JPH01142284A - ポンプのダイヤフラムの故障検出装置及びその検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はダイヤフラムを用いた純流体素子に関し、特に
ダイヤフラムポンプに於けるダイヤフラムの状態を監視
するための故障検出装置及びその検出方法に関する。

〔従来の技術〕

ダイヤフラムポンプには可撓性のあるダイヤフラムの一
方の側に接している液体に作用するピストンが用いられ
る。ダイヤフラムの他方の側はポンプ室へ送り込まれた
液体と接している。ピストンの往復動によりダイヤフラ
ムが両側に交互にたわんでポンプ室内の液体に容積の変
化を伝達する。

ピストンが後退すると、ポンプ室の容積が増加し圧力が
低下するのでピストンの変位量に等しい世の液体が注入
口の逆止弁を通ってポンプ室へ流入し、その間流出口の
逆止弁は閉じている。ピストンが前進すると、ポンプ室
内の圧力が上昇し注入口の逆止弁を閉じポンプ室内の液
体がピストンの変位量に等しい量だけ流出口の逆止弁を
通って排出される。

ダイヤフラムポンプのひとつの大きな利点は、殆んどの
ポンプ装置で必要とされる往復動または回転する液体シ
ールなしで流体動力を可撓性薄膜、即ちダイヤフラムを
介して伝達できることである。

従って、ダイヤフラムポンプは通常の動作状態では殆ん
ど漏洩がないので、化学的または生物学的に危険な液体
の移しかえ又は計量のための装置として好ましいもので
ある。同様にダイヤフラムポンプは外部貯蔵源から装置
内部へ漏れると汚染される恐れのある所要の純度を保た
なければならない液体を扱う装置としても好ましい。

ダイヤフラムの破損を検知する色々な方法が従来用いら
れている。これらの方法の中にはダイヤフラムを２枚の
ダイヤフラム半体で形成しその間を真空引きして用いる
ものがある。それらダイヤフラム半体間の圧力を監視し
ていて、そのどちらか一方が破れると半体間の真空が失
われるので破損したことが分る。

他の方法では間に液体を介在させて分離した２枚のダイ
ヤフラムを用い、更に一対の電極をその介在液中に浸し
ておく。一方のダイヤフラムが破れると、ポンプ室内の
液体が介在液中に混入し電ＩＩ間の電気抵抗が変化する
のでそのダイヤフラムの破…が検出できる。他方のダイ
ヤフラムが破れた時にもポンプの作動液が混入し電極間
の電気抵抗が変化するので破損を検知できる。ダイヤフ
ラム上に絶縁して保持した導体とポンプ室内の液体との
間の電気抵抗の変化を検出してダイヤフラムの破損を検
知する方法が最近提案されている。この接地不良測定方
法はアメリカ特許筒４，５６９，６３４号に述べられて
いる。

従来ディスク装置の破損に限定されている他の方法がア
メリカ特許筒４，３４２，９８８号に述べられている。

この特許では変形可能な測定対象に導電性ループを保持
し、ループを監視してその対象の状態を測定することを
述べている。導電性ループのあらゆる変化が変形可能な
測定対象の変化として検出される。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、上述の各特許の内容を成る程度取りも故障検
出の確率が高くそれらと明確に異なる装置を提供するも
のである。この装置の有効寿命はダイヤフラムの寿命と
同じである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の目的はダイヤフラムポンプのダイヤフラムの故
障を迅速に検出することである。

本発明のより明確な目的はいずれもダイヤフラムの故障
を示す複数のモードでダイヤフラムの状態を検出するこ
とである。

本発明の更に他の目的はダイヤフラム上にそれと同じ有
効寿命を有する検出導体を設けることである。

本発明のこれら及び他の目的は、ダイヤフラムの表面の
略々全域に亘って設けられかつ隣接する液体から絶縁さ
れた連続した導電性の引回し線を有するダイヤフラム構
成により達成される。その連続する引回し線はダイヤフ
ラムの外周縁からその中心に向って延長されるのが好ま
しい。ダイヤフラムの故障を検出するために、引回し線
の連続性とその引回し線からポンプ室内の液体を通って
流れる接地不良電流の発生を監視する。

