JPH01168403A

JPH01168403A - 被加工物の位置合わせ装置

Info

Publication number: JPH01168403A
Application number: JP32802087A
Authority: JP
Inventors: Isao Yugawa; 功湯川
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1987-12-24
Filing date: 1987-12-24
Publication date: 1989-07-03
Anticipated expiration: 2012-03-19
Also published as: JP2591634B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、周端面にのみ厚み方向の切断線が現れる方形
の被加工物を格子状に切断する際に、その被加工物をブ
レードに対して位置合わせする装置に関するものであ、
る。

〔従来の技術〕

周知のように、チップコンデンサ６は第１０図に示すよ
うな方形のシート積層体１を格子状に切断することによ
って得られている。このシート積層体１は第１１図に示
すように、表面（片面）に電極パターン２と、ピッチ目
盛３（このピッチ目盛３は電極パターン間の中心位置に
印される）とが銅等の導電体を用いて焼付は印刷されて
いる極薄（約２０μ厚）のセラミックシート４を、その
パターン形成面を上にして複数積層し、−容土側には電
極パターン等が印刷されていないセラミックシートを絶
縁層として被せ、これらの各セラミックシート４をプレ
スして一体的に結合したものである。

そして、この被加工物としてのシート積層体１をブレー
ド５によって格子状に切断し、チップコンデンサ６を得
ている。このシート積層体１を切断する場合、従来にお
いては、シート積層体１の表面に切断ライン７をインク
等を使用して格子状に印刷するか、あるいは位置決めマ
ークを印刷し、これらの切断ライン７や位置決めマーク
等を基準としてシート積層体１の切断ライン領域をブレ
ード５のカットラインと一致するように位置合わせして
いた。なお、本件明細書で、切断ライン領域とは、第１
２図に示すように、セラミックシート４に電極パターン
２を一定ピッチ（図ではＸ方向のピッチをＰイ、Ｘ方向
のピッチをＰ、として表しており、ＰＸとＰ、は同一で
もよく、異なる値としてもよい）で焼付は印刷したとき
、電極パターン２と電極パターン２との間にできる道路
状の領域を言い、Ｘ方向に伸びる領域（道路）は幅がＷ
ｙのＸ方向の切断ライン領域となり、Ｘ方向に伸びる領
域（道路）は幅がＷＸのＸ方向の切断ライン領域となる
。

また、本件明細書でカットラインとはブレード５の切れ
刃がワークテーブル１０に対して相対的にＸ方向に移動
する（実際にはブレード５は固定されていてワークテー
ブル１０がＸ方向に移動する）ときの切れ刃のＸ方向の
移動軌跡をいう。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記のように、シート積層体１の切断位
置を合わせるために、わざわざ切断ライン７等を表面に
印刷する方式では、前記電極パターン２等の印刷の他に
その切断ライン７やマーク印刷等の印刷工程が増え、作
業が複雑化するという問題がある。その上、切断ライン
７等を印刷するための高価な印刷機を用意しなければな
らず、経済性の上でも問題があった。

本発明はセラミックシート４の表面に印刷されたピッチ
目盛３が同シート４を重ねることにより、その周端面に
切断線８として厚み方向に現れることに着目しく第１０
図）、この切断線８を利用して、シート積層体１の表面
に切断ラインやマークを印刷することな（、シート積層
体（被加工物）のブレードに対する位置合わせを正確に
行うことができる被加工物の位置合わせ装置を提供する
ことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するため、次のように構成され
ている。すなわち、本発明は、Ｘ、Ｙ。

Ｚの３軸座標系のＸＹ平面上に該ＸＹ平面での回転が自
在に配置されたワークテーブルと；切れ刃をＸ方向に沿
わせて前記ワークテーブルに対してＸ方向の相対移動が
自在に配置されたブレニドと；前記ワークテーブルの回
転駆動を行う駆動源と；前記ワークテーブル上に固定さ
れた周端面にのみ厚み方向の切断線が現れる方形の被加
工物に対し該被加工物のＸ軸とＹ軸のいずれか一方側の
軸に平行な第１の周端面に対向させて第１のカメラを配
置しその第１の周端面の切断線を写してディスプレイ画
面に画像表示する第１のカメラ撮像手段と：被加工物を
挟んで前記第１のカメラと対向する第２のカメラを配置
し前記第１の周端面と平行な被加工物の第２の周端面の
切断線を写してディスプレイ画面に画像表示する第２の
カメラ撮像手段と；第１のカメラ撮像手段によって表示
されたディスプレイ画面上の切断線と第２のカメラ撮像
手段によって表示されたディスプレイ画面上の切断線と
が第１の周端面と平行な軸上で同一位置になるまで駆動
源にワークテーブルの回転指令を行い被加工物のＸ方向
の切断ライン領域をＹ軸に平行に合わせ、かつＸ方向の
切断ライン領域をブレードのカットラインと平行に合せ
る回転制御指令部と；被加工物の切断ライン領域をブレ
ードのカットラインに合わせブレードを被加工物に対し
て相対的に切断の１ピッチずつＸ方向に間欠移送するワ
ーク移動手段と；を有し、前記−ワークテーブルはブレ
ードに対して相対的にＸ方向の移動が自在に配設されて
いることを特徴として構成されている。

