JPH01142756A - 現像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、電子複写機などにおける画像形成装置に装備
される現像装置の改良に関するものであり、さらに詳し
くは、非磁性一成分系現像剤を用いて長時間運転しても
、安定して高品位の画像を取得することができ、しかも
駆動トルクを軽減した現像装置に関するものである。

〈従来の技術） 一般に、電子複写装置などの画像形成装置における現像
装置には、像担持体である感光体上に形成された静電潜
像を可視化するための現像処理手段として、例えば二成
分系あるいは磁性−成分系現像剤を用いるものが知られ
ている。

しかしながら、上記した二成分系現像剤を用いた現像処
理手段では、現像剤であるトナーとキャリアとの濃度比
を正確にコントロールする必要があり、一方磁性一成分
系現像剤を用いる現像処理手段では、トナーが暗色系の
磁性体を含んでいるため、カラー化が困難であるなどの
不都合を有するばかりか、いずれの現［１理手段におい
ても、現像剤保持体である現像ローラとしてマグネット
ローラを必要とするため、コスト的に非常に高価なもの
となっていた。

そこで、上記のような不具合を解消するものとして、最
近非磁性の一成分現像剤を用いた現像処理手段が提案さ
れている。

このような非磁性一成分系現像剤を用いた現像装置に４
３いては、トナーを収納したホッパーにミキナーおよび
トナー供給ローラを配設し、これらの回転作用によりト
ナー保持体である現像ローラにトナーを供給すると共に
、この現像ローラの外周にｉ’Ｊ［化規制部材としての
弾性ブレードを当接させて、前記現像ローラ上に厚さ約
３０μｍ程度のトナー薄膜層を形成する。

そして、このトナー薄膜層を像担持体である感光体に近
接対面させることにより、前記感光体上の静電潜像を現
像するようになっている。

ところで、上述した従来の非磁性−成分現像剤を用いた
現像装置においては、前記感光体として負極性のものを
用いているため、コーテイング後の帯電量が約＋１２μ
Ｃ／ｇ程度となるような正帯電性のトナーが用いられて
いる。

このような視像方式は、基本的に高抵抗の一成分系トナ
ーを用いるものであり、トナーの帯電は現像ローラと弾
性ブレードとの摩擦帯電によってなされる。

また、トナーは、トナーと現像ローラとの回転に連れて
搬送されるため、二成分系現像剤や磁性−成分系現像剤
のように、磁気による搬送を必要としない。

したがって、従来の非磁性−成分現像剤を用いた現像装
置によれば、きわめて簡単な構造で高品位の画像を実現
でき、コスト面でも有利で、カラー化にも最適であると
されていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述した従来の非磁性一成分系現像剤を
用いた現像装置においては、長時間運転しＣいる内に、
トナー保持体としての現像ローラおよびＩ１ｇ化規制部
材としての弾性ブレードが、トナーとの摩擦により摩耗
し、画＠濃度の低下や文字のかすれが顕著になるという
問題があった。

また、弾性ブレードとして金属製またはゴム製のものを
使用しているため、トナーとのＩ’ｌｌが大きく、現像
装置の駆動トルクが増大するという問題があった。

本発明は、上述した従来の現像装置における問題点を解
決するために検討した結果、達成されたものである。

したがって、本発明の目的は、非磁性一成分系現像剤を
用いて長時間運転しても、安定して高品位の画像を取１
りすることができ、しかも駆動トルクを軽減した現像装
置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち、本発明の現像装置は、静電潜像を現像するた
めに搬送される非磁性一成分系トナーを保持するトナー
保持体と、このトナー保持体に前記トナーを供給する手
段と、前記トナー保持体上のトナーを薄層化する薄層化
規制部材とを具備する現像装置において、前記トナー保
持体の少なくとも表面に、Ｔｉおよび／またはＷ原子を
含有するセラミクスをコーティングしたことを特徴とす
る。

（作用） 本発明の現像装置は、トナー保持体の表面に、Ｔｉおよ
び／またはＷ原子を含有するセラミクスをコーティング
したため、複写画像の長時間安定性および装置の駆動効
串がすぐれている。

すなわち、前記はラミクスは硬度が高く、しかも耐摩耗
性にすぐれているため、トナー保持体の摩擦による摩耗
が減少し、現像装置を長時間運転しても、安定して良好
な画像を得ることができる。

