JPH01157507A - 平面インダクタ - Google Patents

平面インダクタ

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JPH01157507A
JPH01157507A JP63062261A JP6226188A JPH01157507A JP H01157507 A JPH01157507 A JP H01157507A JP 63062261 A JP63062261 A JP 63062261A JP 6226188 A JP6226188 A JP 6226188A JP H01157507 A JPH01157507 A JP H01157507A
Authority
JP
Japan
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conductor coils
spiral conductor
coils
planar inductor
ferromagnetic
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Pending
Application number
JP63062261A
Other languages
English (en)
Inventor
Michio Hasegawa
長谷川 迪雄
Masashi Sahashi
政司 佐橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to DE3854177T priority patent/DE3854177T2/de
Priority to EP88309056A priority patent/EP0310396B1/en
Publication of JPH01157507A publication Critical patent/JPH01157507A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、平面インダクタに関する。
(従来の技術) 従来、第5図に示す如く、絶縁層3a、3b、3cを交
互に介在して2層に亘るスパイラル状導体コイルla、
lbの両面を強磁性薄帯2a。
2bで挟んだ構造の平面インダクタか知られている。な
お、同図(A)は、かかる従来の平面インダクタの平面
図であり、同図(B)は、同平面インダクタのA、−A
線に沿う断面図である。ここで、平面図中に実線及び破
線で示すスパイラル状導体コイルla、lbは、同スパ
イラル状導体コイル1、a、lbの断面図における中心
線の軌跡を示している。絶縁層3a、3b、3cは、誘
電体等で形成されている。両スパイラル状導体コイルl
a。
1bは、スルーホール4を介して電気的に接続されてお
り、夫々の端部に設けられた端子5a、5b間にインダ
クタを構成している。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、このような平面インダクタのスパイラル
状導体コイル1a、1bに電流を流すと、第6図に矢印
で示す如く、磁束6 a s 6 bは中心部からスル
ーホール4を境にして互いに逆方向に流れる。その結果
、スパイラル状導体コイルla、lbの中心部付近と最
外側部付近の2箇所で磁束密度の極めて低い空隙部7a
、7bが存在する。このためインダクタンスが低下する
問題がある。この場合、中心部付近の空隙部7aには、
スパイラル状導体コイルlas’lbにより集中的に磁
場が発生しているが、最外側部付近の空隙部7bには磁
場がほとんどないので、インダクタンスの低下は中心部
の場合に比べて遥かに大きい。
また、平面インダクタの構成要素であるスパイラル状導
体コイルla、lbや絶縁層3a、3b、3c及び強磁
性薄帯2a’x2bの接触部を接着させる必要があるが
、例えば絶縁層38%3b%3cを高分子材料で形成し
た場合、高分子材料の軟化点以上の温度で加圧させて各
層間を接着させる方法や、各構成要素の接触部を適当な
接着剤で接着させる方法等が採られている。
しかしながら、強磁性薄帯2a、2bの磁歪が大きいと
隣接する絶縁層3a、3b、3cとの接着過程で強磁性
薄帯2a、2bの表面に圧縮応力等の応力が加わり、こ
の応力と磁歪との相互作用により磁気特性が劣化して実
効透磁率が低下する。
また、完成した平面インダクタを使用する際に強磁性薄
帯2a、2bに歪みが生じると、同様に実効透磁率が変
化しL値が変動することが考えられる。これらの現象は
、実効透磁率が大きい程顕著に現われる。
また、この平面インダクタにおける磁気回路では、一般
に強磁性薄帯2a、2bの厚さが厚い方が磁気抵抗は小
さくなりインダクタンスは増加するが、全体の厚さをで
きるだけ薄くしようとする平面インダクタの目的とは相
反することになる。