本発明の好ましい実施例に於いては、導電性引回し線は
プリントによる引回し線として形成される。引回し線を
保持する基板はダイヤフラムの表面に接着される。引回
し線は複数の輻方向のスポークとして形成される。輻方
向のスポークは、ダイヤフラムの周辺から中心に向いな
がら複数回方向を転換する単一の導電性引回し線を形成
するように相互に接続された円周方向のセグメントを有
する。この形状によれば、引回し線の受ける歪のレベル
がグイヤフラム材自体が受ける歪のレベルよりも可成り
低くなる。引回し線の作用はバネの作用に似ており、そ
の幾何学的形状により大きな変形や長期に亘るたわみに
も故障することなく耐えることができる。引回し線の連
続性はダイヤフラムの寿命と同じかそれより長く維持さ
れ、ダイヤフラムが破損したときだけその連続性が失わ
れる。

〔実施例〕

第１図は本発明による故障検出装置を備えているダイヤ
フラムを用いた従来のダイヤフラムポンプを示す。ダイ
ヤフラムポンプに精通している者ならば、両端が夫々流
入口１８と流出口１９に通じるポンプ室１７を有するリ
エイジェントヘッド装置１５に気付くであろう。流入口
１８と流出口１９は液体がポンプ室１７内を一方向に流
れるようにするためのボール弁２０と２１を夫々有する
。

ポンプヘッド装置７はシリンダ孔６を有する。

リエイジェントヘッド１６とデイシュプレート１３の周
辺部の間でダイヤフラムが固定されている。

ダイヤフラム１２とリエイジェントヘッド１６及びデイ
シュプレート１３の間に夫々一対の０リングシール９と
１１が配されている。

リエイジエントヘッド１６の皿状に弯曲した表面１６ａ
に対向しているのがダイヤフラム１２であり、第１図に
於けるポンプの構成ではダイヤフラムは等級が３１６の
ステンレス鋼などの金属で作られている。この金属製の
ダイヤフラムには、ダイヤフラムとは絶縁されていて更
に通常はポンプ室内の液体とは接触しないダイヤフラム
の側面に配置された一本の連続する引回し線が組込まれ
ている。

第１図のダイヤフラムポンプは、ダイヤフラム１２の他
の側に０リングシール１１を有し、これによりダイヤフ
ラムが弯曲したデイシュプレート１３でシールされる。

デイシュプレート１３はポンプヘッド装置７の取外し自
在の部品である。もうひとつ別の０リングシール８によ
り取外し自在のデイシュプレート１３がポンプヘッド装
置でシールされる。

図示の往復ピストン１０は液圧媒体をデイシュプレート
の開口１３ａを介して押出し、それによりポンプ室１７
を加圧する方向にダイヤフラム１２がたわむ。デイシュ
プレート１３の弯曲面は略々凹形である。リエイジェン
トヘッド装置の皿状の表面１６ａも同様に凹形に弯曲し
ている。弯曲面１６ａとデイシュプレート１３はダイヤ
フラムが過度に変位して破れたり裂けたりするのを防い
でいる。

このポンプの動作をまずシリンダ室６内で直線的に駆動
される往復ピストン１０から簡単に説明する。ピストン
により作動液がみぞ１３ａを通してダイヤフラム１２に
押付けられる。その結果ダイヤフラム１２がたわんでみ
ぞ１６ａを通じてポンプ室１７内の液体に容積変化が伝
達されて、液体がポンプ室内から排出弁２１を通って押
出され、一方弁２０は閉じる。ピストンｌＯが後退する
と、ポンプ室１７の容積が増え圧力が低下するので、排
出弁２１が閉じ、一方ピストン１０の変位に等しい量の
液体２０がポンプ室１７内に流入する。