〔作用〕

上記のように構成されている本発明において、方形をし
た被加工物の例えばＸ軸に平行な第１の周端面の切断線
はディスプレイ画面の一方側、例えば左半分側に、第２
の周端面の切断線は例えば同画面の右半分側に表すこと
ができる。このとき、第１のカメラと第２のカメラとは
対向して配置されており、両カメラは例えばＸ軸に対し
て同じ座標位置に配置する。したがって、回転制御指令
部によって右側の画面の切断線と左側の画面の切断線と
が一致するまでワークテーブルを回転するように指令す
れば、第１の周端面の切断線とそれに対応する第２の周
端面の切断線とを結ぶ被加工物のＸ方向の切断ライン領
域はＹ軸に平行となり、同時にＸ方向の切断ライン領域
に直角なＸ方向の切断ライン領域はブレードのカットラ
インに平行になる。

この状態で、ワーク移動手段により、ブレードをワーク
テーブルに対して相対的にＸ方向に移動し、Ｘ方向の切
断ライン領域の一番端の領域とカットラインとを合わせ
、その位置から１ピッチずつブレードを被加工物に対し
て相対的にＸ方向に送って行けば各ピッチ位置において
被加工物のＸ方向の切断ライン領域とブレードのカット
ラインが一致し、Ｘ方向の切断ライン領域に沿って被加
工物の切断を行うことができる。

同様にワークテーブルを９０°回転し、ブレードのカッ
トラインと前記第１の周端面に対して直角方向の周端面
の一番端の切断線とを合わせ、その位置から１ピッチず
つブレードを被加工物に対して相対的に送って行けば、
各ピッチ位置において被加工物のＸ方向の切断ライン領
域とブレードのカットラインが一致し、このＸ方向の切
断ライン領域に沿って被加工物の切断が行われることに
なる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図には本発明の第１の実施例の構成が示されている
。

同図において、ワークテーブル１０には、第１０図に示
すように、周端面にのみ厚み方向の切断線８が現れる方
形のシート積層体（被加工物）ｌが、吸着等によって固
定されている。この切断線８は既述したように、セラミ
ックシート４の表面に印刷されたピッチ目盛３がシート
積層後に端面に縦線（厚み方向の線）となって現れるも
のである。

ワークテーブル１０はころがり軸受（図示せず）によっ
てｘ、　ｙ、　　ｚの３軸座標系のＸ方向の往復移動と
θ回転が自在にベツド基台（図示せず）等に保持されて
いる。ワークテーブル１０のＸ方向の移動はＸ移動駆動
源１１によって行われている。同駆動源１１は、例えば
、ワークテーブルＩＯに螺合するスクリューと、このス
クリューを回転させる第１のパルスモータとからなり、
第１のパルスモータの回転角に比例した量だけワークテ
ーブル１０をＸ方向に移動するようにしている。この第
１のパルスモータの回転角は同モータを駆動するパルス
電流のパルス数によって定まり、このパルス数、すなわ
ちパルス電流の周波数はマイクロコンピュータを内蔵す
る制御装置１２によって制御されている。

一方、ワークテーブル１０のθ回転はθ回転駆動源１３
によって行われる。同駆動源１３はワークテーブル１０
の回転軸に第２のパルスモータの出力軸を連結すること
によって構成され、この第２のパルスモータの回転角に
対応してワークテーブル１ｏの回転角が定まる。第２の
パルスモータの回転角は前記第１のパルスモータと同様
に、駆動電流のパルス数によって定まり、このパルス数
は制御装置■２によって制御されている。

一方、シート積層体１のＹ軸にほぼ平行な第１の周端面
１４にレンズを向けて第１のカメラ１５が光軸をＹ軸に
平行にした状態で配置されており、また、Ｙ軸にほぼ平
行な第２の周端面１６にレンズを向けて第２のカメラ１
７が同様に光軸をＹ軸に平行にして配置されている。本
実施例では、これらのカメラ１５．１７は低倍率（１〜
３倍）の顕微鏡カメラによって構成され、両カメラ１５
．１７の光軸は一致させである。つまり、両カメラ１５
．１７はシート積層体１を挟んで対向しており、第１の
カメラ１５は第１の周端面１４に現れる切断線８を写し
出し、第２のカメラ１７は第２の周端面１６に現れる切
断線８を写し出す。

本実施例では、写し出される切断線８が周端面１４、１
６のどの位置のものであるかを区別し易くするために、
第２図に示すように、セラミックシート４上に印刷する
ピッチ目盛３の太さを変え、所定本数（図では４本）の
細線目盛を挟んで太線目盛゛を配するようにしている。

