記録ヘ
ッドのギャップラインと、再生ヘッドのギャップライン
の角度が異なると、アジマス損失となり、再生出力が低
下する。
同じアジマス角度のギャップラインで再生する。記録ヘ
ッドのギャップラインと、再生ヘッドのギャップライン
の角度が異なると、アジマス損失となり、再生出力が低
下する。
アジマス損失と、記録時、再生時のギャップラインの角
度差、の関係は次式で表わさｎる。
度差、の関係は次式で表わさｎる。
Ｌａ＝ （ｓｉｎ（πＷｔａｎθ／λ）〕／ Ｃｒｒ
Ｗ ｔａｎθ／λ〕Ｌ＆ ：アジマス損失 Ｗ ；トラック幅 λ ；記録波長 θ ；記録時と再生時のギャップライン角度差第６図に
、テープ摺動面側から見た磁気ヘッドの一例を示す。
Ｗ ｔａｎθ／λ〕Ｌ＆ ：アジマス損失 Ｗ ；トラック幅 λ ；記録波長 θ ；記録時と再生時のギャップライン角度差第６図に
、テープ摺動面側から見た磁気ヘッドの一例を示す。
通常、第５図に示すように、ヘッドの製造工法上、ギャ
ップ１３のアジマス角度と磁心端部の角度１４．１４’
の角度は、平行となる。従って、ギャップ１３と磁心端
部１４．１４’の間には、アジマス損失はないため、第
４図に示したム、Ｃの出力は損失なく再生さｎる。
ップ１３のアジマス角度と磁心端部の角度１４．１４’
の角度は、平行となる。従って、ギャップ１３と磁心端
部１４．１４’の間には、アジマス損失はないため、第
４図に示したム、Ｃの出力は損失なく再生さｎる。
以上述べてきたことからも分かるように、ギャップライ
ンと磁心端部に角度差をつければ良いことが分かる。
ンと磁心端部に角度差をつければ良いことが分かる。
第６図、第７図に、テープ摺動面側から見た、従来の磁
気ヘッドの一例を示す。この磁気ヘッドはいずｎもギヤ
ラグ部１３と感心端部が平行ではなく、角度差を持って
いる。したがって、ギャップ１３で記録し、ギャップ１
３で再生するメイン信号は、アジマス損失はないが、磁
心端部よりの信号は、アジマス損失のため再生されない
。
気ヘッドの一例を示す。この磁気ヘッドはいずｎもギヤ
ラグ部１３と感心端部が平行ではなく、角度差を持って
いる。したがって、ギャップ１３で記録し、ギャップ１
３で再生するメイン信号は、アジマス損失はないが、磁
心端部よりの信号は、アジマス損失のため再生されない
。
以上のように、従来の技術では、第６図、第７図に示す
ように、磁心端部全体をギヤノブと平行にならないよう
に、円弧状にしたり、アジマス損失の犬きくなるように
、ギャップと角度をつけて加工する、などの手法によっ
て、対応していた。
ように、磁心端部全体をギヤノブと平行にならないよう
に、円弧状にしたり、アジマス損失の犬きくなるように
、ギャップと角度をつけて加工する、などの手法によっ
て、対応していた。
発明が解決しようとする問題点
通常のヘッド製造工法の一部を第８図に示す。
磁心１１によりギャップ１３を構成さ扛たギャップドパ
−１６より、ヘッドチップコアを切り出す工程に於いて
は、ギャップドパ−１６を角度θだけ傾けてヘッドコア
を切断する。第８図に於いて、ギャップドパ−１６をＤ
−Ｄ’、およびＥ−Ｅ’の線上で切断すると、第５図に
示すような形状のチップコアが得ら扛る。
−１６より、ヘッドチップコアを切り出す工程に於いて
は、ギャップドパ−１６を角度θだけ傾けてヘッドコア
を切断する。第８図に於いて、ギャップドパ−１６をＤ
−Ｄ’、およびＥ−Ｅ’の線上で切断すると、第５図に
示すような形状のチップコアが得ら扛る。
この工程から分かるように、ギャップ１３のラインと磁
心端部の側面１４．１４’は平行の関係にある。従って
、チップコアに切断さｎた状態では常にギャップと磁心
端部１４．１４’は平行である。故に、従来技術の項で
述べたような、磁心端部を円弧状にしたり、ギャップと
、ある角度を持たせるような加工は、チップコアの形状
に切断後、行なわれる。チップコアの形状は、コア厚み
が１００〜２ｏＯμｍと薄く、大きさも１〜２Ｍ角であ
るため、テップコア端部の加工は、非常に困難であり、
従って歩留りも悪い。
心端部の側面１４．１４’は平行の関係にある。従って
、チップコアに切断さｎた状態では常にギャップと磁心
端部１４．１４’は平行である。故に、従来技術の項で
述べたような、磁心端部を円弧状にしたり、ギャップと