また、前記セラミクスは摩擦係数が小さいため、トナー
保持体と薄層化規制部材との間の摩擦が減少し、現也装
置の駆動トルクを軽減することができる。

したがって、本発明の現８ｉ装置によれば、画像濃度の
低下や文字のかすれなどを発生することがなく、常に鮮
明な画像を得ることができる。

（実施例） 以下に、図面を参照しつつ、本発明の現像装置の実施例
について、詳細に説明する。

第１図は本発明の現像装置を搭載した電子複写改の概略
断面説明図、第２図は本発明の現像装置を示す概略断面
説明図、第３図は同部分正面説明図、第４図は本発明の
現像装置におけるトナー保持体と薄層化規制部材の当接
状態を示す概略断面説明図、第５図は／１層化規制部材
に対するセラミクスのプラズマＣＶＤコーティング装置
を示す概略断面説明図、第６図はトナー保持体に対する
セラミクスのプラズマＣＶＤコーティング装置を示す概
略側断面説明図、第７図は同概略平断面説明図、第８図
は薄層化規制部材に対するセラミクスのスパッタリング
コーティング装置を示す概略断面説明図である。

第１図において、複写機本体１内の略中火には、像担持
体としての感光体２が矢印方向に回転自在に設けられて
いる。

この感光体２の周囲には、その回転方向にしたがって、
帯電装置３、結像レンズ４、現像装置５、転写装置６、
クリーナー７および除電装置８が順次配設されている。

また、本体１の上部側には、ｗ、ｍを露光する光学系９
が設けられており、前記本体１の下部側には給紙カセッ
ト１０が装着されている。

この給紙カセット１０から用紙が供給され、供給された
用紙は搬送路１１に沿って搬送されるように構成されて
いる。

搬送路１１には用紙の搬送方向に沿ってレジストローラ
１２、定着装置１３および排紙ローラ１４が配設されて
いる。

なお、図中の１５は排紙トレイ、１６は原稿台である。

上述した構成からなる複写機を用いて画像を形成するに
際しては、光学系９により原石台１６上の原稿に光が照
射され、その反射光が結像レンズ４を介して感光体２に
結像されることにより、前記感光体２の表面に静電潜像
が形成される。

そして、この静電潜像に対し、現像装置５から非磁性一
成分系現像剤（以下単にトナーと略称する）が供給され
て可視像化される。

一方、給紙カセット１０から用紙が供給されて、感光体
２と転写装置６との間に送られ、前記感光体２上の可？
５２１１１が用紙に転写される。

転写された用紙は搬送路１１に沿って定着装置１３へ搬
送され、定着された後、排紙ローラ１４を介して排紙ト
レイ１５へと排紙されるようになっている。

次に、本発明の現像装置について第２〜４図にしたがっ
て詳述する。

第２図および第３図において、本発明の現像装置５はホ
ッパー状の現像ユニット５１を具備し、この現像ユニッ
ト５１内には非磁性一成分系現像剤（トナー）５２が収
納されている。

そして、現像ユニット５１内には、トナー保持体として
の現像ローラ５５にトナー５２を供給する供給ローラ５
４が、現像ローラ５５に接して設けられてｄ３す、前記
現像ローラ５５の回転方向と逆方向に回転するように構
成されている。

さらに、現像ユニット５１内には、収納されているトナ
ー５２をｉ！２拝するミキサー（攪拌羽根）５３が回転
可能に設けられている。

前記現像ローラ５５には、その周面に現像剤の薄層を形
成する薄層化規制部材としての弾性ブレード５７が、た
とえば約２０〜５００　Ｑ／ｃｍＰｉ！度の圧力で圧接
されている。

この弾性ブレード５７の上端部はホルダー５６によって
導通状態に保持されている。

また、前記現像ローラ５５の下部には、この現像ローラ
５５の表面に残存しているトナー５２を回収するための
回収ブレード５８が接触されている。

なお、前記現像ローラ５５は感光体２に対向し、図示し
ない駆動手段により、前記感光体２の周速の１〜３倍の
周速で変速回転可能となっており、静電潜像が形成され
た感光体２と前記現像ロー５５５との間には、直流バイ
アス、交流バイアスまたは直流と交流とを重畳したバイ
アスが印加されている。

次に、この現像装置５の動作について説明する。

現像ユニット５１内に収納されているトナー５２は、ミ
キサー５３および供給ロー５５４の回転により攪拌され
ると共に、供給ロー５５４により搬送されて、現像ロー
ラ５５に擦り付けられ、さらに弾性ブレード５７により
圧接されて、その層厚が制御されつつ、摩擦帯電される
。