これら、第１および第２のカメラ１５．１７によって写
された光学系の画像は撮像手段１８によって画素信号に
変換される。そして、その画素信号はブラウン管等の第
１の表示器２０に送られ、公知のテレビジョン技術によ
ってディスプレイ画面２１に表示される。この場合、本
実施例では第３図に示すように、ディスプレイ画面２１
を左右に２分割し、その−左側の画面（図では左側の画
面２１ａ）には第１のカメラ１５によって写された画像
（第１の周端面１４の切断線８の画像）を、他方側の画
面（図では右側の画面２１ｂ）には第２のカメラ１７に
よって写された画像（第２の周端面１６の切断線８の画
像）を、それぞれ表示するようにしている。これら、第
１のカメラ１５と、撮像手段１８と、第１の表示器２０
とによって第１の撮像カメラ手段が構成され、第２のカ
メラ１７と、撮像手段１８と、第１の表示器２０とによ
って第２の撮像カメラ手段が構成されている。

一方、シート積層体１のＹ軸にほぼ平行な第４の周端面
２２側にはカットラインをＹ軸に平行にしてブレード２
３が配置されている。このブレード２３はスピンドル２
４の軸部２５に固定され、モータ２６によって回転駆動
されている。モータ２６は支持腕２７の一端部に固定さ
れており、同支持腕２７の他端側はＹ方向に伸張し、そ
の先端側に第３のカメラ２８が光軸をＹ軸に平行にし、
かつその光軸を前記ブレード２３のカットラインと一致
させて取り付けられている。図示されていないが、第３
のカメラ２８の取り付は位置はＹ方向に多少の移動調整
ができるようにしてあり、ブレード２３の交換に際して
生じるブレード２３のカットラインと第３のカメラ２８
の光軸との位置ずれを修正できるようになっている。

この第３のカメラ２８も前記第１および第２のカメラ１
５．１７と同様に低倍率の顕微鏡によって構成されてお
り、該第３のカメラ２８はＹ軸にほぼ平行なシート積層
体ｌの第３の周端面３ｏに現れる切断線８を写し出す。

そして、この第３のカメラ２８によって写された光学的
な画像は撮像手段１８によって電気的な画素信号に変換
され、ブラウン管等からなる第２の表示器３Ｉのディス
プレイ画面３２に表示される（第４図）。

ところで、支持腕２７にはスクリュー３３の先端部がこ
ろがり軸受（図示せず）を介して回転自在に装着されて
いる。このスクリュー３３はベツド５台等に固定されて
いる支持ヘッド３４のスクリュー溝に嵌め込まれており
、その基端部にはＹ移動駆動源３５としての第３のパル
スモータが連結され、この第３のパルスモータの正逆所
望方向の回転によってブレード２３と第３のカメラ２８
とが一体的にＹ方向に進退移動するようになっている。

そして、この第３のパルスモータを駆動する駆動電流の
パルス数（パルス周波数）は前記Ｘ移動駆動源１１およ
びθ回転駆動源１３の各パルスモータの場合と同様に、
制御装置１２によって制御されている。この制御装置１
２内には第５図に示すように、パルス電流出力回路３６
と、カウンター回路３７と、演算回路３８と、メモリ４
０とを具備している。パルス電流出力回路３６は対応す
る各駆動源１１．１３．３５の各パルスモータにモータ
駆動用のパルス電流を供給する。カウンター回路３７は
パルス電流出力回路３６から出力されるパルス電流のパ
ルス数をカウントする、このカウント値に基づいて演算
回路３８は後述のようにしてワークテーブルｌＯあるい
はブレード２３（第３のカメラ２８）の移動量を測長し
、シート積層体ｌの切断ピッチを累積的に補正する。そ
して、この補正された切断ピッチに対応させてワークテ
ーブルｌＯあるいはブレード２３の移動に必要なパルス
数（パルス周波数）を求め、このパルス周波数をもった
パルス電流を前記パルス電流出力回路３６から対応する
各駆動源１１．１３．３５に供給させる。メモリ４０は
演算回路３８の演算値を記憶するＲＡＭ等の半導体記憶
素子である。

この制御装置１２と、Ｙ移動駆動源３５と、第３のカメ
ラ２８と、撮像手段１８と、第２の表示器３１とはワー
ク移動手段を構成するものであり、このうち、第３のカ
メラ２８と、撮像手段１８と、第２の表示器３１とは第
３のカメラ撮像手段を構成し、また、制御装置１２内の
カウンタ回路３７と、演算回路３８と、メモリ４０とは
切断ピッチの累積補正を行う切断ピッチ補正手段を構成
する。