、ある角度を持たせるような加工は、チップコアの形状
に切断後、行なわれる。チップコアの形状は、コア厚み
が１００〜２ｏＯμｍと薄く、大きさも１〜２Ｍ角であ
るため、テップコア端部の加工は、非常に困難であり、
従って歩留りも悪い。
本発明では、このような取扱いの困難なチップコア形状
になる前のギャップドパ−の段階でこのような効果を持
たせるような加工が可能な形状を有する積層型磁気ヘッ
ドを提供するものである。
になる前のギャップドパ−の段階でこのような効果を持
たせるような加工が可能な形状を有する積層型磁気ヘッ
ドを提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記目的を達成するために本発明の積層型磁気ヘッドは
、金属磁性体を絶縁物を介して、多層積層してトラック
を形成するものであって、磁気テープの摺動に対して入
側及び出側になる前記磁性体の端部が、ギャップライン
に対してケミカルエツチングにより凹凸形状をなすよう
にしたものである。
、金属磁性体を絶縁物を介して、多層積層してトラック
を形成するものであって、磁気テープの摺動に対して入
側及び出側になる前記磁性体の端部が、ギャップライン
に対してケミカルエツチングにより凹凸形状をなすよう
にしたものである。
作用
上記構成により、ギャップドパ−の段階で磁心端部凹凸
部をケミカルエツチングにより加工することが容易とな
り、量産性が向上するものである。
部をケミカルエツチングにより加工することが容易とな
り、量産性が向上するものである。
実施例
以下、本発明の一実施例の積層型磁気ヘッドについて図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
第１図、第２図に、磁気テープ摺動面より観たヘッドチ
ップコアを示す。第１図および第２図において、基板１
上に、スパッタなどの手法により堆積さ汎たセンダスト
やアモルファス磁性層３と８１０２ などの絶縁層２が
交互にトラック幅と同じ厚みになるよう構成さ扛ている
。最後に基板１を接合させ、ギャップ４を有するチップ
コアが構成される。本発明では、磁性体端部に角度をつ
ける手段として、ケミカルエツチングの手法を用いた。
ップコアを示す。第１図および第２図において、基板１
上に、スパッタなどの手法により堆積さ汎たセンダスト
やアモルファス磁性層３と８１０２ などの絶縁層２が
交互にトラック幅と同じ厚みになるよう構成さ扛ている
。最後に基板１を接合させ、ギャップ４を有するチップ
コアが構成される。本発明では、磁性体端部に角度をつ
ける手段として、ケミカルエツチングの手法を用いた。
第１図に示すような形状、すなわち、磁性体端部３ａが
凸形状のものは、Ｓｉ０２層のエツチングレートの早い
エツチング条件で、エツチングしたもの、また、第２図
に示すような、磁性体端部３ｂが凹形状のものは、磁性
体層のエツチングレートの早いエツチング条件でケミカ
ルエツチングしたものである。このケミカルエツチング
は第８図のようなギャップドパ−の形状で行なえるため
、量産性にも優ｎ取扱いが容易である。
凸形状のものは、Ｓｉ０２層のエツチングレートの早い
エツチング条件で、エツチングしたもの、また、第２図
に示すような、磁性体端部３ｂが凹形状のものは、磁性
体層のエツチングレートの早いエツチング条件でケミカ
ルエツチングしたものである。このケミカルエツチング
は第８図のようなギャップドパ−の形状で行なえるため
、量産性にも優ｎ取扱いが容易である。
このように積層磁性体の各層ごとに角度をつけたものも
、また、従来技術で述べたように、磁性体全体に角度を
つけたものも、本実施例によれば同様に実現できる。
、また、従来技術で述べたように、磁性体全体に角度を
つけたものも、本実施例によれば同様に実現できる。
実施例−１
セラミックス基板上に、Ｃｏ ＋ Ｚｒ ｒ Ｗｂ ＋
Ｔａの合金をターゲットとして、スパッタの手法によ
り７μｍの厚みのアモルファス層を構成させ１次に８１
０２をターゲットとして、０．４μｍの厚みのＳｉ０２
層をスパッタする。この作業を繰返し行ない、各層の積
算厚み６２μｍのＳｉ０２層を含む磁性層を設け、その
上にセラミックス基板をガラス層を介して接合した。こ