導管継手２２により、ダイヤフラム１２上に保持されて
いる連続引回し線に接続する一対の導体２８が保護され
ている。導体２８は導管継手２２から導出され外装ケー
ブル２４を通って故障検出回路３４に接続される。ダイ
ヤフラムが破れたり裂けたりすると、故障検出回路は警
報器３５に駆動信号を送る。警報器３５はダイヤフラム
の故障の発生または故障が差迫っていることを示す音響
あるいは視覚警報を発するものでよい。また、駆動信号
を用いてポンプの動作を停止することもできる。

第１図に示す金属製のダイヤフラム１２は第２図及び第
３図に示す形状にすることができる。第２図及び第３図
に於いては、ダイヤフラム１２とは絶縁されている一本
の連続する引回し線２９が作動液と接するダイヤフラム
の面上に支持されており、ダイヤフラムは第４図の断面
図に詳細に示すように絶縁層４５及び４８を有する。第
２図ではその単一引回し線２９は二重螺旋の形で示され
ている。二重螺旋の、中心はダイヤフラムの中心と一致
し、各螺旋の二つの端部は中心でつながっている。二重
の引回し線はダイヤフラムの略々全表面−杯になるまで
螺旋状に巻装される。引回し線２９の間隔は故障検出分
解能を高めるには狭い方が望ましいが、現在の可撓性プ
リント回路の製造に於ける経済的な意味合いと技術水準
から約０．０１５インチ（１５ミリ）に選んでいる。

ダイヤフラムから延長しているタブ１４は螺旋状の引回
し線２９の導出リード線３０及び３１を支持し、更に穴
３９内で継手２２を支持している。

螺旋状の引回し＆１１２９を支持している絶縁基板は巨
大３７と３８が穴３９上で支持されるように符号３２で
示すようにくびれでいる。導出リード線３０及び３１に
接続された巨大３７と３８は第１図の導体２８が挿入さ
れそれに半田付けするか或いは電気的に接続する。

第３図は連続する故障検出引回し線を有するダイヤフラ
ムの改良したものを示す。第２図のダイヤフラムも色々
な条件の下でを効に作用するが、第３図のダイヤフラム
によればその動作により引回し線の受ける歪のレベルが
低下することが判明している。引回し線２９は、ダイヤ
フラムの中心に近ずくにつれて小さくなる複数２４箇の
輻方向セグメント或いはスポークから成る一本の連続す
る引回し線である。各輻方向セグメントは除々に小さく
なる複数の円周方向に延長するセグメントから成り、各
円周方向セグメントの端部は隣接するセグメントに接続
される。輻方向セグメントは両端が互いに接続されてダ
イヤフラムＩ２の周辺から中心に向って延長しながら方
向が交互に変る連続引回し線を形成する。符号４１．４
２及び４３で示す三つの輻方向セグメントは夫々隣接す
る輻方向セグメントに接続された一番外側の円周方向セ
グメントから始まる。全体として符号４０で示した個々
の円周方向セグメントは除々に短くなって各輻方向セグ
メント毎に先細になってゆく。各輻方向セグメントの端
部は、ダイヤフラム１２の表面の略々全域に亘って一本
の連続する引回し線が形成されるように隣接する輻方向
セグメントに接続される。

第３図の実施例は、多数の円周方向セグメントをダイヤ
フラム１２上に配し、かつ各セグメントにより形成され
た一本の引回し線が頻繁に方向転換を繰返してダイヤフ
ラムのたわみによる導線の疲労を和らげるようにセグメ
ントを接続する原理を逸脱することなく変形することが
できる。斯くして、第３図に示すように一本の連続する
引回し線を設けることにより、その引回し線の寿命を少
くとも金属製ダイヤフラム１２のそれと同じにすること
ができる。