ところで、制御装置１２には各駆動源１１，１３．３５
のパルスモータに供給するパルス電流の供給方式等を指
令するための操作盤４１が接続されている。この操作盤
４１には、各駆動源１１，１３．３５に対応させてイン
デックスキーと、リピートキーと、ジョグ・スキャンキ
ーとが配設されている。インデックスキーは制御装置１
２にワークテーブルｌＯまたはブレード２３の１ピッチ
移動に必要なパルスを対応する駆動源１１．１３．３５
に送ることを指令するキーである。この１ステツプ移動
とは、例えば、駆動源１１゜３５に関しては切断のｌピ
ッチ分だけワークテーブル１０あるいはブレード２３を
移動することを意味する。

リピートキーは前記ｌピッチの移動を間欠的に繰り返し
行わせることを制御装置１２に指令するキーであり、こ
のキーを操作している間、ワークテーブル１０あるいは
ブレード２３はｌステップずつ連続して指令した方向に
移動する。

ジョグ・スキャンキーはワークテーブル１０やブレード
２３をキーを操作している間ｌパルスずつ連続して微少
区間ずつ移動させることを制御装置１２に指令するキー
である。

また、操作盤４１には制御装置１２に指令を行うために
使用される後述のＤＡＴＡ　　ＳＥＬキー、ブランクキ
ー、θローテーションキー、リセットキー等の各種の操
作キーが配列されている。

本実施例は上記のように構成されており、以下、その作
用を第６図のフローチャートに基づいて説明する。

ワークテーブル１０にはシート積層体ｌが吸着等によっ
て固定されるが、このシート積層体１は、セラミックシ
ート４を積層してプレスした状態では、第７図に示すよ
うに縁部が波形状に波打つので、端縁部（図の斜線部）
をａ線によって切り取り、いわゆる耳取りした状態でテ
ーブル上に固定される。このシート積層体１の固定に際
しては、同積層体１の四辺の向きは特に限定されないが
、図ではワークテーブル１０の四辺の向きとほぼ一致す
るようにしている。

このようにシート積層体１がワークテーブル１゜上に固
定された状態で、ステップＰ０において、第１のカメラ
１５から第３のカメラ２８のスイッチがオンされスター
ト状態となる。次にステップＰ。

ではブレード２３のカットラインと第３のカメラ２８の
光軸が合っているか否かが確認される。この確認は、ま
ず、ブレード２３によって試料を溝状に試し切りし、こ
の溝を第２の表示器３１のディスプレイ画面に写し出し
、その溝の中心が第３のカメラ２８の光軸（中心）に−
敗しているか否によって判断する。このカットラインと
光軸が一致していないときは、第３のカメラ２８をＹ軸
方向に微少移動させて両者を位置合わせする。カットラ
インと光軸が合っているときは、次のステップＰ２の動
作に移る。このステップＰ２においては、前記スタート
時にカメラスイッチがオンされているから、第１のカメ
ラ１５によって写された第１の周端面１４の切断線８は
第１の表示器２０の左半分のディスプレイ画面２１ａに
表示され、また、第２のカメラ１７によって写された第
２の周端面１６の切断線８は同表示器２０の右半分のデ
ィスプレイ画面２１ｂに表示される。この画面２１ａ、
２１ｂを利用してブレード２３のカットラインとシート
積層体１のＸ方向の切断ライン領域との平行位置合わせ
、換言すれば、シート積層体１　（ワークテーブル１０
）のθ回転の位置合わせが行われる。すなわち、操作盤
４１のリピート、インデックス、ジッダ・スキャン等の
キー操作によりワークテーブル１０をＸ方向に移動し、
各周端面１４．１６の切断線８を第３図のように、ディ
スプレイ画面２１に写し出し、左右の両画面２１ａ。

２１ｂの切断線のうち一番端から同一番目の切断線同志
が一致するように操作盤４１のキーを操作して回転駆動
源１３の第２のパルスモータを回転させる。このキー操
作に際しては、インデックスキーあるいはジョグ・スキ
ャンキーを操作してワークテーブル１０を微少θ方向に
回転させて両切断線８を合わせることになる。このよう
にして、画面２１ａと同２１ｂの切断線８を一致させる
と、シート積層体１のＹ方向の切断ライン領域はＹ軸と
平行になり、同時に、このＹ方向の切断ライン領域と直
角なＸ方向の切断ライン領域はブレード２３のカットラ
インと平行になる。

このθの位置合わせが完了した後に、まず、シート積層
体ｌのＸ方向の各切断ライン領域とブレード２３のカッ
トラインとの位置合わせが切断ピッチを累積的に補正す
ることによって次のように行われる。

まず、ステップＰ３で、操作盤４１の第１のＤＡＴＡ　
　ＳＥＬキーがオン操作され、制御装置１２に、第３の
周端面３０に現れている切断線８の一番奥端の線から一
番手前端の切断線８までの長さを測る測長作業が今から
行われることが指示される。