本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、構成
要素の接着に伴うインダクタンスの低下を防止し、かつ
単位体積当りのインダクタンス値の向上を図った平面イ
ンダクタを提供するものである。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は、スパイラル状導体コイルの両面を絶縁層を介
して強磁性体層で挟んでなる平面インダクタにおいて、
スパイラル状導体コイルを同一平面上に近接した2個の
同形状のスパイラル状導体コイルで形成すると共に、2
個の該スパイラル状導体コイルを互いに逆方向の電流が
流れるように電気的に接続し、かつ、2個の該スパイラ
ル状導体コイルの占める面積よりも大きな2枚の強磁性
体層によって該スパイラル状導体コイルを上下両面より
絶縁層を介して挟持させたことを特徴とする平面インダ
クタである。
また、強磁性体層の磁歪の絶対値は、1×10−6以下
に設定するのか好ましい。また、強磁性体層の平均厚さ
は4〜20pとすることが好ましい。
なお、強磁性体層としては、最近注目されている薄帯状
、薄膜状の高透磁率非晶質合金を用いるのが好ましい。
このうちでも、以下の組成のものを用いるのが好ましい
。すなわち、一般式%式%) (ただし、M ; T L % V s Cr 1Cu
 −、Z r %Ni、NbSMo、Hf、Ta、W、
白金族から選ばれる少なくとも1種、 0.01≦a≦0.10、0≦X≦0.08.0.3≦
b≦0.7、15≦y≦35)にて表わされるものであ
る。
上記式において、Feは磁歪を0に調整するための元素
である。Mは透磁率の熱安定性を改善するための元素で
あるが、bの値を0.3〜0.7に設定することにより
、熱安定性は改善されるので、Xは0であってもよい。
Xを0≦X≦0.08としたのは、Xが0.08を超え
るとキュリー温度が低くなりすぎて実用的でなくなるた
めである。Si及びBは非晶質化に必須の元素であるが
、yを15≦y≦35としたのは、yが15未満では熱
安定性が良好でなくなり、yが35を超えるとキュリー
温度か低下して実用的でなくなるためである、SlとB
の配合比すを0.3≦b≦0.7としたのは、この範囲
で特に磁気特性の熱安定性か良好となるからである。
(作用) 本発明にかかる平面インダクタによれば、2個のスパイ
ラル状導体コイルを互いに逆方向の電流か流れるように
電気的に接続し、かつ、2個のスパイラル状導体コイル
の占める面積よりも大きな2枚の強磁性体層によってこ
れらのスパイラル状導体コイルを」−千両面より絶縁層
を介して挟持させたことにより、磁束の通路をスパイラ
ル状導体コイルの中心部の空隙部にのみ存在させて、単
位体積当りのインダクタンスを高めると共に平面インダ
クタ全体のインダクタンスの低下を防止することかでき
る。
また、強磁性体層の磁歪の絶対値をIXl、O−6以下
に設定することにより、平面インダクタの各構成要素の
接着時に生しる応力等によるインダクタンスの低下を防
止できる。
また、強磁性体層の平均厚さを4〜201mとすること
により、単位体積当りのインダクタンス値L/Vの低下
を防止できる。すなわち、強磁性体層の厚さが4pR未
満であると、スパイラル状導体コイルに電流か流れるこ
とによって生じる磁束がすべて通るのに必要な断面積か
得られないために漏れ磁束か多くなり、インダクタンス
は著しく低下し、単位体積当りのインダクタンス値L/
Vは低下する。一方、強磁性体層の厚さが20pを超え
ると磁気回路における強磁性体層の断面積はスパイラル
状導体コイルに電流か流れることによって生じる磁束の
すべてを通すには充分大きくなり、磁気抵抗は減り、漏
れ磁束は少なくなってインダクタンスは大きくなるか、
平面インダクタンスの体積も増加するので、L/Vはか
えって低下する。
(実施例) 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図(A)は、本発明の一実施例の平面インダクタの
平面図、第1図(B)は同実施例の平面インダクタのA
−A線に沿う断面図である。なお、第5図に示した従来
のものと同一部分については、同符号を付している。こ
の平面インダクタは、絶縁層38 % 3 b 13 
cを交互に介在して2層に亘る2個の同形状のスパイラ
ル状導体コイルla。
1b、]、 a−1lb−を同一平面」二に近接して設
けている。夫々のスパイラル状導体コイルla。
1b、1a−11b−の表裏両面側には、これらのスパ
イラル状導体コイ/lzl a、]、]b、1a−11
bの占める面積よりも大きな面積を有する強磁性薄帯2
a、2bか絶縁層3a、3cを介して貼着されている。
これらのスパイラル状導体コイルla、lb、1a−1
lb−は、隣接するもの相互間で逆方向の電流か流れる
ように電気的に接続されている。