のセラミックス基板ではさまれた磁性体と５１０２の積
層物をガラスを介して１０枚積層接着し、この積層物を
加工してギャップドパ−を作成した。ギャップドパ−の
テープ摺動面および。
Ｔａの合金をターゲットとして、スパッタの手法によ
り７μｍの厚みのアモルファス層を構成させ１次に８１
０２をターゲットとして、０．４μｍの厚みのＳｉ０２
層をスパッタする。この作業を繰返し行ない、各層の積
算厚み６２μｍのＳｉ０２層を含む磁性層を設け、その
上にセラミックス基板をガラス層を介して接合した。こ
のセラミックス基板ではさまれた磁性体と５１０２の積
層物をガラスを介して１０枚積層接着し、この積層物を
加工してギャップドパ−を作成した。ギャップドパ−の
テープ摺動面および。
反対側の面をワックスによりマスキングし、（ＨＦ）２
．５ ： （ＨＮＯ，）１７．５ ： （Ｈ２Ｏ）８０
の割合で混合されたエツチング溶液中に５分間放置する
ことにより、磁性層部が第１図のような形状にエツチン
グさ扛たギャップドパ−を得た。なお、磁性体部の凸部
と凹部の段差は、はぼ１層μｍであった。
．５ ： （ＨＮＯ，）１７．５ ： （Ｈ２Ｏ）８０
の割合で混合されたエツチング溶液中に５分間放置する
ことにより、磁性層部が第１図のような形状にエツチン
グさ扛たギャップドパ−を得た。なお、磁性体部の凸部
と凹部の段差は、はぼ１層μｍであった。
このギャップドパ−を切断することにより、第」図のよ
うな形状のチップコアを得た。
うな形状のチップコアを得た。
実施例−２
セラミックス基板上にＦｅ、ム／、 Ｓｉを主成分とす
るターゲットにより、スパッタの手法により１０μｍの
厚みの磁性層を構成させ、次にＳｉＯｚ をターゲッ
トとして０．４μｍの５１０２層をスパッタした。
るターゲットにより、スパッタの手法により１０μｍの
厚みの磁性層を構成させ、次にＳｉＯｚ をターゲッ
トとして０．４μｍの５１０２層をスパッタした。
この作業を繰返し行ない全厚み５２μｍのＳｉ０２層を
含む磁性体層を設け、その上にセラミックス基板をガラ
スを介して接合した。このセラミックス基板ではさまれ
た磁性体層とＳｉＯ２の積層物をガラスを介して１０枚
積層接着し、この積層物を加工して、ギャップドパ−を
得た。ギャップドパ−の磁気テープ摺動面、および反対
側の面をワックスによりマスキングし、（ＨＮＯ３）５
０ ： （Ｈ２Ｏ）５０の混合比の溶液中に１０分間放
置する事により、磁性層部が第２図のような形状にエツ
チングさ扛 ・たギャップドパ−を得た。なお、磁性体
層の凹部と凸部の段差は、はぼ６μｍでめった。このギ
ヤノブドパ−を切断することにより、第２図に示すよう
なチップコアを得た。
含む磁性体層を設け、その上にセラミックス基板をガラ
スを介して接合した。このセラミックス基板ではさまれ
た磁性体層とＳｉＯ２の積層物をガラスを介して１０枚
積層接着し、この積層物を加工して、ギャップドパ−を
得た。ギャップドパ−の磁気テープ摺動面、および反対
側の面をワックスによりマスキングし、（ＨＮＯ３）５
０ ： （Ｈ２Ｏ）５０の混合比の溶液中に１０分間放
置する事により、磁性層部が第２図のような形状にエツ
チングさ扛 ・たギャップドパ−を得た。なお、磁性体
層の凹部と凸部の段差は、はぼ６μｍでめった。このギ
ヤノブドパ−を切断することにより、第２図に示すよう
なチップコアを得た。
発明の効果
以上のように、磁心の両端部を、ギャップラインに対し
てアジマスが異なるように凹凸形状にすることにより、
良好な信号の記録再生が可能となるものでるる。また金
属磁性体を絶縁層を介して積層した構造の磁気ヘッドに
於いて、ケミカルエツチングの手法を用い、ギャップド
パ−の段階で、磁気ヘッド端部の形状を変化させ、ギャ
ップラインと角度を持たせる事により、従来技術に比べ
量産性に優ｎ、均質な磁気ヘッドが得ら扛る。特に、コ
ンビネーションヘッド（２つのチップコアが同一ベース
上に構成さｎているヘッド）の場合、そｎぞれ内側に位
置する磁心の端部は、磁気テープに密着しているため、
本発明の効果が顕著に表わ扛るものである。
てアジマスが異なるように凹凸形状にすることにより、
良好な信号の記録再生が可能となるものでるる。また金
属磁性体を絶縁層を介して積層した構造の磁気ヘッドに