次に、ステップＰ４では、まず、適宜のキー操作を行っ
て、ワークテーブル１０をＹ方向に動かし、第４図に示
すように、ディスプレイ画面上の基準線Ａに一番奥端の
切断線８を合わせる。この合わせた位置が測長の基準位
置となる。この基準位置で、リセットキーをオン操作す
ることにより、制御装置１２は切断ピッチ表示器４２に
メモリのリセット指令を送り、カウンター回路３７をク
リアして同表示器４２の表示面にｏ、ｏｏｏの表示を行
わせる。

次に、操作盤４１のキー操作を再び行い、Ｙ移動駆動［
３５の第２のパルスモータを起動し、ブレード２３と共
に第３のカメラをＹ方向に移動させて一番手前端の切断
線８を前記基準線Ａに合わせる。このステップＰ４での
目盛合わせの結果に基づきステップＰ、では、第３のカ
メラ２８のＹ方向の移動量が演算される。この移動量は
第３のカメラ２８（ブレード２３）が一番奥端の切断線
８の位置から一番手前の切断線８の位置まで移動するに
要するパルスモータのパルス数（この数はカウンター回
路３７から得られる）に１パルス分の移動量を演算回路
３８で掛は合わせることによって求められ、その演算結
果は表示器４２の表示面に表示される。ステップＰ、で
の作業が完了したときには、次のステップに進む。

ステップＰ、では、操作盤４１に設けられているブラン
クキーがオン操作され、測長が完了したことが制御装置
１２に知らされる。

このブランクキーからの測長完了信号が入ると、ステッ
プＰ７で切断ピッチの累積補正演算が演算回路３８で行
われる。本来ならば、シート積層体１の切断はピッチ目
盛３のピッチ間隔で行われるべきであるが、実際には、
セラミックシート４を複数積層してプレスするときに、
同シート４が変形して拡がる場合があり、かかる場合は
ピッチ目盛３の間隔も拡がることとなり、切断ピッチの
補正が必要となる。演算回路３８は前記測長値（移動量
Ｌ）を切断線８の本数ｎから１を引いた値で割り、平均
ピッチを求めた後でピッチ誤差を累積的に補正する。な
お、切断線８の本数ｎは予めメモリ４０に入力されてい
る。

例えば測長値Ｌ＝１００．１　ｍｍ、　　ｎ＝１０１と
すれば、平均ピッチＰ、はＰカニ１００．１／（１０１−１）　＝１．ＯＯｌとな
る。しかし、ブレード２３を０．００１　ｍｍの精度で
移動することは極めて困難であり、また、チップコンデ
ンサをシート積層体ｌから切り出す場合、隣り合う電極
パターン２を切り込まないように切断すればよく、また
、切断ライン領域の幅はブレード２３の幅に較べ十分に
広いから、前記０．００１　ｆｌｌｆｆｌの高精度は必
要ない。そこで、本実施例では、第１番目の切断ピッチ
を１．０００　ｍｍ、第２番目から第４番目までの切断
ピッチも１．０００　ｍｍとし、第５番目の切断ピッチ
を１．００５　ｍｍとして、切断ピッチの拡がり分を累
積的に振り分けて補正している。そして、この補正され
た各切断ピッチＰｙは適宜の態様で切断ピッチ表示器４
２に表示されるとともに、メモリ４ｏに記憶される。こ
のＹ方向の累積ピッチが求められた時点でＸ方向の切断
に対する必要な位置合わせ情報が全て求められる。

次に、ステップＰ、で操作盤４Ｉに設けられているθロ
ーテーションキーがオン操作され、ワークテーブル１０
は例えば反時計方向に９０″回転される。この９０°回
転によって第１の周端面１４が第３のカメラ２８に対向
し、該第１の周端面１４の切断線８が第２の表示器３１
のディスプレイ画面に表示される。そして、以下のステ
ップでは、第１の周端面１４の切断ピッチＰ、　　（９
０°回転前のＹ方向の切断ライン領域のピッチ）が同様
に累積的に補正されて求められる。

まず、ステップＰ、では、ＤＡＴＡ　　ＳＥＬキーがオ
ン操作され、制御装置１２に第１の周端面１４に現れて
いる一番奥端の切断！ｆｆＡ３から一番手前端の切断線
８までの測長作業が行われることが指示される。

次に、ステップＰＩＧでは前記ステップＰ４の場合と同
様に、ディスプレイ画面上の基準線Ａに一番奥端の切断
線８を合わせてから（このとき前記ステップＰ、の場合
と同様に、カウンター回路３７のカウント値がクリアさ
れ切断ピッチ表示器の表示面にｏ、ｏｏｏの値が表示さ
れる。）、第３のカメラ２８をＹ方向に移動して一番手
前端の切断線８が基準線Ａに合わされる。そして、ステ
ップｐＨで第３のカメラ２８が一番奥端の切断線８の位
置から一番手前端の切断４ＩｆＡ８の位置まで移動した
移動量Ｓが前記ステップＰ、と同様に求められる。