第４図は、第３図の構成に適用し得る第２図に示す金属
製ダイヤフラム１２の断面図を示す。第４図では金属製
ダイヤフラム１２は線４７に沿って基板４６に接着され
ている。絶縁基板４６は、業界でカプトン（ＫＡＰＴＯ
Ｎ）と呼ばれている周知のデュポン社製ポリイミドフィ
ルムでよく、それに金属箔を接着したものである。金属
箔に光化学エンチングを施して所要の導電性引回し線２
９を形成する。導電性引回し線２９を更にポリイミドフ
ィルムなどの接着［４５及び４８で覆ってダイヤフラム
の引回し線２９が形成されている側の表面と必然的に接
触する作動液とその引回し線とを絶縁する。層４５と４
８は夫々約２ミリ及び５ミリの厚さを有し、線４４に沿
ってＢ段階の改良された接着剤ではり合わされ、更に線
４９に沿って引回し線２９にも接着されており、引回し
線は厚さ２ミリの基板４６上で３ミリの厚さを有する。

ダイヤフラム１２と基板４６も同様に上述と同じ接着剤
で線４７に沿ってはり合わされている。

第２図及び第３図の実施例の連続引回し線はダイヤフラ
ムの故障検出を二つの別々のモードで行うものである。

第５図に二つの異なるモードでダイヤフラムの故障を検
出する回路３４を示す。第５図では連続引回し線２９は
抵抗素子として示されている。リード線２８に接続され
ている導体リード線３０及び３１は夫々一端が第１及び
第２抵抗５０及び５１に接続されている。抵抗５０及び
５１はＶＣＣと標準接地記号で示されている直流電圧源
の両端に接続される。直流電圧源から抵抗５０、連続引
回し線２９及び抵抗５１へと小さいが測定可能な電流が
流れる。

第５図の回路ではダイヤフラムの二つのタイプの故障を
検出する。第１は導電性引回し線２９の切断である。こ
の引回し線の切断を検出するために第１上限コンパレー
タ５４が設けられている。

コンパレータ５４は抵抗回路Ｎ４５２により設定される
基準閾値電圧を有している。もしダイヤフラムの故障が
差し迫って引出し線２９が切断したとすると、電圧コン
パレータ５４の反転入力の電位が著しく上界しオーブン
信号を発生する。

或いは、差し迫ったダイヤフラムの故障は、絶縁不良の
ために導線２９がポンプ液、ポンプヘッド１５又はダイ
ヤフラムポンプの他の構成要素と電気的に接続されたと
きに生じる接地電流で検知することができる。この接地
事故電流により電位ｖｌが低下し電圧コンパレータ５５
が接地事故を検出する。コンパレータ５５に与えられる
基準電圧は抵抗回路網５３によるもので、引出し線２９
の接地事故の発生を示すレベルに設定されている。

強酸性または塩基性などの導電性のポンプ液を扱うとき
には引出し線の切断の検出ができない場合がある。勿論
、接地事故検出モードではこのようなポンプ液を怒知し
て迅速に他の故障検出モードに切換えられる。この故障
検出方法はダイヤフラムが完全に破れてしまう以前の初
期の段階で故障を発見するのに特に効果がある。

ダイヤフラムの故障を示す各状態はＯＲゲート５６に与
えられて音響または視覚警報器を作動する論理信号を発
生する。

第５図には図示していないが、ＯＲゲート５６の各入力
をモニターすることができ、ＯＲゲート５６の各入力が
示す色々な故障状態を利用してそれに応じた正しい対策
を指示できる。

導電性を有する液体を扱っている場合の前述のダイヤフ
ラムの故障検出方法によれば、複数の検出モードを使用
することにより信頼性を高めることができるのは明らか
である。更に、この方法によれば、ダイヤフラムの故障
が差し迫って引回し線が切断されないまでもそれが導電
性の液体に接触した場合に応答時間を短縮できる。また
、第３図に示す効果的な引回し線形状及びそれの自明の
変形を用いることによりダイヤフラムの引回し線２９は
ダイヤフラム自体よりも早く切断などの故障を起すよう
な過大な歪を受けることがなくなる。