ここで、スパイラル状導体コイルla、]、b。
1a−11b−は、例えば厚さ20pの銅箔にエツチン
グを施して幅1. mm sコイル間隔1mm、コイル
巻数10回の2層に亘るコイルが使用されている。
絶縁層3a、3b、3cは、例えは厚さ20pのポリカ
ーボネートシー1・が使用されている。
強磁性薄帯2a、2bは、例えば単ロール法により作製
した厚さ約16p、幅25mmのCo系非晶質合金リボ
ン(l k Hにおける実効透磁率が約1.2 X 1
0’ 、磁歪Oかこれに近いもの)がら切出して作製し
た25mm X 55mmのシー)・で構成されている
また、スパイラル状導体コイルla、lb、1a−1]
、 b−等の各構成要素の組立ては、例えば】70°C
,’3J/crn2の条件下でこれらの構成要素を約1
0分間保持することにより行う。
このように構成された平面インダクタ(実施例1)の磁
束6の流れは、第2図に矢印で示す通りである。また、
この平面インダクタの周波数特性を調べたところ第3図
に特性線■にて示す結果を得た。
これと比較するために実施例1のものと同様のスパイラ
ル状導体コイル、絶縁層及び強磁性薄帯からなる平面イ
ンダクタの2個を、単に直列に電気的に接続したもの(
比較例1)を作り、同様に周波数特性を調べたところ第
3図に特性線Hにて併記した結果を得た。なお、比較例
1の平面インダクタでは、強磁性薄帯は、25MX25
Mの大きさのものを使用した。
第3図の結果から明らかなように実施例の平面インダク
タでは、比較例1のように2個の平面インダクタを単に
直列に接続したものに比べて、周波数帯の全域に亘って
インダクタンス値が大きく単位体積当りのインダクタン
ス値が改善されて極めて効率のよいものであることが分
った。
また、比較例1の平面インダクタで強磁性薄帯を磁歪が
約8×lO″6のFe系非晶質合金で形成した以外は比
較例1と同様の構成を有する比較例2の平面インダクタ
を作製した。この比較例2の平面インダクタを僅かに曲
げるとそのインダクタンスは約半分に低下した。これに
対して実施例の平面インダクタでは、僅かに曲げてもそ
のインダクタンスはほとんど変化しなかった。このこと
から実施例の平面インダクタでは、各構成要素の接着時
の応力や取扱い時の曲げ歪み等によってもインダクタン
スの値はほとんど変化せず安定したものであることが分
った。
次に、実施例の平面インダクタについて、強磁性薄帯の
厚さの影響を調べた。ここで、スパイラル状導体コイル
la、lb、1a−1lb−は厚さ35.cmの銅箔に
エツチングを施したものからなり、幅0.251117
1+、線間隔0.25mm5コイル巻数40回、外寸法
201nIR×20Mの形状をなし、厚さ25pのポリ
イミドフィルムからなる絶縁層3bを介して2層に亘っ
て形成され、中央のスルーホールを通して接続されてい
る。絶縁層3a、3cとしては厚さ127aのポリイミ
ドフィルムが使用されている。
強磁性薄帯2 a s 2 bとしては単ロール法によ
り作製され、 (Co O,asFe o、 o6Ni o、 oaN
b 0.02) 7.si lOB+5なる組成を有し
、5〜25pの範囲で平均厚さが異なる4種のCo系非
晶質合金リボンから、外寸法が25mm X 55mm
となるように切出されたものが使用されている。このC
o系非晶質合金の実効透磁率は、2 X 10’  (
1k Hz ) 、I X 104(100kHz)で
ある。
これらの平面インダクタについて、インダクタンス(L
)の強磁性薄帯2 a s 2 b厚さに対する依存性
、及び単位体積当りのインダクタンス値(L/V)の強
磁性薄帯2a、2’b厚さに対する依存性を第4図に示
す。
第4図から、Lは強磁性薄帯2a、2bの平均厚さが増
すにつれて増加する傾向にあるが、L/Vは強磁性薄帯
2a、2bの平均厚さがlO〜1511IRの付近で最
大値をとることが分る。第4図の結果から、強磁性薄帯
2a、2bの厚さは4〜20pの範囲であるが望ましく
、特に10〜15pの範囲がより望ましいことが分る。
[発明の効果] 以上詳述した如く、本発明に係る平面インダクタによれ
ば、構成要素の接着に伴うインダクタンスの低下を防止
し、かつ単位体積当りのインダクタンス値を向上させる
ことができるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(A)は本発明の一実施例の平面インダクタの平
面図、第1図(B)は同実施例の平面インダクタのA−
A線に沿う断面図、第2図は同実施例の平面インダクタ
の磁束の流れを示す説明図、第3図は本発明の実施例及
び比較例1の平面インダクタのインダクタンスと周波数
との関係を示す特性図、第4図は同実施例の平面インダ
クタのインダクタンスと強磁性薄帯の平均厚さとの関係
、及び単位体積当りのインダクタンス(L/V)と強磁
