JPH01142882U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01142882U JPH01142882U JP4092188U JP4092188U JPH01142882U JP H01142882 U JPH01142882 U JP H01142882U JP 4092188 U JP4092188 U JP 4092188U JP 4092188 U JP4092188 U JP 4092188U JP H01142882 U JPH01142882 U JP H01142882U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic substrate
- pad
- relay electrode
- wiring pattern
- pads
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第1図は本考案に係る高密度マイクロパツドの
全体平面図、第2図は第1図のA指示部の拡大平
面図、第3図は第2図のB―B仮想線における断
面図であり、第4図は一般的な電子ビーム検査装
置の全体構成図、第5図は従来のマイクロパツド
の平面図である。 25……セラミツク基板、26……パツド、2
7……配線パターン、28……中継電極である。
全体平面図、第2図は第1図のA指示部の拡大平
面図、第3図は第2図のB―B仮想線における断
面図であり、第4図は一般的な電子ビーム検査装
置の全体構成図、第5図は従来のマイクロパツド
の平面図である。 25……セラミツク基板、26……パツド、2
7……配線パターン、28……中継電極である。
Claims (1)
- セラミツク基板25の表面にマトリツクス状に
配設された導体からなる複数のパツド26と、該
セラミツク基板25内部に層状に形成された信号
引出し用の複数の配線パターン27と、該セラミ
ツク基板25の厚み方向に形成された該パツド2
6と該配線パターン27とを各々接続する中継電
極28とを備えた高密度マイクロパツド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4092188U JPH0725725Y2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 高密度マイクロパッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4092188U JPH0725725Y2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 高密度マイクロパッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01142882U true JPH01142882U (ja) | 1989-09-29 |
JPH0725725Y2 JPH0725725Y2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=31267377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4092188U Expired - Lifetime JPH0725725Y2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 高密度マイクロパッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0725725Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6471944B1 (en) * | 1997-08-07 | 2002-10-29 | Taisho Pharmaceutical Co., Ltd. | Aerosol powder with improved skin adhesion |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP4092188U patent/JPH0725725Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0725725Y2 (ja) | 1995-06-07 |