次にステップＰ　１１での移動ｇ＃Ｓの測長が完了した
後、次のステップｐｔｚで前記ステップＰ６の場合と同
様に、ブランクキーのオン操作が行われ、測長が完了し
たことが制御装置Ｉ２に知らされる。

そして、ステップＰ１３で前記ステップＰ７の場合と同
様にまず、第１の周端面１４の切断線８間の切断ピッチ
の平均値を求めてから、該切断ピッチが累積補正により
求められ、この補正された各切断線８間のピッチＰ、は
メモリ４０に記憶され、かつ、切断ピッチ表示器４２に
表示される。

上記Ｐ１からＰＩ３までのステップを経た後は、例えば
、ワークテーブルＩＯを時計方向に９０″回転して元の
初期位置に戻し、第３の周端面３０の例えば、一番奥端
の切断線８にブレード２３のカットラインを合わせてワ
ークテーブルｌＯをＸ方向に移動することにより、シー
ト積層体１は切断ライン領域に沿って切断される。次に
、メモリ４０に記憶されている補正された切断ピッチＰ
ｙずつブレード２３をＹ方向に間欠的に送り、各間欠移
動の停止位置でワークテーブルｌＯをＸ方向に送り込む
ことにより、シート積層体１は補正された切断ピッチＰ
、の間隔でＸ方向の切断ライン領域に沿って次々に切断
される。このＸ方向の切断が全て完了した後に、ワーク
テーブル１０を例えば、９０’反時計方向に回転し、同
様に、第１の周端面１４の一番奥の切断線８にブレード
２３のカットラインを合わせてワークテーブル１０をＸ
方向に移動すれば、シート積層体１はその一番奥の切断
線８の切断ライン領域（Ｙ方向の切断ライン領域）に沿
ってカッティングされる。そして、メモリ４０に記憶さ
れている第１の周端面１４の補正された切断ピッチＰ、
ずつブレード２３をＹ方向に間欠的に送り、各間欠移動
の停止位置でワークテーブル１０をＸ方向に送り込むこ
とにより、シート積層体１は累積的に補正された切断ピ
ッチＰＸの間隔でＸ方向（９０°回転前のＹ方向）の切
断が次々に行われ、最終的にシート積層体１は格子状に
切断されてチップコンデンサ６が切り出されることにな
る。

上記のように、本実施例では、両カメラ１５．１７はワ
ークテーブル１０の移動方向（Ｘ方向）と直交する方向
に設けられているから、ワークテーブル１０がＸ方向に
移動していても同テーブル１０との間隔を一定に保つこ
とができる。したがって、ワークテーブル１０が移動す
るときに、その邪魔にならないようにカメラ１５．１７
を避ける必要もないから、その退避用の機構も不用とな
り、両カメラ１５．１７を固定的に配設できるので、装
置構成が筒易化できる。

なお、上記第１の実施例では第１のカメラ１５によって
写された画像を第１の表示器２０の半分側のディスプレ
イ画面２１ａに、第２のカメラ１７によって写された画
像を同表示器２０の他の半分側のディスプレイ画面２１
ｂにそれぞれ表示しているが、ディスプレイ画面２１を
２分せず、両カメラ１５．１７によって得られた画像を
同一領域に重ね合わせて写してもよい、また、第１のカ
メラ用の表示器と第２のカメラ用の表示器とを共用せず
、それぞれ別個の対応する表示器に各カメラ１５．１７
の画像を表示することも可能である。

第８図には本発明の第２の実施例を示す基本構成が示さ
れている。なお、木筆２の実施例の説明において、前記
第１の実施例と同一の構成部分には同一の符号を付し、
その重複説明は省略する。

木筆２の実施例が前記第１の実施例と異なるところは、
第３のカメラ２８と第２の表示器３１とを省略したこと
である。この第２の実施例では、第１のカメラ１５と第
２のカメラ１７によって得られた画像を用いてワークテ
ーブル１０（シート積層体１）のθ方向の位置合わせを
行うことは第１の実施例と同様であるが、両カメラ１５
．１７のうち一方側のカメラ、例えば、第１のカメラ１
５を切断ピッチの累積補正を求めるときの測長用のカメ
ラとして機能させている。

したがって、第２の実施例では、第１の周端面１４の一
番奥端の切断線８から一番手前端の切断線８までの長さ
は、まず、一番臭端の切断線８をディスプレイ画面２１
に現れている基準線Ａに合わせ、その位置を起点として
ワークテーブル１０を一番手前端の切断線８が画面上の
基準線Ａに一致するまでＸ方向に移動すれば、一番奥端
と一番手前端の両切断線８間の長さが第１の実施例の場
合と同様に、その移動に要したパルス数と１パルスの移
動量とを掛は合わせることによって求められ、さらに、
この測定結果に基づく演算回路３８での演算により、第
１の周端面１４の切断ピッチＰ、（Ｙ方向の切断ライン
領域のピッチ）が累積補正されて求められる。そして、
この補正されて求められた切断ピッチの値はメモリ４０
に記憶される。

