JPH01141068A - 光プリンタ用発光ダイオードアレイ - Google Patents
光プリンタ用発光ダイオードアレイInfo
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- JPH01141068A JPH01141068A JP62300519A JP30051987A JPH01141068A JP H01141068 A JPH01141068 A JP H01141068A JP 62300519 A JP62300519 A JP 62300519A JP 30051987 A JP30051987 A JP 30051987A JP H01141068 A JPH01141068 A JP H01141068A
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- diode array
- emitting diode
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
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- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
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- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ)産業上の利用分野
本発明はフィン1リンタ等に好適な光プリンタ用発光ダ
イオードアレイに関する。
イオードアレイに関する。
口) 従来の技術
近年発光ダイオードアレイを光1りンタヘクドに用いて
いるが、特開昭62−242558号公報等に示される
様に、複数の発光ダイオードアレイを1列に整列させて
用いている。この様な発光ダイオードアレイは、光プリ
ンタの主走査長である200〜700ffにわたって必
要と嘔れるが、発光ダイオードウエノ・の大きさ、発光
特性の均一性、生産性などの理由から通常4〜to1w
の長さのものが複数個接続して用いられ、また光1りン
タの解(elfと1対1に対応する発光領域が必要とさ
れるり ところが発光ダイオードアレイは、ウェハから)切す出
し部(例えばスクライプされる箇所]の近傍にある発光
領域において著しい輝度低下が生するりこれは解儂度に
対応するため発光領域が基板端縁から10〜100nn
lという近い位置に配置され、切断やへき開用加圧とい
った加工時に加わる応力やそれに工って生じる結晶歪に
工ってもれ電流路が形成されたり発光中心(再結合レベ
ルをつくる不純物)が減少するためと考えられ私いずれ
にせよ、この様な輝度低下は印写において露光不足と1
にり白線となった9画儂欠けとなって印写品質を著しく
低下させるので不都合である。
いるが、特開昭62−242558号公報等に示される
様に、複数の発光ダイオードアレイを1列に整列させて
用いている。この様な発光ダイオードアレイは、光プリ
ンタの主走査長である200〜700ffにわたって必
要と嘔れるが、発光ダイオードウエノ・の大きさ、発光
特性の均一性、生産性などの理由から通常4〜to1w
の長さのものが複数個接続して用いられ、また光1りン
タの解(elfと1対1に対応する発光領域が必要とさ
れるり ところが発光ダイオードアレイは、ウェハから)切す出
し部(例えばスクライプされる箇所]の近傍にある発光
領域において著しい輝度低下が生するりこれは解儂度に
対応するため発光領域が基板端縁から10〜100nn
lという近い位置に配置され、切断やへき開用加圧とい
った加工時に加わる応力やそれに工って生じる結晶歪に
工ってもれ電流路が形成されたり発光中心(再結合レベ
ルをつくる不純物)が減少するためと考えられ私いずれ
にせよ、この様な輝度低下は印写において露光不足と1
にり白線となった9画儂欠けとなって印写品質を著しく
低下させるので不都合である。
ハ)発明が解決し二つとする問題点
本発明は上述の点を改めるtめになされたもので、印写
品質を高く維持で角る光プリンタ用発光ダイオードアレ
イを提供するものである。
品質を高く維持で角る光プリンタ用発光ダイオードアレ
イを提供するものである。
二) 間1点を解決するための手段
本発明は上述し北端部発光領域において印写ドツトに対
応する光放出部のなかに広いオーミqり接触をもたせる
ものであり、更に、光を基板の側面からも放出させると
ともにその端縁近傍に細帯状電極を設けるものである。
応する光放出部のなかに広いオーミqり接触をもたせる
ものであり、更に、光を基板の側面からも放出させると
ともにその端縁近傍に細帯状電極を設けるものである。
ホ)作 用
これに;9発光領域内の印写に直接関与する部分の電流
分布が工くなり輝度が高くなって発光ダイt−F7L/
イの全体にわた1て輝度バランスがよくなり、ま比軸帯
電極を基板端縁近傍に配置することで加ニストレスを緩
和できる。
分布が工くなり輝度が高くなって発光ダイt−F7L/
イの全体にわた1て輝度バランスがよくなり、ま比軸帯
電極を基板端縁近傍に配置することで加ニストレスを緩
和できる。
へ)実施例
第1図は本発明実施例の光プリンタ用発光ダイオードア
レイの要部斜fj1図で、(Itは化合物半導体からな
る基板で、例えばGaASベース(lllJ:[GaA
sPf成層(121n G a A S P 1lf
7[131カzビタキシヤル成長されており、その表面
には亜鉛等の選択拡散に二り発光領域12+12:が1
列に整タルで設けられているりそして13+ 13:は
発光領域+211:、4+にオーミック接触がとられた
個別電極で、基板山上に絶縁膜IJを介して設けられた
アルミニウム蒸着層などからなるり発光領域12112
1は印写ド、フトに対応した例えば四角形の光放出部(
2ルiを基板11+の表面に有しており、必要に応じて
遮光性マスクで縁取りされていても工いり15+は基板
中の裏面に設けられた共通電極である。