そして、十分に帯電されたトナー５２は、感光体２に対
面する位置に搬送され、この感光体２に形成された静電
海象に対面して、これを可視像化する。

また、現像ローラ５５の表面に残存したトナー５２は、
回収ブレード５８により現像ユニット５１内へと戻され
る。

そして、通常現像ローラ５５は金属表面からなり、また
弾性ブレード５７は金属またはゴムの薄膜から構成され
ているが、本発明においては、これら現像ローラ５５お
よび／または弾性ブレード５７の表面に、Ｔｉおよび／
またはＷ原子を含むセラミクスがコーティングされてい
ることを特徴としている。

すなわち、第４図に示したように、本発明の現像装置に
おいて、現像ローラ５５の表面にはセラミクス層５５Ａ
が均一な厚みでコーティングされており、また弾性ブレ
ード５７の表面にもセラミクス１ｆｆ１５７Ａおよび５
７Ｂが均一な厚みでコーティングされている。

セラミクスとは、耐熱はうろうの１種であり、通常は酸
化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化クロムおよび粘土な
どを主成分とするものであるが、本発明で用いるＴｉお
よび／またはＷ原子を含むセラミクスは、とくに硬度が
高く、しかも耐摩耗性にすぐれているため、これらをコ
ーティングすることにより、現像ローラ５５および弾性
ブ、レード５７の摩擦による摩耗を効果的に減少させる
ことができる。

本発明でコーティングに用いるセラミクスは、Ｔｉおよ
び／またはＷ原子の含有を必須とするが、その他の構成
成分としては、Ｎ、Ｃ，Ｏ，Ｈおよびハロゲン原子など
が挙げられ、なかでもＨまたはハロゲン原子が１〜４０
　ａｔｏｍｉｃ％含有されていることが望ましい。

本発明においては、Ｔｉおよび／またはＷ原子を含むセ
ラミクスを、現像ローラ５５および弾性ブレード５７の
いずれか一方の表面にコーティングすることにより、目
的とする効果が得られるが、現像ローラ５５および弾性
ブレード５７の両者の表面にコーティングすることによ
り、さらに望ましい効果を取ｉｎすることができる。

また、Ｔｉおよび／またはＷ原子を含むセラミクスを、
現像ローラ５５および弾性ブレード５７のいずれか一方
の表面にコーティングした場合には、残る他方の表面に
Ｔｉおよび／またはＷ原子を含まない通常のセラミクス
をコーティングすることができるが、この場合に他方の
セラミクスとして、なかでもとくにＳｉ、Ｇｅ、ΔΩ、
ＢおよびＣから選ばれた少なくとも１種の原子を含有す
るセラミクスを使用することにより、たとえば帯電しに
くいトナーを十分に帯電させ、画像品位をさらに向上さ
せるなどの効果を期待することができる。

なお、弾性ブレード５７の表面にセラミクスをコーティ
ングする場合には、その表裏両面にセラミクスをコーテ
ィングすることが望ましく、片面のみのコーティングで
は、弾性ブレードにゆがみを生じ、寸法および形状安定
性が低下することがあるため好ましくない。

以下に、現像ローラおよび／または弾性ブレードに対す
るセラミクスのコーティング方法について説明する。

本発明の方法においては、現像ローラおよび／または弾
性ブレードに対し、Ｔｉおよび／またはＷ原子を母体と
するセラミクスをコーティングするが、−膜内なせラミ
クスのコーティング方法としては、スパッタリング、イ
オンブレーティング、真空蒸着、プラズマＣＶＤ５ＥＣ
ＲプラズマＣ■Ｄ１熱ＣＶＤおよび光ＣＶＤなどの方法
が挙げられる。

これらの方法のなかでも、膜のＷ；者性が良いこと、比
較的低温で処理でき、基板の特性が損われないことおよ
び膜の電気的特性や光学的特性が容易にコンｌ−ロール
できることなどの点から、本発明にとってはプラズマＣ
ＶＤおよびスパッタリングによる方法がＲ適である。

第５図は、現像スリーブに対するプラズマＣＶＤコーテ
ィング装置の概略断面説明図であり、詳しくは平行平板
型の容量結合型プラズマＣＶＤ装置の概略図を示す。

第５図において、真空チャンバー１０１内には、甲板状
接地電極１０２と高周波電極１０３が対向して設置され
、たとえば金属製弾性ブレードなどの基板１０４は前記
平板状接地電極１０２上に置かれる。