次に、ワークテーブル１０を例えば時計方向に９０゜回
転し、シート積層体１の第３の周端面３０を第１のカメ
ラ１５に対向させ、同様な操作を行えば、第３の周端面
３０の切断ピッチＰ、　　（９０’回転前のＸ方向の切
断ライン領域のピッチ）が累積補正されて求まり、その
値はメモリ４０に記憶される。

そして、シート積層体１を切断するときは、例えば、ワ
ークテーブル１０を９０”反時計方向に回転して元に戻
し、前記第１の実施例の場合と同様に、メモリ４０に記
憶されている切断ピッチＰ、ずつブレード２３をＹ方向
に間欠移動し、その間欠停止時にワークテーブルをＸ方
向に送り込むことによりＸ方向の切断ライン領域に沿っ
てシート積層体ｌの切断が行われる。そして、Ｘ方向の
全切断ライン領域の切断が完了した後にワークテーブル
１０を９０’回転し、同様のカッティング動作を行わせ
ることにより９０″回転前のＸ方向の切断ライン領域の
切断が行われ、シート積層体１は格子状に切断されてチ
ップコンデンサ６が切り出されることになる。

木筆２の実施例は前記第１の実施例に較べ、第３のカメ
ラ２８と第２の表示器３１とを省略でき、装置構成を簡
素化できるという利点が得られるが、その反面、ブレー
ド２３のカッティング状態を第３のカメラ２８によりオ
ンラインで観察できないという不便がある。

第９図には本発明の第３の実施例が示されている。木筆
３の実施例は、Ｘ方向とＸ方向の移動が自在なワークテ
ーブルＩＯを挾み、Ｘ軸に平行に光軸を合わせて第１の
カメラ１５と第２のカメラ１７とを同軸上に対向配置し
、ブレード２３をワークテーブル１０からＸ方向に離し
て配置した点が前記第１および第２の各実施例と異なっ
ている。

この第３の実施例では第１のカメラ１５はシート積層体
１の第３の周端面２２に対向して同周端面２２の切断線
８を写し、これを第１の表示器２０の左半分の画面２１
ａに表示させる。同様に第２のカメラ１７はシート積層
体１の第４の周端面３０に対向して同周端面３０の切断
線８を写し、これを第１の表示器２０の右半分の画面２
１ｂに表示させる。そして、前記第１および第２の各実
施例と同様に、ディスプレイ画面２１ａ、２１ｂに画像
表示された切断線８を利用してシート積層体１のＸ方向
の切断ライン領域がブレード２３のカットラインと平行
に合わせられる。もちろん、このとき、Ｘ方向の切断ラ
イン領域はＹ軸に平行になる。

そして、この第３の実施例では第１のカメラ１５と第２
のカメラ１７のいずれか一方のカメラ、例えば第１のカ
メラ１５を利用し、前記第１および第２の実施例と同様
に画面上で一番奥端の切断線８を基準線Ａに一致させて
から一番手前端の切断線８を同基準線Ａに一致するまで
ワークテーブル１０をＸ方向に移動して第３の周端面２
２の補正された切断ピッチＰｙが求められる。次に、ワ
ークテーブル１０を例えば９０”反時計方向に回転すれ
ば、第１の周端面１４が第１のカメラ１５と対向し、同
様にこの第１の周端面１４を利用してＸ方向の補正され
た切断ピッ千Ｐ、が求められる。これら、ＰＸとＰ、の
切断ピッチが求められた後、ワークテーブルｌＯを鎖線
で示すようにＸ方向に移動してシート積層体ｌをブレー
ド２３の切断位置に運び、同シート積層体１の目的とす
る切断が行われる。

前記第１および第２の各実施例では、Ｘ方向の切断ライ
ン領域をＹ軸に平行に合わせることで、Ｘ方向の切断ラ
イン領域を間接的にＸ軸に平行に合わせているが、この
第３の実施例では、Ｘ方向の切断ライン領域とＸ軸との
平行合わせを直接的に行うことができる点で前記第１お
よび第２の実施例よりも便利である。