レイの要部斜fj1図で、(Itは化合物半導体からな
る基板で、例えばGaASベース(lllJ:[GaA
sPf成層(121n G a A S P 1lf
7[131カzビタキシヤル成長されており、その表面
には亜鉛等の選択拡散に二り発光領域12+12:が1
列に整タルで設けられているりそして13+ 13:は
発光領域+211:、4+にオーミック接触がとられた
個別電極で、基板山上に絶縁膜IJを介して設けられた
アルミニウム蒸着層などからなるり発光領域12112
1は印写ド、フトに対応した例えば四角形の光放出部(
2ルiを基板11+の表面に有しており、必要に応じて
遮光性マスクで縁取りされていても工いり15+は基板
中の裏面に設けられた共通電極である。
上述した発光領域12+121は、例えば基板中の長さ
が6g、光7”リンクの解g111jが12ドツト/1
であると、84.5gmピッチで72個整列されており
、各々の光放出部ax+r?iは1辺50amの四角形
をしている。そして基板11+の略中夫に位置する発光
領域12+においては光放出部のの外側で個別電極13
+とオーミック接触がとられているが一発光領域の列の
端に位置する発光領域+21におりては、光放出部(2
「の外側および、光放出部effの中に延在する115
Jl m和変の舌片状部’311において叫別電[1
3+とオーミック接触がとられている。これ!IC工り
略中央部にある発光領域+21においては四角形の一辺
方向から電流が供給されるが端部に位置する発光領域1
21においては発光領域を縦連する中心tsI/C七っ
た電流供給路も追加され、切断加工による輝度低下を補
うことかで角るり さらに第2図に示すLうに、発光領域■の光放出部(2
10)における各々の8度分布が均一化するLうに全て
の光放出部(210)において個別電極■の舌片部(3
10)を設け、この舌片部(310)の下方、もしくは
下方の一部でのみオーミック接触をとることもあるが、
この場合、列の端部に位置する発光領域■の光放出部(
216+においてそのオーミブクW!@面攬を大きくし
、エリ好ましくは舌片部< 316 )から発光領域に
最も近い基板111−の端縁(140)に向うヒゲ状電
極(326)を設けCのヒゲ状電極(320)において
もオーミック接触を行えば工い。
が6g、光7”リンクの解g111jが12ドツト/1
であると、84.5gmピッチで72個整列されており
、各々の光放出部ax+r?iは1辺50amの四角形
をしている。そして基板11+の略中夫に位置する発光
領域12+においては光放出部のの外側で個別電極13
+とオーミック接触がとられているが一発光領域の列の
端に位置する発光領域+21におりては、光放出部(2
「の外側および、光放出部effの中に延在する115
Jl m和変の舌片状部’311において叫別電[1
3+とオーミック接触がとられている。これ!IC工り
略中央部にある発光領域+21においては四角形の一辺
方向から電流が供給されるが端部に位置する発光領域1
21においては発光領域を縦連する中心tsI/C七っ
た電流供給路も追加され、切断加工による輝度低下を補
うことかで角るり さらに第2図に示すLうに、発光領域■の光放出部(2
10)における各々の8度分布が均一化するLうに全て
の光放出部(210)において個別電極■の舌片部(3
10)を設け、この舌片部(310)の下方、もしくは
下方の一部でのみオーミック接触をとることもあるが、
この場合、列の端部に位置する発光領域■の光放出部(
216+においてそのオーミブクW!@面攬を大きくし
、エリ好ましくは舌片部< 316 )から発光領域に
最も近い基板111−の端縁(140)に向うヒゲ状電
極(326)を設けCのヒゲ状電極(320)において
もオーミック接触を行えば工い。
第3図(a )(1))ばさらに他の実施例を示してお
り、基板(100)の略中央部に位置する発光領域(2
00)と個別電極(300)は第2(3)に示したもの
と同じである。特^窺釣−b台は列の端部に位置する発
光領域(6007が基板(100)の側面(1500)
にも露出し、個別電極(700)は、その発光領域(6
tlO)の光放出部(610)と略等しい長さを有し基
板(100)の端Ii&(1400)近傍に前記(11
面(1500)に沿って設けられた細帯状部(730)
を有していることである。そしてオーミック接触は個別
電極(700)の舌片部(710)の1部と細帯状部(
730)全面でとられている。
り、基板(100)の略中央部に位置する発光領域(2
00)と個別電極(300)は第2(3)に示したもの
と同じである。特^窺釣−b台は列の端部に位置する発
光領域(6007が基板(100)の側面(1500)
にも露出し、個別電極(700)は、その発光領域(6
tlO)の光放出部(610)と略等しい長さを有し基
板(100)の端Ii&(1400)近傍に前記(11
面(1500)に沿って設けられた細帯状部(730)
を有していることである。そしてオーミック接触は個別
電極(700)の舌片部(710)の1部と細帯状部(
730)全面でとられている。
この細帯状部(730)は例えば巾3〜10am長さ5
5μmで、充分のオーミック接触面積が得られる場合に
は舌片部(710)をなくしても工いりこの二つな光放
出部(6101における発光輝度特性にャパターン)は
第3図(C+に示す様に基板(100)の端縁(140
0)側の輝度が充分に補償はれている。これは上述し定
電流分布の改良のほか、加工時、(特にスクライブ、へ
き開]の応力が細帯状部(730)によって緩和され結
晶歪の発生が少なくなっていることにも因る1この様な
細帯状部(730)はウェハの切断部にま友がって設け
られ、従って基板(100)の端縁(1400)に位置
するのが好ましいが、数μmaIfならば端縁(140
0)から離れて平行に設けられていても工いり ト)発明の効果 以上の如くにエリ発光ダイオードアレイの全体にわたっ
て、即ち端部発光領域も含めて、発光領域の輝度特性を
高く略均−にそろえることができるので、この発光ダイ
オードアレイを用い友光1リングにおいては良好な印写