従来の装置に較べて大きな利点をもたらす本発明の二つ
の顕著な特徴は、ダイヤフラムの両側に接する液体の特
性（特に粘度と導電性）の影Ｃを受けないことと、相隣
る導線の間隔により故障検出分解能が決まる、即ち、発
生しても検出されないダイヤフラムの破損の限度が決ま
ることである。

金属製ダイヤフラムについての上述の説明は非金属製ダ
イヤフラムについても当てはまることは勿論である。第
６図に示すＰＴＦＥ　（ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒ
６−ｅｔｈｙｌｅｎｅポリテトラフロロエチレン）や他
の周知のダイヤフラム材料で作ったプラスチックのダイ
ヤフラムにも第２図及び第３図に示したような引出し線
を埋込むことができる。導線は耐食性があり、ダイヤフ
ラムのたわみによる疲労に対し強い耐抗力を有する厚さ
が３ミリのステンレス鋼製の導線２９である。厚さが３
〜５ミリの基板５８はエンチングにより所要の形状とさ
れたステンレス鋼導線を支持する。導線材料を基板に接
着するのにいくつか周知の工業的方法のいずれを用いて
もよい。基板材料は、ＦＥＰと総称されるフッ化エチレ
ンプロピレン又は一般にＰＦＡと呼ばれるパーフロロア
ルキオキシテトラフロロエチレンの如き熱可塑性のフッ
化炭素でよい。

エンチングを施した導線とそれを保持する基板とをＰＴ
ＦＥ　（ポリテトラフロロエチレン）の如きダイヤフラ
ム材料層６０及び６１の間に挟んで加熱及び加圧して第
６図に示すように接合して積層構造を形成する。　ＰＴ
ＦＩ！は熱可塑性材ではないが、その焼結構造が破壊さ
れる温度以下ではＦＥＰ及びＰＦＡと有効に表面が接着
する。

更に他の通常の工業的方法で非金属製ダイヤフラムの導
電性引回し線を得ることができる。例えば、引回し線を
単独でケミカルミリングと呼ばれる方法を用いて光化学
的にエツチングすることができる。これによって得た引
回し線をＩ’ＴＦＥ層の間に置きその引回し線の下及び
／又は上に膜あるいは粉末の形で設けた熱可塑性のＰＦ
Ａ又はＦＩＥＰ層により接着合体すればよい。これらが
一体に構成されるよう十分に加熱し加圧する。

或いはまた、引回し線を前述と同様の熱可塑性材層間に
加熱及び加圧により融着して引回し線全体を包みこんだ
簡単な均質のマトリックスを形成してもよい。

本明細書で使っているようにダイヤフラムとゆう言葉は
口板状のもの又は始めは平坦な表面を有するものに限定
されることなく、ダイヤフラムの機能を果すのに適した
形状のものすべてを意味するものである。

第７図に本発明を実施したプラスチック製ダイヤフラム
の実用例を示す。第７図では第１図に示すような普通の
ダイヤフラムポンプを示すが、プラスチック製ダイヤフ
ラムを使用するように変更が加えられている。

ダイヤフラム６５は第６図に示すように内部構造を有す
る。また、フランジ６６がダイヤフラム上に設けられて
リエイジェントヘッド１６のダイヤフラム側の面の溝に
嵌め込まれている。フランジ６６は、０リングシールと
同様にポンプ液が漏れないようにリエイジェントヘッド
１６をシールすると同時にリエイジェントヘッド１６と
デイシュプレート１３の間からダイヤフラム６５が抜は
落ちるのを防ぐのに便利である。