なお、上記第１乃至第３の各実施例ではシート積層体１
の切断時にワークテーブル１０をＸ方向に移動している
が、これと異なり、ワークテーブルｌＯを固定し、ブレ
ード２３をＸ方向に移動してもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したように構成したものであるから、
方形の被加工物の周端面に現れる切断線のみに基づいて
ブレードと被加工物との切断時の位置合わせを正確に行
うことができ、この位置合わせ用の線やマーク等を被加
工物の表面に印刷する必要もないから、そのマーク等を
印刷する労力や時間を省略できるとともに、その専用印
刷装置を別途配設する必要もないので、作業性の改善と
経済的利益の向上を大幅に図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図、第２図は
、セラミックシートに印刷されるピッチ目盛の態様を示
す説明図、第３図は第１の表示器のディスプレイ状態図
、第４図は第２の表示器のディスプレイ状態図、第５図
は制御装置に含まれる一部回路図、第６図は同実施例の
フローチャート、第７図はシート積層体の耳取り状態を
示す説明図、、第８図は本発明の第２の実施例を示す構
成図、第９図は本発明の第３の実施例を示す構成図、第
１０図は一般に用いられているシート積層体のカッティ
ング例を示す斜視図、第１１図はセラミックシートの積
層例を示す説明図、第１２図はセラミックシート上に焼
付は印刷された電極パターンの配置状態の詳細図である
。ｌ・・・シート積層体、２・・・電極パターン、３・・
・ピッチ目盛、４・・・セラミックシート、５・・・フ
゛レード、６・・・チ・ンブコンデンサ、７・・・切断
ライン、８・・・切断線、ＩＯ・・・ワークテーブル、
１１・・・Ｘ移動駆動源、１２・・・制御装置、１３・
・・θ回転駆動源、１４・・・第１の周端面、１５・・
・第１のカメラ、１６・・・第２の周端面、１７・・・
第２のカメラ、１８・・・撮像手段、２０・・・第１の
表示器、２１・・・ディスプレイ画面、２２・・・第４
の周端面、２３・・・ブレード、２４・・・スピンドル
、２５・・・軸部、２６・・・モータ、２７・・・支持
腕、２８・・・第３のカメラ、３０・・・第３の周端面
、３１・・・第２の表示器、３２・・・ディスプレイ画
面、３３・・・スクリュー、３４・・・支持ヘッド、３
５・・・Ｙ軸移動駆動源、３６・・・パルス電流出力回
路、３７・・・カウンター回路、３８・・・演算回路、
４０・・・メモリ、４１・・・操作盤、４２・・・切断
ピッチ表示器。出願人　　株　式　会　社　　　デ　ィ　ス　コ代理人
　　弁　　理　　士　　　五十嵐　　　清第１図：Ｉ５第４目第６　呂

Claims

【特許請求の範囲】

（１）Ｘ、Ｙ、Ｚの３軸座標系のＸＹ平面上に該ＸＹ平
面での回転が自在に配置されたワークテーブルと；切れ
刃をＸ方向に沿わせて前記ワークテーブルに対してＹ方
向の相対移動が自在に配置されたブレードと；前記ワー
クテーブルの回転駆動を行う駆動源と；前記ワークテー
ブル上に固定された周端面にのみ厚み方向の切断線が現
れる方形の被加工物に対し該被加工物のＸ軸とＹ軸のい
ずれか一方側の軸に平行な第１の周端面に対向させて第
１のカメラを配置しその第１の周端面の切断線を写して
ディスプレイ画面に画像表示する第１のカメラ撮像手段
と；被加工物を挟んで前記第１のカメラと対向する第２
のカメラを配置し前記第１の周端面と平行な被加工物の
第２の周端面の切断線を写してディスプレイ画面に画像
表示する第２のカメラ撮像手段と；第１のカメラ撮像手
段によって表示されたディスプレイ画面上の切断線と第
２のカメラ撮像手段によって表示されたディスプレイ画
面上の切断線とが第１の周端面と平行な軸上で同一位置
になるまで駆動源にワークテーブルの回転指令を行い被
加工物のＹ方向の切断ライン領域をＹ軸に平行に合わせ
、かつＸ方向の切断ライン領域をブレードのカットライ
ンと平行に合せる回転制御指令部と；被加工物の切断ラ
イン領域をブレードのカットラインに合わせブレードを
被加工物に対して相対的に切断の１ピッチずつＹ方向に
間欠移送するワーク移動手段と；を有し、前記ワークテ
ーブルはブレードに対して相対的にＸ方向の移動が自在
に配設されていることを特徴とする被加工物の位置合わ
せ装置。
（２）ワーク移動手段は、ブレードのカットラインに光
軸を合わせ該ブレードとＹ方向に一体移動可能に配設さ
れた第３のカメラを備え、この第３のカメラによってＹ
軸に平行な被加工物の周端面の切断線を写してディスプ
レイ画面上に表示する第３のカメラ撮像手段と；この第
３のカメラ撮像手段によって得られるディスプレイ画面
上の切断線を観察して前記Ｙ軸に平行な周端面の奥端の
切断線から手前端の切断線までの長さを第３のカメラの
ワークテーブルに対するＹ方向の相対移動量によって求
め、その求めた長さをｎ−１で割ってから（ｎは被加工
物のＹ軸に平行な周端面の切断ライン領域の数）被加工
物の切断ピッチを累積的に補正する切断ピッチ補正手段
と、を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の被加工物の位置合わせ装置。
（３）ブレードと第３のカメラとはワークテーブルを挟
んで対向配置されていることを特徴とする特許請求の範
囲第２項記載の被加工物の位置合わせ装置。