品質を得ることができる。
5μmで、充分のオーミック接触面積が得られる場合に
は舌片部(710)をなくしても工いりこの二つな光放
出部(6101における発光輝度特性にャパターン)は
第3図(C+に示す様に基板(100)の端縁(140
0)側の輝度が充分に補償はれている。これは上述し定
電流分布の改良のほか、加工時、(特にスクライブ、へ
き開]の応力が細帯状部(730)によって緩和され結
晶歪の発生が少なくなっていることにも因る1この様な
細帯状部(730)はウェハの切断部にま友がって設け
られ、従って基板(100)の端縁(1400)に位置
するのが好ましいが、数μmaIfならば端縁(140
0)から離れて平行に設けられていても工いり ト)発明の効果 以上の如くにエリ発光ダイオードアレイの全体にわたっ
て、即ち端部発光領域も含めて、発光領域の輝度特性を
高く略均−にそろえることができるので、この発光ダイ
オードアレイを用い友光1リングにおいては良好な印写
品質を得ることができる。
第1図は本発明実施例の光プリンタ中発光ダイオードア
レイの要部斜視図、第2図は他の実施例に係る発光ダイ
オードアレイの平面図、第3図はさらに他の実施例に係
る発光ダイオードアレイの要部平面図(a)とその側面
断面(8)(b)と端部発光領域の輝度特性1k(C)
である□111111k (100)・・・(化合物半
導体の)基板、12;(支)(200)・・・発光領域
、+31■(300)・・・イ固別電極、(51(50
0)・・・共通電極。 出願人 三洋電機株式会社 外1名 代理人 弁理士 西野卓嗣(外l′8)第2図 10 J○ 第3図 4ユ1
レイの要部斜視図、第2図は他の実施例に係る発光ダイ
オードアレイの平面図、第3図はさらに他の実施例に係
る発光ダイオードアレイの要部平面図(a)とその側面
断面(8)(b)と端部発光領域の輝度特性1k(C)
である□111111k (100)・・・(化合物半
導体の)基板、12;(支)(200)・・・発光領域
、+31■(300)・・・イ固別電極、(51(50
0)・・・共通電極。 出願人 三洋電機株式会社 外1名 代理人 弁理士 西野卓嗣(外l′8)第2図 10 J○ 第3図 4ユ1
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)化合物半導体の基板の表面に整列して設けられ、印
写ドットに対応する光放出部を有した複数の発光領域と
、該発光領域の各々にオーミック接触された個別電極と
を具備した光プリンタ用発光ダイオードアレイにおいて
、前記発光領域のうち整列の端部に位置する発光領域の
光放出部には列の略中央に位置する発光領域の光放出部
におけるオーミック接触面積よりも広いオーミック接触
面積を有するように個別電極が設けられている事を特徴
とする光プリンタ用発光ダイオードアレイ。 2)前記発光領域のうち列の端部に位置する発光領域は
基板の側面からも光放出を行い、前記個別電極はその発
光領域の光放出部と略等しい長さを有し基板の端縁近傍
に前記側面に沿って設けられた細帯状部を有している事
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光プリンタ用
発光ダイオードアレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30051987A JP2527580B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 光プリンタ用発光ダイオ―ドアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30051987A JP2527580B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 光プリンタ用発光ダイオ―ドアレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01141068A true JPH01141068A (ja) | 1989-06-02 |
JP2527580B2 JP2527580B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=17885797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30051987A Expired - Lifetime JP2527580B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 光プリンタ用発光ダイオ―ドアレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2527580B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62242912A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-23 | Nec Corp | プリンタヘツド |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP30051987A patent/JP2527580B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62242912A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-23 | Nec Corp | プリンタヘツド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2527580B2 (ja) | 1996-08-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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