そして、図示しない真空ポンプによりチャンバー１０１
内を１０’　Ｔｏｒｒ　Ｐｉ！度に排気した後、平板状
接地電極１０２に取付けたヒーター１０５により、基板
１０４を１５０〜４５０℃程度に加熱する。

次いで、ガス導入口１０６より５ＩＨ４、Ｎ２、ＣＩ−
１３などの原料ガスをチャンバー１０１内に供給しツツ
、０．０５Ｔｏｒｒ　〜１．０Ｔｏｒｒの真空度に保つ
ようにして排気しながら、高周波電極１０３にマツチン
グボックス１０７を介して高周波電源１０８からの電力
を投入する。

すると、電極間にてグロー放電が起こり、原料ガスがプ
ラズマ化してセラミクスの薄膜が基板１０４上に形成さ
れる。

次に、現像ローラに対するセラミクスのプラズマＣＶＤ
コーティング方法について、第６図および第７図にした
がって説明する。

第６図は現像ローラに対するセラミクスのプラズマＣＶ
Ｄコーティング装置の概略側断面説明図、第７図は同概
略平断面説明図である。

第６図および第７図において、角筒状の平断面を有する
反応室２０１は、メカニカルブースターポンプおよび油
回転ポンプ（図示せず）などにより排気口２０２を介し
て排気され、約１Ｏ−３ＴＯｒｒの真空度に保持される
ようになっている。

また、反応室２０１内には、ガス導入口２０５を介して
種々の原料ガスが導入されるように構成されている。

反応室２０１の上方には、絶縁体２０６を介して収納室
２０７が設置されており、この収納室２０７は前記絶縁
体２０６により前記反応￥２０１と電気的に絶縁されて
いる。

また、収納室２０７は、反応室２０１と仕切板２０８に
より仕切られている。

仕切板２０８には、複数個の支持ロッド２０９が、その
長手方向を垂直として挿通されている。

各支持ロッド２０９には、カラー２１０が嵌合固定され
ており、前記カラー２１０が仕切り板２０８に係止され
ることにより、前記各支持ロッド２０９が汰は落ちない
ようになっている。

各支持ロッド２０９の上端部には、駆動手段としてのギ
ア２１２が嵌合されており、その下方において前記各支
持ロッド２０９に嵌合固定された押え２１１により、前
記ギア２１２が各支持ロッド２０９に支持されている。

各ギア２１２は、隣接するもの同士が相互に噛合してお
り、駆動装置２１４により中央のギアが回転駆動される
と、全てのギア２１２が回転し、各支持ロッド２０９が
回転するようになっている。

各支持ロッド２０９の下端部には、雌ネジ（図示Ｕず）
が形成されており、コーティングに供りる支持体（現像
ローラ）２１３の上端部には雄ネジ（図示せず）が形成
されている。

したがって、これらのネジを螺合することにより、前記
支持体２１３が各支持ロッド２０９に取ｆ」りられる。

また、駆動装置２１４が収納室２０７の上方に設けられ
ており、この駆動装置２１４の駆動によりギア２１２が
回転すると、支持体２１３はその軸を中心として回転す
る。

第７図に示したように、支持体２１３は反応室２０１内
の実質的中央に一列に配列するように配設されている。

そして、この支持体２１３の列を挟むようにしてその両
側に、一対の平板状電極２１５および２１６が対設され
ている。

この平板状電極２１５および２１６には多数の孔が開設
されているため、ガス導入口２０５を介して反応室２０
１内に導入された原料ガスは、この孔を介して反応’Ｊ
２０１の中心部へと供給される。

また、平板状電極２１５および２１６は、反応室２０１
と同一の電位となるように、反応室２０１に取付けられ
ており、マツチングボックス２１７を介して昌周波電源
２１８に接続されている。

上ノホの（１°４成からなるプラズマＣＶＤコーティン
グ装置を運転する場合には、まず反応室２０１内に複数
個の支持体２１３を取付けた後、駆動装置２１４により
前記支持体２１３を適宜の速度で回転さけると共に、前
記反応室２０１内を約１０−３丁ｏｒｒ程度に排気する
。

