JPH01141704A - 吸着盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、スライシングマシン等により材料から切り
出されるワークを落下しないように吸着して保持する吸
着盤に関するものである。

「従来の技術」 一般に、シリコンインゴット等の材料から薄板状のワー
クを切り出す作業においては、切り出されたワークが落
下しないようにするために、ワークが材料から切り出さ
れるまでに、それを保持する必要性があり、このような
ワークの保持には、ワークの厚さが薄く、しかも傷等を
付けないようにするために、切り出されるワークを吸着
することにより保持する吸着盤が用いられている。

第４図ないし第９図は、この種の吸着盤を示す図であり
、これらの図において符号ｌは吸着部を示す。この吸着
部ｌは直方体状のものであり、厚さ方向に直交する吸着
面２には円状の凹部３が４箇所に形成されている。この
凹部３の底部の中央部には、上記吸着部１を貫通する雌
ネジ４が形成されており、この雌ネジ４の後端部には真
空用ニップル５がねじ込まれている。また、上記吸着盤
の吸着部２の裏面には、ロッド６が固定されており、こ
のロッド６を図示しない駆動部により矢印Ａ・Ｂ方向に
移動させることにより、上記吸着盤がＡ・Ｂ方向に移動
するようになっている。

上記構成の吸着盤は、吸着部Ｉの吸着面２に、ワーク６
を上記凹部３を塞ぐようにして当接し、真空用ニップル
５から凹部３を真空引きすることにより、この凹部３で
ワーク６を吸着するものである。

次に、上記吸着盤°を用いて、スライシングマシンによ
り材料から切り出されるワークを保持する場合について
第６図ないし第９図を参照して説明すると、まず、第６
図に示すように、上下方向に移動自在のテーブル７に固
定された材料８をテーブル７を上昇させることにより、
材料８に、内周に切刃を有するダイヤモンド砥石９を切
り込む。

なお、上記材料８は、シリコニンゴット等の材料部８ａ
と、カーボンベット等の保護部８ｂとで構成されいる。

さらに第７図に示すように、テーブル７を上昇させるこ
とによりダイヤモンド砥石９を材料８の材料部８ａと保
護部８ｂとの境界付近まで切り込む。すると、第８図に
示すように、上記吸着盤が矢印六方向に移動してきて、
吸着盤の吸着面２が材料８の端面に当接して吸着する。

その後、第９図に示すように、この吸着した状態でダイ
ヤモンド砥石９により材料８からワーク６が切り出され
ると、吸着盤が矢印Ｂ方向に移動してワーク６を落下さ
せることなく所定の位置まで搬送する。

「発明が解決しようとする問題点Ｊ ところで、上記の吸着盤においては、材料８の端面に吸
着盤の吸着面２を吸着させた後、さらに材料８にダイヤ
モンド砥石９を切り込むため、このダイヤモンド砥石９
により材料８から切り出されるワーク６に切り込み方向
（下方）に力が加わり、ワーク６が切り込み方向に若干
たわむ。このため、このワーク６と吸着面２との間で切
り込み方向に滑りが生じてワーク６に傷が付いたり、ワ
ーク６が吸着盤から離脱してしまうという問題があった
。

「発明の目的」 この発明は、上記問題点を解消するためになされたもの
であり、ワークと吸着盤との間の滑りを防止することに
より、ワークに傷が付くことなく、かつワークが離脱す
ることのない吸着盤をｆｆＪ（１’することを目的とし
ている。

「問題点を解決するための手段」 この発明は、吸着部と取付部との間に上記吸着部を移動
可能に支持するスプリング部を設けるようにしたもので
ある。

「実施例」 第１図ないし第３図はこの発明の一実施例を示す図であ
り、これらの図において第４図および第５図に示す構成
要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明
を省略する。

第１図ないし第３図に示す吸着盤が、第４図および第５
図に示す吸着盤と異なる点は、吸着部！を取付部２０に
板バネ（スプリング部）２１．２１を介して取り付けた
点である。