於いて、ケミカルエツチングの手法を用い、ギャップド
パ−の段階で、磁気ヘッド端部の形状を変化させ、ギャ
ップラインと角度を持たせる事により、従来技術に比べ
量産性に優ｎ、均質な磁気ヘッドが得ら扛る。特に、コ
ンビネーションヘッド（２つのチップコアが同一ベース
上に構成さｎているヘッド）の場合、そｎぞれ内側に位
置する磁心の端部は、磁気テープに密着しているため、
本発明の効果が顕著に表わ扛るものである。
第１図および第２図は本発明の磁気ヘッド構造を示すチ
ップコアの正面図、第３図は従来の磁気ヘッドを説明す
るだめの側面図、第４図ａ、ｂはそｎぞれ磁気テープの
再生過程を説明するための模式図、第６図は従来の通常
の磁気ヘッドのチップコアの正面図、第６．７図は従来
技術を説明するための磁気へッドチソプコアの正面図、
第８図はギヤノブドパ−からチップコアを切り出す工程
を説明する正面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・絶縁層、３・・・
・・・磁性体層、３！Ｌｌ ３ｂ・・・・・・磁性体
端部、４・・・・・・ギャップ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名嫁
派 η 寸 Ｃｌ３２ぺ
派 ０ １□Ｊ 区 Ｌ″口 ０コ 味
ップコアの正面図、第３図は従来の磁気ヘッドを説明す
るだめの側面図、第４図ａ、ｂはそｎぞれ磁気テープの
再生過程を説明するための模式図、第６図は従来の通常
の磁気ヘッドのチップコアの正面図、第６．７図は従来
技術を説明するための磁気へッドチソプコアの正面図、
第８図はギヤノブドパ−からチップコアを切り出す工程
を説明する正面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・絶縁層、３・・・
・・・磁性体層、３！Ｌｌ ３ｂ・・・・・・磁性体
端部、４・・・・・・ギャップ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名嫁
派 η 寸 Ｃｌ３２ぺ
派 ０ １□Ｊ 区 Ｌ″口 ０コ 味
Claims (1)
- 金属磁性体を絶縁物を介して多層積層してトラックを
構成する積層型磁気ヘッドであって、磁気テープに対し
て、入側および出側になる磁気ヘッドの各磁性層の端部
が、ギャップラインに対して異なるアジマス角度で凹凸
形状をなすことを特徴とする積層型磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32580587A JPH01169709A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 積層型磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32580587A JPH01169709A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 積層型磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01169709A true JPH01169709A (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=18180793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32580587A Pending JPH01169709A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 積層型磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01169709A (ja) |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP32580587A patent/JPH01169709A/ja active Pending
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