このようにして排気を継続しつつ、ガス導入口２０５を
介して原料ガスを導入し、反応室２０１内をたとえば０
．１　Ｔｏｒｒ　〜１．０Ｔｏｒｒの圧力に調節すると
、前記支持体２１３は収納１２０７を介して接地されて
いるから、平板状電極２１５および２１６と前記支持体
２１３との間にプラズマが生起され、原料ガス中の主な
構成元素を含有する組成の薄膜が前記支持体２１３上に
形成される。

この場合に、支持体２１３は回転しているので、薄膜は
前記支持体２１３の周面に均一に形成されることになる
。

上述のプラズマＣＶＤコーティング装置を用いてＴｉＮ
またはＴｉＣをコーティングするためには、原料ガスと
してＴｉＣΩ４　、Ｎ２　、Ｎ＋−１３、ＣＨ４、Ｃ２
ＨＢ、およびＣ２ト（２などを用いることができる。

この場合に、ＴｉＣΩ４は蒸気圧があまり高くないので
、ＴｉＣΩ４が入った容器内にト１２を吹き込んで、強
制的に容器から追い出すことがのぞましい。

したがって、チ１１ンバー内にはＴ　ｉ　ＣＤ　４およ
びＮ２などのガスの他にＨ２も導入される。

本発明の目的とする組成をプラズマコーティングするた
めに使用する原料ガス、圧力および電力の代表的な条件
を下記する。

１、ＴｉＮ 原料ガス ＴｉＣΩ４　５０ＳＣＣＭ Ｎ２　　　２００　　ｖ Ｈ２１０００〃 圧力　　　　１．○Ｔ　ｏｒｒ 電力　　　　４００Ｗ ２、ＴｉＣ 原料ガス ＴｉＣΩ４５０ＳＣＣＭ Ｃト（４１００〃 Ｈ２１０００” 圧力　　　　１．０Ｔｏｒｒ 電力　　　　４００Ｗ ３、ＴｉＣＮ 原料ガス ＴｉＣΩ４　５０ＳＣＣＭ ＣＨ４５０ｌ！ Ｎ２　　　　　１００　　　Ｉ＋ Ｈ２１０００ＩＩ 正圧力　　　１．０Ｔｏｒｒ 電力　　　　４００Ｗ ４、ＷＣ 原料ガス ＷＦ６　　　５０８ＣＣＭ ＣトＬ　　　　　　　　　１００　　　　　〃１１２　
１０００　！！ 圧力　　　　１゜０ＴＯｒｒ 電力　　　　４００Ｗ また、第８図は弾性スリーブに対するセラミクスのスパ
ッタリングコーティング装置を示す概略断面説明図であ
る。

第８図に示した装置は、原料が固体であり、しかも通常
ターゲット１１つと呼ばれる部位に高周波または直流電
圧を印加する点以外は、上述の第５図に示したプラズマ
ＣＶＤ装置とほとんど類似している。

このスパッタリングコーティング装置においては、ガス
導入口１０６からＡｒガスまたは場合によってはこれに
原料ガスを混合したものを導入するが、それらのガスが
プラズマ化し、Ａｒイオンがターゲットとなる金属を原
子状あるいは分子状にしてたたき出した侵、反応ガスの
プラズマ中で反応しながら、様々な組成のセラミクスを
形成し、阜根１０４に薄層として付着する。

本発明の目的とする組成をスパッタリングコーティング
するために使用するターゲット、原料ガス、圧力および
′心力の代表的な条件を下記する。

１、ＴｉＮ ターゲット　　Ｔｉ 口λ石ガス 八ｒ　　　　　１０３１０３ ＣＣ５０〃 圧力　　１　、　Ｑｘ　１０’　Ｔｏｒｒ電力　　　　
８００　Ｗ ２、ＴｉＣ ターゲット　　Ｔｉ 原料ガス 八ｒ　　　　　　　　ＩＯ３ＣＣＭ Ｃト１４　　　　　　　　　５０　　　　〃圧力　　１
　、　Ｏｘ　１０−３　Ｔｏｒｒ電力　　　　８００Ｗ 以下に、本発明の現像装置を用いる場合の効果を具体的
に示す試験例および比較例について説明する。

（試験例） ＳＵＳ３０４１の弾性ブレードの表裏両面に、第５図に
示したプラズマＣＶＤコーティング装置によりＴｉ原子
を含有するセラミクスを厚み０゜１〜２０μｍでコーテ
ィングした。