すなわち、上記取付部２０は、断面略コ字状のものであ
り、その内部に上記吸着部ｌが位置するようになってい
る。この取付部２０の第　図に示す上部内壁面の左側部
には、上記板バネ２Ｉを固定するための凸部２２ａが形
成されており、下部内壁面の右側部には、板バネ２１を
固定するための凸部２２ｂが形成されている。また、上
記吸着部！の吸着面２に直交する上側面の右側部には上
記板バネ２１を固定するための凸部２３ａが形成されて
おり、下側面の左側部には、板バネ２１を固定するため
の凸部２３ｂが形成されている。そして板バネ２１．２
１のそれぞれの両Ｅｉｆｆｉは、それぞれ上記凸部２２
ａ、２３ａ、および２２ｂ、２３ｂにネジ２４により固
定されている。これにより、上記吸着部ｌは、取付部２
０に板バネ２１，２１を介して上下方向に移動可能に支
持されている。

また、上記吸着盤の取付部２０の下端部には、ロッド２
５が固定されており、このロッド２５を図示しない駆動
部により矢印Ａ−Ｂ方向に移動させることにより上記吸
着盤がＡ−Ｂ方向に移動するようになっている。

次に、上記構成の吸着盤を用いて、スライシングマシン
により材料から切り出されるワークを保持する場合につ
いて説明すると、第６図ないし第９図に示したと同様に
、まずテーブル７を上昇させることによりダイヤモンド
砥石９を材料８の材料部８ａと保護部８ｂとの境界付近
まで切り込む。

すると、上記吸着盤が矢印Ａ方向に移動してきてその吸
着部Ｉの吸着面２が材料８の端面に当接して吸着する。

そして、さらにダイヤモンド砥石９を切り込む。すると
、第３図に示すように、このダイヤモンド砥石９により
材料８から切り出されるワーク６に下方に力が加わり、
このワーク６が下方に若干たわみ、吸着部ｌの吸着面２
上を滑ろうとするが、吸着部１が板バネ２１．２１によ
り上下方向に移動可能にされているので、ワーク６が吸
着面２上を滑らずに吸着部ｌ自体が下方に移動する。ま
た、上記ダイヤモンド砥石９による振動等も板バネ２１
．２１が吸収して、この振動等によるワーク６と吸着面
２との間の滑りを防止している。このことにより、ワー
ク６は吸着面２上を滑ることなく材料８から切り出され
る。その後、吸着盤が矢印Ｂ方向に移動してワーク６を
落下させることなく所定の位置まで搬送する。

なお、上記実施例においては、取付部２０に吸着部ｌを
板バネ２１を介してとりつけたが、この発明はこれに限
るものではなく、取付部２０の上部内壁面と吸着部ｌの
上部側面との間、および取付部２０の下部内壁面と吸着
部１の下部側面との間に、それぞれコイルバネ等を設け
てもよい。

さらに、上記実施例では、吸着部ｌが上下方向に移動可
能な板バネ２１だけを設けたが、ワーク６にはダイヤモ
ンド砥石９の回転により、第１図に示す矢印Ｃ−Ｄ方向
にも力が加わるので、吸着部ｌが矢印Ｃ−Ｄ方向に移動
可能にするようなスプリングを同時に設けてもよい。

「発明の効果」 以上説明したように、上記吸着盤によれば、吸着部と取
付部との間に上記吸着部を移動可能に支持するスプリン
グ部を設け、ワークが切り出される際に上記吸着部によ
りワークを吸着し、かつ上記スプリング部により、吸着
部を切り込み方向と同方向に移動可能にしたので、ワー
クと吸着部との間の滑りを防止することができる。よっ
て、ワークに傷等が付くのを防止することができ、しか
もワークの吸着部からの離脱を防止することができると
いう効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図はこの発明の一実施例を示す図であ
り、第１図は吸着盤の正面図、第２図は第１図における
■−■線視線面断面図３図は吸着盤の作用を説明するた
めの側面図、第４図ないし第９図は従来の吸着盤の一例
を示す図であり、第４図は吸着盤の正面図、第５図は第
４図における■−■線視線面断面図６図ないし第９図は
吸着盤の作用を説明するための概略図である。 １・・・・・・吸着部、２０・・・・・・取付部、２１
・・・・・・板バネ（スプリング部）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　吸着部と取付部との間に上記吸着部を移動可能に支持
   するスプリング部を設けてなることを特徴とする吸着盤
   。