更に、ダイヤフラム６５の周辺からタブ６９が延長して
いて螺旋状の引回し線の端部を支持している。

バルクヘッドコネクタ２２がポンプ室か４離れた位置で
リエイジェント１６に螺着している。このバルクヘッド
コネクタ２２は外装ケーブル２４を支持し導体２８をタ
ブ６９に導き引回し線と接続させる。

第８図にプラスチックダイヤフラムの一部を詳細に示す
が、ここではフランジ６６はダイヤフラムの［６０と一
体になっている。所要の引回し線を保持する基板５８は
前述の方法によりダイヤフラム材料層６０と６１の間に
挟持されている。導体２８を支持するプラスチックのス
リーブ７０がダイヤフラム材料Ｎ６０に溶着され、導体
２８の裸線端部が引回し線の各端部を保持する基板５８
中の二つの口火に半田付けされている。プラスチックス
リーブ７０はダイヤフラム材料層６０と気密シールを形
成している。スリーブ７０のダイヤフラムへの溶着と導
体２８の口火３７及び３８への接続はＮ６１を所定の位
置に接着あるいは溶着する前に行われる。

第９図に示すように、基板５８は引回し線の端部３０及
び３１を保持する延長部を有する。二つの口火３７及び
３８に導体２８を嵌め込むことができる。

従って、上述の本発明は第１図乃至第５図の実施例に於
ける金属ダイヤフラムばかりでなくプラスチックダイヤ
フラムにも適用できるものである。

第３図の変形螺旋状の引回し線につき述べたことも勿論
金属ダイヤフラムとともにプラスチックダイヤフラムに
も当てはまるものである。

以上、好ましい実施例につき本発明を説明したが、更に
他の実施例は本願の特許請求の範囲のより明確な定義か
ら当業者には明らかとなるであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置を組み込んだ代表的なダイヤフラ
ムポンプの主要断面図、第２図はダイヤフラムの故障を
検知するためのダイヤフラム検知引回し線の一実施例を
示す平面図、第３図は歪と疲労に強いダイヤフラム検知
引回し線の好ましい実施例を示す平面図、第４図は各検
知引回し線を有するダイヤフラムの横断面図、第５図は
ダイヤフラムの故障状態を検出する回路図、第６図は検
知引回し線を有するプラスチング又はエラストマー製の
ダイヤフラムの横断面図、第７図は本発明による非金属
材のダイヤフラムを組み込んだダイヤフラムポンプの断
面図、第８図は第７図のポンプを使用する非金属ダイヤ
フラムを示す断面図、第９図は引回し線の導線２８・＼
の接続を示す部分拡大図である。 １０：ピストン、１２：ダイヤフラム、２８：導体、２
９：引回し線、３４：故障検出回路、３５：警報器。 特許出廓人　パルサフィーダー インコーホレイテッド