性薄帯の平均厚さとの関係を示す特性図、第5図(A)
は従来の平面インダクタの平面図、第5図(B)は同従
来の平面インダクタのA−A線に沿う断面図、第6図は
同従来の平面インダクタの磁束の流れを示す説明図であ
る。 1asla−1lb、1b−−−−スパイラル状導体コ
イル、2a、2b・・・強磁性薄帯、3 a %3b、
3c・・・絶縁層、4・・・スルーホール、5 a −
。 5a−15b、5b″・・・端子。 出願人代理人  弁理士 鈴江武彦

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)スパイラル状導体コイルの両面を絶縁層を介して
    強磁性体層で挟んでなる平面インダクタにおいて、スパ
    イラル状導体コイルを同一平面上に近接した2個の同形
    状のスパイラル状導体コイルで形成すると共に、2個の
    該スパイラル状導体コイルを、互いに逆方向の電流が流
    れるように電気的に接続し、かつ、2個の該スパイラル
    状導体コイルの占める面積よりも大きな2枚の強磁性体
    層によって該スパイラル状導体コイルを上下両面より絶
    縁層を介して挟持させたことを特徴とする平面インダク
    タ。
  2. (2)強磁性体層の磁歪の絶対値が、1×10^−^6
    以下であることを特徴とする請求項(1)記載の平面イ
    ンダクタ。
  3. (3)強磁性体層の平均厚さが4〜20μmであること
    を特徴とする請求項(1)記載の平面インダクタ。
JP63062261A 1987-09-29 1988-03-16 平面インダクタ Pending JPH01157507A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0689810A (ja) * 1991-08-27 1994-03-29 Amorphous Denshi Device Kenkyusho:Kk 磁性薄膜トランス
US6593841B1 (en) 1990-05-31 2003-07-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Planar magnetic element
DE102010035388A1 (de) 2009-08-31 2011-07-07 Murata Manufacturing Co. Ltd., Kyoto Induktor und DC-DC Konverter
JP6010633B2 (ja) * 2012-12-19 2016-10-19 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
WO2023176780A1 (ja) * 2022-03-16 2023-09-21 株式会社村田製作所 電子部品

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6593841B1 (en) 1990-05-31 2003-07-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Planar magnetic element
JPH0689810A (ja) * 1991-08-27 1994-03-29 Amorphous Denshi Device Kenkyusho:Kk 磁性薄膜トランス
DE102010035388A1 (de) 2009-08-31 2011-07-07 Murata Manufacturing Co. Ltd., Kyoto Induktor und DC-DC Konverter
US8284010B2 (en) 2009-08-31 2012-10-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Inductor and DC-DC converter
JP6010633B2 (ja) * 2012-12-19 2016-10-19 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
US9536828B2 (en) 2012-12-19 2017-01-03 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device
JPWO2014097425A1 (ja) * 2012-12-19 2017-01-12 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
WO2023176780A1 (ja) * 2022-03-16 2023-09-21 株式会社村田製作所 電子部品

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