また、アルミニウム製のローラの表面をサンドブラスト
により表面粗さが３．０μｍＲｚとなるように研磨した
現像ローラの表面に、第６図および第７図に示したプラ
ズマＣＶＤコーティング装置によりＴｉ原子を含有する
セラミクスを厚み０゜１〜２０μｍでコーティングした
。

上記の弾性スリーブおよび現像ローラをセットした現像
装置のホッパー内に、磁性粉１０重情況を含有する非磁
性一成分系トナーを収納し、これに２０ｋ（］の線荷重
をかけた状態とし、この現像装置を第１図に示した構造
の複写改に搭載して、用紙１０万枚の画像形成を行なっ
たところ、前記弾性スリーブおよび現像ローラのセラミ
クスコーティング層は、いずれも表面粗さに変化を生じ
ておらず、１０万枚の画像形成後にも継続して良好な画
像を得ることができた。

また、画像形成中の現像装置における駆動トルクを測定
したところ、１．８ｋｇ−ｃｍであった。

（比較例） 上述した試験例において、セラミクスをコーティングし
ない５ＵＳ３０４製の弾性ブレードおよびアルミニウム
製のローラの表面に無電解Ｎ１メツキを施した現像ロー
ラを用いて、上記試験例と同一の条件で用紙１０万枚の
画像形成を行なったところ、前記弾性スリーブは前記現
像ローラとの接触部分が２．０μｍｌ！Ｊ耗し、また前
記現像ローラは初期の表面粗さ３．０μｍＲＺであった
ものが、０．６μｍＲＺまで低下したため、前記現像ロ
ーラ上のトナー搬送Ｅが減少し、ＬＪ、後の画像形成に
おいて、十分な画像濃度を得ることができなかった。

また、画像形成中の現像装置における駆動トルクを測定
したところ、２．５ｋｏ−ｃｍと高く、上述した試験例
に比較して駆動装置に対する負担が大きかった。

［発明の効果］ 以上詳細に説明したとおり、本発明の現像装置は、トナ
ー保持体の少なくとも表面に、Ｔｉおよび／またはＷ原
子を含４：ｉするセラミクスをコーティングしたため、
複写画像の長時間安定性および装置の駆動効率がすぐれ
ている。

すなわち、前記セラミクスは硬度が高く、しかも耐摩耗
性にすぐれているため、トナー保持体の摩擦による摩耗
が減少し、現像装置を長時間運転しても、安定して良好
な画像を得ることができる。

また、前記セラミクスはＩ！Ｊ際係数が小さいため、１
−ナー保持体と簿１化規制部材との間のＦｊ擦が減少し
、現像！ａｍの駆動トルクを軽減することができる。

したがって、本発明の現像装置によれば、画像濃度の低
下や文字のかすれなどを発生することがなく、常に鮮明
な画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の現像装置を搭載した電子複写機の概略
断面説明図、第２図は本発明の現像装置を示す概略断面
説明図、第３図は同部分正面説明図、第４図は本発明の
現像装置におけるトナー保持体と薄層化Ｊｇ制郡部材当
接状態を示す断面説明図、第５図は薄層化規制部材に対
するセラミクスのプラズマＣＶＤコーティング装置を示
す概略断面説明図、第６図はトナー保持体に対するセラ
ミクスのプラズマＣＶＤコーティング装置を示す概略側
断面説明図、第７図は同概略平断面説明図、第８図は薄
層化規制部材に対するセラミクスのスパッタリングコー
ティング装置を示す概略断面説明図である。 ５・・・現像装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）静電潜像を現像するために搬送される非磁性一成
   分系トナーを保持するトナー保持体と、このトナー保持
   体に前記トナーを供給する手段と、前記トナー保持体上
   のトナーを薄層化する薄層化規制部材とを具備する現像
   装置において、前記トナー保持体の少なくとも表面に、
   Ｔｉおよび／またはＷ原子を含有するセラミクスをコー
   ティングしたことを特徴とする現像装置。
2. （２）コーティングに使用するセラミクス中には、Ｎ、
   Ｃ、Ｏ、Ｈおよびハロゲンから選ばれた少なくとも１種
   の原子が含有されていることを特徴とする特許請求の範
   囲第（１）記載の現像装置。
3. （３）コーティングに使用するセラミクス中には、Ｈま
   たはハロゲン原子が１〜４０ａｔｏｍｉｃ％含有されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第（１）及び（２
   ）項に記載の現像装置。