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. （１）ダイヤフラムとポンプ作動媒体とから絶縁されて
   ダイヤフラム上にその表面の略々全域に亘って保持され
   た一本の連続する引回し線と、前記引回し線に接続され
   てその連続性と前記引回し線及び前記ポンプ作動媒体間
   の接地事故状態とを監視し、前記引回し線の電気的連続
   性が失われるか又は前記ポンプ作動媒体が前記連続引回
   し線に接触したときそれをダイヤフラムの故障として検
   出するようにした電気回路手段と、及び前記回路手段に
   接続されて前記ダイヤフラムの故障を知らせる警報器、 とから成るポンプのダイヤフラムの故障検出装置。
2. （２）前記連続引回し線は前記ダイヤフラムの外縁から
   中心に延長する複数の輻方向スポークの形で配置され、
   各スポークは隣接する輻方向スポークに接続されて一本
   の連続する引回し線を形成するようにした請求項１記載
   のポンプのダイヤフラムの故障検出装置。
3. （３）前記輻方向スポークは前記ダイヤフラムの中心に
   近ずくにつれて小さくなると同時に方向転換を繰返しそ
   の機械的強度を高め破損し難くなっている複数の円周方
   向セグメントから成る請求項２記載のポンプのダイヤフ
   ラムの故障検出装置。
4. （４）前記一本の連続引回し線はプリント回路基板に形
   成された導電性の線で、前記基板は前記ダイヤフラムに
   接着され、前記導電性の線はその上に形成された絶縁膜
   を含む請求項２記載のポンプのダイヤフラムの故障検出
   装置。
5. （５）前記連続引回し線は前記ダイヤフラムの表面を横
   切りながら方向転換を繰返して前記ダイヤフラムがたわ
   む時にそれによって受ける歪を小さくするようにした請
   求項１記載のポンプのダイヤフラムの故障検出装置。
6. （６）前記ダイヤフラムは積層構造を形成する第１及び
   第２のダイヤフラム半体間で基板上に配された連続する
   金属製の引回し線を含む請求項１記載のポンプのダイヤ
   フラムの故障検出装置。
7. （７）前記ダイヤフラムはステンレス鋼のもので、前記
   一本の連続引回し線は前記ステンレス鋼のダイヤフラム
   に接着された基板上に保持される請求項１記載のポンプ
   のダイヤフラムの故障検出装置。
8. （８）前記連続引回し線上にそれを前記ポンプ作動媒体
   から絶縁するため被膜を施した請求項７記載のポンプの
   ダイヤフラムの故障検出装置。
9. （９）前記引回し線がそれを前記ダイヤフラムの一方の
   側に接する液体から絶縁する二つのプラスチック製ダイ
   ヤフラム半体の間で基板上に配された請求項１記載のポ
   ンプのダイヤフラムの故障検出装置。
10. （１０）前記ダイヤフラム半体の一方がそれと一体に形
    成された環状フランジを含む請求項９記載のポンプのダ
    イヤフラムの故障検出装置。
11. （１１）ポンプのダイヤフラムの故障を検出する装置で
    、ポンプ作動媒体から絶縁されて前記ダイヤフラム上に
    その表面の略々全域を横切って配置された一本の連続す
    る引回し線と、 前記連続引回し線の一端及び他端に夫々第１及び第２の
    抵抗素子を介して接続されて前記引目し線に電流を供給
    する電圧源と、 前記引回し線端部の一方の電位を第１及び第２の閾値レ
    ベルと比較するように接続され、前記引回し線が断線す
    るか前記ポンプ作動媒体が前記引回し線に接触するとそ
    れを故障として検出するウィンドウコンパレータと、及
    び 前記コンパレータに接続されて前記の検出された故障を
    報知する故障報知手段、 とから成るポンプのダイヤフラムの故障検出装置。
12. （１２）前記引回し線は前記ダイヤフラムの中心を始点
    とする二重螺旋の形で設けられている請求項１１記載の
    ポンプのダイヤフラムの故障検出装置。
13. （１３）二つの液体媒体間のダイヤフラムの故障を検出
    する方法で、 前記ダイヤフラムの表面の大部分に亘って連続した引回
    し線を配し、 前記引回し線の連続性を測定し、 前記引回し線と前記液体媒体の一方との間に流れる電流
    を測定し、 前記引回し線の前記連続性が変わるか又は前記引回し線
    と前記液体媒体との間に流れる電流が変化するとそれを
    故障として報知する、 ことから成るポンプのダイヤフラムの故障検出方法。
14. （１４）前記引回し線を絶縁するために前記ダイヤフラ
    ムの二つの半体間に前記引回し線を配し、前記二つのダ
    イヤフラム半体と前記引回し線とも融着して単一のダイ
    ヤフラム構造を形成することを含む請求項１３記載のポ
    ンプのダイヤフラムの故障検出方法。
15. （１５）前記引回し線は前記ダイヤフラムに固着された
    基板上でエッチングされる請求項１３記載のポンプのダ
    イヤフラムの故障検出方法。